標(biāo)準(zhǔn)玻璃網(wǎng)格板

1標(biāo)準(zhǔn)玻璃網(wǎng)格板檢定規(guī)程本規(guī)程適用于新制造，使用中和修理后的1,2級(jí)標(biāo)準(zhǔn)玻璃網(wǎng)格板的檢定。標(biāo)準(zhǔn)玻璃網(wǎng)格板(以下簡(jiǎn)稱網(wǎng)格板)用光學(xué)玻璃制造，其外形為正方形(或矩形),在刻線面上刻有網(wǎng)格或十字狀刻線，如圖1所示。網(wǎng)格或十字狀刻線其X方向和Y方向相互垂直。沿X方向(或沿Y方向)任意兩網(wǎng)格刻線間的距離，稱為網(wǎng)格刻線間距，網(wǎng)格板網(wǎng)點(diǎn)坐標(biāo)值由X(i,j);Y(i,j)表示。A1級(jí)、2級(jí)網(wǎng)格板，主要用于攝影測(cè)量?jī)x器和遙感儀器的檢定。1網(wǎng)格板的檢定項(xiàng)目和主要檢定用的工具列于表1。2.1檢定前應(yīng)用脫脂棉蘸乙醚、酒精混合液將兩拋光面擦拭干凈。2.2檢定網(wǎng)格板時(shí)室內(nèi)溫度應(yīng)為(20±1)℃,且每小時(shí)溫度變化不得超過(guò)0.3℃。檢2定前，被檢網(wǎng)格板放在恒溫室內(nèi)平衡溫度的時(shí)間不得少于4h。序號(hào)使用中1+2++3的距離及網(wǎng)格板的厚度+45+ +6+ +7具+8+9網(wǎng)格刻線間距的變化量+網(wǎng)格刻線間距的尺寸比較儀和“00”級(jí)直角尺++注：1.表中“+”表示該項(xiàng)應(yīng)檢定；“-”表示該項(xiàng)可以不檢定。2.對(duì)表中序號(hào)為9,10的項(xiàng)目進(jìn)行檢定時(shí)，允許選用與表中“主3.1要求：新制造的網(wǎng)格板，兩拋光面不應(yīng)有霉點(diǎn)，油斑等污物。使用中的網(wǎng)格板表3.2檢定方法：用目力觀察。 35.1要求：見(jiàn)表2,示意圖見(jiàn)圖1。網(wǎng)格板厚度D級(jí)別網(wǎng)格板規(guī)格尺寸X×Y(mm2)平行度(μm)平面度(μm)平行度(μm)1326 49.1要求：刻線寬度見(jiàn)表4,刻線數(shù)字的參數(shù)及字型符號(hào)筆劃線條的一般要求，按GB1784—79《光學(xué)儀器的字型及符號(hào)》以及GB1784—79《光學(xué)分劃零件通用技術(shù)條12刻線寬度(μm)9.2檢定方法：按GB1784—79的各項(xiàng)方法進(jìn)行。10.1要求：在溫度為10～30℃范圍內(nèi)線膨脹系數(shù)為式(1)所示：10.2檢定方法：用測(cè)量線膨脹系數(shù)專用設(shè)備，每批材料抽樣檢定。11網(wǎng)格刻線間距的變化量11.1要求：每?jī)赡陜?nèi)的變化量應(yīng)不大于表5的規(guī)定。12X、Y方向的變化量(μm)11.2檢定方法：用激光兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x檢定。12.1要求：見(jiàn)表6。測(cè)量不確定度(μm)相鄰網(wǎng)點(diǎn)差(μm)1212.2.1用激光兩坐標(biāo)測(cè)量?jī)x，電感式比較儀和00級(jí)直角尺檢定。檢定1級(jí)網(wǎng)格板時(shí)，采用分辨力為0.01μm的電感式比較儀；所用00級(jí)直角尺按其實(shí)際垂直度使用。檢驗(yàn)5保溫罩內(nèi)網(wǎng)格板對(duì)一次測(cè)量中網(wǎng)的波動(dòng)量一次測(cè)量中保溫罩內(nèi)的波動(dòng)量12極限誤差<0.03℃濕度計(jì)上用的溫度計(jì)檢定極限誤差<0.2℃值(t),氣壓值(p)△l?