氣體純化技術(shù)課件

氣體純化技術(shù)技術(shù)基于：氣體純化技術(shù)技術(shù)基于：1Purification基于“FAB”模式純化所有的大宗氣體（N2、O2、Ar、He、和CAD）可以將純度低于1ppb的氣體純度提高到0.1ppb產(chǎn)氣流量范圍從10M3/hr到3000M3/hr。對大量的特氣也能純化。Purification基于“FAB”模式純化所有的大宗氣體2PureGasTechnologies吹掃/柜式純化器點使用式純化器區(qū)域純化器大型純化器PureGasTechnologies吹掃/柜式純化器3BulkGasPurificationTechnologies材料及操作原則雜質(zhì)去除應(yīng)用BulkGasPurificationTechnolo4MaterialsGetters:均質(zhì)金屬（無支撐）：球狀鋯、釩、鈦SupportedMetals:支撐性材料、反應(yīng)金屬：球狀銅、鎳、鉑、保護性物質(zhì)Zeolites：均質(zhì)金屬：球狀、分子篩MaterialsGetters:5Operation純化進程1、催化氧化2、物理吸收3、化學吸收Operation純化進程6催化氧化催化氧化進程：將甲烷、非甲烷碳氫化合物氧化CO2和H2O。方法：催化器+加溫+O2保護性物質(zhì)+鉑，300~400℃

，富氧環(huán)境反應(yīng)過程：

2H2+O2=2H2O2CO+1O2=2CO21CH4+2O2=1CO2+2H2O催化氧化催化氧化進程：將甲烷、非甲烷碳氫化合物氧化CO2和H7催化氧化N2/ArO2COH2CH4CO2H2OH2OCO2CO2H2OPdPdOOO2PdO催化氧化N2/ArO2COH2CH4CO2H2OCO2CO28物理吸收分子篩優(yōu)點：1、能有效去除CO2與H2O（不去除O2）2、筒室溫度可控3、進程在高溫下完全可逆缺點：1、常量普通

物理吸收分子篩9物理吸附N2/ArO2COH2CH4CO2H2OCO2H2OH2OH2OCO2物理吸附N2/ArO2COH2CH4CO2H2OCO2H2O10化學吸收支撐性金屬（吸收器）：銅、鎳、等優(yōu)點：1、金屬能化學吸附O2、CO、H22、金屬網(wǎng)格能物理吸附H2O與CO23、筒室溫度可控4、進程在高溫下完全可逆：NiO+H2+加溫=Ni+H2O5、局部壓力不會造成重大影響化學吸收支撐性金屬（吸收器）：銅、鎳、等11化學吸附——支撐性金屬N2/ArCOH2H2OCO2NiNiOO2NiOONiNi化學吸附——支撐性金屬N2/ArCOH2H2OCO2NiNi12化學吸收捕獲器：鋯、釩、鈦、等優(yōu)點：1、化學方式吸收N2、CH4、O2、H2O、CO、H2、CO22、筒室溫度可控（低產(chǎn)量）或加熱過程最優(yōu)化3、相對較高的產(chǎn)量4、局部壓力不會造成重大影響化學吸收捕獲器：鋯、釩、鈦、等13化學吸附——捕獲器He/ArHZrZrOO2ZrNCZrCO2/CON2CH4化學吸附——捕獲器He/ArHZrZrOO2ZrNCZrCO14熱擴散表面雜質(zhì)擴散至大宗氣體300-4000CZrCZrNZrO熱擴散表面雜質(zhì)15氧氣純化工藝催化床吸附床物理吸附H2OH2CH4CO+O2CO2+H2OCO2氧氣純化工藝物理吸附H2OH2CH4CO+O2CO2+H2O16PS6裝配圖PS6裝配圖17儀表氣體系統(tǒng)圖儀表氣體系統(tǒng)圖18PS6PS619純化器人機界面STATUS指示性的顯示系統(tǒng)狀態(tài)TIME為當前進行步驟計時TEMP&PRESSURE指示性的顯示當前的壓力溫度FLOW當前進程氣體流量數(shù)純化器人機界面STATUS20人機界面按鍵在任何界面下激活目錄條回到主界面在任何界面下進入報警和警告界面關(guān)閉報警聲提高/減低所需值在多個文檔中切換人機界面按鍵在任何界面下激活目錄條21人機界面操作按下后出現(xiàn)的界面：Restart：啟動初純化器，或者在出現(xiàn)報警后取消報警并重啟純化器。Details:深入顯示當前系統(tǒng)的控制點參數(shù)。Alarms:激活報警界面，顯示激活的報警，警告及信息。Events:激活歷史事件表，顯示最多500條歷史事件。人機界面操作按下后出現(xiàn)的22人機界面操作按下

后的界面人機界面操作按下后的界面23人機界面操作人機界面操作24人機界面操作人機界面操作25故障處理故障報警界面：按下后顯示的界面。故障處理故障報警界面：26故障處理當出現(xiàn)故障的時候STATUS信息會從SystemOK變到閃爍的Alarm、Warning信息。ACCEPT:點擊確認單個報警信息。ALL：點擊確認所有報警信息。ACCEPT后的警報信息會顯示為灰色未ACCEPT得警報信息會顯示為紅色信息代碼：<A>表示Alarm<W>表示W(wǎng)arning氣\FaultReporting.xml故障處理當出現(xiàn)