用于GEM小室高壓窄脈沖放電器的設(shè)計(jì)胡標(biāo)張冰電子科技

用于GTEM小室高壓窄脈沖放電器的設(shè)計(jì)胡標(biāo)張冰電子科技大學(xué)物理電子學(xué)院國家863強(qiáng)輻射實(shí)驗(yàn)室成都建設(shè)北路二段四號(hào)：610054摘要:文章介紹了使用一個(gè)以高壓冷陰極撬棒為放電器件的脈沖電路，它被用于在GTEM屏蔽小室內(nèi)部形成一個(gè)微秒級(jí)脈沖強(qiáng)高壓電場(chǎng)。該電場(chǎng)可以用來進(jìn)行一些電磁干擾實(shí)驗(yàn)和對(duì)微電子器件的毀傷機(jī)理的研究。敘詞：GTEM小室撬棒管脈沖放電1，前言在進(jìn)行高脈沖功率和高壓電場(chǎng)實(shí)驗(yàn)時(shí)，往往需要使用一個(gè)高壓脈沖電源。高壓脈沖電源可以是由比較簡(jiǎn)單的RC電路和放電開關(guān)組成。我們?cè)跍?zhǔn)備進(jìn)行研究高壓窄脈沖電場(chǎng)對(duì)于半導(dǎo)體器件和計(jì)算機(jī)的效應(yīng)實(shí)驗(yàn)中，使用了一個(gè)以高壓冷陰極撬棒為放電器件的脈沖電路。它可以產(chǎn)生幾十Kv的脈沖高壓，脈沖寬度在微秒級(jí)。下面介紹它的工作原理。2，電路組成電路中間的高壓電源實(shí)際上是一個(gè)常規(guī)的倍壓電路。參看電路圖1。使用一個(gè)單相調(diào)壓器和高壓硅堆，以及高壓脈沖電容器。可以組成一個(gè)倍壓電路。輸出的電壓取決于倍壓的級(jí)數(shù)。這里使用二倍壓的電路，可以輸出大約30KV（或者80Kv）的直流負(fù)電壓。放電管是采用一個(gè)自擊穿電壓為30KV（或者80Kv）的高壓冷陰極撬棒管。觸發(fā)電路由一個(gè)ZQM－35/3型閘流管和脈沖變壓器組成?？梢蕴峁┟}沖觸發(fā)電壓的幅度為10Kv。滿足冷陰極撬棒管觸發(fā)極的要求。3，電路系統(tǒng)工作原理介紹電路工作時(shí)，由二倍壓整流電路得到的負(fù)高壓－U1`,通過二極管D3和限流電阻R1以及放電電阻R2給高壓脈沖電容器C3充電。D3和R1在充電時(shí)提供C3的充電通路，在撬棒管放電時(shí)，可以起到隔離作用。圖1，用于GTEM小室的窄脈沖發(fā)生器電路系統(tǒng)示意圖在C3上面的電壓達(dá)到了實(shí)驗(yàn)所需要的值時(shí)，啟動(dòng)觸發(fā)電路。觸發(fā)電路由一個(gè)ZQM－35/3型閘流管和一個(gè)高壓脈沖變壓器組成。電路如圖2所示。聯(lián)ZQ對(duì)M－大35來/3栽型閘難流管央的工芝作電對(duì)壓為俘3K幫v左界右。念它的窮觸發(fā)高電壓餃在3州00召v左黃右。水閘流毀管的藝負(fù)載寇是一邊個(gè)高析壓脈街沖變莖壓器妨。變或比大飛約為難1膠∶覺4。接電源深的內(nèi)杜阻在晌1K賤Ω男左右硬。塔變壓廉器磁憑芯選鑰擇非織晶態(tài)潔材料瑞。通乏過精殃心設(shè)續(xù)計(jì)和廳繞制蟻，沾輸出升脈沖鏟電壓閣幅度頃大于峰10欲Kv傲。面驅(qū)動(dòng)瑞能力夫好。怎實(shí)際繁使用雷證明川可以豆用來畫觸發(fā)閃冷陰系極壞撬棒套管。冊(cè)為了東提高曬使用誦電壓務(wù)，把偷它放勸入變席壓器踐油中乒。拔迅屯甜件圖2肅，閘乞流管幅觸發(fā)欺器的保基本支電路漏觸發(fā)貫器的耽輸出具脈沖扛加在堪撬棒琴管的絲控制閑極和賢相鄰恭電極星之間瓜。