硅片生產(chǎn)培訓(xùn)課件

太陽能多晶硅片生產(chǎn)培訓(xùn)Contents太陽能光伏行業(yè)簡(jiǎn)介1多晶硅片的定位2多晶硅片生產(chǎn)工藝流程3工藝圖片流程4

太陽能光伏行業(yè)簡(jiǎn)介太陽能電池產(chǎn)業(yè)是近幾年發(fā)展最快的產(chǎn)業(yè)之一，最近5年來以超過40%的速度高速增長(zhǎng)。在各種類型的太陽能電池中，晶體硅太陽能電池由于其轉(zhuǎn)換效率高，技術(shù)成熟而繼續(xù)保持領(lǐng)先地位，占據(jù)了90%以上的份額，預(yù)計(jì)今后十年內(nèi)晶體硅仍將占主導(dǎo)地位。太陽能電池產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，帶動(dòng)硅錠/硅片的需求也大增。隨著市場(chǎng)需求的增長(zhǎng)，涌現(xiàn)了很多硅片生產(chǎn)企業(yè)，特別是多晶硅硅錠的生產(chǎn)向大規(guī)模化發(fā)展，單廠生產(chǎn)能力已達(dá)到百兆瓦級(jí)。多晶硅錠/片生產(chǎn)工藝成熟，生產(chǎn)設(shè)備主要從國外引進(jìn)（美國GTSOLAR，德國ALD，瑞士HCT、M&B等）。

單/多晶硅片簡(jiǎn)介單晶硅片用單晶硅片生產(chǎn)的電池片具有電池轉(zhuǎn)換效率高、穩(wěn)定性好等特點(diǎn)，但是單晶成本較高、能耗大。多晶硅片用多晶硅片生產(chǎn)的電池片轉(zhuǎn)換效率略低于單晶硅電池，但多晶硅片成本低，生產(chǎn)效率高。從工業(yè)化發(fā)展來看，重心已由單晶向多晶方向發(fā)展。太陽能硅片多晶硅片生產(chǎn)工藝流程定向結(jié)晶多晶硅錠開方多晶硅料去頭尾磨面倒角切片硅片清洗檢測(cè)包裝多晶硅料太陽能級(jí)多晶硅純度為：99.9999%（6N）定向結(jié)晶太陽能電池硅錠的定向結(jié)晶是一個(gè)硅的提純過程，是基于雜質(zhì)的分凝效應(yīng)進(jìn)行的。如下圖所示，一雜質(zhì)濃度為C0的成分，當(dāng)溫度下降至T*時(shí)，其固液界面處固相側(cè)的雜質(zhì)濃度為C*S。從多晶硅到爐內(nèi)結(jié)晶過程圖示多晶硅錠多晶硅經(jīng)過在鑄錠爐內(nèi)定向結(jié)晶，生長(zhǎng)成為多晶硅錠。規(guī)格為：840*840*250mm（長(zhǎng)*寬*高）

去頭尾、磨面、倒角根據(jù)工藝要求，將多晶硅方棒去頭尾、磨面、倒角去頭尾：將方棒的頭尾部分切割掉。磨面：用研磨機(jī)將方棒的四個(gè)側(cè)面拋光。倒角：用倒角機(jī)將側(cè)面拋光后的方棒的四個(gè)側(cè)楞倒成45度角。倒角示意圖處理后效果圖

切片切片：就是將長(zhǎng)*寬為156*156mm或者125*125mm的方棒切割成厚度為180μm～220μm的硅片.原理：通過一根鋼線（典型直徑160μm）來回順序纏繞2或4個(gè)導(dǎo)輪而形成線網(wǎng)，導(dǎo)輪上刻有精密線槽，槽距決定切片的厚度。晶棒兩側(cè)的砂嘴將砂漿噴在線網(wǎng)上，導(dǎo)輪轉(zhuǎn)動(dòng)線網(wǎng)將砂漿帶進(jìn)晶棒里，鋼線將研磨砂緊壓在晶體表面上并往前移動(dòng)，進(jìn)行研磨式切割，晶棒同時(shí)慢速地被往下推過線網(wǎng)，經(jīng)過幾個(gè)小時(shí)的切割，上千的晶片便切割完成。清洗清洗分為脫膠預(yù)清洗和硅片清洗。目的是將硅片潔凈，為電池片工藝做好準(zhǔn)備。脫膠預(yù)清洗：對(duì)切割后的硅片進(jìn)行脫膠剝離清洗。

清洗工藝：噴淋清洗→醋酸脫膠（四工位）→水洗（兩工位）硅片清洗：對(duì)線切后的硅片進(jìn)行清洗、烘干處理。

清洗工藝：如下圖。

檢測(cè)效果圖少子壽命檢測(cè)效果圖電阻率