第章俄歇電子能譜

第19章俄歇電子能譜分析19.1引言俄歇電子的發(fā)現(xiàn)可以追溯到1925年，1953年開始研究俄歇電子能譜，直到1967采用了微分方式，才開始出現(xiàn)了商業(yè)化的俄歇電子能譜儀，并發(fā)展成為一種研究固體表面成分的分析技術(shù)。由俄歇電子的信號非常弱，二次電子的背景又很高，再加上積分譜的俄歇峰又比較寬，其信號基本被二次電子的背底所掩蓋。因此，剛開始商業(yè)化的俄歇電子能譜儀均采用鎖相放大器，記錄微分信號。該技術(shù)可以大大提高俄歇電子能譜的信背比。隨著電子技術(shù)和計算機技術(shù)的發(fā)展，現(xiàn)在的俄歇電子能譜已不再采用鎖相模擬微分技術(shù)，直接采用計算機采集積分譜，然后再通過扣背底或數(shù)字微分的方法提高俄歇電子能譜的信背比。掃描俄歇電子微探針譜儀也發(fā)展到可以進行樣品表面掃描分析，大大增加了微區(qū)分析能力。與X射線光電子能譜（XPS）一樣，俄歇電子能譜（AES）也可以分析除氫氦以外的所有元素?，F(xiàn)已發(fā)展成為表面元素定性、半定量分析、元素深度分布分析和微區(qū)分析的重要手段。三十多年的來，俄歇電子能譜無論在理論上和實驗技術(shù)上都已獲得了長足的發(fā)展。俄歇電子能譜的應(yīng)用領(lǐng)域已不再局限于傳統(tǒng)的金屬和合金，而擴展到現(xiàn)代迅猛發(fā)展的納米薄膜技術(shù)和微電子技術(shù)，并大力推動了這些新興學(xué)科的發(fā)展。目前AES分析技術(shù)已發(fā)展成為一種最主要的表面分析工具。在俄歇電子能譜儀的技術(shù)方面也取得了巨大的進展。在真空系統(tǒng)方面已淘汰了會產(chǎn)生油污染的油擴散泵系統(tǒng)，而采用基本無有機物污染的分子泵和離子泵系統(tǒng)，分析室的極限真空也從10-8Pa提高到10-9Pa量級。在電子束激發(fā)源方面，已完全淘汰了鎢燈絲，發(fā)展到使用六硼化錸燈絲和肖特基場發(fā)射電子源，使得電子束的亮度，能量分辨率和空間分辨率都有了大幅度的提高?，F(xiàn)在電子束的最小束斑直徑可以達到20nm，使得AES的微區(qū)分析能力和圖象分辨率都得到了很大的提高。AES具有很高的表面靈敏度，其檢測極限約為10-3原子單層，其采樣深度為1～2nm，比XPS還要淺。更適合于表面元素定性和定量分析，同樣也可以應(yīng)用于表面元素化學(xué)價態(tài)的研究。配合離子束剝離技術(shù)，AES還具有很強的深度分析和界面分析能力。其深度分析的速度比XPS的要快得多，深度分析的深度分辨率也比XPS的深度分析高得多。常用來進行薄膜材料的深度剖析和界面分析。此外，AES還可以用來進行微區(qū)分析，且由于電子束束斑非常小，具有很高的空間分別率?？梢赃M行掃描和微區(qū)上進行元素的選點分析，線掃描分析和面分布分析。因此，AES方法在材料，機械，微電子等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用，尤其是納米薄膜材料領(lǐng)域。19.2方法原理俄歇電子能譜的原理比較復(fù)雜，涉及到原子軌道上三個電子的躍遷過程。當(dāng)X射線或電子束激發(fā)出原子內(nèi)層電子后，在原子的內(nèi)層軌道上產(chǎn)生一個空穴，形成了激發(fā)態(tài)正離子。在這激發(fā)態(tài)離子的退激發(fā)過程中，外層軌道的電子可以向該空穴躍遷并釋放出能量，而這種釋放出的能量又激發(fā)了同一軌道層或更外層軌道的電子被電離，并逃離樣品表面，這種出射電子就是俄歇電子。其俄歇躍遷過程可圖解為圖19.1。圖19.1俄歇電子的躍遷過程俄歇過程產(chǎn)生的俄歇電子峰可以用它激發(fā)過程中涉及的三個電子軌道符號來標記，如圖19.1俄歇過程激發(fā)的俄歇峰可被標記為KLL躍遷。從俄歇電子能譜的理論可知，俄歇電子的動能只與元素激發(fā)過程中涉及的原子軌道的能量及譜儀的功函有關(guān)，而與激發(fā)源的種類和能量無關(guān)。KLL俄歇過程所產(chǎn)生的俄歇電子能量可以用下面的方程表示：EKLL(Z)=EK(Z)-EL1(Z)-EL2(Z+)-s（19.1）式中EKLL(Z)--原子序數(shù)為Z的原子的KLL躍遷過程的俄歇電子的動能,eV；省E傾K帳(Z胖)負--填內(nèi)層惡K店軌道博能級濫的電戒離能巨,繭eV臥；龍E付L1夾(Z田)凳--胸外層端L1頸軌道彩能級煙的電驚離能充,e泳V屋；仔E帖L2砍(Z說+頂)違--柿雙重贈電離解態(tài)的撿L2芳軌道接能級此的電使離能訂,e雖V餃；野s印--悅譜儀稈的功阻函損,注eV頓。垃在俄廟歇激態(tài)發(fā)過婦程中曬，一姑般采漏用較巧高能獄量的爽電子部束作你為激曬發(fā)源就。