撬冰棒管紛被觸聚發(fā)之恒后，蓬電容吵器C準(zhǔn)3上司面的句電壓吧通過燙以下坊路徑壞：濱C3色－迅撬棒玉管－改地－胡負(fù)載致電阻叨R2尿－G存TE犯M小獵室的千芯板非－C盜3。碰仔灰潑卡圖落3是增一些暗由北吉京真翻空技執(zhí)術(shù)研禽究所并研制許的冷吃陰極市撬棒務(wù)管的麥照片外。落其工戶作電滴壓分違別可討以在拿從1晉5K奏v到鴿80頂Kv瘋范圍歌內(nèi)。半圖3夸用于籮放電矛的冷諷陰極乒撬棒傅管的歸照片薄圖朗4諸用撇于G燈TE捆M小閥室高洲壓窄辭脈沖術(shù)實(shí)驗(yàn)掀系統(tǒng)直照片痛高壓揮脈沖忠電流螞通過袋GT妥EM臥小室級(jí)的芯推板，睜在芯動(dòng)板與是地之深間空似間形較成了僑一個(gè)虎脈沖橋電場(chǎng)記。在勾空間軌的不緣同位丘置，么電場(chǎng)多的強(qiáng)懶度各尸不相賽同。躺可以衡把電可子裝糾置或慰者微抄電子很器件流放在聯(lián)不同挖的位凈置，賺就可傅以進(jìn)敵行有店關(guān)實(shí)仰驗(yàn)。掩空間數(shù)的電里場(chǎng)可氧以使襖用場(chǎng)耐強(qiáng)儀塔進(jìn)行饑測(cè)量戰(zhàn)。嚼圖修4背是正喪在安辦裝中鬧的G用TE策M(jìn)小答室高琴壓窄眨脈沖冠實(shí)驗(yàn)龍系統(tǒng)靠照片缸。鄰在照齒片的堪右邊鋤是G動(dòng)TE賣M小櫻室，誼左邊無是高唐壓脈浩沖電梅源。皂目前淡電路鴨系統(tǒng)婚正在證調(diào)試知中。堤由于哭脈沖三放電鑰的電股流很蝴大，念所以塞在設(shè)蕩計(jì)過挽程中館間，劃需要胳考慮延以下懶的問擊題，距負(fù)載暮電阻嬌的開脈沖捐功率輪要求談很大派，同崗時(shí)瞬夢(mèng)間承縱受的呼電壓災(zāi)非常云高太。舌因此竟一方慌面考彎慮電炊阻的節(jié)功率蛇，另衰外還沒要求械考慮是耐壓等，所幅以采親用了駝多個(gè)忍無感晴電阻誠串連嶼和并旁聯(lián)的騙組合吧方式外。霞放電決回路秤的接咬地必尺須非搞常可俱靠。禽接地句電阻詠要很裹小。四考慮桌到脈襯沖電球流的擁集膚樂效應(yīng)扶，糕最好綠使用膜薄銅傾皮做孫電路填地興線烤通路扛。瞇放電唇電流伴的失采樣他。由柱于放家電電剖流很傭大，右因此矛如果捆使用侍電阻址采樣帆的話紋，電作阻的處功率洋要求舉大，擦同時(shí)招壓降禍也大蔬。建干議使您用羅毫科夫弱線圈煌測(cè)量砌電流在。御參考趟文獻(xiàn)績(jī)：1窗，電皆氣工驗(yàn)程接哭地技幟術(shù)津奧田賴?yán)麑泳щ娎亲庸ぜ簶I(yè)出堅(jiān)版社接摘頌卵丸禿2，觀高電辦壓工雹程基鉆礎(chǔ)堅(jiān)關(guān)鄰根志嫁冠中國忠電力盒出版驕社韻作者提簡(jiǎn)介瑞：秤胡標(biāo)蘆碩士黎張電子塞科技美大學(xué)渠物理健電子血學(xué)院掉用于偶GT夠EM牧小室滿高壓割窄梅脈沖皇放電桿器的煩設(shè)計(jì)泊胡標(biāo)三春張冰觀電子夾科技預(yù)大學(xué)葵物理款電子器學(xué)院付國家叛86裝3強(qiáng)冊(cè)輻射章實(shí)驗(yàn)繩室武成都凈建設(shè)錄北路浪二段社四號(hào)抗銅：是61襯00補(bǔ)54搞摘要蝕:齊文章柳介紹橡了使盡用一筒個(gè)以獲高壓笨冷陰甜極撬尚棒為返放電廟器件疊的脈宣沖電梅路，逆它被飛用于股在G爐TE苦M屏撒蔽小時(shí)室內(nèi)客部形香成一羅個(gè)微姨秒級(jí)碰脈沖過強(qiáng)高掌壓電騎場(chǎng)。叨該電單場(chǎng)可榆以用班來進(jìn)師行一矛些電渠磁干污擾實(shí)嘩驗(yàn)和顏對(duì)微關(guān)電子