GB/T 24468-2009半導(dǎo)體設(shè)備可靠性、可用性和維修性(RAM)的定義和測量規(guī)范

犐犆犛１７．０４０．３０

犔８５

中華人民共和國國家標準

犌犅／犜２４４６８—２００９

半導(dǎo)體設(shè)備可靠性、可用性和維修性

（犚犃犕）的定義和測量規(guī)范

犛狆犲犮犻犳犻犮犪狋犻狅狀犳狅狉犱犲犳犻狀犻狋犻狅狀犪狀犱犿犲犪狊狌狉犲犿犲狀狋狅犳狊犲犿犻犮狅狀犱狌犮狋狅狉犲狇狌犻狆犿犲狀狋

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２００９１０１５發(fā)布２００９１２０１實施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局

發(fā)布

中國國家標準化管理委員會

書

犌犅／犜２４４６８—２００９

目次

前言!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!Ⅲ

１目的!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

２范圍!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

３規(guī)范性引用文件!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

４術(shù)語和定義!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１

５設(shè)備的狀態(tài)!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!４

６ＲＡＭ測量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!８

７不確定度測量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１１

８可靠性增長或退化的測量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１３

９集群設(shè)備ＲＡＭ測量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１３

附錄Ａ（規(guī)范性附錄）置信限系數(shù)!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１４

附錄Ｂ（規(guī)范性附錄）集群設(shè)備ＲＡＭ的測量!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!１７

附錄Ｃ（資料性附錄）可靠性增長或退化模型!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!２７

Ⅰ

書

犌犅／犜２４４６８—２００９

前言

本標準修改采用ＳＥＭＩＥ１００３０４《設(shè)備可靠性、可用性和維修性（ＲＡＭ）的定義和測量規(guī)范》。

本標準與ＳＥＭＩＥ１００３０４相比，做了下列編輯性修改：

———第４章術(shù)語和定義按照國家標準的編寫格式要求重新排列。

———本標準按照ＧＢ／Ｔ１．１的要求對編號重新編排。

———本標準的附錄Ａ對應(yīng)ＳＥＭＩＥ１００３０４中的附件１。

———本標準的附錄Ｂ對應(yīng)ＳＥＭＩＥ１００３０４中的附件２。

———本標準的附錄Ｃ對應(yīng)ＳＥＭＩＥ１００３０４中的相關(guān)信息１。

本標準的附錄Ａ、附錄Ｂ是規(guī)范性附錄，附錄Ｃ是資料性附錄。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備與材料標準化技術(shù)委員會提出。

本標準由全國半導(dǎo)體設(shè)備與材料標準化技術(shù)委員會歸口。

本標準起草單位：中國電子技術(shù)標準化研究所。

本標準主要起草人：黃英華、劉筠、張建勇、蔣迪寶。

Ⅲ

犌犅／犜２４４６８—２００９

半導(dǎo)體設(shè)備可靠性、可用性和維修性

（犚犃犕）的定義和測量規(guī)范

１目的

本標準通過提供半導(dǎo)體制造設(shè)備（以下簡稱設(shè)備）在制造環(huán)境下的可靠性、可用性和維修性（以下簡

稱ＲＡＭ）性能的測量標準，為這種設(shè)備的用戶和設(shè)備供應(yīng)商建立一個交流的共同基礎(chǔ)。

２范圍

２．１本標準定義了設(shè)備的六個基本狀態(tài)，所有的設(shè)備條件和階段都必須歸入這六個狀態(tài)。設(shè)備的狀態(tài)

由功能決定，而不管是由誰來執(zhí)行此功能。本規(guī)范中所涉及的設(shè)備可靠性的測量主要集中在設(shè)備失效

和設(shè)備使用的關(guān)系上，而不是設(shè)備失效和設(shè)備經(jīng)歷的（日歷）總時間之間的關(guān)系。

２．２本標準第５章（設(shè)備的狀態(tài)）定義了設(shè)備的時間是如何分類的，第６章（ＲＡＭ測量）確定了測量設(shè)

備性能的公式。第７章（不確定度測量）給出了用統(tǒng)計學(xué)對計算出的性能量值進行評估的方法。

２．３本標準的有效實施，要求設(shè)備的（ＲＡＭ）性能可以通過設(shè)備的運行時間和周期進行跟蹤。對設(shè)備

狀態(tài)的自動跟蹤不屬于本標準的范圍，它由ＳＥＭＩＥ５８所覆蓋。用戶和供應(yīng)商之間的清晰有效的溝通

可以促進設(shè)備性能的不斷提高。

２．４本標準中的ＲＡＭ指標可以在整個設(shè)備和分系統(tǒng)層次上直接應(yīng)用于非集群設(shè)備，也可以在分系統(tǒng)

層次（比如工藝模塊）用于多路集群設(shè)備。

注：本標準不解決任何與標準使用相關(guān)