場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡介紹

場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡介紹--JEOL

JapanElectronOpticsLaboratory日本電子光學(xué)研究所JEOL歷史分辨率:50埃1947年日本電子第一臺(tái)透射電鏡DA-1歷史捷歐路(北京)科貿(mào)有限公司北京上海廣州武漢成都JapanElectronOpticsLaboratorySEMTEMEPMAFIB日本電子株式會(huì)社-捷歐路(北京)科貿(mào)有限公司電子光學(xué)產(chǎn)品的側(cè)重點(diǎn)透射電鏡：微區(qū)內(nèi)部觀察/結(jié)構(gòu)與成分分析掃描電鏡：微區(qū)表面觀察和成份定性分析電子探針：微區(qū)表面成份準(zhǔn)確定量分析http://www.jeol.co.jp歡迎光臨網(wǎng)站ApertureAngleOptimizingLensHighperformanceObjectiveLens1994 Semi-In-LensFESEM JSM-6320F2000 Semi-In-LensFESEM JSM-6700F1987 In-LensFESEM JSM-890JEOL掃描電鏡的發(fā)展歷史

WorldFirstSEMJSM-1In-LensDetector1974FESEM JFSM-301977CompactFESEM JSM-F71988 Multi-purposeFESEM JSM-840F2001 AnalyticalFESEM JSM-6500FConicalFEGColdFEGIn-LensThermalFEGJEOLhasbeentheleaderinSEMtechnologydevelopmentforalmost50years.Semi-In-lens2005

Energy-filter JSM-7500FGBmode2011

Hybridlens JSM-7800FTTLmodeJEOL掃描電鏡序列場(chǎng)發(fā)射JSM-7800FJSM-7610FJSM-7500FJSM-7100F

鎢燈絲JSM-IT300JSM-6510JSM-6010NewFEGW或LaB6掃描電鏡的簡(jiǎn)單原理光源聚光鏡掃描線圈物鏡物鏡光闌樣品SEdetector二次電子探測(cè)器：觀察形貌

BSEdetector背散射電子探測(cè)器：觀察構(gòu)成

EDS能譜探測(cè)器：能量色散成分分析WDS能譜探測(cè)器：波長(zhǎng)色散成分分析EBSD探測(cè)器：織構(gòu)分析

冷場(chǎng)發(fā)射JSM-7500F熱場(chǎng)發(fā)射JSM-7100F低真空鎢燈絲JSM-IT300LV分辨率1.0nm(15kV)1.2nm(15kV)3.0nm(15kV)1.5nm(1kV)3.0nm(1kV)20nm(1kV)最大束流~2nA200n

A

~1uA束流穩(wěn)定度5%/12h需要Flash1%/24h;0.2%/h;1%工作溫度300K1800K真空度10-8Pa10-7Pa10-4Pa能量發(fā)散度0.3-0.5eV0.6-0.9eV1.5eV-發(fā)射體壽命保證1年保證3年~較短發(fā)射體價(jià)格~US$1,500~US$20,000~US$20分析功能擴(kuò)展性EDS/EBSP/WDS有限EDS方便EDS/EBSP/WDS方便EDS/EBSP/WDS側(cè)重點(diǎn)高分辨圖像觀察多功能分析多功能分析三種類型光源性能比較2800K光源和圖像對(duì)比FEGW

最近的一些新技術(shù)介紹物鏡設(shè)計(jì)最佳光闌角控制器氣鎖交換GB模式能量過(guò)濾器

物鏡的不同設(shè)計(jì)14加速電壓

:1.0KeV(GB)WD:4.0mm資料提供

:日本東北大學(xué)多元物質(zhì)科學(xué)研究所阿尻雅文教授富樫貴成博士Out-Lens物鏡—適合磁性樣品

最近的一些新技術(shù)介紹物鏡設(shè)計(jì)最佳光闌角控制器氣鎖交換GB模式能量過(guò)濾器大電流下的小束斑CondenserlensObjectivelensapertureApertureangle

optimizinglens

(ACL)Semi-inlens

objectivelensSpecimenJEOLHighPowerOpticsformsfineelectronprobeevenathighprobecurrentduetoApertureangleoptimizinglens.Conventionalopticssuffersfromlargeprobe

diameterwhenprobecurrentisincreased

forefficientanalysisworks.Clickthisillustrationtoshowthemovie.200nA500pA5nA50pA碳膜上蒸金x50,00015kV1mm大電流下的小束斑（分辨率）

最近的一些新技術(shù)介紹物鏡設(shè)計(jì)最佳光闌角控制器氣鎖交換GB模式能量過(guò)濾器氣鎖換樣日本電子專利的一步式樣品交換，方便快捷。樣品室保持高真空，污染小。Clickthisillustrationtoshowthemovie.氣鎖交換樣品，樣品室真空波動(dòng)小，利用電子槍的長(zhǎng)壽命。10-4PaAtmosphere樣品插入樣品室內(nèi)真空壓力氣鎖換樣

最近的一些新技術(shù)介紹物鏡設(shè)計(jì)最佳光闌角控制器氣鎖交換GB模式能量過(guò)濾器GentleBeam--GB模式TheGentleBeam(GB): 在電子束到達(dá)樣品表面前減速

TheGentleBeam(GB):

減少充電效應(yīng)TheGentleBeam(GB):

低電壓下的高分辨率

樣品表面激發(fā)的二次電子和背散射電子偏壓樣品500V

withoutGB-mode300V

GB100V

GBSpecimen:PolymercrystalGB模式—抑制充電效應(yīng)，提高分辨率介孔硅（未噴金處理）GB模式—抑制充電效應(yīng)，提高分辨率