在父常規(guī)棵分析玉時，重為了鮮減少蟻電子缺束對沈樣品埋的損畏傷，宮電子葵束的變加速逐電壓頂一般宣采用腔3K劇V暫或竭5K淹V芽，在疼進行冷高空涼間分兩辨率所微區(qū)失分析獵時，興也常故用駛10享KV五以上撓的加標速電娃壓。剝原則發(fā)上，們電子改束的去加速臭電壓擦越低品，俄步歇電請子能拐譜的先能量呈分辨鼠率越匆好。夢反之攀，電填子束骨的加來速電借壓越向高，父俄歇載電子嘉能譜暢的空那間分咸辨率夫越好開。由尺于一摔次電昨子束椅的能崇量遠堤高于罰原子貌內(nèi)層柴軌道鏟的能蜂量，慈一束鋤電子辛束可橫以激蠢發(fā)出四原子采芯能慕級上胡的多宜個內(nèi)由層軌具道電裹子，板再加斧上退矮激發(fā)換過程蘇中還扇涉及杯到兩榆個次質(zhì)外層分軌道撕。因腸此，網(wǎng)會產(chǎn)其生多肚種俄丸歇躍嶼遷過泥程，歉并在竄俄歇創(chuàng)電子霉能譜誘圖上膜產(chǎn)生曲多組貞俄歇天峰，炮尤其抱是對育原子甘序數(shù)土較高米的元翁素，奶俄歇澡峰的葵數(shù)目槳更多喪，使洞得定姥性分欠析變?nèi)鸬梅峭?fù)扶雜。句由于畢俄歇記電子境的能來量僅擺與原罰子本另身的恰軌道結(jié)能級甚有關(guān)嶺，與讀入射撫電子載的能階量無微關(guān)，摘也就嚴是說鄭與激遷發(fā)源垂無關(guān)災(zāi)。對持于特闖定的吼元素下及特數(shù)定的夫俄歇徑躍遷猛過程炒，其嘉俄歇殊電子昌的能崇量是抗特征話的。勵由此脆，我覽們可伍以根孩據(jù)俄裳歇電眉子的向動能切用來疾定性束分析嬌樣品瘦表面朝物質(zhì)釘?shù)脑獜厮胤N黑類。蕩該定攝性分若析方苗法可界以適咬用于瞎除氫呆、氦儀以外罵的所干有元炸素，救且由緩于每鏈個元窯素會禽有多營個俄哈歇峰袍，定靠性分循析的嚇準確博度很餅高。猜因此鐘，魂AE余S削技術(shù)壞是適炎用于城對所宏有元巡素進亮行一嘴次全呈分析敲的有遼效定灰性分幼析方例法，撲這對拍于未堵知樣騎品的耳定性四鑒定番是非淺常有蹦效的悟。臨從樣溉品表秤面出怪射的逮俄歇壁電子賺的強姓度與團樣品誰中該受原子懂的濃親度有食線性烘關(guān)系稈，因界此可追以利臘用這昏一特糕征進陳行元螺素的救半定束量分熔析。雪因為縮俄歇咱電子怒的強鑒度不心僅與者原子偷的多首少有牲關(guān)，認還與慚俄歇搏電子燒的逃僚深度冷、樣畝品的痰表面悄光潔療度，俊元素閑存在矮的化貸學(xué)狀吼態(tài)以肆及儀做器的念狀態(tài)結(jié)有關(guān)躁。因擇此，冤AE偽S缺技術(shù)逢一般肆不能蛇給出弦所分絡(luò)析元仇素的串絕對云含量裂，僅灑能提碎供元猜素的具相對室含量揉。且宣因為局元素現(xiàn)的靈釣敏度刻因子祝不僅直與元喇素種講類有辯關(guān)還駐與元鳥素在趕樣品渠中的攏存在元狀態(tài)蠅及儀蟻器的形狀態(tài)講有關(guān)虛，即循使是耽相對運含量藝不經(jīng)繼校準欠也存筍在很捧大的掘誤差杜。此燦外，牌還必暴須注阿意的環(huán)是，虎雖然原AE部S堡的絕禽對檢姥測靈炮敏度才很高煮，可撲以達僚到龍10泄-3壞原子姻單層稿，但效它是昂一種豬表面謙靈敏筆的分誰析方囑法，幣對于嶺體相偉檢測叔靈敏售度僅避為紀0.行1%修左右焦。船AE束S虹是一垮種表絮面靈墾敏的組分析襪技術(shù)那，其遣表面避采樣停深度怕為援1.巨0沿～抄3.矩0壁nm茫，提考供的手是表哥面上本的元田素含讀量，供與體藏相成導(dǎo)分會收有很煙大的丹差別煩。最鋼后，劉還應(yīng)吳注意躺AE壯S臣的采刺樣深閉度與熟材料海性質(zhì)利和光尤電子揚的能尤量有逆關(guān)，柜也與模樣品決表面攜與分赤析器團的角妖度有滾關(guān)。蝦事實政上，筍在俄衡歇電腰子能秩譜分狼析中絮幾乎存不同廣絕對粥含量擋這一尾概念制。盤雖然責(zé)俄歇亮電子浴的動悔能主科要由小元素晉的種武類和棄躍遷泄軌道尊所決休定，稻但由逮于原劍子內(nèi)昌部外挑層電泳子的垮屏蔽英效應(yīng)汁，芯日能級識軌道頑和次藝外層陰軌道撲上的查電子飄的結(jié)戲合能幫在不睜同的盒化學(xué)陷環(huán)境水中是賣不一滴樣的攀，有由一些鋼微小轎的差燙異。寇這種眠軌道籠結(jié)合語能上缺的微陳小差燦異可午以導(dǎo)丹致俄枝歇電鹿子能悶量的底變化虎，這蓬種變逐化就浩稱作恐元素秋的俄壯歇化薪學(xué)位日移，萬它取祝決于雀元素載在樣辦品中雅所處飼的化竿學(xué)環(huán)漁境。色一般筍來說俘，由肢于俄傳歇電延子涉繡及到期三個驕原子餓軌道賺能級豆，其赴化學(xué)吧位移限要比里XP句S存的化英學(xué)位拜移大童得多案。利撫用這乓種俄軌歇化逮學(xué)位跨移可殼以分貧析元概素在酷該物稿種中汽的化惹學(xué)價蹈態(tài)和崖存在資形式挪。由警于俄舞歇電尖子能淺譜的乒分辨腫率低權(quán)以及旨化學(xué)騎位移隸的理舞論分暴析的鍬困難唱，俄果歇化棋學(xué)效施應(yīng)在仰化學(xué)招價態(tài)此研究滑上的回應(yīng)用叼未能循得到?jīng)Q足夠做的重鄉(xiāng)視?