半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)月報(bào)：預(yù)期差仍然存在板塊具備配置價(jià)值

請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分證券分析師周爾雙199784ouershdwzqcomcn證券分析師黃瑞連huangrl@增持(維持)投資要點(diǎn)行業(yè)走勢(shì)行業(yè)走勢(shì)景氣度不必悲觀。1)2022年5。市場(chǎng)普遍擔(dān)心半導(dǎo)體行業(yè)景氣度拐設(shè)備行業(yè)景氣度有望延續(xù)。相關(guān)研究相關(guān)研究好各環(huán)節(jié)龍頭設(shè)備商》6-206-07《華潤(rùn)電力12GW異質(zhì)結(jié)項(xiàng)目?jī)?nèi)落地利好龍頭設(shè)備商》05-27備、CMP備、爐管設(shè)備、去膠機(jī)、剝離設(shè)備、刷片機(jī)等環(huán)節(jié)國(guó)產(chǎn)化率較高，?行業(yè)進(jìn)入業(yè)績(jī)兌現(xiàn)期，國(guó)產(chǎn)替代長(zhǎng)期存在&空間廣闊短期來(lái)看，本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)已經(jīng)進(jìn)入業(yè)績(jī)兌現(xiàn)期。2021-2022Q1十家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)合計(jì)實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入237和60億元，同比+56%和+57%，延續(xù)高速增長(zhǎng)。截至2022Q1末，十家企業(yè)存貨和合同負(fù)債合計(jì)分別達(dá)到208和95億元，均達(dá)到歷史最高值，保障2022年業(yè)績(jī)延續(xù)高速增長(zhǎng)。導(dǎo)不動(dòng)2/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分維持較高水平 4 1.2.晶圓廠資本開支仍處于高位，半導(dǎo)體設(shè)備需求維持在較高水平 7：下游招標(biāo)快速推進(jìn)，1-5月國(guó)產(chǎn)化率約30% 9 22.3.部分本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中標(biāo)明細(xì)匯總 153.行業(yè)進(jìn)入業(yè)績(jī)兌現(xiàn)期，國(guó)產(chǎn)替代長(zhǎng)期存在&空間廣闊 17 望持續(xù)擴(kuò)張 183.2.1.晶圓產(chǎn)能東移背景下，本土半導(dǎo)體設(shè)備需求有望長(zhǎng)期維持高位 183.2.2.國(guó)產(chǎn)替代為另一成長(zhǎng)邏輯，設(shè)備企業(yè)具備更大業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)彈性 19 03/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分 Q 7 4/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分1.晶圓制造環(huán)節(jié)景氣度較高，半導(dǎo)體設(shè)備需求有望維持較高水平1.1.新能源等需求旺盛&疫情緩解，本土半導(dǎo)體行業(yè)景氣度不必悲觀，我們判斷主要系上海等地疫情短期拖累所致。圖1：2022年4月全球半導(dǎo)體銷售額同比+21.09%圖2：2022圖1：2022年4月全球半導(dǎo)體銷售額同比+21.09%亞太/其他地區(qū)中國(guó)大陸日本歐洲美洲亞太/其他地區(qū)亞太/其他地區(qū)中國(guó)大陸日本歐洲美洲00%數(shù)據(jù)來(lái)源：SIA，5/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分圖3：2022Q1臺(tái)積電智能手機(jī)行業(yè)收入占比約40%其他DCE汽車電子IoTHPC智能手機(jī)%%%%%%%%%35%35%39%37%37%41%49%47%46%51%45%42%44%44%40%30%33%37%%20Q120Q220Q320Q421Q121Q221Q321Q422Q1數(shù)據(jù)來(lái)源：臺(tái)積電公告，東吳證券研究所圖4：2020Q4以來(lái)汽車電子行業(yè)收入環(huán)比持續(xù)增長(zhǎng)QQ%數(shù)據(jù)來(lái)源：臺(tái)積電公告，東吳證券研究所(注：縱軸為“QoQ”收入環(huán)比增速)對(duì)于中國(guó)大陸晶圓廠而言，智能手機(jī)(電子消費(fèi)品)行業(yè)仍為主要收入來(lái)源。1)圖5：2022Q1中芯國(guó)際智能手機(jī)行業(yè)收入占比約28.7% %%%%%%%0%0%448.3%46.7%46.1%36.7%35.2%31.6%31.5%31.2%28.7%20Q120Q220Q320Q421Q121Q221Q321Q422Q1數(shù)據(jù)來(lái)源：中芯國(guó)際公告，東吳證券研究所圖6：2022Q1華虹半導(dǎo)體電子消費(fèi)品行業(yè)收入占比66.3%%%%%%%%0%%2.0%63.7%62.2%66.1%66.3%20Q120Q220Q320Q421Q121Q221Q321Q422Q1數(shù)據(jù)來(lái)源：華虹半導(dǎo)體公告，東吳證券研究所短期來(lái)看，對(duì)于電子消費(fèi)品等半導(dǎo)體行業(yè)主要需求終端，本土市場(chǎng)增長(zhǎng)略有承壓。