=[0.929(t-20)-2.685(p-101.325)+0.42(f612.2.7調(diào)整光電顯微鏡上兩狹縫的相對(duì)位置，從雙蹤示波器上觀察，使刻線的兩鐘形脈沖信號(hào)相交于幅值的7/10處。12.2.8用雙蹤示波器檢查刻線信號(hào)，要求光電顯微鏡接收的每條刻線的兩鐘形脈沖信12.3計(jì)算檢定狀態(tài)下的脈沖當(dāng)量Q,12.3.1首先根據(jù)所選用的激光計(jì)數(shù)器按式(4)計(jì)算出正常狀態(tài)下的脈沖當(dāng)量Q,;再將測(cè)得值△l?及△l?代入式(5)計(jì)算出一個(gè)脈沖當(dāng)量的修正值△Q,最后由式(6)計(jì)算出檢定狀態(tài)下的脈沖當(dāng)量Q,。式中：λ——正常狀態(tài)下的激光波長(zhǎng)值；N——激光計(jì)數(shù)器的倍頻數(shù)，最少采用4倍頻。式中：L——計(jì)算中規(guī)定為1m。12.3.2在計(jì)算Q,全部過(guò)程中的讀數(shù)與計(jì)算應(yīng)由另一檢定員校核，兩人同時(shí)在記錄上12.3.3Q,置入數(shù)據(jù)處理裝置便可開(kāi)始進(jìn)行檢定，并由打印機(jī)打印出檢定數(shù)據(jù)。12.4.1將Q,置入數(shù)據(jù)處理裝置后連續(xù)測(cè)量?jī)纱?，取兩次測(cè)量結(jié)果的算術(shù)平均值為檢定數(shù)據(jù)。兩次測(cè)量結(jié)果的差值要符合表9的要求。表91212.4.2根據(jù)網(wǎng)格板的實(shí)際使用要求按上述檢定方法分別測(cè)出X和Y方向各網(wǎng)格刻線相對(duì)于起始網(wǎng)格刻線的間距尺寸，作為檢定值。各檢定值的數(shù)據(jù)點(diǎn)坐標(biāo)位置見(jiàn)圖2。12.5.1垂直度檢定：將00級(jí)直角尺放在玻璃工作臺(tái)網(wǎng)格板一側(cè)；把電感測(cè)量頭固定在光電顯微鏡支架上，并使電感測(cè)量頭與直角尺短邊相接觸，選擇網(wǎng)格板Y(或X)基準(zhǔn)線為垂直度檢定的底邊，X(或Y)基準(zhǔn)線為直角邊，調(diào)整直角尺使其短再將電感測(cè)量頭與直角尺長(zhǎng)邊相接觸，沿工作臺(tái)Y坐標(biāo)方向移動(dòng)光電顯微鏡支架，用 7注：圖2中的“I”和“-”標(biāo)記表示X和Y方向被檢網(wǎng)格刻線的位置。實(shí)際刻線為“+”狀?；鶞?zhǔn)線X’(0,0)和X’(m,0)之間的差值，即為網(wǎng)格板的垂直度，檢定方法如圖312.5.2直線度檢定：用檢定網(wǎng)格各條刻線間距尺寸的方法，檢定出網(wǎng)格板底邊Y(或X)基準(zhǔn)線的直線度。檢定結(jié)果見(jiàn)數(shù)據(jù)式(8):△Y(0,0),△Y(0,1),…,△Y(0,n)813.1.1將垂直度和直線度檢定的數(shù)據(jù)式(7)、(8)分別與X、Y各網(wǎng)格刻線間距尺寸檢定數(shù)據(jù)X'(m,n);Y’(m,n)進(jìn)行代數(shù)相加，按式(9)計(jì)算出網(wǎng)格板X(qián),Y方向各點(diǎn)坐標(biāo)數(shù)據(jù)，式(10)為式(9)的展開(kāi)式。這樣就得出網(wǎng)格板網(wǎng)點(diǎn)實(shí)際坐標(biāo)值，如圖4所示。