CELL廠PICAPMO作業(yè)指導(dǎo)書

版權(quán)屬于深圳市華星光電技術(shù)全部版權(quán)屬于深圳市華星光電技術(shù)全部.制止任何未經(jīng)授權(quán)的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市華星光電技術(shù)深圳市華星光電技術(shù)ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd文件編號申請狀態(tài)■版□改版總頁數(shù)文件階層：□一階機(jī)密等級：■一般□二階■三階□四階□隱秘■工廠：CELL□機(jī)密□其他□部門：.FEOL□絕密CELL廠PICAPMO版本：V1.0部門審批部門審批經(jīng)辦審查會會簽核核準(zhǔn)[FM-QA-00001-Ver.02] i\*romanii版權(quán)屬于深圳市華星光電技術(shù)全部\*romanii版權(quán)屬于深圳市華星光電技術(shù)全部.制止任何未經(jīng)授權(quán)的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市華星光電技術(shù)深圳市華星光電技術(shù)ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機(jī)密等級一般目 錄TableofContents\l“_TOC_250007“變更履歷HistoryofDocument iii\l“_TOC_250006“目的Purpose 1\l“_TOC_250005“范圍Scope 1\l“_TOC_250004“名詞定義TermsDefinition 1\l“_TOC_250003“權(quán)責(zé)Authority&Responsibility 1\l“_TOC_250002“材料MaterialUsed 2設(shè)備及夾治具Equipment/ToolUsde 8\l“_TOC_250001“留意事項Notice 10\l“_TOC_250000“作業(yè)程序OperationProcedure 10作業(yè)表單Form 10參考文件ReferenceDocument 10附件Attachment 10版權(quán)屬于深圳市華星光電技術(shù)全部版權(quán)屬于深圳市華星光電技術(shù)全部.制止任何未經(jīng)授權(quán)的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.變更履歷〔HistoryofDocument〕深圳市華星光電技術(shù)ShenzhenChina深圳市華星光電技術(shù)ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機(jī)密等級一般V1.0 2023//3/25

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制訂/修改者Nomuraiii1版權(quán)屬于深圳市華星光電技術(shù)全部1版權(quán)屬于深圳市華星光電技術(shù)全部.制止任何未經(jīng)授權(quán)的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市華星光電技術(shù)深圳市華星光電技術(shù)ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機(jī)密等級一般目的Purpose：使直接生產(chǎn)的人員，在正常操作本機(jī)臺時有所依循，并且能使機(jī)臺正常運作與確保人員安全。Scope：標(biāo)準(zhǔn)制造及工程人員從事配向膜固化機(jī)(PIMaincure)作業(yè)流程及相關(guān)留意項。名詞定義TermsDefinition：PI：PolyimidePIMaincure：PIIRPI膜。HotPlate：加熱板。Cooling：冷卻。Pin：支撐玻璃基板頂針。Robot:傳送玻璃裝置。IonizerBar：除靜電裝置。Touchpanel：觸摸屏。Authority&Responsibility：TARecipe設(shè)定框膠硬化機(jī)，機(jī)臺定期點檢及特別信息記錄反映。PM：負(fù)責(zé)機(jī)臺定期保養(yǎng)、初級機(jī)臺故障修理及生產(chǎn)特別排解等工作。Engineer：Recipe設(shè)定、機(jī)臺定期保養(yǎng)、特別處理、作業(yè)指導(dǎo)書撰寫?，F(xiàn)場主管及IPQC：作業(yè)指導(dǎo)書執(zhí)行狀況之Audit。CCC級人員需了解的操作指導(dǎo)。BCBB級人員需了解的操作指導(dǎo)。ABAA級人員需了解的操作指導(dǎo)。材料MaterialUsed：NA設(shè)備及夾治具Equipment/ToolUsed:設(shè)備廠家、型號廠家：Hanwha型號：FA-2023-FPMO-F012構(gòu)成Oven：4unit/line*20層COOLER：1unit/line*18層深圳市華星光電技術(shù)深圳市華星光電技術(shù)ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機(jī)密等級一般搬送Robot：1unit/line玻璃基板層距：160mm6.3處理力量Tacttime：25sec/line加熱方法：IRHeater最高使用溫度：250℃一般使用溫度：230℃±3℃1900Sec300Sec留意事項Notice：機(jī)臺安全事項機(jī)臺運行中請勿將頭和四肢伸入機(jī)臺內(nèi)部，以免發(fā)生危急進(jìn)入機(jī)臺前，先確認(rèn)機(jī)臺為PowerOFFSENSORalarm或特別停頓裝置運轉(zhuǎn)中，裝置的門等可開關(guān)部確定不行翻開降溫后才能開啟Chamber以及高溫時不行用化學(xué)品進(jìn)展擦拭發(fā)生Alarm時不行任意推斷，應(yīng)由工程師確認(rèn)發(fā)生緣由與排解裝置運轉(zhuǎn)中，應(yīng)格外留意可動部位的動作，避開意外大事之發(fā)生SOP作業(yè)標(biāo)準(zhǔn)開機(jī)前肯定要先確認(rèn)機(jī)臺內(nèi)部有無人員，有無雜物7.2未通過設(shè)備考核人員請勿操作機(jī)臺以免發(fā)生危急停電處理步驟7.27.2.27.2.37.2.1 7.2.27.2.3N2、PV、CDA閥門關(guān)閉7.3 復(fù)電處理步驟7.3確定電源已供給穩(wěn)定N2、PV、CDA閥門翻開。將電源主開關(guān)翻開。將機(jī)臺之電源翻開。進(jìn)展機(jī)臺原點復(fù)歸。作業(yè)程序OperationProcedure:作業(yè)前檢查：步驟步驟描述1機(jī)臺日點檢工程通過2確認(rèn)機(jī)臺顯示的畫面是否正常，機(jī)臺進(jìn)展復(fù)位動作4Robot5EMO6確認(rèn)機(jī)臺內(nèi)部沒有雜物及人員8.27確認(rèn)機(jī)臺內(nèi)部沒有玻璃基板機(jī)臺操作流程：步驟(1)(2)(3)作業(yè)預(yù)備

