用光干涉極值法動(dòng)態(tài)測(cè)定膜厚_第1頁(yè)
用光干涉極值法動(dòng)態(tài)測(cè)定膜厚_第2頁(yè)
用光干涉極值法動(dòng)態(tài)測(cè)定膜厚_第3頁(yè)
用光干涉極值法動(dòng)態(tài)測(cè)定膜厚_第4頁(yè)
用光干涉極值法動(dòng)態(tài)測(cè)定膜厚_第5頁(yè)
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專題：用光干涉極值法動(dòng)態(tài)測(cè)定膜厚一、引言：薄膜光學(xué)是物理學(xué)領(lǐng)域近期發(fā)展出來(lái)的一個(gè)分支，它主要研究光在分層介質(zhì)中的傳播規(guī)律，如介質(zhì)的折射率、反射、吸收及色散變化的規(guī)律等。對(duì)于厚度小于10nm的膜，其光學(xué)特性（如折射率和吸收系數(shù)）與膜厚有顯著的關(guān)系。在各種不同的應(yīng)用中，對(duì)薄膜厚度的要求是十分嚴(yán)格的，所以不論何種形式的鍍膜設(shè)備都需對(duì)膜厚進(jìn)行監(jiān)測(cè)。搶答當(dāng)兩束光滿足什么條件時(shí)能夠發(fā)生穩(wěn)定干涉？

思考與討論：（1）圖中反射光的光程差是多少？ab1n2n1neCBA●SLP●DirireE●

（2）透射光的光程差又是多少？分組討論2分鐘分組討論3分鐘這兩束透射的相干光的光程差是：

ab1n2n1neCBA●SLP●DirireE●

干涉條件可寫為：

（1）

（2）

（3）思考與討論：光強(qiáng)每經(jīng)過(guò)一個(gè)周期的變化，膜層的厚度增加多少？分組討論2分鐘這種方法的優(yōu)點(diǎn)是可實(shí)現(xiàn)鍍膜過(guò)程中，膜厚的動(dòng)態(tài)控制

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