單晶硅棒檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書

修改記錄版本修改內(nèi)容摘要修改記錄版本修改內(nèi)容摘要編制人審核人批準(zhǔn)人日期A公布BB/1B/2文件宣貫簽字：文件編號(hào)編制部門生效日期單晶硅棒檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書QEO/NBYC/ZD-01-01-2010〔A/0〕文件類別頁(yè)碼1/5品控分部編制/日期審核/日期批準(zhǔn)/日期20年月日公布部門份數(shù)公布部門份數(shù)□總經(jīng)理部[]□財(cái)務(wù)部[]□人事行政部[]□設(shè)備部[]□市場(chǎng)營(yíng)銷部[]□品控部[]□技術(shù)工藝部[]□生產(chǎn)部[]單晶硅棒檢驗(yàn)文件名 崗位作業(yè)指導(dǎo)書

文件編號(hào) 〔A/0〕 頁(yè)碼 2/5到達(dá)品質(zhì)要求。三、定義無(wú)品管部負(fù)責(zé)本檢驗(yàn)作業(yè)指導(dǎo)書的制定、修訂。五、作業(yè)內(nèi)容單晶棒加工前檢測(cè)單晶棒送檢確認(rèn)隨工單的信息是否準(zhǔn)確和完全。直徑檢測(cè)400mm結(jié)果記錄在《單晶硅棒檢驗(yàn)記錄表》上。不符合標(biāo)準(zhǔn)的晶棒長(zhǎng)度，并把不符合標(biāo)準(zhǔn)的長(zhǎng)度記錄在《單晶硅棒檢驗(yàn)記錄表》和晶棒隨工單上。P/N導(dǎo)電類型檢測(cè)400mm測(cè)一點(diǎn)。P/NP/N導(dǎo)電類型，并把測(cè)量結(jié)果記錄在《單晶硅棒檢驗(yàn)記錄表》和隨工單上。NN型硅棒長(zhǎng)度，并把不符合標(biāo)準(zhǔn)的長(zhǎng)度記錄在《單晶硅棒檢驗(yàn)記錄表》和晶棒隨工單上?？v向電阻率檢測(cè)單晶硅棒檢驗(yàn)文件名 崗位作業(yè)指導(dǎo)書

文件編號(hào) 〔A/0〕 頁(yè)碼 3/5400mm再測(cè)。驗(yàn)記錄表》上，并在隨工單上記錄最大值、最小值。如有不在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)的則在硅棒上作標(biāo)記，用卷尺測(cè)量不合格長(zhǎng)棒隨工單上。少子壽命檢測(cè)400mm測(cè)一點(diǎn)，測(cè)量點(diǎn)需經(jīng)打磨。驗(yàn)記錄表》上，并在隨工單上記錄最小值。如有不在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)的則在硅棒上作標(biāo)記，用卷尺測(cè)量不合格長(zhǎng)棒隨工單上。位錯(cuò)檢查去頭、尾位置標(biāo)記記。記。長(zhǎng)度測(cè)量用卷尺〔精度≥1mm〕測(cè)量單晶棒總長(zhǎng)度，并記錄在《單晶硅棒檢驗(yàn)記錄表》和晶棒隨工單上。晶硅棒檢驗(yàn)記錄表》和晶棒隨工單上。制造部加工監(jiān)視單晶棒加工后檢測(cè)送檢確認(rèn)單晶硅棒檢驗(yàn)文件名 崗位作業(yè)指導(dǎo)書

文件編號(hào) 〔A/0〕 頁(yè)碼 4/5附有晶棒隨工單，核對(duì)隨工單的信息是否準(zhǔn)確和完全。題應(yīng)當(dāng)面與其確認(rèn)并在對(duì)應(yīng)的隨工單上注明準(zhǔn)確具體信息。厚度檢測(cè)晶硅棒樣片檢驗(yàn)記錄表》上。P/N導(dǎo)電類型檢測(cè)×××××P/N×××××20mm1〔如右圖所示〕P/NP/N導(dǎo)電類型，并把測(cè)量結(jié)果記錄在《單晶硅棒樣片檢驗(yàn)記錄表》上。徑向電阻率檢測(cè)××××××××6mm處，4R/21點(diǎn)為圓心處?！踩缬覉D所示〕酸洗待檢中、尾部樣片。用退火爐對(duì)中、尾部樣片退火。在《單晶硅棒樣片檢驗(yàn)記錄表》上。V 2 ρ%=〔ρ-ρV 2

R/212 /ρ*10012 少子壽命檢測(cè)

ρR/24點(diǎn)電阻率平均值，ρ為中心點(diǎn)電阻×××××5點(diǎn)，420mm×××××用少子壽命測(cè)試儀檢測(cè)中、尾部樣片的少子壽命，5.3.6C、O濃度檢測(cè)單晶硅棒檢驗(yàn)文件名 崗位作業(yè)指導(dǎo)書

文件編號(hào) 〔A/0〕 頁(yè)碼 5/5C、O1點(diǎn)，為樣片圓心處。酸洗待檢中、尾部樣片。FT-IR檢測(cè)儀檢測(cè)中、尾部樣片CO濃度，并把測(cè)量值記錄在《單晶硅棒樣片檢驗(yàn)記錄表》上。位錯(cuò)檢查酸洗待檢尾部樣