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3D顯微鏡操作說明主要作業(yè)流程圖開機(jī)前的確認(rèn)打開顯微鏡主機(jī)-->打開電腦主機(jī)-->打開程序-->調(diào)整物鏡距離-->掃描圖像-->測(cè)量寬/高-->保存數(shù)據(jù)/圖像-->關(guān)機(jī)圖1圖2詳細(xì)作業(yè)流程開機(jī)如圖1,先打開顯微鏡主機(jī)開關(guān),再打開電腦主機(jī)開關(guān)(順序不可顛倒);打開程序如圖3,打開圖中箭頭所指處的圖標(biāo)Zeta3D-中文版,在彈出的對(duì)話框中點(diǎn)擊OK,彈出如圖4的登錄界面;

圖3圖4在圖5所示的登錄界面輸入賬號(hào)密碼,彈出如圖6所示的界面,點(diǎn)擊OK即可進(jìn)入程序的主界面(圖7;圖5圖6圖7調(diào)整物鏡距離載入配置文件如圖7所示,點(diǎn)擊箭頭所指處的加載,彈出如圖8所示的窗口,選中Poly-SiFingerAF文件,然后點(diǎn)擊箭頭處的Open進(jìn)行載入;圖8根據(jù)需要選擇合適的物鏡(5倍/10倍/20倍/50倍/100倍)移動(dòng)并調(diào)整物鏡:點(diǎn)擊圖9箭頭所指處的下,彈出如圖10所示的界面,然后一直按住空格鍵,將物鏡移動(dòng)至最低位置,然后根據(jù)情況按或按住或松開鍵盤上的翻頁按鍵PgUp(物鏡向上調(diào)整)/PgDn(物鏡向下調(diào)整),調(diào)整圖像至有部分區(qū)域清楚的時(shí)候即可;備注:調(diào)整物鏡時(shí),目光要時(shí)刻注意物鏡不能觸碰到被測(cè)物品或載物臺(tái)面,一旦快接近被測(cè)物或載物臺(tái)表面,立刻松開空格鍵或者翻頁鍵來停止移動(dòng)物鏡,否則有可能損傷物鏡;圖10

圖9掃描圖象:點(diǎn)擊圖11中間箭頭所指的設(shè)置標(biāo)稱焦點(diǎn),然后點(diǎn)擊下面的箭頭處的掃描進(jìn)行掃描;備注:掃描時(shí)會(huì)出現(xiàn)圖12所示的提示語,此時(shí)不要進(jìn)行任何操作以防程序假死無響應(yīng);若需要中途停止測(cè)量可直接按鍵盤最左上角的ESC鍵進(jìn)行終止掃描;圖11圖12測(cè)量寬高:掃描結(jié)束后,彈出如圖13所示的測(cè)試結(jié)果,此時(shí)可進(jìn)行寬度與高度的測(cè)量等操作;圖13寬度測(cè)量:如圖13所示,右擊圖中所示的測(cè)量寬度區(qū)域,彈出如圖14所示的菜單,依次選擇測(cè)量-->線,然后按住鼠標(biāo)從一端移動(dòng)到另一端并松開即可出現(xiàn)測(cè)量長(zhǎng)度,具體結(jié)果如圖15所示:備注1:若要取圖13垂直方向的剖面圖,則在圖14菜單中選擇垂直即可,圖13測(cè)量高度區(qū)域的剖面圖圖形會(huì)相應(yīng)改變;傾斜方向就相應(yīng)選傾斜即可;備注2:若要:對(duì)多個(gè)剖面圖進(jìn)行測(cè)量,則相應(yīng)選擇圖14的新增一個(gè)剖面圖即可(此操作只對(duì)測(cè)量高度有效);備注3:剖面圖線是可以通過鼠標(biāo)拖曳來移動(dòng)的,也可以通過選擇重置剖面圖的命令來恢復(fù)原始測(cè)量結(jié)果界面;圖16圖15高度測(cè)量:如圖16所示根據(jù)圖中操作說明進(jìn)行操作測(cè)量;圖16保存數(shù)據(jù)和圖像如圖17,按保存按鈕即可彈出圖18的保存對(duì)話框,輸入文件名,然后按Save即可保存;截圖使用鍵盤自帶的PrintScreen按鍵進(jìn)行進(jìn)圖,然后用系統(tǒng)自帶的畫圖軟件即可保存圖像;圖17圖18注意事項(xiàng)測(cè)試時(shí)要注意工藝衛(wèi)生,必須戴上無塵手套才可進(jìn)行操作;本儀器只可用來測(cè)試干凈清潔的電池片和硅片,禁止將有腐蝕性或者潮濕的硅片/電池片放在測(cè)試平臺(tái)上;測(cè)試完畢后請(qǐng)將待

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