6/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分圖7：2022年5月我國(guó)智能手機(jī)產(chǎn)量同比-5%產(chǎn)量:智能手機(jī):當(dāng)月值(百萬(wàn)臺(tái))同比(%)0000數(shù)據(jù)來(lái)源：Wind，東吳證券研究所圖9：2022年4月我國(guó)筆記本電腦銷量同比-28%銷售量:筆記本電腦(萬(wàn)件)同比(%00數(shù)據(jù)來(lái)源：Wind，東吳證券研究所圖8：2022年4月我國(guó)平板電腦銷量同比+10%銷售量:平板電腦/MID(萬(wàn)件)同比(%)0100%80%60%40%20%0%-20%-40%-60%數(shù)據(jù)來(lái)源：Wind，東吳證券研究所圖10：2022年5月我國(guó)智能手表產(chǎn)量同比+14%產(chǎn)量:智能手表:當(dāng)月值(萬(wàn)個(gè))同比(%)0030%20%10%0%-20%-30%數(shù)據(jù)來(lái)源：Wind，東吳證券研究所7/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分圖11：2022年5月我國(guó)新能源汽車銷量同比+106%銷量:新能源汽車:當(dāng)月值(萬(wàn)輛)000%0%0%0%0%0%00 - 數(shù)據(jù)來(lái)源：Wind，東吳證券研究所圖12：2022年5月我國(guó)新能源汽車產(chǎn)量同比+115%產(chǎn)量:新能源汽車:當(dāng)月值(萬(wàn)輛)同比(%)001400%1200%1000%800%600%400%200%0%-200%數(shù)據(jù)來(lái)源：Wind，東吳證券研究所2)隨著上海疫情封控解除(2020年上海集成電路產(chǎn)業(yè)收入規(guī)模約占全國(guó)1/4)，物圖13：長(zhǎng)三角公路物流運(yùn)價(jià)指數(shù)已經(jīng)回落至正常區(qū)間0000數(shù)據(jù)來(lái)源：Wind，東吳證券研究所高于全球增速(+5%)；②從全球占比來(lái)看，2012年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額全球占8/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分%100.4%100.3%100.4%99.4%98.8%98.5%98.6%97.8%5.5%%100.4%100.3%100.4%99.4%98.8%98.5%98.6%97.8%5.5%8.7%圖14：2022Q1全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額同比+5%全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額(億美元)yoy0000數(shù)據(jù)來(lái)源：SEMI，東吳證券研究所圖15：2022Q1中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額同比+27%中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額(億美元)yoy00數(shù)據(jù)來(lái)源：SEMI，東吳證券研究所率依舊較高，封測(cè)廠稼動(dòng)率存在分化趨勢(shì)，先進(jìn)封裝、汽車電子等領(lǐng)域依舊供不應(yīng)求，2022年下游客戶資本開支仍有保障，半導(dǎo)體設(shè)備的需求有望維持在較高水平。2022Q1中芯國(guó)際產(chǎn)能利用率達(dá)到100.4%產(chǎn)能利用率(%)200nm300nm總體產(chǎn)能利用率(%)%數(shù)據(jù)來(lái)源：中芯國(guó)際公告，東吳證券研究所數(shù)據(jù)來(lái)源：華虹半導(dǎo)體公告，東吳證券研究所。9/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分高資本開支，對(duì)半導(dǎo)依舊較高，行業(yè)景氣度有望延續(xù)。圖18：2022Q1臺(tái)積電資本性支出同比+6%資本性支出(億美元)同比00200%150%100%50%0%-50%數(shù)據(jù)來(lái)源：臺(tái)積電公告，東吳證券研究所圖19：2022Q1中芯國(guó)際資本性支出同比+63%資本性支出(億美元)同比501200%1000%800%600%400%200%0%-200%數(shù)據(jù)來(lái)源：中芯國(guó)際公告，東吳證券研究所招10/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分圖20：2022年1-5月份5家晶圓廠合計(jì)完成招標(biāo)520臺(tái)設(shè)備2月3月4月月1-5月合計(jì)光刻設(shè)備611143%涂膠顯影設(shè)備20134%薄膜沉積設(shè)備1717%刻蝕設(shè)備00914%CMP904154%清洗設(shè)備22424%離子注入設(shè)備709524%檢測(cè)/量測(cè)設(shè)備0113%測(cè)試設(shè)備01727%爐管設(shè)備50418%去膠機(jī)012722%剝離設(shè)備00002%刷片機(jī)0009092%其他設(shè)備2137%合計(jì)8100%數(shù)據(jù)來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，東吳證券研究所(注：公開信息匯總更新不及時(shí)可能存在誤差；單位：臺(tái))標(biāo)圖21：2021年1-5月份華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)共完成招標(biāo)325臺(tái)設(shè)備月光刻設(shè)備6172%涂膠顯影設(shè)備993%薄膜沉積設(shè)備218%刻蝕設(shè)備415%CMP944%清洗設(shè)備4%離子注入設(shè)備795%檢測(cè)/量測(cè)設(shè)備414%測(cè)試設(shè)備8%爐管設(shè)備513%去膠機(jī)2793%剝離設(shè)備3%刷片機(jī)441%其他設(shè)備267%0100%數(shù)據(jù)來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，東吳證券研究所(注：公開信息匯總更新不及時(shí)可能存在誤差；單位：臺(tái))請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分圖22：2022年1-5月份積塔半導(dǎo)體共完成招標(biāo)170臺(tái)設(shè)備月月光刻設(shè)備11464%涂膠顯影設(shè)備13374%薄膜沉積設(shè)備1718%刻蝕設(shè)備1512%CMP1564%清洗設(shè)備114285%離子注入設(shè)備442%檢測(cè)/量測(cè)設(shè)備1848%測(cè)試設(shè)備1726%爐管設(shè)備227%去膠機(jī)1232%剝離設(shè)備00%刷片機(jī)553%其他設(shè)備1387%16100%數(shù)據(jù)來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，東吳證券研究所(注：公開信息匯總更新不及時(shí)可能存