GB/T 25915.14-2022潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第14部分：按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性

ICS1304035

CCSC.70.

中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)

GB/T2591514—2022/ISO14644-142016

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第14部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性

:

Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments—Part14

:

Assessmentofsuitabilityforuseofequipmentbyairborneparticleconcentration

ISO14644-142016IDT

(:,)

2022-12-30發(fā)布2023-07-01實(shí)施

國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布

國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)

GB/T2591514—2022/ISO14644-142016

.:

目次

前言

…………………………Ⅲ

引言

…………………………Ⅳ

范圍

1………………………1

規(guī)范性引用文件

2…………………………1

術(shù)語(yǔ)和定義

3………………1

評(píng)估大綱

4…………………2

目視檢查

5…………………3

懸浮粒子濃度測(cè)量的適用性評(píng)估

6………………………3

記錄

7………………………8

設(shè)備的潔凈室適用性的表述

8……………10

附錄資料性測(cè)試數(shù)據(jù)處理示例

A()……………………11

附錄資料性可選測(cè)試

B()………………15

參考文獻(xiàn)

……………………17

Ⅰ

GB/T2591514—2022/ISO14644-142016

.:

前言

本文件按照標(biāo)準(zhǔn)化工作導(dǎo)則第部分標(biāo)準(zhǔn)化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則的規(guī)定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件是潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的第部分已經(jīng)發(fā)布了以下

GB/T25915《》14。GB/T25915

部分

:

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———1:;

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)

———2:;

第部分檢測(cè)方法

———3:;

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、;

第部分運(yùn)行

———5:;

第部分詞匯

———6:;

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境

———7:(、、、);

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)

———8:(ACC);

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———9:;

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)

———10:;

第部分監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求

———12:;

第部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔

———13:;

第部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性

———14:;

第部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適用性

———15:。

本文件等同采用潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境第部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適

ISO14644-14:2016《14:

用性

》。

請(qǐng)注意本文件的某些內(nèi)容可能涉及專利本文件的發(fā)布機(jī)構(gòu)不承擔(dān)識(shí)別專利的責(zé)任

。。

本文件由全國(guó)潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(huì)提出并歸口

(SAC/TC319)。

本文件起草單位蘇州安泰空氣技術(shù)有限公司江蘇嘉合潔凈科技有限公司中國(guó)電子系統(tǒng)工程第

:、、

四建設(shè)有限公司中國(guó)標(biāo)準(zhǔn)化協(xié)會(huì)蘇州市計(jì)量測(cè)試院中國(guó)合格評(píng)定國(guó)家認(rèn)可中心中國(guó)建筑科學(xué)研究

、、、、

院有限公司江蘇富泰凈化科技股份有限公司中國(guó)電子系統(tǒng)工程第二建設(shè)有限公司中國(guó)電子工程設(shè)

、、、

計(jì)院有限公司上海市食品藥品包裝材料測(cè)試所廣東省潔凈技術(shù)行業(yè)協(xié)會(huì)天津大學(xué)上海市室內(nèi)環(huán)境

、、、、

凈化行業(yè)協(xié)會(huì)南京工業(yè)大學(xué)北京中邦興業(yè)科技有限公司廣東量化檢測(cè)技術(shù)有限公司深圳市朗奧潔

、、、、

凈科技技術(shù)股份有限公司江漢大學(xué)中科圣杰深圳科技集團(tuán)有限公司河南盛川凈化工程有限公司

、、()、。

本文件主要起草人周斌郝胤博孫玉澄馮昕劉俊杰趙偉吳志堅(jiān)夏薇佳王芳袁月吳振一

:、、、、、、、、、、、

韓輝魏佳鳴吳章勇胡茂從閻冬周建平董學(xué)鑫張正兵夏高豐蔡佳義鐘庚朱正財(cái)劉永

、、、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T2591514—2022/ISO14644-142016

.:

引言

采用系列國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)各部分設(shè)置與國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)保持一致擬由個(gè)部分

