LED檢測方案推薦

LED檢測方案推薦第1頁/共34頁23D測量激光顯微鏡的測量能力接觸式表面粗さ測定機測定顕微鏡白色干渉計原子間力顕微鏡10nm100nm1um10um100um1mm10mm100mm1nm10nm100nm1um10um100um1mm10mm100mmＺ高度ＸＹ平面激光顯微鏡

最大視野2.5mm、最大高度測量范圍10mm

0.1μm～300μm之間高度的測量是測量的極致范圍

牛牛文庫文檔分享第2頁/共34頁33D測量激光顯微鏡的觀察能力

牛牛文庫文檔分享第3頁/共34頁4推薦理由方案一優(yōu)勢：1、方案一總體資金投入小于方案二2、激光共聚焦測量顯微鏡（OLS4000）高精度高自動化可解決高倍微分干涉顯微鏡分辨率不夠，原子力顯微鏡高分辨率時不能高分辨率觀察，臺階儀不能精確定位和測量顯微鏡測量光刻時精度不夠的問題。從根本上解決以往一個檢查項目需在多臺設(shè)備上反復(fù)檢查的問題，從而提高工作效率。并且由于只用一臺設(shè)備，后期維護方便、維護成本低廉。3、紅外高倍觀察顯微鏡（BX51IR）無輻射，可完成鑒定需要的同時保證安全性。4、配套激光共聚焦測量顯微鏡后，實驗室配套的電鏡就只需能打成分就行，電鏡購置成本可下降5-8萬美元。缺點：1、紅外高倍觀察顯微鏡（BX51IR）分辨率低于X射線顯微鏡（X-RAY）。

牛牛文庫文檔分享第4頁/共34頁5推薦理由方案二優(yōu)點1、傳統(tǒng)實驗室配套方案，行業(yè)認知度高。2、X-RAY做透視時，清晰度高于紅外顯微鏡。缺點1、總體投入過大。2、設(shè)備種類繁多，要求多名負責(zé)人員配合。3、部分設(shè)備檢測內(nèi)容有穿插，需要一個對所有設(shè)備都了解的總負責(zé)人。4、后期維護及耗材投入很高。

牛牛文庫文檔分享第5頁/共34頁6檢測項目詳細說明--LED行業(yè)

牛牛文庫文檔分享第6頁/共34頁7檢查項目1、晶體結(jié)構(gòu)分布狀態(tài)（實驗室檢查項目）2、拋光片表面拋光程度基材原料環(huán)節(jié)

牛牛文庫文檔分享第7頁/共34頁8拋光片表面拋光程度目前隨著工藝的完善，國內(nèi)外拋光片用高倍顯微鏡已無法區(qū)分出來，只能使用分辨率更高的激光共聚焦或原子力顯微鏡檢查。但原子力顯微鏡無法完成快速高分辨率檢查。

牛牛文庫文檔分享第8頁/共34頁9拋光片表面拋光程度檢查激光共聚焦測量顯微鏡力顯微鏡市場價格約18萬美元鑒定型檢查高倍微分干涉顯微鏡市場價格約1.6萬美元原子力顯微鏡市場價格約18萬美元或原子力查找拋光片上的劃移線時非常的慢很困難。

牛牛文庫文檔分享第9頁/共34頁10晶體結(jié)構(gòu)及分布狀態(tài)檢查高倍顯微鏡只能看出晶體分布狀態(tài)，無法區(qū)分腐蝕的類型。激光共聚焦可通過三維圖分析。

牛牛文庫文檔分享第10頁/共34頁11晶體結(jié)構(gòu)分布狀態(tài)檢查高倍微分干涉顯微鏡市場價格約1.6萬美元激光共聚焦測量顯微鏡市場價格約18萬美元或鑒定型檢查原子力顯微鏡市場價格約18萬美元（不含成分分析）腐蝕坑屬于微小孔。使用電鏡，樣品表面噴金有可能破壞孔洞結(jié)構(gòu)，導(dǎo)致誤判。

