標(biāo)準(zhǔn)解讀

GB/T 29056-2012《硅外延用三氯氫硅化學(xué)分析方法 硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測(cè)定 電感耦合等離子體質(zhì)譜法》是一項(xiàng)國家標(biāo)準(zhǔn)，專門針對(duì)用于制造半導(dǎo)體材料的三氯氫硅中微量雜質(zhì)元素（包括硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻）含量測(cè)定的方法進(jìn)行了詳細(xì)規(guī)定。該標(biāo)準(zhǔn)采用電感耦合等離子體質(zhì)譜技術(shù)作為檢測(cè)手段，這是一種能夠提供高靈敏度與準(zhǔn)確度分析結(jié)果的技術(shù)，適用于對(duì)上述多種金屬及類金屬元素進(jìn)行同時(shí)或單獨(dú)定量分析。

標(biāo)準(zhǔn)首先明確了適用范圍，即其內(nèi)容適用于通過ICP-MS（電感耦合等離子體質(zhì)譜儀）來測(cè)量三氯氫硅樣品中特定痕量元素的濃度。接著，它描述了整個(gè)實(shí)驗(yàn)流程，從樣品準(zhǔn)備到最終的數(shù)據(jù)處理都有具體指導(dǎo)，包括但不限于取樣方式、溶解過程、內(nèi)標(biāo)選擇、儀器條件設(shè)定等方面。此外，還提供了關(guān)于如何校準(zhǔn)儀器以及建立校正曲線的具體步驟，這對(duì)于保證測(cè)試結(jié)果的一致性和可靠性至關(guān)重要。

對(duì)于每種待測(cè)元素而言，標(biāo)準(zhǔn)都給出了推薦的同位素比值、干擾校正策略及最低檢測(cè)限等關(guān)鍵參數(shù)。這些信息幫助實(shí)驗(yàn)室工作人員在實(shí)際操作過程中根據(jù)具體情況做出適當(dāng)調(diào)整，以達(dá)到最佳分析效果。同時(shí)，也強(qiáng)調(diào)了質(zhì)量控制的重要性，建議定期使用已知濃度的標(biāo)準(zhǔn)溶液進(jìn)行系統(tǒng)性能驗(yàn)證，并通過參與能力驗(yàn)證計(jì)劃等方式確保長(zhǎng)期穩(wěn)定性與準(zhǔn)確性。

此標(biāo)準(zhǔn)為相關(guān)行業(yè)提供了統(tǒng)一且科學(xué)有效的測(cè)試依據(jù)，有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量控制水平，促進(jìn)國內(nèi)外技術(shù)交流與合作。


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....

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  • 現(xiàn)行
  • 正在執(zhí)行有效
  • 2012-12-31 頒布
  • 2013-10-01 實(shí)施
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GB/T 29056-2012硅外延用三氯氫硅化學(xué)分析方法硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法_第1頁
GB/T 29056-2012硅外延用三氯氫硅化學(xué)分析方法硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法_第2頁
GB/T 29056-2012硅外延用三氯氫硅化學(xué)分析方法硼、鋁、磷、釩、鉻、錳、鐵、鈷、鎳、銅、鉬、砷和銻量的測(cè)定電感耦合等離子體質(zhì)譜法_第3頁

文檔簡(jiǎn)介

ICS31030

L90.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T29056—2012

硅外延用三氯氫硅化學(xué)分析方法

硼鋁磷釩鉻錳鐵鈷鎳

、、、、、、、、、

銅鉬砷和銻量的測(cè)定

、、

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

Trichlorosilaneforsiliconeitax—Determinationofboronaluminium

py,,

hoshorusvanadiumchromemananeseironcobaltnickel

pp,,,g,,,,

coerarsenicmolbdenumandantimoncontent—Inductivel

pp,,yyy

coupledplasmamassspectrometricmethod

2012-12-31發(fā)布2013-10-01實(shí)施

中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)檢疫總局發(fā)布

中國國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T29056—2012

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC203)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位南京中鍺科技股份有限公司南京大學(xué)現(xiàn)代分析中心南京大學(xué)國家計(jì)劃新

:、、863

材料源研究開發(fā)中心

MO。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人鄭華榮劉新軍龔磊榮張莉萍黃和明陳逸君虞磊

:、、、、、、。

Ⅰ

GB/T29056—2012

硅外延用三氯氫硅化學(xué)分析方法

硼鋁磷釩鉻錳鐵鈷鎳

、、、、、、、、、

銅鉬砷和銻量的測(cè)定

、、

電感耦合等離子體質(zhì)譜法

警告———使用本標(biāo)準(zhǔn)的人員應(yīng)有正規(guī)實(shí)驗(yàn)室工作的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)本標(biāo)準(zhǔn)并未指出所有可能的安全問

。

題使用者有責(zé)任采取適當(dāng)?shù)陌踩徒】荡胧┎⒈ＷC符合國家有關(guān)法規(guī)規(guī)定的條件

。,。

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了用電感耦合等離子體質(zhì)譜儀測(cè)定硅外延用三氯氫硅中硼鋁磷

(ICP-MS)(SiHCl3)、、、

釩鉻錳鐵鈷鎳銅鉬砷銻等痕量元素含量的方法

、、、、、、、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于硅外延用三氯氫硅中硼鋁磷釩鉻錳鐵鈷鎳銅鉬砷銻等含量

(SiHCl3)、、、、、、、、、、、、

的測(cè)定各元素測(cè)定范圍見表

。1。

表1

元素測(cè)定范圍質(zhì)量分?jǐn)?shù)w

()/%

B0.000000001~0.000002

Al0.000000001~0.000002

P0.000000001~0.0000002

V0.0000000005~0.000002

Cr0.000000001~0.000002

Mn0.000000001~0.000002

Fe0.000000001~0.000002

Co0.0000000005~0.0000002

Ni0.000000001~0.000002

Cu0.000000001~0.000002

Mo0.0000000005~0.0000002

As0.000000001~0.000002

Sb0.000000001~0.000002

2方法提要

乙腈能與一些金屬氯化物生成穩(wěn)定絡(luò)合物于三氯氫硅中加入乙腈在常溫下用氮?dú)廨d帶揮發(fā)分

。,,

離基體殘留的用氫氟酸溶解轉(zhuǎn)化為

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