+++*:+十++++△X(m,0)+X'(m,n)=X(m,n)△Y(0,n)+Y'(m,n)=Y(m,n)△X(0,0)+X′(0,0)=X(0,0)△X(0,0)+X^(0,1)=X(0,1)△X(1,0)+X'(1,n)=X(1,n)△Y(0,1)+Y(m,1)=Y(△X(m,0)+X'(m,n)=X(m,n)△Y(0,n)+Y'(m,n)=Y(m,n)(10) 913.2計(jì)算網(wǎng)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)偏差(即網(wǎng)點(diǎn)中誤差)值根據(jù)網(wǎng)點(diǎn)實(shí)際坐標(biāo)位置X(m,n);Y(m,n)按以下順序計(jì)算網(wǎng)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)偏差值。檢測(cè)網(wǎng)格板時(shí)，以X(0,0);Y(0,0)點(diǎn)為起始原點(diǎn)，而在實(shí)際使用中，以及網(wǎng)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)偏差計(jì)算公式的推導(dǎo)都是以中心網(wǎng)點(diǎn)為坐標(biāo)原點(diǎn)。為此需進(jìn)行坐標(biāo)位置轉(zhuǎn)換，轉(zhuǎn)換示意圖見(jiàn)圖5。坐標(biāo)轉(zhuǎn)換計(jì)算公式見(jiàn)式(11)、(12)、(13)、(14):式中：X,Y——以(0,0)點(diǎn)為坐標(biāo)原點(diǎn)的實(shí)際坐標(biāo)值；X0,Y0——以(0,0)點(diǎn)為坐標(biāo)原點(diǎn)的名義坐標(biāo)值；X*,Y*以(m/2,n/2)點(diǎn)為坐標(biāo)原點(diǎn)，經(jīng)坐標(biāo)轉(zhuǎn)換后的實(shí)際坐標(biāo)值；13.2.2網(wǎng)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)偏差值的計(jì)算見(jiàn)公式(15) 殘余誤差平方和；網(wǎng)點(diǎn)行與列的個(gè)數(shù)；m*網(wǎng)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)誤差。網(wǎng)格板坐標(biāo)轉(zhuǎn)換和網(wǎng)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)偏差的計(jì)算公式及其計(jì)算表格詳見(jiàn)附錄2,3,4。13.3檢定結(jié)果取微米的1/10位。1/100的數(shù)字按表10規(guī)定處理。表10123456789四檢定結(jié)果的處理和檢定周期14經(jīng)檢定符合本規(guī)程要求的，填發(fā)檢定證書(shū)并在檢定證書(shū)上根據(jù)網(wǎng)格板的實(shí)際使用情況寫(xiě)明網(wǎng)點(diǎn)實(shí)際坐標(biāo)值或網(wǎng)點(diǎn)標(biāo)準(zhǔn)偏差值。不符合本規(guī)程要求填發(fā)檢定結(jié)果通知書(shū)。15網(wǎng)格板的檢定周期，根據(jù)實(shí)際使用情況確定一般為2年，當(dāng)網(wǎng)格間距的變化量連續(xù)4年內(nèi)符合要求時(shí)，檢定周期可延長(zhǎng)至4年。網(wǎng)格板溫度值、空氣溫度值、氣壓值和濕度值的測(cè)量方法t,=1/2(△t?+△t?)+(tm+△tm)