；痣S著泡技術(shù)買和理陶論的虎發(fā)展防，俄王歇化裙學(xué)效控應(yīng)的免應(yīng)用叔也受然到了津重視靈，甚醒至可辟以利稿用這爪種效素應(yīng)對真樣品滴表面尸進行檢元素辯的化宵學(xué)成玉像分割析。兄19緞.3漠牙儀器結(jié)結(jié)構(gòu)你19娃.3袋.1際A嗎ES疫譜儀沸的基辰本結(jié)就構(gòu)偉與害X坦射線羨光電哥子能耗譜儀耽一樣墊，俄哪歇電遍子能棗譜儀脖的儀魯器結(jié)被構(gòu)也競非常嗚復(fù)雜落。圖佳19推.2處是俄寒歇電禿子能鍵譜儀立的方盈框圖跳。從國圖上僚可見許，俄貌歇電自子能騎譜儀休主要駁由快震速進價樣系疲統(tǒng)，缸超高旨真空霸系統(tǒng)差，電兩子槍先，離啄子槍冰和能櫻量分挖析系膜統(tǒng)及雷計算休機數(shù)鐮據(jù)采個集和岡處理描系統(tǒng)左等組記成。艇由于蝴俄歇坦電子緒能譜統(tǒng)儀的半許多捷部件病與退XP庭S繼的相免同，斃下面狡僅對沿電子裁槍進所行簡悠單的敬介紹誓，其圖余部晨件請以參見跳第脊18磁章。車具體愚的操蠶作方銀法詳這見儀溉器操真作使退用說弱明書公。起圖捉19賽.2熟俄歇末電子屢能譜刪儀結(jié)聞構(gòu)框繩圖孤19廟.3慈.2腔滅電子京束源農(nóng)在普堡通的匯俄歇蹲電子言能譜群儀中編，一拔般采遇用六暈硼化牢錸燈被絲的冶電子辜束源套。而投電子候槍又閥可分填為固仔定式言電子雹槍和至掃描疑式電扛子槍棕兩種困。掃朱描式勿電子根槍適女合于余俄歇直電子針能譜叢的微輛區(qū)分灶析。笨現(xiàn)在叛新一泳代譜換儀較帥多地包采用殼場發(fā)森射電脖子槍沈，其紫優(yōu)點斬是空淘間分拾辨率頂高，詢束流練密度賤大，汽缺點瘡是價肥格貴唱，維喉護復(fù)現(xiàn)雜。攤19陳.4年犯實驗杜技術(shù)蘇19號.4攝.1鉗追樣品冠的制迅備技梳術(shù)帝俄歇駱電子棍能譜景儀對筆分析廈樣品芽有特束定的警要求漂，在抄通常殼情況塑下只洽能分賄析固農(nóng)體樣占品，崇并還覺不應(yīng)范是絕椅緣體塘樣品拜。原彈則上院粉體隱樣品木不能咱進行警俄歇戲電子腹能譜艘分析功。由傻于涉亦及到細樣品伸在真嗓空中躍的傳升遞和漠放置卵，待斬分析圖的樣獎品一蠶般都瘋需要垮經(jīng)過隊一定敬的預(yù)麗處理郊。主差要包綿括樣均品大盛小，攀揮發(fā)反性樣桑品的拘處理蠻，表揚面污脈染樣雨品及阿帶有館微弱裂磁性定的樣器品等襪的處薪理。奉樣品訊的具末體處甩理過工程請盈見第咳18喘章。怪19壺.4棕.2中劍離子綁束濺梢射技蘋術(shù)界在俄父歇電疏子能鎖譜分咽析中牙，為家了清刑潔被悟污染茄的固禮體表綢面和手進行畏離子垃束剝刻離深承度分灣析，千常常滲利用狀離子煉束對籠樣品屆表面賤進行蘆濺射纏剝離感。利記用離榜子束繭可定吃量控著制地捏剝離局一定眠厚度勝的表英面層融，然夜后再方用俄蒸歇電晚子譜績分析鋸表面觸成分濁，這歲樣就欺可以騙獲得握元素勒成分基沿深妹度方哥向的葡分布閱圖。果作為夾深度榮分析降用的梨離子辯槍，敗一般乎使用臂0.潤5起～航5饑Ke吩V奸的姜Ar桶離子色源，酬離子勁束的鳴束斑董直徑徒在堆1杯～蓮10代mm棄范圍襖內(nèi)，軌并可奮掃描尖。依管據(jù)不盛同的隆濺射洪條件修，濺他射速嚴率可領(lǐng)從義0.扣1賓～獎50貢n賤m/昆mi寨n戶變化更。為就了提援高分貓析過野程的奮深度加分辯諒率，橡一般瘡應(yīng)采熊用間晚斷濺往射方抄式。涉為了雜減少惑離子出束的柄坑邊安效應(yīng)亂，應(yīng)頸增加美離子撤束斃/門電子野束的腹直徑災(zāi)比。漿為了擺降低聞離子喇束的宵擇優(yōu)績?yōu)R射雅效應(yīng)亭及基膜底效氣應(yīng)，傳應(yīng)提增高濺逼射速兵率和借降低莊每次頂濺射犬間隔蠻的時險間。毯離子緣束的畫濺射蜂速率竟不僅第與離瓣子束倒的能懷量和害束流漸密度鬼有關(guān)雙，還枯與濺違射材灰料的寺性質(zhì)歷有關(guān)河，所仇以給紀出的燃濺射脊速率茶是相枝對與僚某種顛標準謎物質(zhì)劣的相辰對濺亂射速蛋率，形而不震是絕慚對濺謙射速臂率。旁俄歇猴深度功分析喉表示耀的深保度也蠶是相矩對深選度，跳而不婚是絕亡對深績度。旱19墻.4粗.3攤勵樣品室的荷旋電問已題塘對于瞎導(dǎo)電印性能槍不好燥的樣既品如墳半導(dǎo)暈體材貿(mào)料，雁絕緣盯體薄承膜，蔑在電翁子束漏的作俱用下償，其則表面覺會產(chǎn)稈生一書定的影負電句荷積竊累，臉這就啞是俄介歇電趟子能歲譜中樸的荷搖電效初應(yīng)。街樣品憂表面必荷電吳相當(dāng)堆于給勸表面碧自由沈的俄結(jié)歇電賭子增假加了允一定找的額尚外電聚壓琴,胸使得次測得鑒的俄蛇歇動纏能比懂正常界的要膝高。階在俄葡歇電放子能濫譜中愧，由朝于電沫子束求的束緩流密胡度很葡高，普樣品飾荷電捕是一跑個很唇嚴重蓄的問甚題。枕有些舉導(dǎo)電裳性不評好的拆樣品共，經(jīng)側(cè)常因鋸為荷脖電嚴嬌重而羅不能懸獲得懼俄歇緊譜。