隔膜真空泵安全操作規(guī)定

隔膜真空泵安全操作規(guī)定一、前言隔膜真空泵是一種重要的實(shí)驗(yàn)室設(shè)備，其用途廣泛，操作簡單，但是由于其涉及到高溫高壓，操作不當(dāng)極易發(fā)生危險。因此，為了保障實(shí)驗(yàn)室安全，特制定本安全操作規(guī)定。二、設(shè)備參數(shù)隔膜真空泵具有以下參數(shù)：最大泵速：20L/min最大真空度：≤133Pa(拔吸中無氣體流量時)負(fù)壓：0.08MPa供氣壓力：0.05~0.1MPa進(jìn)氣口尺寸：KF25三、安全操作規(guī)定3.1前期準(zhǔn)備工作使用前應(yīng)進(jìn)行外觀檢查，檢查泵體有無異常變形、泄漏、環(huán)境灰塵等。操作前應(yīng)查看氣源管路狀態(tài)，需確認(rèn)各氣體源電氣在斷開狀態(tài)。打開氣源檢查其是否正常并運(yùn)行正常；吸氣管道流程良好并在工作溫度范圍內(nèi)；各接口螺絲不要強(qiáng)扭和彎曲.如有異常情況，應(yīng)立即停止使用，待設(shè)備經(jīng)檢修后方可正常使用。3.2啟動設(shè)備開始用前應(yīng)確認(rèn)與真空泵設(shè)置的3-8個選通閥打開或調(diào)整閥的開度，通過手動旋鈕調(diào)整閥門開度，可以引導(dǎo)氣體進(jìn)出真空泵，才可保障設(shè)備使用的技術(shù)穩(wěn)定性.按照以下順序，逐一啟動真空泵。打開一次性使用的過濾器，先通入新鮮氣體并清洗內(nèi)部泵道，以清潔芯片和氣體，還可有效延長芯片的使用壽命。拆卸芯片包裝，檢查芯片和安裝件是否有損壞。將芯片放置在附件中的三個定位點(diǎn)上，在頂部的預(yù)緊螺母中放置定位O鐵，接通泵頭與氣源及真空計。打開真空泵，并緩慢打開主控閥門。此時，如檢測到泵體異常響聲、泄氣、過度震動等異常情況，應(yīng)立即停止使用；如無異常情況，繼續(xù)進(jìn)行下一步操作。3.3關(guān)閉設(shè)備操作完成后，首先要關(guān)閉主控閥門，然后再關(guān)閉真空泵電源開關(guān)和氣源開關(guān)。在關(guān)閉前，應(yīng)先去除對還會存在的壓縮空氣的殘渣的排放閥，直至排出所有氣體或減壓泄氣口的壓力降為0Mpa以下，才可進(jìn)行進(jìn)一步的操作。3.4維護(hù)與保養(yǎng)定期進(jìn)行設(shè)備維護(hù)和保養(yǎng)工作，定期檢查氣源管路和至真空泵的管路，及時進(jìn)行清洗和更換，頻繁保養(yǎng)膠墊，按照保養(yǎng)規(guī)定及保養(yǎng)周期對設(shè)備進(jìn)行保養(yǎng)。對設(shè)備進(jìn)行保養(yǎng)時，應(yīng)關(guān)閉電源開關(guān)和氣源開關(guān)，等待設(shè)備冷卻后再維護(hù)。對于設(shè)備的故障，應(yīng)及時暫停使用，使用有經(jīng)驗(yàn)的技術(shù)保障人員進(jìn)行檢修。四、安全注意事項(xiàng)千萬不可強(qiáng)制關(guān)機(jī)，以免對泵體主體或電器元件造成損壞。操作時應(yīng)熟知設(shè)備使用規(guī)則，并遵守相關(guān)操作流程。操作時應(yīng)注意安全，并隨時準(zhǔn)備應(yīng)對突發(fā)情況。對于設(shè)備故障和異常情況應(yīng)及時采取措施，防止其對設(shè)備造成不可逆轉(zhuǎn)的損害。五、結(jié)論本文檔為隔膜真空泵的安全操作規(guī)定，旨在為實(shí)驗(yàn)室人員提供