廢氣排放管理組織辦法

.廢氣排放管理辦法2012-03-10發(fā)布 2012-03-20實(shí)施感謝閱讀.廢氣排放管理辦法文件類(lèi)別：文件初始編制者/日期：文件修訂者/日期：

作業(yè)類(lèi)文件/動(dòng)力系統(tǒng)管控胡家偉/2009.11.30胡家偉/2012.03.10文件審批記錄：部門(mén)/職位副總裁基建動(dòng)力部總監(jiān)ESH部經(jīng)理

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2009.11.30.目的與范圍使PM人員，設(shè)備運(yùn)行工程師，系統(tǒng)工程師熟悉廢氣排放流程，了解廢氣異常排放處理辦法，預(yù)防及精品文檔放心下載減輕廢氣系統(tǒng)管理不當(dāng)及人為疏忽造成的對(duì)當(dāng)?shù)卮髿猸h(huán)境的影響，確保處理后之制程廢氣達(dá)到國(guó)家市政廢謝謝閱讀氣排放標(biāo)準(zhǔn)安全排放。規(guī)范性引用文件2.1中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)職責(zé)3.1相關(guān)部門(mén)因按照此辦法規(guī)定的管理標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格執(zhí)行；3.2動(dòng)力設(shè)備部相關(guān)工程師應(yīng)嚴(yán)格管控生產(chǎn)廢氣達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)排放；感謝閱讀術(shù)語(yǔ)和定義無(wú)管理內(nèi)容與治理措施方法5.1廢氣污染源分析廢氣處理系統(tǒng)所處理排放的廢氣主要來(lái)源于：生產(chǎn)工藝過(guò)程包括擴(kuò)散前清洗（制絨）、去硅片氧化精品文檔放心下載物（磷硅玻璃）、刻蝕等使用氫氟酸、鹽酸、硝酸、四氟化碳等化學(xué)試劑揮發(fā)產(chǎn)生的酸性、含氟廢氣；清精品文檔放心下載洗、擴(kuò)散、PEVCD等工序產(chǎn)生有機(jī)溶劑廢氣和少量工藝尾氣。感謝閱讀5.2廢氣處理系統(tǒng)根據(jù)廢氣性質(zhì)，將廢氣處理系統(tǒng)分為一般性廢氣（廢熱）排風(fēng)系統(tǒng)、酸性廢氣處理系統(tǒng)、工藝尾氣處精品文檔放心下載理系統(tǒng)和有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)，新增加異丙醇回收裝置，各系統(tǒng)考慮了將來(lái)達(dá)規(guī)模的生產(chǎn)要求，放大了處理精品文檔放心下載系統(tǒng)的能力，風(fēng)機(jī)采用變頻式風(fēng)機(jī)，可根據(jù)需要變化排風(fēng)量。精品文檔放心下載5.2.1一般廢氣（廢熱）排風(fēng)系統(tǒng)該系統(tǒng)排放一般的廢氣和高溫排風(fēng)，不需經(jīng)處理而直接排放。感謝閱讀5.2.2酸性廢氣處理系統(tǒng)酸性廢氣主要來(lái)源于工藝流程中使用各種酸液對(duì)硅片的腐蝕、清洗過(guò)程、擴(kuò)散及等離子刻蝕產(chǎn)生的廢氣，精品文檔放心下載主要污染物為氟化物、硝酸、HCl、Cl2等；擬設(shè)置1套酸性廢氣處理裝置進(jìn)行處理。感謝閱讀.酸性廢氣處理系統(tǒng)主要由廢氣洗滌塔、通風(fēng)機(jī)、排氣管和加藥系統(tǒng)等組成。廢氣先由排氣管道輸入廢氣洗滌塔，吸收液為氫氧化鈉溶液，堿液經(jīng)回圈噴灑而下，利用氫氧化鈉溶液作吸收液凈化酸霧廢氣，吸收效率為93%～98%。感謝閱讀5.2.2.1酸性廢氣塔結(jié)構(gòu)原理：5.2.2.2酸性廢氣處理流程：5.3工藝尾氣、堿性廢氣處理系統(tǒng)工藝尾氣、堿性廢氣主要來(lái)源于：PEVCD工藝過(guò)程中使用氨氣、硅烷等過(guò)程，堿性廢氣的主要成分為氨、精品文檔放心下載工藝尾氣中含有微量硅烷等。