動但由皇于高稅能電咱子的涉穿透喜能力旋以及漠樣品碼表面部二次味電子濟的發(fā)品射作沒用，兼對于昌一般康在求10憐0n悔m匪厚度慮以下殃的絕久緣體伶薄膜烏，如剝果基熱體材理料能滲導(dǎo)電遣的話約，其燥荷電何效應(yīng)絲幾乎仁可以穩(wěn)自身洗消除猴。因迎此，必對于嫌一般死的薄股膜樣妙品，桐一般慶不用介考慮樹其荷河電效陸應(yīng)?？?9偶.4堆.4友俄歇添電子摸能譜積的采帆樣深湯度肯俄歇絡(luò)電子瘡能譜教的采即樣深記度與緞出射饒的俄刮歇電耐子的勸能量得及材卸料的宗性質(zhì)店有關(guān)吧。一營般定檢義俄掘歇電零子能時譜的咱采樣柴深度滿為俄鹽歇電分子平顯均自釣由程柱的懲3慰倍。礙根據(jù)被俄歇釋電子坊的平兩均自踢由程塊的數(shù)踩據(jù)可品以估亞計出棚各種壘材料謊的采筑樣深的度。酒一般比對于顫金屬材為喂0.車5蓄～淡2猾nm埋,踐對于昨無機靜物為秀1辱～鏡3即nm鼻,投對于歇有機冬物為此1揮～昏3咳nm復(fù)。從領(lǐng)總體墾上來笑看，扒俄歇為電子享能譜偵的采雖樣深陸度比刊XP雨S蛋的要滲淺安,粒更具搭有表僻面靈諒敏性途。峰19柔.5翁摟俄歇燃電子辦能譜蹲圖的目分析工技術(shù)伶19紫.5估.穿1北表面伍元素慕定性銷鑒定李這是烘一種飛最常藝規(guī)的階分析白方法困，也吵是俄念歇電鐘子能是譜最賀早的陪應(yīng)用擋之一懂。一桶般利姑用級AE修S委譜儀臘的寬資掃描河程序抖,神收集越從增20植～裝17儲00射e希V徑動能佳區(qū)域畢的俄覆歇譜雅。為攝了增擔(dān)加譜爬圖的誘信背繪比，臥通常炭采用軋微分量譜來玩進行劫定性億鑒定聾。對雷于大徒部分忍元素精，其螺俄歇側(cè)峰主唐要集智中在路20哀～削12量00毯eV悉的范薄圍內(nèi)誘，對些于有繁些元調(diào)素則膨需利府用高識能端童的俄鑄歇峰努來輔程助進弓行定分性分屯析。刷此外悶，為誕了提挨高高準能端冠俄歇轎峰的筒信號湊強度忠，可智以通劈過提湯高激吸發(fā)電同子能關(guān)量的塌方法供來獲國得。灑通常寫采取均俄歇慮譜的瓶微分根譜的柜負峰怖能量孝作為考俄歇課動能轟，進羊行元造素的躁定性五標定請。在流分析燭俄歇妄能譜申圖時盾，必浴須考鹽慮荷核電位環(huán)移問泰題。湊一般累來說分，金籮屬和嘴半導(dǎo)伍體樣陰品幾悟乎不區(qū)會荷革電，撞因此滅不用芹校準焦。但般對于處絕緣戰(zhàn)體薄際膜樣撕品，鞏有時染必須磁進行勤校準尋，以民C童KL剃L姻峰的字俄歇匠動能冤為扁27售8.篩0丟eV毛作為抹基準唇。在燕判斷窮元素努是否團存在榴時，辭應(yīng)用勤其所塔有的界次強銅峰進高行佐營證，殖否則連應(yīng)考協(xié)慮是中否為爬其他毀元素婆的干凱擾峰亮。圖慧19帶.3須是典鑄型的縮俄歇茄電子鏈能譜窩定性眼分析剃圖。帥圖填19員.3祝金剛畝石表芽面的睬Ti勿薄膜虧的俄長歇定怒性分筍析譜書圖島19蹲.3域是金朝剛石番表面靈的滔Ti彩薄膜切的俄枕歇定耐性分愛析譜先，電裂子槍寺的加趁速電財壓為皮3合KV享。從晚圖上胃可見稠，護AE獨S馬譜圖組的橫宜坐標俊為俄搬歇電杯子動虹能，心縱坐態(tài)標為仰俄歇兔電子梢計數(shù)灶的一配次微巾分。海激發(fā)陵出來嶄的俄處歇電梨子由燦其俄頂歇過非程所脹涉及庸的軌鉆道的偽名稱繩標記奧。如泊圖中玻的膚C貨KL未L波表示妖碳原姥子的盲K渠層軌型道的交一個境電子畏被激邁發(fā)，盆在退侵激發(fā)蒙過程況中，鮮L扯層軌孕道的聚一個岔電子黨填充撿到練K竟軌道劈，同滾時激眠發(fā)出擱L燙層上慰的另舒一個際電子煌。這收個電嚇子就碰是被漆標記碗為硬C般KL物L(fēng)紐的俄蒙歇電宿子。四由于明俄歇脊躍遷弄過程熔涉及誕到多殖個能勞級，粘可以間同時損激發(fā)扶出多庫種俄助歇電肅子，池因此稈在銷AE適S攪譜圖嚴上可花以發(fā)賴現(xiàn)劃Ti扔L壩MM非俄歇才躍遷奇有兩涂個峰院。由危于大惠部分唱元素辯都可備以激付發(fā)出懂多組恭光電帆子峰淹，因丹此非爛常有綢利于槍元素批的定田性標泛定，齡排除有能量應(yīng)相近裳峰的罰干擾益。如厘N扒KL悼L領(lǐng)俄歇沖峰的哀動能振為洞37這9肝eV分,嘉與刷Ti呢潔LM究M抽俄歇燭峰的臉動能衡很接詳近，萄但啟N透KL礙L呆僅有湊一個酸峰，洋而艙Ti賺L曉MM史有兩運個峰可，因獨此俄教歇電泡子能倒譜可忍以很亞容易血地區(qū)清分腔N欣元素買和柏Ti答元素弄。沾由于蛋相近紅原子音序數(shù)捕元素塘激發(fā)派出的挨俄歇經(jīng)電子夸的動量能有脾較大桶的差副異，無因此叢相鄰承元素邊間的鑼干擾沖作用族很小聾。握19忌.5釀.慰2材表面慣元素闊的半判定量繩分析比首先抱應(yīng)當(dāng)橫明確爪的是寧AE惑S故不是胡一種膜很好港的定龜量分范析方督法。溪它給盒出的宿僅是慚一種妻半定樹量的站分析嬸結(jié)果踐，即地相對醒含量填而不魂是絕齡對含回量。染由皇AE弟S辭提供留的定閱量數(shù)觀據(jù)是愈以原室子百貓分比收含量在表示獎的，葬而不禽是我壤們平廣常所駕使用論的重版量百肝分比鼻。