最近的一些新技術(shù)介紹物鏡設(shè)計(jì)最佳光闌角控制器氣鎖交換GB模式能量過(guò)濾器

EnergyofelectronNumberofelectronSEBSE能量過(guò)濾可以探測(cè)樣品表面釋放的所有或者部分電子能量過(guò)濾裝置由一些靜電場(chǎng)裝置來(lái)組成Acceleratingvoltager能量過(guò)濾ElectrodeSpecimenAccelerationelectrodeDecelerationelectrodeTheobjectivelensandr-filterObjectivelensElectrodeUpperdetectorr能量過(guò)濾組成過(guò)濾模式探測(cè)電子探測(cè)信息標(biāo)準(zhǔn)Sb二次電子（SE）表面形貌SbSE+BSE（可調(diào)）表面形貌+成分標(biāo)準(zhǔn)Bs背散射電子（BSE）成分BsBSE+SE（可調(diào)）成分+表面形貌EVSE（可調(diào)）表面形貌r能量過(guò)濾r能量過(guò)濾—成像模式及信息選擇圖像模式r-filterr能量過(guò)濾操作電子混合比例GoldLabeledCells

SpecimencourtesyofDr.Hyatt,CSIRO,AustraliaSecondaryelectronimageSEModeBackscatteredelectronimage

SecondaryelectronimagewithSbModer能量過(guò)濾—成像模式及信息SEBsBE樣品:鈦酸鋇陶瓷

2kV6,000Xr能量過(guò)濾—成像模式及信息32在高加速電壓下呈“透明”狀的樣品也能觀察其表面石墨烯極低加速電壓圖像80V空間尺寸15kV1.5mm5kV0.2mm分析區(qū)域的空間尺寸，不僅是束斑尺寸，還包括電子散射的區(qū)域。低加速電壓下，散射區(qū)域明顯縮小。Specimen:AlRBEIWDSRTEDEDSLNTEDSEBSDLNT俯視圖側(cè)視圖frontEBSD優(yōu)化的樣品室接口位置設(shè)計(jì)高速元素Mapping(EDS)5kV,110nA,1minSpecimen:Meltingpot36測(cè)試時(shí)間60秒（實(shí)時(shí)）JEOLOnly彩色面分布樣品:貼片電容截面測(cè)試倍率：x10,000加速電壓：5kV探針電流：50nA用定性圖譜的測(cè)試時(shí)間可進(jìn)行元素面分布用低加速電壓可在短時(shí)間內(nèi)進(jìn)行高空間分辨率的元素面分布測(cè)試高速元素Mapping(EDS)37EBSD高精度晶體取向分析NDTD也適合于磁性材料的高精度晶體取向分析分析點(diǎn):118585尺寸:XMax:80.00μmYMax:79.89μm

步長(zhǎng):0.25μm相:Nd2Fe14B鐵釹硼日本電子場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡JSM-7500FJSM-7100FJSM-7610FJSM-7800FJSM-7800FJSM-7500FJSM-7610FJSM-7100FLineUpofJEOLFESEM熱場(chǎng)冷場(chǎng)熱場(chǎng)熱場(chǎng)FEG類型SuperhybridlensSemi-inlensSemi-inlensOut-lens物鏡極低電壓、極高分辨、極大束流

低電壓、高分辨低電壓、高分辨、極大束流高分辨、極大束流概念

0.8nm@15kv;1.2nm@1kv

>=0.01kVResolution

200nA(15KV)Max2nA200nA(15KV)200nA(15KV)束流VerygoodSlowchangeVerygoodVerygood穩(wěn)定性0.5eV0.2eV0.5eV0.5eV能量發(fā)散度氣鎖換樣高低位電子探測(cè)器標(biāo)準(zhǔn)配置

GB/r能量過(guò)濾探測(cè)器高低位電子探測(cè)器高低位電子探測(cè)器高低位電子探測(cè)器標(biāo)準(zhǔn)配置

標(biāo)準(zhǔn)配置

標(biāo)準(zhǔn)配置

標(biāo)準(zhǔn)配置

標(biāo)準(zhǔn)配置

標(biāo)準(zhǔn)配置

標(biāo)準(zhǔn)配置

1.0nm@15kv;1.4nm@1kv

>=0.1kV1.0nm@15kv;1.5nm@1kv

>=0.1kV1.2nm@15kv;3.0nm@1kv

>=0.5kV1上海交通大學(xué)材料學(xué)院2成都電子科技大學(xué)3廣州計(jì)量院4深圳比亞迪5華中科技大學(xué)6Nokia中國(guó)7南京師范大學(xué)8南京林業(yè)大學(xué)9開(kāi)發(fā)晶照明（廈門(mén)）Kaistar10威海三角輪胎JSM-7100FJSM-7600FJSM-7800F1西安交通大學(xué)能動(dòng)學(xué)院+SRBE+STEM2中科院地球化學(xué)研究所+SRBE3鋼鐵研究總院+SRBE+upper+STEM4中國(guó)科學(xué)院大連化物所+STEM5東莞SAE6吉林師范大學(xué)7重慶大學(xué)(3)8天津城建大學(xué)9西南大學(xué)10西安電子科技大學(xué)11北京大學(xué)深圳研究生院1北京工業(yè)大學(xué)+EDS+EBSD2西安交通大學(xué)+EDS3南京大學(xué)4江蘇大學(xué)+EDS+WDS+EBSD5東北大學(xué)+EDS+EBSD6攀枝花鋼鐵集團(tuán)公司+EDS+EBSD7香港大學(xué)8首都鋼鐵集團(tuán)公司+EDS+WDS+EBSD9江蘇省鋼鐵