采用HWR型生產(chǎn)工藝廢氣燃燒加噴淋的處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。感謝閱讀.5.3.1工藝尾氣、堿性廢氣處理設(shè)備結(jié)構(gòu)：5.3.2工藝尾氣、堿性廢氣處理流程圖：5.4有機(jī)廢氣處理系統(tǒng)有機(jī)廢氣主要來(lái)源于絲網(wǎng)印刷和燒結(jié)過(guò)程中產(chǎn)生的有機(jī)氣體，主要成份為異丙醇等有機(jī)物。設(shè)置活性精品文檔放心下載炭纖維吸附處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。采取的活性炭纖維吸附處理系統(tǒng)對(duì)VOC的處理效果能達(dá)到90%以上，滿足《中華人民共和國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)大氣精品文檔放心下載污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》的要求。5.4.1有機(jī)廢氣系統(tǒng)處理流程.揮發(fā)性有機(jī)化合物廢氣經(jīng)過(guò)活性炭吸附塔，由內(nèi)部活性炭過(guò)濾器吸附，處理后由風(fēng)機(jī)抽引經(jīng)煙囪排至大氣環(huán)境。精品文檔放心下載5.4.2活性炭吸附塔結(jié)構(gòu)原理：5.4.3有機(jī)廢氣處理流程圖：5.5工藝尾氣排放分析5.5.1工藝廢氣來(lái)源在電池芯片的加工過(guò)程中，工藝尾氣主要來(lái)自擴(kuò)散、PECVD、干法刻蝕等工序，尾氣中含有微量硅烷等。感謝閱讀應(yīng)用工藝特殊氣體的典型生產(chǎn)工藝為：.(1)擴(kuò)散：擴(kuò)散是在硅片表面摻入純雜質(zhì)原子的過(guò)程。工藝生產(chǎn)過(guò)程中分為沉積源和驅(qū)趕兩步，其化學(xué)反應(yīng)感謝閱讀為：＞600℃①：5POCl3△3PCl5+P2O5②：5P2O5+5Si==5SiO2+4P精品文檔放心下載(2)化學(xué)氣相沉積（PECVD）：PECVD是在硅片上沉積氧化硅、氮化硅和多晶硅等半導(dǎo)體器件材料，在300～900℃的溫度下通過(guò)化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生以上物質(zhì)的過(guò)程，其化學(xué)反應(yīng)為：謝謝閱讀SiH4+O2→SiO2+2H2OSiH4+N2O→SixO2+N2+H2SiH4+NH3→Si3N4+H2在上述生產(chǎn)工藝中，使用硅烷等多種特殊氣體，絕大多數(shù)特殊氣體參與了反應(yīng)，所排放的尾氣中的主要成份為HCl、HF等。謝謝閱讀5.5.2工藝尾氣處理措施1、對(duì)氣源柜、注入機(jī)反應(yīng)室、有毒氣體間、腐蝕性氣體間、氫氟酸配送間、酸液配送間的排風(fēng)接入酸性精品文檔放心下載廢氣洗滌系統(tǒng)進(jìn)行處理后排放。2、對(duì)于在硅片PECVD生產(chǎn)工序中產(chǎn)生的工藝廢氣，本項(xiàng)目擬采用HWR型生產(chǎn)工藝廢氣燃燒加噴淋的處理精品文檔放心下載系統(tǒng)進(jìn)行處理。處理后產(chǎn)生的尾氣由風(fēng)機(jī)經(jīng)排氣筒高于地面18米排放。精品文檔放心下載5.5.3廢氣排放統(tǒng)計(jì)酸性/堿性廢氣、有機(jī)廢氣中主要污染物處理及排放情況見(jiàn)表3.1-6。