這牙種比星例關(guān)愧系可體以通熟過下求列公址式換選算：字（瞞19航.2者）糕式中緣c屑i盟wt女-扎鑒第長i挽種元畫素的侵質(zhì)量動分數(shù)飾濃度爛；智c淡i兄梳-甲第捏i茫種元積素的尾AE握S局摩爾向分數(shù)硬；盲A罷i鳴-均第乒i敘種元已素的掛相對塔原子蛛質(zhì)量無。爺在定屈量分誓析中鑼必須鄰注意旁的是最A(yù)E芽S瓣給出障的相拋對含昆量也喂與譜沃儀的慧狀況姨有關(guān)合，因屈為不欄僅各孔元素遵的靈渴敏度活因子盟是不徑同的燕，名AE紅S靜譜儀哥對不進同能仇量的場俄歇拾電子裹的傳元輸效享率也逼是不井同的蚊，并似會隨姻譜儀雞污染裳程度往而改往變。俗當(dāng)譜條儀的工分析會器受職到嚴護重污艱染時喬，王低能立端俄挖歇峰忍的強誰度可快以大曠幅度稻下降棒。陸AE痛S黨僅提康供表改面驕1播～假3攤nm粉厚的遙表面抄層信贏息，精其表糕示的充組成月不能傭反映詢體相自成分萌。樣腥品表內(nèi)面的資C,蓄O淘污染適以及劈吸附臺物的旅存在祥也會選嚴重舍影響客其定里量分粱析的驕結(jié)果姑。還騎必須營注意舟的是勤，由蓮于俄估歇能可譜的子各元越素的殊靈敏誠度因?qū)米优c紋一次蝶電子竟束的刺激發(fā)拉能量誤有關(guān)貓，因優(yōu)此，華俄歇玉電子釘能譜皮的激莫發(fā)源珍的能謹量也稿會影杜響定敢量結(jié)爛果。蠢19煉.5冬.跌3估表面主元素義的化股學(xué)價車態(tài)分熱析晨表面售元素翻化學(xué)碗價態(tài)忌分析啄是化AE猛S瘋分析破的一燒種重田要功叨能，湯但由吉于譜越圖解氏析的顆困難韻和能古量分些辨率岸低的聞緣故祝，一曬直未訊能獲緊得廣昂泛的惱應(yīng)用端。最賀近隨鍛著計滋算機壯技術(shù)脾的發(fā)覆展，矩采用統(tǒng)積分純譜和商扣背剝底處獄理，消譜圖佛的解喇析變濃得容談易得洞多。型再加鮮上俄查歇化隔學(xué)位絞移比甘XP性S逆的化銅學(xué)位咳移大組得多乘，且拾結(jié)合銅深度吳分析危可以塘研究墊界面候上的逮化學(xué)您狀態(tài)綁。因桶此，逃近年提俄歇查電子夾能譜替的化愈學(xué)位束移分車析在車薄膜您材料仍的研本究上棋獲得禮了重怖要的季應(yīng)用柄，取豪得了冠很好費的效湯果。節(jié)但是業(yè)，由盡于我智們很凍難找突到俄俗歇化蠻學(xué)位匪移的昏標準撿數(shù)據(jù)胞，要銅判斷珠其價作態(tài)，腐必須叛用自態(tài)制的左標樣位進行展對比皇，這職是利效用俄帝歇電瘋子能移譜研暢究化猶學(xué)價忙態(tài)的曲不利社之處扒。此瀉外，左俄歇尤電子忽能譜朗不僅司有化箱學(xué)位促移的虛變化洪，還泡有線排形的原變化改。俄釋歇電喜子能部譜的閱線形帥分析寒也是傾進行慮元素師化學(xué)討價態(tài)根分析顯的重脹要方很法。餃圖脹19裕.4晌在件Si宋O剪2吩/S漫i驕界面竭不同目深度兔處的聞Si快L病VV材俄歇醫(yī)譜嗽從圖販上可延見，庫Si難L養(yǎng)VV頓俄歇撇譜的雀動能歉與援Si遠原子狀所處晴的化話學(xué)環(huán)妙境有韻關(guān)。典在顏Si唇O醉2間物種質(zhì)中，腥Si廳L跨VV還俄歇池譜的發(fā)動能路為特72統(tǒng).5乳e糞V,頃繁而在逮單質(zhì)校硅中琴，其今Si留L演VV梯俄歇麥譜的密動能斤則為綢88惡.5讓e攔V岸。我蝦們可吃以根扒據(jù)硅緩元素岔的這賢化學(xué)蔑位移概效應(yīng)城研究趕Si芳O編2放/S當(dāng)i送的界崗面化片學(xué)狀貨態(tài)。送由圖腦可見私，隨憤著界邊面的悟深入喉，院Si餡O鋤2腹物種表的量短不斷寶減少艘，單系質(zhì)硅密的量仗則不準斷地齡增加船。想19衛(wèi).催5礦.4磁壇元素峽沿深雷度方株向的推分布習(xí)分析盼AE校S玻的深噸度分庭析功牌能是女俄歇撇電子膽能譜霉最有妹用的酬分析誕功能茅。一議般采撓用秀Ar池離子愧剝離誰樣品拍表面期的深虜度分銷析的殘方法裕。該瞧方法裝是一史種破地壞性鹿分析站方法捧，會沈引起沖表面萌晶格祥的損筑傷，譜擇優(yōu)厘濺射錫和表固面原陪子混袖合等理現(xiàn)象睡。但自當(dāng)其欲剝離怎速度冤很快摸時和埋剝離姿時間倦較短河時，燒以上系效應(yīng)漢就不辦太明咸顯，應(yīng)一般漠可以岔不用閉考慮候。其寫分析商原理株是先辦用曉Ar永離子記把表嬸面一忠定厚懷度的脫表面承層濺脆射掉墻，然送后再陸用余AE彩S腎分析忍剝離昆后的情表面誠元素睬含量麗，這快樣就葬可以蠟獲得虛元素番在樣創(chuàng)品中嘆沿深冬度方補向的翅分布凈。由皆于俄蹦歇電折子能開譜的延采樣魄深度鄰較淺氣，因療此俄簡歇電蠶子能錦譜的懶深度仰分析閃比節(jié)XP昌S辛的深暮度分梯析具夸有更鳳好的勾深度牌分辨壓率。鄰當(dāng)離掘子束脆與樣撥品表巾面的縱作用盡時間輝較長胞時，殘樣品乖表面噴會產(chǎn)累生各速種效龜應(yīng)。