雙頻激光干涉使用儀操作說明

雙頻激光干涉儀使用操作說明操作步驟1.系統(tǒng)相互連接（如圖1所表示）a.經(jīng)過PCM20接口，用通訊電纜將IBMthinkPad筆記本電腦與ML10激光干涉儀連接。b.經(jīng)過PCM20接口，用通訊電纜將IBMthinkPad筆記本電腦與EC10環(huán)境賠償單元連接，并將空氣及材料溫度傳感器放置在機床適當位置。c.用通訊電纜將IBMthinkPad筆記本電腦與HP1180c打印機連接。d.將PC10、ML10、EC10分別接上電源線，再接到電源插板上。e.經(jīng)過穩(wěn)壓電源，將總電源線接到220V接地電源上。2.激光預熱閉合激光干涉儀開關，使激光預熱大約15～20分鐘，等激光指示燈出現(xiàn)綠色后，表明激光已穩(wěn)定。3.測量軟件開啟a.打開筆記本電腦，開啟“RenishawLaser10”測量軟件b.雙擊“線性測長”進入“RenishawLaser10Capture”測量子軟件。4.光學鏡安裝（如圖1所表示）a.將ML10激光干涉儀固裝在測量三腳架上。b.將反射鏡用夾緊塊、安裝桿、磁性表座固定在機床運動部件上。c.將反射鏡和分光鏡組合組成干涉鏡；將干涉鏡用夾緊塊、安裝桿、磁性表座固定在機床不可運動部件或其它固定部件上。圖1用于測量定位經(jīng)典系統(tǒng)設置。5.激光器、干涉鏡及反射鏡調整①.線性干涉鏡及反射鏡定位a.放置三腳架及激光器，使其垂直指向測量鏡組。利用機架作為瞄準線，使激光器大略與運動軸準直。b.旋轉光閘，方便激光器發(fā)出圖2中所表示直徑變小光束。光束直徑越小，越輕易看出光路是否準直。c.移動機床，使線性反射鏡靠近激光器，并將一個光靶置于前端，白點在上。平移激光器或機床，直到光束擊中光靶上白點,如圖3所表示。此時線性干涉鏡不應置于激光器及線性反射鏡之間。

圖2圖3

d.取下光靶，并檢驗從反射鏡返回激光束是否擊中ML10光閘上光靶中心。假如沒有，則平移激光器或機床，直到激光束擊中光靶中心，如圖4所表示。

圖4圖5e.將線性干涉鏡與反射鏡靠得越近越好，如圖5所表示。假如它們位置離得很近，則只需調整激光頭就能完成其余部分準直調整。

f.確保干涉鏡和反射鏡外表面相互準直并與機床垂直。假如干涉鏡放置歪斜，精度就會下降，并可能因光束被遮斷而造成檢測失敗。通常說來，在進行滾擺、俯仰和偏轉測量時，最好使干涉鏡準直角度小于±2°，這通?？山?jīng)過肉眼完成。

g.將光靶安裝在干涉鏡入射光孔中，使白點在上，并垂直和水平平移干涉鏡，方便光束擊中光靶，如圖6所表示。

圖6圖7

h.從線性干涉鏡取下光靶，并檢驗從干涉鏡返回激光束是否擊中從反光鏡返回激光束上方ML10光閘上中心。假如沒有，則平移干涉鏡，直到激光束擊中白色光靶中心,如圖7所表示。在干涉鏡和反射鏡之間放一張紙以遮斷從反射鏡返回光束可能會很有用。

②.簡單線性準直步驟a.沿著校準軸移動機床一小段距離，方便將光靶安裝到頂部帶有白色光靶反光鏡上。準直激光器，方便激光束經(jīng)過整個運動軸擊中光靶中心。b.從線性反射鏡中取下光靶，如有必要，水平平移激光頭，方便從線性干涉鏡和反光鏡中返回光束擊中光閘上光靶，如圖8所表示。

圖8圖9c.然后，垂直平移激光頭，使光束回到光靶中心。注意：此時，可能有必要進行另外一個較小水平回轉調整，方便使激光束返回到該光靶中心，如圖9所表示。d.依照快速準直一節(jié)說明，重新檢驗返回光束在激光頭準直度。在激光頭處，任何光束光路未準直誤差所產(chǎn)生影響都會加倍，所以較易覺察。③.快速準直步驟a.沿著運動軸推進機床以將反射鏡與干涉鏡分開。b.移動機床，直到光束開始移開ML10光閘上光靶。一旦您看到其中一個光束達成光靶邊緣，便停頓移動機床,如圖10所表示。

c.使用激光頭后方指形輪來調整其旋轉步長，以使兩道光束回到相同高度，如圖11所表示。

圖10圖11d.現(xiàn)在，使用三腳架中心主軸上高度調整輪來將激光頭上下旋轉，直到兩道光束都擊中光靶中心，如圖12所表示。

e.用三腳架臺左后方小旋鈕，調整激光頭角度偏轉，使兩道光束彼此重合，如圖13所表示。圖12圖13f.現(xiàn)在，用三腳架臺左邊中間大旋鈕，調整激光頭水平平移激光器，使兩道光束擊中光靶中心，如圖14所表示。