在誤差；單位：臺(tái))圖23：2022年1-5月份福建晉華共完成招標(biāo)20臺(tái)設(shè)備2月月光刻設(shè)備00%涂膠顯影設(shè)備21315%薄膜沉積設(shè)備111315%刻蝕設(shè)備115%CMP00%清洗設(shè)備00%離子注入設(shè)備11210%檢測(cè)/量測(cè)設(shè)備152840%測(cè)試設(shè)備00%爐管設(shè)備2210%去膠機(jī)00%剝離設(shè)備00%刷片機(jī)00%其他設(shè)備115%21386100%數(shù)據(jù)來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，東吳證券研究所(注：公開信息匯總更新不及時(shí)可能存在誤差；單位：臺(tái))12/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分(注：在詳細(xì)統(tǒng)計(jì)中，我們將二手、翻新&外貿(mào)業(yè)務(wù)廠商的中標(biāo)結(jié)果也記入“國(guó)產(chǎn)圖24：2022年1-5月份5家晶圓廠完成招標(biāo)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率為31%2月4月光刻設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量000011國(guó)產(chǎn)化率0%0%0%0%25%8%涂膠顯影設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量20237國(guó)產(chǎn)化率100%0%15%100%37%薄膜沉積設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量0161國(guó)產(chǎn)化率0%100%18%14%76%30%刻蝕設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量43國(guó)產(chǎn)化率13%76%33%44%CMP國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量04059國(guó)產(chǎn)化率0%100%0%100%47%清洗設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量223015國(guó)產(chǎn)化率100%100%23%0%50%22%離子注入設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量01113國(guó)產(chǎn)化率0%11%20%50%13%檢測(cè)/量測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量02147國(guó)產(chǎn)化率0%10%3%40%10%測(cè)試設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量00000國(guó)產(chǎn)化率0%0%0%0%0%爐管設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量082國(guó)產(chǎn)化率0%32%39%50%35%去膠機(jī)國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量1072國(guó)產(chǎn)化率100%0%100%100%83%剝離設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量66國(guó)產(chǎn)化率60%60%刷片機(jī)國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量55國(guó)產(chǎn)化率56%56%其他設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量0122國(guó)產(chǎn)化率0%100%13%67%79%46%國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量45國(guó)產(chǎn)化率7%63%21%37%49%31%數(shù)據(jù)來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，東吳證券研究所(注：公開信息匯總更新不及時(shí)可能存在誤差；單位：臺(tái))13/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分圖25：2022年1-5月份華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)完成招標(biāo)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率為18%月2月3月4月月1-5月合計(jì)光刻設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量000國(guó)產(chǎn)化率0%0%0%涂膠顯影設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量00國(guó)產(chǎn)化率0%0%薄膜沉積設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量0606國(guó)產(chǎn)化率0%19%0%11%刻蝕設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量40國(guó)產(chǎn)化率14%71%0%32%CMP國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量044國(guó)產(chǎn)化率0%100%31%清洗設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量22國(guó)產(chǎn)化率17%17%離子注入設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量011國(guó)產(chǎn)化率0%11%6%檢測(cè)/量測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量2002國(guó)產(chǎn)化率10%0%0%4%測(cè)試設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量00國(guó)產(