GB/T 40344.1-2021真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法第1部分：總體要求

ICS23160

J78.

中華人民共和國國家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T403441—2021/ISO21360-12020

.:

真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法

第1部分總體要求

:

Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pump

erformance—Part1Generaldescrition

p:p

(ISO21360-1:2020,IDT)

2021-08-20發(fā)布2022-03-01實施

國家市場監(jiān)督管理總局發(fā)布

國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會

GB/T403441—2021/ISO21360-12020

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語和定義

3………………1

符號

4………………………3

測試方法

5…………………4

流量法測量體積流率抽速

5.1()………………………4

概述

5.1.1……………4

流量法的測試罩

5.1.2………………4

測試裝置

5.1.3………………………5

體積流率的測定

5.1.4………………6

測量步驟

5.1.5………………………7

測量不確定度

5.1.6…………………7

測量評估

5.1.7………………………7

小孔法測量體積流率抽速

5.2()………………………7

概述

5.2.1……………7

小孔法的測試罩

5.2.2………………8

測量裝置

5.2.3………………………8

體積流率的測定

5.2.4………………9

小孔法測量步驟

5.2.5………………9

壓力測量儀表的調(diào)整

5.2.6…………10

體積流率的測量

5.2.7………………10

測量不確定度

5.2.8…………………10

測量評估

5.2.9………………………10

抽氣法測量體積流率抽速

5.3()………………………11

概述

5.3.1……………11

抽氣法的測試罩

5.3.2………………12

速動閥

5.3.3…………………………12

測量裝置

5.3.4………………………12

體積流率的確定

5.3.5………………12

測量步驟

5.3.6………………………14

適用范圍

5.3.7………………………14

測量評估

5.3.8………………………14

測量不確定度

5.3.9…………………14

基礎(chǔ)壓力測量

5.4………………………14

運行條件

5.4.1………………………14

Ⅰ

GB/T403441—2021/ISO21360-12020

.:

基礎(chǔ)壓力-4下的測試步驟

5.4.2>10Pa…………15

基礎(chǔ)壓力-4下的測試步驟

5.4.3<10Pa…………15

測量評估

5.4.4………………………15

壓縮比和臨界前級壓力測量

5.5………………………15

測量裝置

5.5.1………………………15

壓縮比和臨界前級壓力的測定

5.5.2………………16

測量步驟

5.5.3………………………16

測量不確定度

5.5.4…………………17

測量評估

5.5.5………………………17

測量極高壓縮比時的特殊建議

5.5.6………………17

附錄資料性附錄一些重要氣體的平均自由程

A()……………………18

附錄資料性附錄測量不確定度

B()……………………19

參考文獻

……………………21

Ⅱ

GB/T403441—2021/ISO21360-12020

.:

前言

真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法計劃發(fā)布以下部分

GB/T40344《》:

第部分總體要求

———1:;

第部分容積真空泵

———2:;

第部分機械增壓泵的特定參數(shù)

———3:;

第部分渦輪分子泵

———4:;

……

本部分為的第部分

GB/T403441。

本部分按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本部分使用翻譯法等同采用真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法第部分

ISO21360-1:2020《1:

總體要求

》。

與本部分中規(guī)范性引用的國際文件有一致性對應(yīng)關(guān)系的我國文件如下

:

真空技術(shù)術(shù)語

———GB/T3163—2007(ISO3529:1981,MOD)。

本部分做了下列編輯性修改

:

第章增加了表的編號和標(biāo)題

———4。

本部分由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出

。

本部分由全國真空技術(shù)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會歸口

(SAC/TC18)。

本部分起草單位浙江真空設(shè)備集團有限公司淄博真空設(shè)備廠有限公司臺州市星光真空設(shè)備制

:、、

造有限公司湖南維格磁流體股份有限公司威海智德真空科技有限公司淄博市機電泵類產(chǎn)品質(zhì)量檢

、、、

驗研究院北京北儀創(chuàng)新真空技術(shù)有限責(zé)任公司臺州環(huán)球真空設(shè)備制造有限公司惠州飛凱新材料有

、、、

限公司山東伯仲真空設(shè)備股份有限公司沈陽真空技術(shù)研究所有限公司

、、。

本部分主要起草人鐘云會羅根松楊華飛高遜懿許濤徐法儉黃志婷周法順陳海垚

:、、、、、、、、、

言繼春王功發(fā)林樂忠張勝姜云鋒侯榮華王紅雪趙偉勝趙計春錢天景陳修明雷春棟

、、、、、、、、、、、、

王玲玲

。

Ⅲ

GB/T403441—2021/ISO21360-12020

.:

引言

本部分是測量真空泵性能數(shù)據(jù)的基礎(chǔ)標(biāo)準(zhǔn)本部分規(guī)定的方法符合現(xiàn)有的國家標(biāo)準(zhǔn)和國際標(biāo)準(zhǔn)中

。

的相關(guān)規(guī)定制定本部分的目的旨在提供一份測量真空泵性能數(shù)據(jù)的文件并簡化今后對特定真空泵

。,,

標(biāo)準(zhǔn)的制定

。

特定的真空泵標(biāo)準(zhǔn)要包含從本部分中選取適當(dāng)?shù)臏y量方法并根據(jù)特定真空泵的特性來測定性能

,

數(shù)據(jù)極限值特定運行條件當(dāng)特定標(biāo)準(zhǔn)與本部分存在差異時以特定標(biāo)準(zhǔn)為準(zhǔn)

、、。,。

Ⅳ

GB/T403441—2021/ISO21360-12020

.:

真空技術(shù)真空泵性能測量標(biāo)準(zhǔn)方法

第1部分總體要求

:

1范圍

的本部分規(guī)定了三種體積流率測量方法并分別規(guī)定了測量真空泵基礎(chǔ)壓力壓縮比

GB/T40344,、

和臨界前級壓力的方法

。

測量體積流率的第一種方法流量法是一種基礎(chǔ)方法向真空泵內(nèi)注入穩(wěn)定流量的氣體同時測量

():,

泵的入口壓力在實際測量中氣體流量的測量可能是復(fù)雜或不精確的為此規(guī)定了另兩種方法以

。,。,,

避免直接測量流量

。

測量體積流率的第二種方法小孔法適用于入口壓力非常低高真空或者超高真空流量非常小

()()、

的情況該方法是基于測量測試罩雙測試室中的壓力比該測試罩由一個帶圓孔的薄壁分隔成兩個

。。

腔室

。

測量體積流率的第三種方法抽氣法是基于大型容器抽空的方法非常適用于自動化測量通過

(),。

抽氣間隔前后的兩個壓力值和測試罩的體積來計算體積流率測量結(jié)果及最后得出的體積流率受不同

。

條件影響如漏率和放氣率抽氣間隔過程中由于接近于等熵膨脹引起的氣體冷卻低壓分子流態(tài)下引

,、、

起測試罩與真空泵之間連接管路的流阻增加

。

測量方法的選擇取決于特定種類真空泵的屬性例如只有需要配備前級泵的真空泵才需要測量