流程圖機(jī)臺點檢/確認(rèn)機(jī)況Recipesetup開頭生產(chǎn)

使用工具/附注說明1Utility是否正常選擇AutoRecipeChangeMode依照RecipeTable，確認(rèn)Recipe是否正確開頭投片生產(chǎn)生產(chǎn)時，依照PIlineIPQC動力閥門及電力投入確認(rèn)深圳市華星光電技術(shù)Shenzhen深圳市華星光電技術(shù)ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機(jī)密等級一般8.3.1.28.3.1.3EMOReset按鈕

確認(rèn)啟動掌握電源[Poweron]表單點檢N2、PV、CDA、PCW流量值(具體點檢工程請參照[CAPMO設(shè)備點檢表])為OvenPower按鈕， “Star和CycleSto“按鈕，深圳市華星光電技術(shù)深圳市華星光電技術(shù)ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機(jī)密等級一般自動運轉(zhuǎn)開頭作業(yè)主菜單操作啟動觸摸屏上[UpInlineMode]和[DNInlineMode]按鈕選擇T/P上[自動]按鈕,選擇自動模式啟動T/P上[EQInitial]按鈕,設(shè)備進(jìn)展全原點啟用T/P下方綠色[Start]按鈕,設(shè)備進(jìn)入自動運轉(zhuǎn)狀態(tài)8.58.5自動運轉(zhuǎn)停頓作業(yè)8.5.1主菜單操作8.5.1.1按下T/P[CycleStop8.5.1.2 按觸摸屏[手動]按鈕，設(shè)備自動模式停頓開線制程條件確認(rèn)確認(rèn)各項制程條件是否與產(chǎn)品要求[CELL廠PICAPMO點檢表]機(jī)臺工程防呆ByPass設(shè)定操作者權(quán)限55版權(quán)屬于深圳市華星光電技術(shù)全部.制止任何未經(jīng)授權(quán)的使用ThecopyrightbelongstoShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd.Anyunauthorizeduseisprohibited.深圳市華星光電技術(shù)深圳市華星光電技術(shù)ShenzhenChinaStarOptoelectronicsTechnologyCo.,Ltd版本V1.0文件名稱CELLPICAPMO制訂部門制訂者CELL/FEOL趙建君機(jī)密等級一般ByPass功能且有基板在籍時發(fā)Warning,及警示畫面顯示Slot數(shù)被關(guān)閉設(shè)定操作者權(quán)限Slotheater被關(guān)閉或過溫設(shè)定操作者權(quán)限SlotStartSlot裝有高溫Sensor,當(dāng)爐內(nèi)溫度超過設(shè)定溫度時,機(jī)臺Warning并逐步Alarm8.7.48.7.4加熱時間及溫度值被誤置8.7.4.18.7.4.28.7.4.3設(shè)定操作者權(quán)限機(jī)臺有設(shè)計輸入溫度的基板進(jìn)入機(jī)臺前,會比對Parameter中的溫度&加熱時間,如內(nèi)容不符,機(jī)臺Alarm制程管控制程溫度管控8.8.1.1開線點檢制程溫度設(shè)定值8.8.2制程烘烤時間管控8.8.2.1開線點檢制程參數(shù)設(shè)定中烘烤時間設(shè)定值8.8.3PI8.8.3.1確認(rèn)烘烤后PI幻化率，頻率：1年/次，索取委外測試報告8.9特別處理(操作過程特別之回報與簡潔的處理)特別工程機(jī)械操作危急處理程序馬上按下EMO，并通知當(dāng)班工程師1.2.3.品質(zhì)與安全留意事項操作機(jī)臺時請先確認(rèn)人員位置及安全須有另外一人以上才可進(jìn)展修及行走時需特別留意破片處理通知當(dāng)班工程師，表單點檢機(jī)臺特別斷電通知當(dāng)班工程師，表單點檢當(dāng)站工程師或相關(guān)工程師經(jīng)判斷假設(shè)認(rèn)定為人員疏失時應(yīng)于相關(guān)窗體字段勾選MO要求當(dāng)事者填寫MO停電發(fā)生時當(dāng)電源還未復(fù)電前，需先將機(jī)臺的電源全部關(guān)閉以防續(xù)電時的強(qiáng)大瞬間電流機(jī)臺報警機(jī)臺報警通知當(dāng)班工程師處理特別而導(dǎo)致機(jī)臺受損作業(yè)表單Form:〔撰寫導(dǎo)引：文件當(dāng)中所產(chǎn)生的作業(yè)表單或以參考相關(guān)部門的作