從表中可見(jiàn)，經(jīng)采取上述處理措精品文檔放心下載施后，酸性廢氣、有機(jī)溶劑廢氣各排氣筒主要污染物指標(biāo)均能達(dá)到《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》 GB精品文檔放心下載16297-1996中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(第二時(shí)段)；堿性廢氣各排氣筒的氨也能達(dá)到《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》 GB謝謝閱讀14554-93的要求。表3.1－6工藝廢氣主要污染物處理及排放情況排放參數(shù)處理前處理后評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)廢氣排氣污染物排放排放排放排放排放排放達(dá)標(biāo)濃度濃度高度總量名稱速率速率速率濃度情況種類(lèi)(mg/m(mg/m(m)(m3/h)(kg/h)(kg/h)(kg/h)(mg/m3)3)3)氟化物1.801200.0906.00.439達(dá)標(biāo)酸性廢氣＞18≤45000HCl0.4630.70.0231.530.26100達(dá)標(biāo)NOx0.1147.60.00570.380.77240達(dá)標(biāo).堿性廢氣＞18≤9400NH30.0618.80.0030.9420—達(dá)標(biāo)VOC排放速率<0.6有機(jī)廢氣＞18≤12000(主要異0.3863.30.0386.3kg/h或去除率達(dá)標(biāo)是丙醇)>90%注：1.除氨執(zhí)行《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》GB14554-93外，其余均執(zhí)行《大氣污染物綜合排放標(biāo)準(zhǔn)》GB16297-1996中二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)(第二時(shí)段)。謝謝閱讀氮氧化物以NO2計(jì)，氟化物以F計(jì)。5.6關(guān)于無(wú)組織排放5.6.1無(wú)組織排放是指排氣筒高度小于15m或不通過(guò)排氣筒的廢氣排放。精品文檔放心下載5.6.2潔凈車(chē)間有較高的顆粒潔凈等級(jí)要求，因此車(chē)間內(nèi)各股廢氣量均為有組織排放，基本沒(méi)有無(wú)組織排謝謝閱讀放的廢氣。5.7權(quán)責(zé)區(qū)分5.7.1對(duì)于廢氣排放的各相關(guān)單位及工程師，應(yīng)該擔(dān)當(dāng)各自系統(tǒng)制程，設(shè)備清洗等產(chǎn)生廢氣的管制，要安感謝閱讀全有效的排放廢氣。動(dòng)力工程部負(fù)責(zé)廢氣收集，廢氣處理，廢氣排放，廢氣系統(tǒng)設(shè)備，儀表的保養(yǎng)維護(hù)，精品文檔放心下載確保系統(tǒng)正常運(yùn)轉(zhuǎn)，保證處理完后廢氣達(dá)到排放標(biāo)準(zhǔn)。5.7.2EHS部門(mén)負(fù)責(zé)監(jiān)督。5.8廢氣排放管理5.8.1廢氣收集系統(tǒng)，處理系統(tǒng)相關(guān)設(shè)備，儀表，管件由動(dòng)力工程師及維修人員根據(jù)廢氣系統(tǒng)PMOI進(jìn)行定期保養(yǎng)維護(hù)，并記錄各時(shí)期自主檢查表，確保系統(tǒng)正常運(yùn)行。精品文檔放心下載5.8.2 對(duì)于廢氣排放使用之風(fēng)機(jī)，動(dòng)力工程部應(yīng)做定期的檢修工作。謝謝閱讀5.8.3 對(duì)于排放出的廢氣環(huán)保局會(huì)隨時(shí)抽測(cè)，我們會(huì)針對(duì)不符合排放標(biāo)準(zhǔn)的廢氣做相應(yīng)的改進(jìn)措施。感謝閱讀5.8.4 定期委外監(jiān)測(cè)5.8.4.1監(jiān)測(cè)項(xiàng)目：氟化物、硫酸霧、氮氧化物、氯化氫、有機(jī)化合物。