chǎn)化率0%0%爐管設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量0819國(guó)產(chǎn)化率0%80%4%21%去膠機(jī)國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量077國(guó)產(chǎn)化率0%100%78%剝離設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量66國(guó)產(chǎn)化率60%60%刷片機(jī)國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量00國(guó)產(chǎn)化率0%0%其他設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量0246國(guó)產(chǎn)化率0%14%67%27%合計(jì)國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量04國(guó)產(chǎn)化率0%24%23%10%18%數(shù)據(jù)來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，東吳證券研究所(注：公開信息匯總更新不及時(shí)可能存在誤差；單位：臺(tái))14/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分圖26：2022年1-5月份積塔半導(dǎo)體完成招標(biāo)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率為55%2月月4月1-5月合計(jì)光刻設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量0011國(guó)產(chǎn)化率0%0%25%17%涂膠顯影設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量0134國(guó)產(chǎn)化率0%33%100%57%薄膜沉積設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量01 國(guó)產(chǎn)化率0%14%86%67%刻蝕設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量03國(guó)產(chǎn)化率0%86%60%75%CMP國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量055國(guó)產(chǎn)化率0%100%83%清洗設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量11013國(guó)產(chǎn)化率100%100%0%50%38%離子注入設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量00國(guó)產(chǎn)化率0%0%檢測(cè)/量測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量0044國(guó)產(chǎn)化率0%0%100%31%測(cè)試設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量0000國(guó)產(chǎn)化率0%0%0%0%爐管設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量02國(guó)產(chǎn)化率0%72%100%50%去膠機(jī)國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量123國(guó)產(chǎn)化率100%100%100%剝離設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量國(guó)產(chǎn)化率刷片機(jī)國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量55國(guó)產(chǎn)化率100%100%其他設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量127國(guó)產(chǎn)化率100%67%88%83%國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量031國(guó)產(chǎn)化率0%50%4%52%82%55%數(shù)據(jù)來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，東吳證券研究所(注：公開信息匯總更新不及時(shí)可能存在誤差；單位：臺(tái))15/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分圖27：2022年1-5月份福建晉華完成招標(biāo)設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率為40%2月月光刻設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量國(guó)產(chǎn)化率涂膠顯影設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量213國(guó)產(chǎn)化率100%100%100%薄膜沉積設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量1001國(guó)產(chǎn)化率100%0%0%33%刻蝕設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量11國(guó)產(chǎn)化率100%100%CMP國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量國(guó)產(chǎn)化率清洗設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量國(guó)產(chǎn)化率離子注入設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量112國(guó)產(chǎn)化率100%100%100%檢測(cè)/量測(cè)設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量0101國(guó)產(chǎn)化率0%20%0%13%測(cè)試設