YS/T 899-2013高純鉭化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測定輝光放電質(zhì)譜法

ICS7712099

H63..

中華人民共和國有色金屬行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)

YS/T899—2013

高純鉭化學(xué)分析方法

痕量雜質(zhì)元素的測定

輝光放電質(zhì)譜法

Methodsforchemicalanalysisofhighpuritytantalum—

Determinationoftraceimpurityelementcontent—

Glowdischargemassspectrometry

2013-10-17發(fā)布2014-03-01實(shí)施

中華人民共和國工業(yè)和信息化部發(fā)布

YS/T899—2013

前言

本標(biāo)準(zhǔn)按照給出的規(guī)則起草

GB/T1.1—2009。

本標(biāo)準(zhǔn)由全國有色金屬標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)歸口

(SAC/TC243)。

本標(biāo)準(zhǔn)起草單位北京有色金屬研究總院金川集團(tuán)股份有限公司東方電氣集團(tuán)峨嵋半導(dǎo)體材料

:、、

有限公司

。

本標(biāo)準(zhǔn)主要起草人李寶城劉英孫澤明童堅(jiān)李繼東臧慕文李娜程紫輝張江峰邱平秦芳林

:、、、、、、、、、、、

文英王攀峰

、。

Ⅰ

YS/T899—2013

高純鉭化學(xué)分析方法

痕量雜質(zhì)元素的測定

輝光放電質(zhì)譜法

1范圍

本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了高純鉭中痕量元素含量的測定方法測定元素見表

,1。

本標(biāo)準(zhǔn)適用于高純鉭中痕量元素含量的測定除鈮鉬鎢外各元素測定范圍為

。、、1μg/kg~

鈮鉬和鎢的測定范圍為

5000μg/kg,、1μg/kg~100000μg/kg。

2方法原理

試料作為陰極進(jìn)行輝光放電其表面原子被濺射而脫離試料進(jìn)入輝光放電等離子體中離子化后再被

,,

導(dǎo)入質(zhì)譜儀中進(jìn)行測定在每一元素同位素質(zhì)量數(shù)處以預(yù)設(shè)的掃描點(diǎn)數(shù)和積分時(shí)間對(duì)相應(yīng)譜峰積分所

。,

得面積即為譜峰強(qiáng)度在缺少標(biāo)準(zhǔn)樣品時(shí)計(jì)算機(jī)根據(jù)儀器軟件中的典型相對(duì)靈敏度因子自動(dòng)計(jì)算出

。,“”

各元素的質(zhì)量分?jǐn)?shù)有標(biāo)準(zhǔn)樣品時(shí)則需要通過在與被測樣品相同的分析條件離子源結(jié)構(gòu)以及測試條件

;,、

下對(duì)標(biāo)準(zhǔn)樣品進(jìn)行獨(dú)立測定獲得相對(duì)靈敏度因子應(yīng)用該相對(duì)靈敏度因子計(jì)算出各元素的質(zhì)量分?jǐn)?shù)

,。

被測元素的含量以質(zhì)量分?jǐn)?shù)wX計(jì)按式計(jì)算

(),(1):

IXA

wX=X·Taw

()RSF(/Ta)·IAX·(Ta)……(1)

Ta·

式中

:

wX待測元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)單位為微克每千克

()———,(μg/kg);

X在特定輝光放電條件下測定中X元素的校正系數(shù)

RSF(/Ta)———Ta;

IX待測元素X的同位素譜峰強(qiáng)度

———,cps;

I元素的同位素譜峰強(qiáng)度

Ta———Ta,cps;

AX待測元素X的同位素豐度

———;

A元素的同位素豐度

Ta———Ta;

w的質(zhì)量分?jǐn)?shù)定義為9

(Ta)———Ta1.00×10μg/kg。

3試劑與材料

除非另有說明分析中所用的試劑均為優(yōu)級(jí)純所用的水為一級(jí)水

,,。

31無水乙醇

.。

32氬氣φ

.(≥99.999%)。

33氫氟酸

.(1+9)。

34鉭標(biāo)準(zhǔn)樣品被測元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)在

.,50μg/kg~500μg/kg。

35鉭空白樣品要求被測元素質(zhì)量分?jǐn)?shù)低于被測試樣的倍以上

.,10。

4儀器

41高質(zhì)量分辨率輝光放電質(zhì)譜儀