GB/T25915ISO14644,,15

構(gòu)成

。

第部分按粒子濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分粒子污染程度

———1:。。

第部分潔凈室空氣粒子濃度的監(jiān)測(cè)目的是指導(dǎo)監(jiān)測(cè)粒子污染以避免可能產(chǎn)生的污染

———2:。,

風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分檢測(cè)方法目的是指導(dǎo)對(duì)潔凈室內(nèi)各種污染和相關(guān)環(huán)境要素的檢測(cè)

———3:。。

第部分設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)目的是指導(dǎo)潔凈室的設(shè)計(jì)建造啟動(dòng)

———4:、、。、、。

第部分運(yùn)行目的是指導(dǎo)潔凈室的運(yùn)行

———5:。。

第部分詞匯目的是統(tǒng)一規(guī)范技術(shù)術(shù)語(yǔ)

———6:。。

第部分隔離裝置潔凈風(fēng)罩手套箱隔離器微環(huán)境目的是提出潔凈室用隔離裝置的基

———7:(、、、)。

本要求

。

第部分按化學(xué)物濃度劃分空氣潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分空氣化學(xué)污染程度

———8:(ACC)。。

第部分按粒子濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面粒子污染程度

———9:。。

第部分按化學(xué)物濃度劃分表面潔凈度等級(jí)目的是區(qū)分表面化學(xué)污染程度

———10:。。

第部分監(jiān)測(cè)空氣中納米粒子濃度的技術(shù)要求目的是提出納米級(jí)別的粒子污染的檢測(cè)

———12:。

要求

。

第部分達(dá)到粒子和化學(xué)潔凈度要求的表面清潔目的是提出潔凈室內(nèi)表面的清潔要求以

———13:。

避免可能產(chǎn)生的粒子和化學(xué)污染的風(fēng)險(xiǎn)

。

第部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性目的是通過(guò)對(duì)相關(guān)設(shè)備可能在潔凈室產(chǎn)生粒子污染

———14:。

的測(cè)試確定設(shè)備的適合性

,。

第部分按氣態(tài)化學(xué)物濃度評(píng)定設(shè)備及材料的適用性目的是通過(guò)對(duì)相關(guān)設(shè)備及材料可能

———15:。

在潔凈室產(chǎn)生氣態(tài)化學(xué)污染的測(cè)試確定設(shè)備及材料的適用性

,。

第部分提升潔凈室和空氣凈化裝置的能效目的是節(jié)約潔凈室運(yùn)行的能源消耗

———16:。。

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境按照對(duì)污染物敏感的作業(yè)所適用的水平提供污染控制污染控制有利于航

。

空航天微電子光學(xué)核能和生命科學(xué)制藥醫(yī)療器械食品醫(yī)療等行業(yè)的產(chǎn)品和工藝

、、、(、、、)。

本文件提供了潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中基于空氣潔凈度等級(jí)的設(shè)備適用性評(píng)價(jià)方法

。

Ⅳ

GB/T2591514—2022/ISO14644-142016

.:

潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境

第14部分按粒子濃度評(píng)估設(shè)備適用性

:

1范圍

本文件適用于評(píng)估在潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境中使用的機(jī)械測(cè)試設(shè)備工藝設(shè)備部件及工具等設(shè)

、、、

備的適用性根據(jù)關(guān)注懸浮粒子粒徑范圍為至大于或等于

。GB/T25915.1,0.1μm5μm。

本文件不適用于

:

根據(jù)微生物污染評(píng)估適用性

———;

對(duì)清潔劑及清潔技術(shù)的適用性進(jìn)行測(cè)試

———;

設(shè)備和材料的可清潔性

———;

設(shè)備設(shè)計(jì)及材料選擇的要求

———;

材料的靜電熱學(xué)等物理性能

———、;

具體工藝場(chǎng)合設(shè)備性能的優(yōu)化

———;

測(cè)試統(tǒng)計(jì)方法的選用

———;

當(dāng)?shù)匕踩ㄒ?guī)的條款和要求

———。

2規(guī)范性引用文件

下列文件中的內(nèi)容通過(guò)文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款其中注日期的引用文

。,

件僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改單適用于

,;,(