指為了險獲得鍬較好沈的深讓度分靜析結(jié)論果，昏應(yīng)當(dāng)草選用侮交替叢式濺瀉射方看式，爸并盡嫌可能辣地降詠低每廣次濺餡射間梁隔的奸時間犁。離礎(chǔ)子束紅/名電子陶槍束輩的直多徑比險應(yīng)大院于捕10巷倍以蘿上以淺避免且離子幣束的霜濺射性坑效羨應(yīng)。找圖牛19漠.5玩P愚ZT法/S者i率薄膜諸界面格反應(yīng)脫后的溉俄歇蜂深度察分析幼譜逗圖擋19誠.5社是初PZ鴨T/題Si陵薄膜維界面伍反應(yīng)剃后的結(jié)典型邀的俄大歇深即度分川析圖塵。橫宴坐標昆為濺揪射時郵間，成與濺佳射深區(qū)度有爐對應(yīng)諸關(guān)系貼?？v溫坐標致為元誘素的很原子汗百分嚷比。栽從圖搬上可怖以清民晰地斗看到朗各元共素在串薄膜胳中的大分布扶情況著。在綠經(jīng)過農(nóng)界面鑄反應(yīng)愚后，鈴在效PZ娃T柿薄膜犯與硅較基底拴間形搬成了總穩(wěn)定叔的鎮(zhèn)Si腳O買2際界面塔層。乖這界投面層拘是通爺過從短樣品危表面借擴散棋進的走氧與答從基零底上裕擴散惡出的芽硅反盈應(yīng)而謊形成徐的。么19仔.月5.刪5務(wù)微區(qū)廳分析羨微區(qū)貴分析快也是數(shù)俄歇坦電子霧能譜好分析革的一掠個重作要功壤能，風(fēng)可以租分為號選點懇分析抗，線退掃描貌分析造和面必掃描刮分析簽三個嗓方面蠟。這棚種功妻能是流俄歇型電子夏能譜魂在微召電子蘭器件截研究才中最揪常用界的方爸法，碑也是慨納米宴材料忠研究首的主擔(dān)要手升段。奏19商.5其.5青.1乳選點究分析賓俄歇碌電子鵝能譜碧由于劑采用犯電子改束作憐為激現(xiàn)發(fā)源順，其抓束斑衣面積趁可以甚聚焦倉到非桂常小閘。從舊理論跌上，宿俄歇蠢電子勤能譜慘選點豆分析帝的空濱間分礙別率涼可以午達到泥束斑惜面積敞大小呆。因破此，壞利用稠俄歇身電子忙能譜祥可以抱在很嫁微小威的區(qū)支域內(nèi)醋進行訓(xùn)選點訂分析賴，當(dāng)奪然也括可以悟在一盤個大億面積炕的宏肅觀空榴間范暖圍內(nèi)寇進行龍選點冊分析未。微隸區(qū)范遠圍內(nèi)跨的選雨點分薦析可拉以通豆過計逢算機桃控制牲電子堅束的鞏掃描四，在羽樣品名表面暮的吸館收電待流像駁或二倘次電顏流像沒圖上騙鎖定摘待分宿析點奸。對絲于在雖大范聲圍內(nèi)遇的選貨點分很析，紛一般謀采取迷移動號樣品的的方隨法，柄使待襯分析娛區(qū)和焰電子弦束重證疊。鹽這種畏方法戒的優(yōu)帝點是滾可以至在很剝大的樸空間耽范圍沿內(nèi)對儲樣品聰點進宋行分崗析，包選點障范圍淋取決墻于樣砍品架億的可棕移動稅程度眠。利初用計盒算機北軟件戶選點卷，可留以同微時對太多點惠進行辰表面貞定性后分析填，表討面成獻分分兔析，職化學(xué)鎖價態(tài)份分析抹和深墻度分風(fēng)析。吧這是伏一種終非常延有效付的微忍探針虛分析倚方法窄。喘19俯.5紡.5作.2犧線掃莊描分抱析辱在研偶究工聾作中援，不槍僅需耽要了硬解元薄素在攏不同墊位置裳的存柏在狀泉況，研有時嚷還需扮要了乞解一中些元加素沿俗某一滿方向屯的分樸布情托況，銹俄歇埋線掃吊描分橡析能吊很好識地解歐決的料這一黑問題交，利呀用線箱掃描失分析集可以興在微撿觀和陪宏觀異的范矮圍內(nèi)陜進行秤（很1超～或60射00令微米吼）。撿俄歇示電子魯能譜綿的線滋掃描域分析廚常應(yīng)翅用于叛表面丟擴散磚研究合，界她面分睛析研洗究等篇方面肝。槳涂逐A厲g-勻Au荒合金屋超薄俘膜在急Si寇(1啟11格)供面單餃晶硅脊上的曬電遷逮移后轉(zhuǎn)的樣塔品表梢面的壁Ag沸和像Au功元素賓的線稿掃描徐分布盆見圖煮19鏡.6抬。橫菜坐標陪為線辟掃描鎖寬度禍，縱羨坐標篇為元并素的對信號秩強度娛。從耍圖上因可見練，雖緒然妙A(yù)g岔和招Au腸元素方的分鏈布結(jié)梳構(gòu)大螞致相武同，撓但可注見居Au貝已向求左端栽進行伙了較爭大規(guī)磨模的滔擴散欲。這歐表明絹Ag棵和僻Au輸在電智場作朱用下磚的擴名散過詞程是肆不一詞樣的看。此桶外，異其擴諷散是懇單向撐性，暴取決蘆于電房場的豐方向桐。羞19奧.5促.5業(yè).3趴元素大面分鋪布分沿析牧俄歇磁電子醫(yī)能譜村的面板分布嗚分析餃也可晌稱為菜俄歇衣電子輕能譜化的元贊素分殊布的廟圖像踢分析睬。它刊可以薪把某舌個元旨素在襲某一駝區(qū)域救內(nèi)的出分布盒以圖梢像的世方式招表示磚出來寸，就只象電殘鏡照哭片一逃樣。居只不層過電臣鏡照煉片提僻供的哥是樣友品表糾面的床形貌五像，微而俄勉歇電紹子能哄譜提獻供的芹是元秘素的濾分布鉗像。符結(jié)合盟俄歇賣化學(xué)洲位移羅分析酬，還抄可以蘭獲得膠特定短化學(xué)柱價態(tài)秒元素疑的化貼學(xué)分犬布像霧。俄焦歇電包子能驗譜的鑒面分繩布分愈析適都合于聯(lián)微型楊材料冒和技配術(shù)的墻研究雜，也蹤適合龜表面磚擴散挽等領(lǐng)劑域的丘研究活。在牢常規(guī)母分析克中，弄由于渡該分到析方釀法耗菜時非斗常長伸，一幟般很冬少使奔用。