半導(dǎo)體設(shè)備濕法清洗市場分析-單片式清洗成主流國產(chǎn)設(shè)備三大龍頭錯位競爭

半導(dǎo)體設(shè)備濕法清洗市場分析-單片式清洗成主流，國產(chǎn)設(shè)備三大龍頭錯位競爭

按照清洗原理來分，清洗設(shè)備可分為干法清洗設(shè)備和濕法清洗設(shè)備。濕法工藝是指使用腐蝕性或氧化性較強的溶劑進(jìn)行噴霧或擦洗，使硅表明的雜質(zhì)與溶劑發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，生成可溶性物質(zhì)或氣體，從而將晶圓表明的顆?；蚱渌饘匐x子清洗掉。干法工藝指不使用化學(xué)試劑的清洗技術(shù)，包含等離子清洗、氣相清洗等。在實際生產(chǎn)過程中一般將兩種方法結(jié)合使用，目前90%以上的清洗步驟以濕法設(shè)備為主，少部分特定站點使用干法清洗來提高清洗效率。至純科技主要生產(chǎn)濕法清洗設(shè)備。濕法清洗工藝占比達(dá)90%來源：盛美半導(dǎo)體按照同時清洗晶圓的數(shù)量來分，清洗設(shè)備可分為槽式清洗和單片式清洗。槽式清洗是將多片晶圓（一般為100-200片）放入清洗槽中，集中清洗，此類清洗機效率高，成本低缺點是濃度較難控制，可能產(chǎn)生交叉污染等。單片式清洗是將每一片晶圓送至各個腔體進(jìn)行單獨噴淋式清洗，這樣容易控制清洗質(zhì)量，也可提高單片晶圓不同位置的清洗均勻度，但清洗效率較低。槽式清洗設(shè)備原理來源：中電網(wǎng)單片式清洗設(shè)備原理來源：中電網(wǎng)清洗工藝升級推動單片式清洗機對槽式清洗機的取代。在45nm工藝周期到來時，批量清洗由于交叉污染、清洗均勻可控性和后續(xù)工藝相容性差等問題已無法適應(yīng)新的清洗要求，單片式清洗開始取代批量清洗。單片式清洗首先能夠在整個制造周期提供更好的工藝控制，即改善了單個晶圓和不同晶圓間的均勻性，這提高了良率；其次更大尺寸的晶圓和更緊縮的制程設(shè)計對于雜質(zhì)更敏感，批量清洗中若出現(xiàn)交叉污染的影響會更大，進(jìn)而危及整批晶圓的良率，這會帶來高成本的芯片返工支出；另外圓片邊緣清洗效果更好，多品種小批量生產(chǎn)的適配性等優(yōu)點也是單片式清洗的優(yōu)勢之一。截至2016年，單片式清洗市場份額約占八成，槽式清洗設(shè)備約占兩成。目前公司槽式設(shè)備已有批量重復(fù)訂單，單片式于2019年中已進(jìn)行客戶驗證，預(yù)計2020年單片式清洗設(shè)備將開始貢獻(xiàn)規(guī)模收入。槽式清洗與單片式清洗工藝對比資料來源：公開資料目前中國市場主要濕法設(shè)備廠商以日本和歐美為主，本土設(shè)備商主要有至純科技、北方華創(chuàng)和盛美半導(dǎo)體，但三家合計市場份額不到10%。目前來看，盛美半導(dǎo)體目前主要產(chǎn)品是單片式清洗設(shè)備，至純科技的單片式清洗設(shè)備正在客戶驗證階段，北方華創(chuàng)和至純科技目前仍主要以槽式清洗為主，三者核心產(chǎn)品存在差異，正面競爭較少。近年國產(chǎn)設(shè)備中標(biāo)占比明顯上升，國產(chǎn)清洗設(shè)備龍頭迎歷史機遇。統(tǒng)計了2019年以來國內(nèi)主要晶圓代工廠的清洗設(shè)備招標(biāo)情況：華力二期累計釋放26臺清洗設(shè)備，國產(chǎn)化率19%，其中盛美半導(dǎo)體和沈陽芯源分別中標(biāo)3臺、2臺清洗設(shè)備；長江存儲累計釋放20臺清洗設(shè)備，國產(chǎn)化率35%，盛美半導(dǎo)體和蘇州芯矽分別中標(biāo)5臺、2臺清洗設(shè)備。2019年至純科技獲得中芯、德州儀器、燕東、華潤的濕法設(shè)備重復(fù)訂單，新增華虹集團(tuán)ICRD、臺灣力晶、中車、華為等用戶，客戶拓展?fàn)顩r良好。截至2019年末，至純科技已取得近40臺正式訂單，其中包括12寸單片設(shè)備訂單。目前公司設(shè)備已經(jīng)具備國產(chǎn)替代能力，未來有望借助國產(chǎn)化趨勢持續(xù)擴大訂單量。中國國內(nèi)的半導(dǎo)體清洗設(shè)備的主要廠家有三家，體量都不大，分別是盛美半導(dǎo)體，北方華創(chuàng)和至純科技。盛美股份2019年收入為7.57億元，凈利潤為1.35億元。產(chǎn)品主要是單片式清洗設(shè)備，占比總收入的72.81%，槽式清洗機設(shè)備占比總收入的6%。北方華創(chuàng)主要清洗設(shè)備產(chǎn)品為單片及槽式清洗設(shè)備，可適用于技術(shù)節(jié)點為65nm、28nm工藝的芯片制造。其中，北方華創(chuàng)自有低端的單片清洗設(shè)備，并通過收購美國Akrion實現(xiàn)了槽式清洗設(shè)備的國產(chǎn)化。北方華創(chuàng)2019年收入40.58億元，凈利潤3.09億元。清洗機業(yè)務(wù)大約占比北方華創(chuàng)總收入的5%左右。盛美半導(dǎo)體在國內(nèi)半導(dǎo)體清洗行業(yè)單片式領(lǐng)域市占率為第一。產(chǎn)品線最為豐富，具有顯著技術(shù)優(yōu)勢。其SAPS、TEBO技術(shù)使兆聲波能量均勻分布在晶圓上，避免其對晶圓電路的損害，同時又提高了清洗效果。北方華創(chuàng)和至純科技主要以槽式清洗為主，至純科技的單片式清洗設(shè)備正在客戶驗證階段，目前三者核心產(chǎn)品存在差異，正面競爭較少。至純科技是單片式清洗機的后進(jìn)