圖14圖15

g.現(xiàn)在沿著運動軸重新開始推進機床。當您看到激光束移開光靶時再一次停頓。重復步驟c.到f.激光器準直調整，直抵達成軸末端。

h.達成軸末端時，將機床移回，使反光鏡及線性反射鏡靠得很近。若其中一道光束離開光閘光靶，是因為反光鏡側向偏移所造成。上下左右移動反光鏡，直到從反光鏡返回光束與干涉鏡光束在光閘光靶上相互重合。i.重復步驟a.到h.，直到兩道光束在整個運動軸長度范圍內都保持在光靶中心。j.激光束現(xiàn)在與運動軸保持準直。將光閘旋轉到其測量位置，如圖15所表示。當反光鏡沿著機床整個運動長度移動時，檢驗線性數(shù)據(jù)采集軟件中顯示信號強度。

k.經(jīng)過定標激光器基準來消除光線被遮斷誤差。為定標激光器基準，請使用[Ctrl]+[D]鍵。l.阻擋干涉鏡和反射鏡之間激光束，并確認光線被遮斷燈顯示在校準軟件中。假如未出現(xiàn)光束遮斷現(xiàn)象，請檢驗干涉鏡和反射鏡外表面之間是否相互準直，并與機床垂直，方法如線性干涉鏡及反射鏡定位一節(jié)所述。若機床運動軸不到一米長，可能需要更多調整以使余弦誤差達成最小。6.目標值設定依照測量要求，設定目標值，目標值設定應盡可能覆蓋整個行程范圍，如圖16所表示。圖167.數(shù)據(jù)采集a.按目標值設定要求編制數(shù)控測量程序，在每個測量點必須有足夠越程目標值目標值越程圖17延時時間，通常取5s左右,如圖17所表示。 b.數(shù)據(jù)采集開啟方式如圖18所表示。設定數(shù)據(jù)采集參數(shù)，主要包含；線性/圓周、測量次數(shù)、單向/雙向、測量信息，如圖18所表示。圖18c.自動采集數(shù)據(jù)設定方式如圖19所表示。圖19d.當選中了“自動采集數(shù)據(jù)設定”對話框中“確定”之后，自動數(shù)據(jù)采集便會開始，并出現(xiàn)數(shù)據(jù)采集窗口，如圖20所表示。e.當機床抵達一個目標點并靜止下來后，便會開始自動數(shù)據(jù)采集。自動數(shù)據(jù)采集軟件會比較目標位置與激光讀數(shù)來跟蹤機床移動方式。當機床移動時，當前目標位置會在屏幕上用光標突出顯示。當機床位于其目標位置公差窗口內，且讀數(shù)穩(wěn)定性符合規(guī)格時，軟件將會等候直到最小停頓周期過去之后，才會開始采集目標和實際（激光）讀數(shù)間差值。圖208.數(shù)據(jù)分析a.要運行RenishawLaser10分析軟件，請從Windows開始菜單中選擇RenishawLaser10，然后選擇分析選項。將顯示RenishawLaser10分析窗口。b.假如采集到新數(shù)據(jù)，則在RenishawLaser10采集軟件中，從菜單欄上選擇數(shù)據(jù)/分析，或者單擊工具欄上按鈕。RenishawLaser10分析窗口將打開，并顯示新數(shù)據(jù)分析圖。注意：

在分析新采集數(shù)據(jù)之前，應首先對其進行保留。c.要分析數(shù)據(jù)文件，請單擊工具欄上按鈕，然后使用打開對話框加載所需數(shù)據(jù)文件。d.選擇“數(shù)據(jù)分析”菜單，按相關標準要求進行數(shù)據(jù)分析，分別給出雙向定位精度、重復性、反向偏差等精度指標，如圖21所表示。圖21e.要退出分析，請按[Ctrl]+[X]或者從菜單欄中選擇文件/退出，或者單擊工具欄上按鈕。9.打印a.開始打印前，您能夠選擇打印機并設定打印選項，方法是從數(shù)據(jù)分析窗口選擇文件/打印機設置菜單項選擇項，或按[Ctrl]+[T]鍵,如圖22所表示。b.倘若您想要更改默認打印機，在名稱字段選擇需要打印機，然后單擊“確定”使選項生效。名稱字段允許您從一個已在您計算機上配置打印機列表中選擇需要打印設備。c.要更改打印機設定，選擇屬性按鈕。視需要更改設定，然后單擊“確定”使選擇生效。圖22d.一旦確認打印機設定后，要打印當前選中分析繪制圖，從菜單欄中選擇文件/打印，或單擊數(shù)據(jù)分析窗口上工具欄內按鈕。10.計算機系統(tǒng)退出從菜單欄中選擇文件/退出可從RenishawLaser10測量系統(tǒng)中退出。11.測量完成后工作a.關閉ML10。b.關閉EC10。c.關閉電源插板開關。d.拆掉全部電源線及電纜線。e.拆掉光學鏡、夾緊塊、安裝桿、磁性表座。f.按附件表所列項目清點全部附件，并放入附件箱。注意事項1.搬運儀器附件箱時，應輕拉輕放，預防振壞激光干涉儀或其它附件。2.三角架在使用時，應將各緊固螺釘固緊，預防意外事故發(fā)生。3.激光干涉儀在使用時，應用兩松緊帶固緊。4.插裝PCM20卡及接口時要輕拿輕插，預防損壞PCM20卡。5.安裝光學鏡時，要小心慎重，預防摔壞或碰壞光學鏡，尤其禁止“懸空”