造19傲.6至召實驗途19誓.6廳.1碼每硅片耐表面蹦Si終O搞2房自然屬氧化撥層超葬薄膜棚薄膜率的炕AE洽S替分析姨19欲.6插.1臘.1債實驗承目的軌了解身和掌軍握俄擺歇電蹦子能建譜定訓(xùn)性分荒析、遷表面義定量隊分析苗及化饒學(xué)價要態(tài)分蜂析的股方法拴。攀了解廈硅片奸表面笛Si鈔O標2醬自然痰氧化贈層的鑒組成體和硅電元素混的化迎學(xué)狀杯態(tài)。碗19漠.6郊.1補.2緞實驗毯原理尿利用假每個怒元素鳳所產(chǎn)郊生的藍俄歇薯電子饞的特墓征能建量，宰可以撤對樣宅品中大存在龜?shù)脑溗剡M賞行定絨性鑒劣定。敵利用召其俄諸歇峰影強度詞與元埋素濃跳度的俯線性頑關(guān)系灘可進獎行定州量分眨析。糖利用段化學(xué)鋼環(huán)境界對俄任歇動奏能的引影響日，就嗽可以嶼對元么素的憤化學(xué)話價態(tài)喇進行叼鑒別茂。爆19鑼.6永.1依.3闊實驗保內(nèi)容鑼（扣1聲）樣戒品處唯理和尾進樣懶將大益小合往適、晨帶有獵自然聰氧化瞇層的釀硅片聲經(jīng)乙態(tài)醇清素洗干晶燥后論，送傅入快餅速進頸樣室泳。開源啟低遵真空宵閥，雄用機獄械泵恨和分宮子泵船抽真糕空到證10劈-3刮截Pa革。然越后關(guān)森閉低筆真空敗閥，楊開啟獸高真疤空閥蟻，使騎快速頓進樣占室與漲分析琴室連鵝通，切把樣妨品送咬到分壽析室噴內(nèi)的站樣品保架上腥，關(guān)縱閉高內(nèi)真空頃閥。降（豬2月）儀擴器硬首件調(diào)詳整塔通過孤調(diào)整饑樣品字臺位竿置和焦傾角鈴，使懶樣品粱表面侮與電賀子束弊垂直垮。待燒分析駕室真夠空度蕉達到喘5榨×筍10苗-7穴P懷a平后謙,慰啟動鏡電子仇槍縮,蠅通過宣調(diào)節(jié)嚼電子貫槍高鼻壓，府改變殊放大回倍數(shù)竹，并喜在二狼次電旦子像扣或吸譯收電鐘流像碑上確爹定所療須分茄析的描點。緣調(diào)節(jié)謝電子有槍的稈高壓煉到觸2仰k馬V嗚的校奮準位徹置，巷通過據(jù)調(diào)節(jié)頭樣品好臺與瞧電子屆槍的說距離償使彈激性峰永的信恭號最掌強。竭然后汽在把嚇電子聲槍的妥高壓紗升到拉所須宅的位豆置。暢（疼3殿）儀需器參破數(shù)設(shè)供置和叢數(shù)據(jù)德采集殖定性諷分析階的參紫數(shù)設(shè)植置為紗：扁掃描施的能知量范枕圍為榆20餐-1浴20冒0伍eV駐,稼步長王為化1e城V/饒步鑰,婆掃描血時間肅為約2遵mi犁n厘。局定量斑分析夾和化再學(xué)價牢態(tài)分暫析的禽參數(shù)友設(shè)置運為：眾掃描寨的能隸量范搏圍依茅據(jù)各焦元素朽而定渴,防掃描紀步長騾為源0.晝2饅eV莫/趴步，習(xí)收譜伶時間繼為擦5前～汁10嚇mi訪n患。明19藥.6偵.1黨.4色數(shù)據(jù)隆處理撐（斗1溝）超定性紛分析粘的數(shù)難據(jù)處佩理失計算結(jié)機采裹集的系俄歇樣電子攏能譜許為積蓬分態(tài)震模式缸，信泛背比科很低印，其毒俄歇岸峰基帖本被介二次抖電子郊的信茶號所皇掩蓋她。為棄了提踩高信隸背比虧，把儉俄歇抓峰從五二次沫電子廚的背鏡景中雨分離但出來該，可閉以采撕用數(shù)品字微襖分的投方法圣取得霉俄歇聾電子鍬能譜濕的微閣分譜泊。這稅樣就渴可以煌從俄犁歇譜嬌圖上傾表注搬每個匆俄歇勝峰的剪結(jié)合路能位屠置（厭負峰濃），忍然后策根據(jù)消俄歇怕動能扣的數(shù)女據(jù)在待標準聽手冊孫中尋伶找對婚應(yīng)的惹元素己。然雞后再監(jiān)通過累對照專標準溫譜圖交，一百一對午應(yīng)其美余的慨峰。尺最后媽確定犯有那咐些元綠素存談在。征原則巡上當(dāng)連一個擁元素束存在屆時，眉其相沿應(yīng)的增強峰課都應(yīng)堂在譜宮圖上緩出現(xiàn)固。不族能根煮據(jù)一敢個峰籠的出壩現(xiàn)來蓄判定亦元素寺的存由在與躁否。南此外擱，由貓于俄購歇電予子峰巖在高殖動能您端的從信號冬較弱嬌，可魔以把洪高能洗端放館大后閥再進柳行分催析，早以免榨漏掉壯某些速元素鵝的標我定。級根據(jù)式俄歇耕標準舅譜圖目手冊智，可堤以了瘦解到約Si搜L搞VV毅和趣Si久L社MM斥俄歇桃電子蜂的動臣能分悅別為稱92譜和腥19抽19哭e補V諒。驢（債2睬）硅納片表趨面的站半定急量分憤析畝收完南譜圖冒后，蒜通過滅定量瓜程序襲，設(shè)霧置每正個元悉素譜雁峰的膚面積需計算瑞區(qū)域題和扣鞭背底臣方式唇，由晚計算勤機自覽動計醉算出扇每個陶元素穴的相蓋對原輪子百竄分比位。也復(fù)可依逆據(jù)計淚算出南的面疏積和沸元素飽的靈著敏度地因子漁進行拜手動鹿計算故濃度逮。在漫俄歇請電子奴能譜得中，木由于曲有時學(xué)俄歇閉譜的支峰形似和靈繭敏度譯因子基會隨絮化學(xué)偽環(huán)境懶的變懲化發(fā)桂生很奏大的抵變化番，這案也會荒影響保定量競分析跪的準主確度河。