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文檔簡介

MEMS毫米波濾波器

2010年4月1日報告提綱引言

MEMS毫米波濾波器的結(jié)構(gòu)、原理

MEMS毫米波濾波器的工藝流程引言隨著信息技術(shù)的高速發(fā)展,現(xiàn)有微波頻譜日益擁擠,更高工作頻率及更寬工作頻帶的系統(tǒng)研究已經(jīng)受到世界各國的關(guān)注并取得了一定的進展。隨著毫米波雷達、毫米波制導(dǎo)和毫米波通信等系統(tǒng)的發(fā)展以及對小型化、高性能的需求,系統(tǒng)集成化、單片化技術(shù)已經(jīng)成為各國目前的研究熱點。利用MEMS工藝制作的毫米波無源器件,具備小體積、高性能、一致性好且可以與常規(guī)MMIC工藝相兼容等優(yōu)點,成為解決單片毫米波收發(fā)組件的最佳手段。結(jié)構(gòu)簡介

基于MEMS工藝的毫米波帶通濾波器,該濾波器結(jié)構(gòu)采用高阻硅作為襯底材料的薄膜支撐結(jié)構(gòu),選用平行耦合濾波器形式。結(jié)構(gòu)簡介工作原理

1.當(dāng)兩個無屏蔽的傳輸線緊靠一起時，由于傳輸線之間電磁場的相互作用，在傳輸線之間會有功率耦合，這種傳輸線稱之為耦合傳輸線。根據(jù)傳輸線理論，每條單獨的微帶線都等價為小段串聯(lián)電感和小段并聯(lián)電容。

2.單個微帶線單元雖然具有濾波特性，但其不能提供陡峭的通帶到阻帶的過渡。如果將多個單元級聯(lián)，級聯(lián)后的網(wǎng)絡(luò)可以具有良好的濾波特性。3.該濾波器中傳輸線以薄膜為支撐介質(zhì),上下兩層硅片通過體硅工藝加工挖腔,并對上層硅片腔體內(nèi)壁進行金屬化,最后將兩層硅片鍵合即形成屏蔽微帶線(SMM)結(jié)構(gòu)。

該毫米波濾波器的工作原理是基于射頻電路中傳輸線的理論。工作原理傳輸線高頻時等效為并聯(lián)諧振電路高頻多音信號高頻單音信號工作原理一段平行耦合微帶傳輸線高頻可以等效為小段串聯(lián)電感和小段并聯(lián)電容。該型濾波器使用半波長諧振單元平行耦合微帶線，終端開路。λ/2S3節(jié)半波長平行耦合微帶線級聯(lián)高頻等效電路3節(jié)級聯(lián)可以實現(xiàn)很好的濾波性能

工藝流程1.上蓋板的制作ICP刻蝕ICP刻蝕200μm3μm

2.薄膜支撐基板制作EPW腐蝕

(L)成品李倩、楊志、胡小東.MEMS毫米波濾波器的設(shè)計與制作[J].微納電子技術(shù),2010年3月,第47卷第3期/analog/17769.h

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