生產(chǎn)管理之坩堝生產(chǎn)工藝

feigeoer1、目的規(guī)范26吋及22S分體炭/炭坩堝生產(chǎn)過程，為生產(chǎn)人員提供技術(shù)指導(dǎo)。2、適用范圍本工藝適用所有26吋及22S分體炭/炭坩堝。作業(yè)程序3.1.預(yù)計生產(chǎn)周期預(yù)沉積（1周期） 化學(xué)氣相沉積（約2周期）粗機加浸漬碳化（約2周期）高溫處理精機加表面涂層（約1周期）包裝運輸3.2.生產(chǎn)流程3.2.1預(yù)制體預(yù)制體采用日本東邦或東麗公司生產(chǎn)的T700系列12K碳纖維束織物網(wǎng)胎和碳布1：1交替鋪層，Z向針刺成型。預(yù)制體經(jīng)檢驗合格后，進行預(yù)沉積。若不合格的用專用芯模矯正，矯形后仍然不合格的，通知經(jīng)營部處理，并填寫《物料異常報告單》。按照《產(chǎn)品監(jiān)視和測量管理程序》執(zhí)行。3.2.2預(yù)沉積預(yù)沉積在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)進行，采用專用沉積工裝，用石墨芯模定型。裝爐時，必須輕拿輕放且單個沉積室內(nèi)中心軸線要一致。預(yù)定工藝參數(shù)：⑴升溫制度①RT～940OC12h②940OC～940OC2h③940OC沉積50h(2)氣體流量：單個氣路丙烯流量：0.7m3/h單個氣路氮氣流量：0.9m3/h⑶真空度≤-0.094Mpa檢驗項目：外觀無碳黑結(jié)殼、密度（不作判定）、所有外形尺寸（橢圓變形量不得大于3mm,大于3mm需進行工藝判定)檢驗合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.3化學(xué)氣相沉積1化學(xué)氣相沉積在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)進行，采用專用沉積工裝,產(chǎn)品依次對齊摞起，產(chǎn)品之間墊兩層碳氈。預(yù)定工藝參數(shù)：⑴升溫制度①RT～940OC12h②940OC～940OC2h③940OC沉積200h(2)氣體流量：單個氣路丙烯流量：0.8m3/h單個氣路氮氣流量：1.0m3/h⑶真空度≤-0.094Mpa檢驗項目：外觀無碳黑結(jié)殼、密度不小于0.75g/cm3、所有外形尺寸（橢圓變形量不得大于3mm,大于3mm需進行工藝判定）檢驗合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.4化學(xué)氣相沉積2化學(xué)氣相沉積在化學(xué)氣相沉積爐內(nèi)進行，采用專用沉積工裝,產(chǎn)品依次對齊摞起，產(chǎn)品之間墊兩層碳氈。預(yù)定工藝參數(shù)：⑴升溫制度①RT～940OC12h②940OC～940OC2h③940OC沉積200h(2)氣體流量：單個氣路丙烯流量：0.8m3/h單個氣路氮氣流量：1.0m3/h⑶真空度≤-0.094Mpa檢驗項目：外觀無碳黑結(jié)殼、密度不小于1.05g/cm3、所有外形尺寸（橢圓變形量不得大于3mm,大于3mm需進行工藝判定）檢驗合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.5粗機加內(nèi)型面和外型面加工至80%以上纖維清晰可見，保證機加時中心軸線和實際中心軸線吻合。檢驗合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.6浸漬碳化1使用糠酮FA-2樹脂和工業(yè)級磷酸樹脂體系浸漬增密，在碳化爐內(nèi)碳化。