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量國(guó)產(chǎn)化率爐管設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量00國(guó)產(chǎn)化率0%0%去膠機(jī)國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量國(guó)產(chǎn)化率剝離設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量國(guó)產(chǎn)化率刷片機(jī)國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量國(guó)產(chǎn)化率其他設(shè)備國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量00國(guó)產(chǎn)化率0%0%國(guó)產(chǎn)中標(biāo)數(shù)量210418國(guó)產(chǎn)化率100%100%0%50%17%40%數(shù)據(jù)來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，東吳證券研究所(注：公開信息匯總更新不及時(shí)可能存在誤差；單位：臺(tái))2.3.部分本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中標(biāo)明細(xì)匯總4-5月份中標(biāo)積塔半導(dǎo)體42臺(tái)，以薄膜沉積設(shè)備、爐管設(shè)備、刻蝕設(shè)備為主。2)中微16/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分圖28：2022年1-5月份本土部分半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)中標(biāo)情況匯總客戶名稱中標(biāo)公告時(shí)間項(xiàng)目編號(hào)制造公司設(shè)備種類詳細(xì)設(shè)備數(shù)量北方華創(chuàng)華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)2北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司薄膜沉積設(shè)備物理氣相薄膜沉積設(shè)備(鈦、氮化鈦、氮化鉭和鋁銅)14北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司薄膜沉積設(shè)備金屬氮化鈦濺射掩膜層設(shè)備21北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備合金退火爐(前道)21北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備合金退火爐(后道)43北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司刻蝕設(shè)備多晶柵等離子體刻蝕機(jī)23北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司刻蝕設(shè)備有源區(qū)等離子體刻蝕機(jī)2積塔半導(dǎo)體SHJT4北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司刻蝕設(shè)備金屬等離子刻蝕機(jī)7SHJT4北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司刻蝕設(shè)備多晶硅刻蝕機(jī)5SHJT5北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備高溫推進(jìn)氧化膜立式爐管1SHJT5北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備場(chǎng)氧化立式爐管SHJT5北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備退火工藝立式爐管3SHJT5北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備合金工藝常壓立式爐管4SHJT5北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備2SHJT6北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司薄膜沉積設(shè)備鋁銅金屬濺射設(shè)備2SHJT6北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司薄膜沉積設(shè)備厚鋁銅金屬濺射設(shè)備2SHJT1北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備合金化工藝低壓立式爐管1SHJT1北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司爐管設(shè)備緩沖層氧化膜爐管1SHJT1北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司刻蝕設(shè)備鋁刻蝕機(jī)1SHJT1北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司清洗設(shè)備晶圓回收單片清洗機(jī)(銅)1SHJT1北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司薄膜沉積設(shè)備鋁金屬物理氣相沉積機(jī)1合計(jì)中微公司華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)4中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司刻蝕設(shè)備鈍化膜等離子體刻蝕機(jī)14中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司刻蝕設(shè)備鈍化膜等離子體刻蝕機(jī)24中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司刻蝕設(shè)備氧化膜等離子體刻蝕機(jī)24中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司刻蝕設(shè)備氧化膜等離子體刻蝕機(jī)34中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