牛牛文庫文檔分享第11頁/共34頁12檢查項目1、光刻質(zhì)量檢查2、圖形檢測3、整體外觀檢查晶圓處理環(huán)節(jié)

牛牛文庫文檔分享第12頁/共34頁13光刻質(zhì)量檢查高倍顯微鏡只能平面檢查（如下圖），某些細節(jié)觀察需通過三維的激光或電鏡圖像去分析。（如有圖

牛牛文庫文檔分享第13頁/共34頁14光刻質(zhì)量檢查高倍微分干涉顯微鏡市場價格約1.6萬美元激光共聚焦測量顯微鏡力顯微鏡市場價格約18萬美元或特殊部位觀察電子顯微鏡市場價格約18萬美元（不含成分分析）

牛牛文庫文檔分享第14頁/共34頁15圖形檢測目前高品質(zhì)LED使用激光共聚焦檢查，避免臺階儀無法精確定位問題和測量顯微鏡不能高精度測高問題。

牛牛文庫文檔分享第15頁/共34頁16圖形檢測測量顯微鏡市場價格約4萬美元激光共聚焦測量顯微鏡市場價格約18萬美元或臺階儀市場價格約2萬美元鑒定型檢查

牛牛文庫文檔分享第16頁/共34頁17整體外觀檢查

牛牛文庫文檔分享第17頁/共34頁18整體外觀檢查立體顯微鏡市場價格約0.6萬美元

牛牛文庫文檔分享第18頁/共34頁19檢查項目1、針痕檢查晶圓針測環(huán)節(jié)

牛牛文庫文檔分享第19頁/共34頁20針痕檢查目前主流實用高倍顯微鏡通過平面圖像間接判斷真痕深度，激光測量顯微鏡除了能實現(xiàn)高倍顯微鏡工作外，還能滿足高端產(chǎn)品直接測量真痕深度的要求。

牛牛文庫文檔分享第20頁/共34頁21針痕檢查激光共聚焦測量顯微鏡力顯微鏡市場價格約18萬美元針痕深度直接測量高倍微分干涉顯微鏡市場價格約1.6萬美元通過針痕的平面尺寸間接判斷針痕深度

牛牛文庫文檔分享第21頁/共34頁22檢查項目1、框架及晶圓切割檢查2、貼片狀態(tài)檢查3、鍵合高度、引腳尺寸測量4、封裝檢查構(gòu)裝工序環(huán)節(jié)

牛牛文庫文檔分享第22頁/共34頁23框架及晶圓外觀檢查

牛牛文庫文檔分享第23頁/共34頁24框架及晶圓外觀檢查立體顯微鏡市場價格約0.6萬美元檢查前一道過程中是否有劃傷和異物。確認切割狀態(tài)。測試顯微鏡市場價格約4萬美元。超視野檢查。

牛牛文庫文檔分享第24頁/共34頁25貼片狀態(tài)檢查確認貼片是否偏離框架位置

牛牛文庫文檔分享第25頁/共34頁26貼片狀態(tài)檢查立體顯微鏡市場價格約0.6萬美元

牛牛文庫文檔分享第26頁/共34頁27鍵合高度、引腳尺寸測量測金球高測金球直徑測金線高度

牛牛文庫文檔分享第27頁/共34頁28鍵合高度、引腳尺寸測量測試顯微鏡市場價格約4萬美元。測高、測金球。激光共聚焦測量顯微鏡力顯微鏡市場價格約18萬美元可兼容測量功能

牛牛文庫文檔分享第28頁/共34頁29封裝檢查露金線未露金線

牛牛文庫文檔分享第29頁/共34頁30封裝檢查高倍微分干涉顯微鏡市場價格約1.6萬美元

牛牛文庫文檔分享第30頁/共34頁31封裝檢查X射線顯微鏡（X-RAY）市場價格約8萬美元紅外高倍觀察顯微鏡市場價格約4萬美元穿透式觀察

牛牛文庫文檔分享第31頁/共34頁32檢查項目1、外觀檢查2、FA失效分析立體顯微鏡市場價格約0.6萬美元產(chǎn)品測試及工藝改進高倍微分干涉顯微鏡市場價