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文檔簡介

前言電容式傳感器利用了將非電量的變化轉(zhuǎn)換為電容量的變化來實現(xiàn)對物理量的測量。廣泛用于位移、振動、角度、加速度以及壓力、差壓、液面（料位）、成份含量等方面的測量。特點：結(jié)構(gòu)簡單、體積小、分辨率高；可實現(xiàn)非接觸式測量；動態(tài)響應(yīng)好；能在高溫、輻射和強振動等惡劣條件下工作；電容量小，功率小，輸出阻抗高，負載能力差，易受外界干擾產(chǎn)生不穩(wěn)定現(xiàn)象。前沿變面積型工作原理變介質(zhì)型變極距型1.工作原理工作原理ε：極板間介質(zhì)的介電常數(shù)；ε0

：真空介電常數(shù)；εr：極板間介質(zhì)相對介電常數(shù)；A：兩平行板所覆蓋的面積；d：兩平行板間的距離。變介質(zhì)型變極距型變面積型前沿變面積型工作原理變介質(zhì)型變極距型2.變面積型電容式傳感器工作原理電容改變量與水平位移成線性關(guān)系線位移變面積型前沿變面積型工作原理變介質(zhì)型變極距型2.變面積型電容式傳感器工作原理電容改變量與角位移成線性關(guān)系角位移變面積型前沿變面積型工作原理變介質(zhì)型變極距型3.變介質(zhì)型電容式傳感器工作原理電容增量與被測液位的高度成線性關(guān)系相當于C1和C2并聯(lián)前沿變面積型工作原理變介質(zhì)型變極距型4.變極距型電容式傳感器工作原理電容增量與極板間距離的變化成近似直線關(guān)系或泰勒展開前沿變面積型工作原理變介質(zhì)型變極距型4.變極距型電容式傳感器工作原理擊穿或短路問題一般極板間距在25～200um范圍內(nèi)，而最大位移應(yīng)小于間距的十分之一，因此這種電容式傳感器主要用于微位移測量。d0越小傳感器靈敏度越高，過小容易擊穿或短路?？稍跇O板件加入高介電常數(shù)的云母材料。相當于電容串聯(lián)。前沿變面積型工作原理變介質(zhì)型變極距型4.變極距型電容式傳感器工作原理非線性問題分析同變磁阻式電感式傳感器為了提高

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