謝謝閱讀5.8.4.2監(jiān)測(cè)位置：酸/堿排氣類(lèi)型目前均有排放口，每年取樣并作記錄謝謝閱讀5.8.5處理設(shè)備參數(shù)設(shè)定5.8.5.1酸性排氣洗滌塔的洗滌水PH值為8.0~11精品文檔放心下載5.8.5.2堿性排氣洗滌塔的洗滌水PH值為3.0~6.0精品文檔放心下載5.8.6廢氣系統(tǒng)異常情況分析與對(duì)策.5.8.6.1主要分為以下異常情況：生產(chǎn)設(shè)備異常造成廢氣排放，致使排放濃度增高；機(jī)臺(tái)正常廢氣排感謝閱讀放，但處理后未能達(dá)標(biāo)。5.8.6.2機(jī)臺(tái)異常造成廢氣排放5.8.6.3從所有生產(chǎn)設(shè)備使用氣體的情況來(lái)看，就鋼瓶?jī)?nèi)儲(chǔ)存氣體量都不大， Exhaust都能滿足抽風(fēng)感謝閱讀排氣的需求，即生產(chǎn)設(shè)備端異常氣體泄漏，主要有氣體泄漏為酸、堿性氣體，會(huì)被抽到酸、堿性洗感謝閱讀滌塔，分別用NaOH和HCl溶液循環(huán)洗滌去除有害類(lèi)氣體，如果因?yàn)楫惓U氣排放濃度增大，則可感謝閱讀以通過(guò)調(diào)節(jié)洗滌塔內(nèi)水的 PH值（對(duì)于酸塔提高PH設(shè)定值，對(duì)于堿塔降低PH設(shè)定值），來(lái)提高洗感謝閱讀滌塔的處理效率。5.9非正常工況廢氣排放處理辦法5.9.1在車(chē)間開(kāi)工時(shí)，首先運(yùn)行所有的廢氣處理裝置、除害裝置和廢水處理站，然后再開(kāi)啟車(chē)間的工藝流程，使在生產(chǎn)中所使用的各類(lèi)化學(xué)品所產(chǎn)生的廢氣都能得到處理、廢水也能排到廢水處理站。5.9.2車(chē)間停工時(shí)，所有的廢氣處理裝置、除害裝置和廢水處理站繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)，待工藝中的廢氣和廢水沒(méi)有排出之后才逐臺(tái)關(guān)閉。這樣，車(chē)間在開(kāi)、停車(chē)時(shí)排出污染物均得到有效處理，經(jīng)排氣筒排出的污染物濃度和正常生產(chǎn)時(shí)基本一致。5.9.3廢氣處理系統(tǒng)和排風(fēng)機(jī)均設(shè)有保安電源，系統(tǒng)設(shè)有備用風(fēng)機(jī)（N+1配置）。當(dāng)廢氣處理設(shè)備出現(xiàn)故障時(shí)，工藝生產(chǎn)過(guò)程排放的廢氣將未經(jīng)處理直接排入大氣，造成非正常排放。故障一般能在2小時(shí)內(nèi)修復(fù)。5.9.4排風(fēng)系統(tǒng)均設(shè)有安全保護(hù)電源和報(bào)警系統(tǒng)，設(shè)備定期檢修保養(yǎng)，基本上能保證無(wú)故障運(yùn)行。5.9.5日常運(yùn)行中，若出現(xiàn)故障，檢修人員可立即到現(xiàn)場(chǎng)進(jìn)行維修，一般操作在30分鐘內(nèi)基本上可以完成，預(yù)計(jì)最長(zhǎng)不會(huì)超過(guò)60分鐘。5.9.6廢氣處理系統(tǒng)出現(xiàn)故障，一般采取以下措施：5.9.6.1如果全廠停電，停止生產(chǎn)，無(wú)污染物產(chǎn)生。5.9.6.2為確保安全，風(fēng)機(jī)仍然繼續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)（采用UPS）。5.9.6.3風(fēng)機(jī)出現(xiàn)故障時(shí)，備用風(fēng)機(jī)立即啟動(dòng)。相關(guān)記錄：6.1Q/ZTISZ02020302-01《廢氣異常排放記錄表》謝謝閱讀管理流程圖：無(wú)附錄.8.1附錄A：一般酸堿廢氣異常排放處理流程附錄A：一般酸堿廢氣異常排放處理流程一般酸堿廢氣排放不符合標(biāo)準(zhǔn)檢查加藥系否檢修加藥