浸漬預(yù)定工藝參數(shù)：浸漬罐升溫制度：①RT～80OC1h②80OC～80OC1.5h③60OC2min④60OC～60OC3.5h⑤60OC～120OC1h⑥120OC～180OC2h⑦180OC～180OC2h（2）預(yù)熱罐升溫制度：①RT～180OC1h②180OC～180OC3h（20min攪拌一次，溫度達到60OC約30min后開始對浸漬罐抽真空，真空度≤-0.097Mpa）（3）浸漬壓力：2Mpa；固化壓力：1Mpa。（4）浸漬劑:樹脂：磷酸=100:7樹脂量=71×=Kg（樹脂具體重量由工藝人員根據(jù)實際情況進行計算）碳化預(yù)定工藝參數(shù)：（1）升溫制度：①RT～600OC20h②600OC～980OC7.5h③980OC～980OC2h（2）N2流量：1m3/h檢驗項目：外觀無樹脂碳殘渣、密度不小于1.45g/cm3、所有外形尺寸（橢圓變形量不得大于1mm,大于1mm需進行工藝判定）檢驗合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.7浸漬碳化2使用糠酮FA-2樹脂和工業(yè)級磷酸樹脂體系浸漬增密，在碳化爐內(nèi)碳化。浸漬預(yù)定工藝參數(shù)：浸漬罐升溫制度：①RT～80OC1h②80OC～80OC1.5h③60OC2min④60OC～60OC3.5h⑤60OC～120OC1h⑥120OC～180OC2h⑦180OC～180OC2h預(yù)熱罐升溫制度：①RT～180OC1h②180OC～180OC3h（20min攪拌一次，溫度達到60OC約30min后開始對浸漬罐抽真空，真空度≤-0.097Mpa）（3）浸漬壓力：2Mpa；固化壓力：1Mpa。（4）浸漬劑:樹脂：磷酸=100:7樹脂量=71×=Kg（樹脂具體重量由工藝人員根據(jù)實際情況進行計算）碳化預(yù)定工藝參數(shù)：升溫制度：①RT～600OC20h②600OC～980OC7.5h③980OC～980OC2h（2）N2流量：1m3/h檢驗項目：外觀樹脂碳殘渣、密度不小于1.6g/cm3、所有外形尺寸（橢圓變形量不得大于1mm,大于1mm需進行工藝判定）檢驗合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.8高溫處理保證爐底平整，產(chǎn)品對齊摞起，內(nèi)部可套裝螺栓板材，所有產(chǎn)品中心軸線和設(shè)備中心軸線吻合。預(yù)定工藝參數(shù)：⑴升溫制度:①RT～1200OC7h②1200OC～1200OC2h,溫度升至1200OC后開始通入Ar。③1200OC～1600OC3.5h④1600OC～1600OC1h⑤1600OC～2000OC4h⑥2000OC～2000OC2h=7\*GB3⑦2000OC～2300OC3h=8\*GB3⑧2300OC～2300OC4h⑵氣體流量：單個氣路N2流量為1m3/h單個氣路Ar流量為0.7m3/h（1200OC以上）檢驗項目：外觀無樹脂碳殘渣、密度不小于1.60g/cm3、所有外形尺寸（橢圓變形量不得大于1mm,大于1mm需工藝判定）。檢驗合格后轉(zhuǎn)下道工序。3.2.9精機加按照成品圖加工，嚴格按照成品圖紙要求執(zhí)行。檢驗項目：外觀無碳黑結(jié)殼、無污染，密度不小于1.60g/cm3，所有外形尺寸均符合成品圖紙要求。3.2.10表面涂層產(chǎn)品依次對齊摞起，產(chǎn)品之間用硬碳氈墊起。預(yù)定工藝參數(shù)：⑴升溫制度①RT～960OC12h②960OC～960OC2h③960OC沉積80h(2)氣體流量：單個氣路丙烯流量：0.3m3/h單個氣路氮氣流量：0.36m3/h⑶真空度≤-0.096Mpa檢驗項目：外觀無碳黑結(jié)殼、無污染，密度不小于1.60g/cm3、所有外形尺寸均符合成品圖紙要求。