司刻蝕設(shè)備氧化膜等離子體刻蝕機(jī)24中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司刻蝕設(shè)備氮化硅等離子體刻蝕機(jī)2積塔半導(dǎo)體SHJT2南昌中微半導(dǎo)體設(shè)備有限公司刻蝕設(shè)備通孔/深隔離槽/鈍化層介質(zhì)層刻蝕機(jī)1合計(jì)芯源微積塔半導(dǎo)體SHJT0沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司刷片機(jī)刷片機(jī)5SHJT0沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司涂膠顯影設(shè)備抗反射層涂膠機(jī)1SHJT9沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司涂膠顯影設(shè)備聚合物涂膠顯影機(jī)1福建晉華0JHICC001/15沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司涂膠顯影設(shè)備黃光涂膠顯影機(jī)20JHICC001/32沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司涂膠顯影設(shè)備12吋黃光涂膠顯影機(jī)1華力集成沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司清洗設(shè)備HK段刷片清洗設(shè)備1沈陽(yáng)芯源微電子設(shè)備股份有限公司清洗設(shè)備前段刷片清洗設(shè)備1合計(jì)拓荊科技華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)2拓荊科技股份有限公司薄膜沉積設(shè)備化學(xué)氣相薄膜沉積設(shè)備(后段以硅烷作反應(yīng)物的二氧化硅)22拓荊科技股份有限公司薄膜沉積設(shè)備等離子體增強(qiáng)方式化學(xué)氣相薄膜沉積設(shè)備(后段以硅烷作反應(yīng)物的氮化硅)1積塔半導(dǎo)體SHJT6拓荊科技股份有限公司薄膜沉積設(shè)備二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備3SHJT6拓荊科技股份有限公司薄膜沉積設(shè)備二氧化硅氮化硅氟化硅氮氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備8合計(jì)華海清科華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)2華海清科股份有限公司CMP化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備(銅)24華海清科股份有限公司CMP化學(xué)機(jī)械拋光設(shè)備(鎢)1積塔半導(dǎo)體SHJT7華海清科股份有限公司CMP二氧化硅研磨機(jī)1SHJT7華海清科股份有限公司CMP鎢金屬機(jī)化學(xué)機(jī)械研磨4合計(jì)8盛美上海華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)4盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司清洗設(shè)備鋁線及通孔清洗設(shè)備(后段工藝)15盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司剝離設(shè)備銅線聚合體剝離設(shè)備(后段工藝)32盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司清洗設(shè)備擴(kuò)散爐前清洗設(shè)備(柵氧前標(biāo)準(zhǔn)版)14盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司剝離設(shè)備刻膠剝離設(shè)備(標(biāo)準(zhǔn)版)28盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司剝離設(shè)備前段光刻膠剝離單片設(shè)備19盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司其他設(shè)備銅硅片再生設(shè)備(銅后段工藝)19盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司其他設(shè)備多晶硅硅片再生設(shè)備1福建晉華0JHICC001/16盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司薄膜沉積設(shè)備電鍍銅金屬沉積工藝機(jī)臺(tái)10JHICC001/29盛美半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司刻蝕設(shè)備12吋晶圓廠金屬晶邊濕法蝕刻工藝機(jī)臺(tái)1合計(jì)北京屹唐華虹半導(dǎo)體(無(wú)錫)6北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司去膠機(jī)等離子去膠機(jī)73北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司爐管設(shè)備退火設(shè)備(高溫)1積塔半導(dǎo)體SHJT7北京屹唐半導(dǎo)體科技股份有限公司其他設(shè)備灰化機(jī)2合計(jì)數(shù)據(jù)來(lái)源：中國(guó)國(guó)際招標(biāo)網(wǎng)，東吳證券研究所(注：公開信息匯總更新不及時(shí)可能存在誤差；單位：臺(tái))17/21請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)請(qǐng)務(wù)必閱讀正文之后的免責(zé)聲明部分3.行業(yè)進(jìn)入業(yè)績(jī)兌現(xiàn)期，國(guó)產(chǎn)替代長(zhǎng)期存在&空間廣闊撐2021年和2022Q1十家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)(名單詳見(jiàn)圖10)營(yíng)業(yè)收入分別為237和60億圖29：2021/2022Q1十家半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)合計(jì)營(yíng)業(yè)收入同比+56%/+57%50018901Q1數(shù)據(jù)來(lái)源：Wind，東吳證