PDS Handbook 制程排放管路系統(tǒng)工程手冊(全)

PDSHandbook制程排放管路系統(tǒng)工程手冊第一章系統(tǒng)設(shè)計1.PDS系統(tǒng)定義及分類(PDS系統(tǒng)定義及分類可以根據(jù)不同廠區(qū)的不同要求有所改變),NO.DescriptionDraindefinitionAbbreviation1Acid/Causticwastewaterdrainincl.SC2,HCl,H2SO4,H2O2,Developer（不含胺，氟）,scrubberandexhaustdrainwastewaterDWW-A2Reclaimwater-firstdrainDI(Hot&Cold)Firstrinse,thewasterinsewaterDRW-F3Reclaimwater-lastdrainincl.SecondrinseandafterrinsewastewaterDRW-L4MUAcondensatedrainMUAcondensatewaterdrainDMUA5ConcentratedfluoridedrainAbove1wt%CHFwastewaterDCHF6DilutedfluoridedrainDHF20:1,50:1,100:1drain,M1/M2,DDHF7IPAdrainIPAdrain(濃)DIPA8Solvent-1drainincl.NMP,Acetone,DilutedIPAdrainwastewater,GC廢溶劑排放DSOL-19Solvent-2drainincl.EKCwastewaterdrainDSOL-210Localsolvent-1drainincl.EBRwastewaterdrainDLocal-111Localsolvent-2drainincl.TOK105,C260,A515wastewaterdrainDLocal-212Sulphuricaciddrainincl.H2SO4drainwater,DH2SO413Phosphoricaciddrainincl.H3PO4，M2drainwater,DH3PO414Grindingwastedrainincl.Backside-grindingdrainwaterDBG15Copperwastewaterdrainincl.Slurry-Coppercleandrainwater，ECPCuSO4toolsRinsewaterDWW-Cu16Copperconcentratedrainincl.Slurry-CopperconcentratewaterDSlurry-Cu17Metalslurrydrainincl.Slurry-MetaldrainwaterDSlurry-Metal18Oxideslurrydrainincl.Slurry-OxidedrainwaterDSlurry-Oxide19FloordrainFabI&3B2Ffloorwastewater(exceptHF,othersacidandcausticcoulddraintothispiping)DFloordrain20NH4OHdrainincl.NH4OHdrainwastewater，SC1，BOE10:1,50:1,130:1,BOE1200,TMAH，DNH4OH21CMPCleanWaterdraindrainwaterDCMP-Clean2.PDS管路設(shè)計通則2.1承包商應(yīng)該設(shè)計和安裝附屬的管道支撐鋼架以增強主建筑鋼構(gòu)的需要2.2大部分情況管線設(shè)計給予稍微傾斜,范圍在0.3-0.5%，管線傾斜給予管線充足的排放,同時消除介于管支架間下垂之影響2.3管架位置必須和管線上之配件同作考慮來決定,如重閥,主管,法蘭,插接等2.4禁止用一管道支撐另一管道2.5水平管道吊桿應(yīng)該用集中負荷型夾具附掛在鋼梁上或焊接在插在混泥土內(nèi)的梁片2.6設(shè)計管路原則上不留閥，管路盡可能直接能重力流到處理點。進出建筑物時，為避免建筑物沉降影響管路使用，建議增加軟接。3.PDS管路安裝設(shè)計要求3.1通常情況下，分段的DWWA支管在聯(lián)結(jié)合一后再接入DWWA主管。這種接法可能因各分段的DWWA水質(zhì)不同而在聯(lián)結(jié)段發(fā)生沉淀反應(yīng)引起堵管的風險（LESSONLEARN4.2）。并且為防止化學(xué)反應(yīng)，堵塞管道，應(yīng)該避免把localscrubber的排水連接到DWWA管路，而建議鋪設(shè)單獨排放到WWT系統(tǒng)的管路（LESSONLEARN4.16）。3.2不同種類的SOLVENT最好可以用不同的Drain管直接排放到相應(yīng)的桶槽內(nèi)，以免不同種類的Solvent相互反應(yīng)而引起結(jié)晶或沉淀堵管（LESSONLEARN4.1）。3.3BG廢水排放管路在由機臺排放至管路之前建議安裝沉淀槽，預(yù)沉淀其中部分容易沉淀的SS，以免造成后段堵管（LESSONLEARN4.3）。3.4設(shè)計施工中要考慮DrainCheckSensor與機