GB/T 38447-2020微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗方法

ICS31200

L55.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T38447—2020

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗方法

Micro-electromechanicalsystemtechnology—Fatiguetestingmethodof

MEMSstructureusingresonantvibration

2020-03-06發(fā)布2020-07-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T38447—2020

目次

前言

…………………………Ⅰ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

試驗方法

4…………………1

總則

4.1…………………1

試驗設(shè)備

4.2……………1

試驗環(huán)境

4.3……………2

樣品要求

4.4……………2

試驗條件

4.5……………3

試驗步驟

4.6……………3

試驗報告

4.7……………4

附錄資料性附錄集成激振和檢測結(jié)構(gòu)靜電器件的試驗示例

A()……5

附錄資料性附錄外部驅(qū)動和集成應(yīng)變結(jié)構(gòu)檢測位移器件的試驗示例

B()()………8

附錄資料性附錄基于帕里斯定律和韋伯分布的脆性材料疲勞壽命理論

C()(Paris)(Weibull)

表達(dá)式

……………10

附錄資料性附錄分析示例

D()…………13

參考文獻(xiàn)

……………………15

GB/T38447—2020

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國微機(jī)電技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會提出并歸口

(SAC/TC336)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京大學(xué)中機(jī)生產(chǎn)力促進(jìn)中心北京智芯傳感科技有限公司沈陽國儀檢測技術(shù)

:、、、

有限公司浙江博亞精密機(jī)械有限公司中北大學(xué)北京必創(chuàng)科技股份有限公司

、、、。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人張威張亞婷于振毅陸學(xué)貴朱悅石云波李海斌程逸軒周浩楠陳得民

:、、、、、、、、、。

Ⅰ

GB/T38447—2020

微機(jī)電系統(tǒng)MEMS技術(shù)

()

MEMS結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗方法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了結(jié)構(gòu)共振疲勞試驗的試驗方法包括設(shè)備試驗環(huán)境樣品要求試驗條件和

MEMS,、、、

試驗步驟

。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于結(jié)構(gòu)的共振疲勞試驗

MEMS。

2規(guī)范性引用文件

下列文件對于本文件的應(yīng)用是必不可少的凡是注日期的引用文件僅注日期的版本適用于本文

。,

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于本文件

。,()。

機(jī)械振動沖擊與狀態(tài)監(jiān)測詞匯

GB/T2298、

金屬材料力學(xué)性能試驗術(shù)語

GB/T10623

微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)術(shù)語

GB/T26111(MEMS)

3術(shù)語和定義

界定的以及下列術(shù)語和定義適用于本文件

GB/T2298、GB/T10623、GB/T26111。

31

.

載荷比loadratio

周期加載中最大值和最小值的代數(shù)比

。

32

.

瞬時破壞強度instantaneousfailurestrength

靜態(tài)試驗或共振振動試驗在快速幅值增長過程中的破壞強度

。

33

.

參考強度referencestrength

靜態(tài)強度或瞬時破壞強度

。

4試驗方法

41總則

.

通過對樣品施加預(yù)期振動幅值的共振振動進(jìn)行疲勞試驗當(dāng)樣品失效或達(dá)到預(yù)定的試驗時間或次

。

數(shù)時試驗結(jié)束

,。

42試驗設(shè)備

.

421