懶（預(yù)3妙）硅則片表控面元修素的隆化學(xué)耀價態(tài)草分析求由于濃微分直譜的芹物理酸意義紙不明鵲確，畏俄歇鋪電子磁能譜夸的化魚學(xué)價巾態(tài)分倚析常倡用積窯分譜峽的俄號歇動燈能。郊通過銳直線辣扣背香底的踏方法那，處錄理念Si渠L撕VV坦和胞Si似L叔MM懲積分萄譜，穗并分貧別標雁定其蒜俄歇眉動能雙。根渴據(jù)俄子歇動膛能就芝可以雙判斷輩硅在嬸硅片拔表面建存在自的化蛋學(xué)價估態(tài)。梢根據(jù)邁以前籮的工姜作，袋單質(zhì)子硅的惹Si想L需VV駁和舒Si籌L伴MM荒的俄踐歇動質(zhì)能分漂別為名89燭.0寒和挺19斥19增.0蒸e刃V,娘撫而二防氧化男硅的諸Si利L至VV變和始Si帽L傾MM古的俄穩(wěn)歇動結(jié)能分掛別為救72顫.舌5森和遣19繳05帽.0角e燥V山。昨19屢.6員.1斥.5奔思考抽題顏(1侵)石俄歇簽電子臨能譜饒與栗X車射線稻光電等子能龍譜在牧分析貍內(nèi)容阿和提期供的制表面朗信息支上有號何區(qū)盼別？肌對樣碗品有稈何特憑殊要損求？朗(2嫩)島在深造度分津析時斧常用獎原子誘濃度滔百分碎比來改表達掘，這小種濃苗度概家念與書我們?nèi)槠匠Ｅ杷萌蔚闹仄罅堪佥o分比蠅濃度當(dāng)有何慧不同尋？是薦否就盤可以按認為德所測聞得的脊原子吳百分今比濃畝度就效是樣湖品中他某元方素的鑰存在襲濃度影？為息何？昂19樸.6菌.2馬暫單晶此硅表巧面自型然氧爭化層道的深頂度分旺析諒19糕.6恰.2逼.1嗽實驗斤目的但了解媽和掌剝握俄檔歇深截度分事析的饅方法宜以及臭硅表喜面自察然氧昂化層龜?shù)姆烛?qū)布和危厚度匹。耀19趣.6苗.2取.2隔實驗轟原理革利用扶Ar燒離子箏束剝淺離硅遙片表僻面層田，通國過俄喜歇電園子能蜜譜分盈析表褲面層豬的組艙成，攤從而胖獲得旨元素耀沿深瞧度的宣分布瘡圖。逝19棵.6傳.2柏.3必實驗訓(xùn)內(nèi)容悲（款1傭）樣超品處呢理及灶進樣越（參浩見1瓦9.盤6.燭1.違3漏）陜（站2果）硬修件調(diào)戲節(jié)文通過匙調(diào)整側(cè)樣品假臺位墾置和串傾角肉，使平樣品鬧表面覺與電據(jù)子束喊成位60于夾角繡，與工離子俘槍垂閑直。和待分鳳析室應(yīng)真空濟度達僅到盡5貿(mào)×慢10茶-7斯P謠a蠶后波,集啟動僅電子附槍四,柴通過對調(diào)節(jié)昂電子李槍高世壓，機改變狗放大摔倍數(shù)摟，并類在二航次電米子像榆或吸癢收電著流像論上確途定所掉須分肅析的耳點，邁并使尾待分看析點葉處在森電子拔束與序離子殃束的環(huán)重疊玩區(qū)。址調(diào)節(jié)屆電子按槍的概高壓波到剪2萄kV碧的校文準位顯置，法通過通調(diào)節(jié)廁樣品掏臺與套電子盤槍的揭距離戶使彈縱性峰錯的信欲號最互強。殃然后寄在把橡電子乞槍的蒜高壓丹升到光所須考的位哨置。景開啟栗Ar糾離子技槍，搶調(diào)節(jié)嫁Ar餓離子雄槍中風(fēng)的右Ar虎氣分笨壓，傻使分嗓析室白的真紗空度頃優(yōu)于再3籮×垮10鋸-5皂P慎a組。波（蝴3意）儀艙器參抄數(shù)設(shè)賴置和征數(shù)據(jù)艇采集箭選擇無深度稍分析昌程序掀，設(shè)刃置譜配儀的偶采集讓參數(shù)暗。收扔集的很俄歇陶能量柳范圍咬依據(jù)喪各元循素而暫定，狐掃描買步長躬為博0.似5督eV臣/呀步，仇濺射嘆時間釀和間召隔依蒜據(jù)離槽子槍爽的濺占射速奶率和質(zhì)薄膜獵層的茂厚度召而定呆。棉19伯.6概.2監(jiān).4既數(shù)據(jù)滅處理摟依據(jù)駱以上專條件貸錄譜如，就小可以激獲得鋸元素那沿深炕度方涂向的新信號兔強度狹分布擁圖，搏通過形計算杯可以場獲得柿各元奔素濃康度的厭深度敬分布熟圖。敞19涂.6說.2鍋.5尖思考辦題移俄歇果電子懇能譜驅(qū)深度樸分析該獲得疏的深詠度值血與實金際深乳度有燃何關(guān)寶系？船能否揭認為宣這深球度就亮是樣姻品的繞厚度算。規(guī)19灶.6稼.3趕俄歇謎電子戰(zhàn)能譜桃的微釘區(qū)分錘析蔬19底.6以.3娃.1廚實驗擔(dān)目的即了解路和掌促握俄義歇電效子能管譜的媽微區(qū)藍分析圣功能箏，了藝解俄蠶歇電伐子能承譜微想?yún)^(qū)分蹄析的迫應(yīng)用渡。蜘19月.6額.3妖.2爪實驗帥原理中利用刮電子煎束的賢可掃堤描性嚴和可青聚焦嬌的特膀點，銳可以茄在樣驚品表橋面進數(shù)行選僻點分頭析、就線掃柴描分宰析和處面分持布掃鋒描分劈析。激19告.6墻.3街.3際實驗閱內(nèi)容謀（溝1均）樣巖品處皆理和售進樣債（參觸見1勻9.擇6.感1.畜3腎）甘（向2?。﹥x訂器硬巨件調(diào)醫(yī)整敘通過勉調(diào)整叔樣品子臺位頃置和多傾角疊，使覽樣品艦表面體與電裂子束火垂直授。待蹈分析宰室真據(jù)空度謙達到宇5逮×約10堤-7臨P籌a臟后浙,運啟動錘電子職槍計,年通過鍵調(diào)節(jié)寒電子板槍高葡壓，途改變逢放大移倍數(shù)洞，并瘋在二屑次電算子像裙或吸宋收電專流像皺上用讀計算盞機確徒定所柱須分簽析的