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文檔簡介
分析處理半導(dǎo)體的基本導(dǎo)電理論,特別是PN結(jié)理論,同時對半導(dǎo)體表面,金屬-半導(dǎo)體接觸等相關(guān)問題。第一章導(dǎo)論半導(dǎo)體晶體第二章平衡狀態(tài)下半導(dǎo)體體材的特性E變化的分布函數(shù);費米能級EF;PN結(jié)特性PN的能帶圖;PN第五章PN結(jié)的伏-安特性正偏條件下的PN結(jié)特性;反偏條件下的PN第六章半導(dǎo)體表面和MIS結(jié)構(gòu)pn構(gòu)MIS結(jié)構(gòu)的C-V教材: 鳴《半導(dǎo)體物理學(xué)(6版)1、試卷總分:1002、考試時間:12034110351201251301,請給出圖示晶面的密勒指數(shù)(Miller度分別為:p012.25×1016/cm3;p021.5×1010/cm3;p034/cm3(])這三塊材料的電子濃度。Eg=1.12eV,ni=1.5×10==(])n01n02n03
2ninn2nin2ni
2.251.52.25
1104/1.51010/11016/p01=2.25×1016/cm3>>n01=1×1010/cm3pp02=1.5×1010/cm3=n02=1.5×1010/cm3=nip03=2.25×104/cm3<<n03=1×1016/cm3nT=300K,kT=0.026eVp
expEiEF
E
kTn
, p
2.25Ei
kTn0
1.5p0.369eV處。Ei
kTnp0
1.51.5
0Ei
kTn
2.251.5
0.0260.40562302n0.348eV3,EkEk
Ak2Bk2Ck F=ma解:因為電子的運動速度可表v1hadv
d1dE1
dE dt
dk
h
dtdEFdlFvF1dEh h
dk
1dE
1d
1dE
d2E
1d2Ea
dt
dk
hdkF
dk
h2Fdk
h2dk
F 1d2Eh2dkh2dk m*m*n
1d2Eh2dkh2dk
Ak2Bk2Ck
m*nx1d2E2h2dk2m*ny
x2 21d2E h2dk2 y m*nz1d2Eh2dk2 z Fx2Aax;Fy2Bay;Fz2C4, 2 88Ek88
ma2
ka ka00ak能帶的寬度n=0,±1,±2,±3···即n=0,±1,±2,±3n=0,±1,現(xiàn)在根據(jù)能量的二階導(dǎo)數(shù)n0k值代入能量二階導(dǎo)數(shù)的n1kk5,NaNd的p樣品,如果兩 1b 2b
1b ni是本征載流子密度。樣品進入本征導(dǎo)電區(qū),上式簡化為什么形式ipNaNdnpnn2i
2 2p NaNd1
NaNd 1 n NaNd1 2 NaNd 2
即
1b
1b樣品進入本征導(dǎo)電區(qū),Na–Ndni
iNai
1
1b1
aNd6,μn=39002/伏?秒mn3×10-28qn=1.6×10-19v平均值(取均方根速度電子的平均自由時間τ電子的平均自由路程l10伏/厘米時的漂移速度并簡要討論(3)和(4)利用遷移率的表示式μn=qτ/mn,故平均自由時間為結(jié)果表明,電子的平均自由路程相當于數(shù)百倍晶格間距(10–8厘米)。說明半導(dǎo)體中電子散射的機構(gòu)不能用經(jīng)典理論來說明。散怪了。據(jù)上述結(jié)果可見vDv,即漂移速度遠小于熱運動速度,7,Jp(x)若P(0)/P0=103,求x=0 x=W之間的電位差(n102.302解:據(jù)圖示空穴濃度的分布曲線,可以寫出空穴濃度p(x)p0p0xp0kxp0
0xpxk
p0p0W
x
0xjpx
dpp
xE(x)
dppqD pEx dx pp 即 Dpdp
0xEx
0
x已知pxkxp0Dp
Ex
kx0
0xxx=0x=WWU0W0.026k0kx00.026nkx00.026np00.026
n1033
8,假定τ0=τp=τn為不隨樣品摻雜密度改變的常數(shù),試求ii先求出使τdτdn00把n0·p0=n 代入上式則n0ni時,τ取極值。 時壽τ取極大值。當τ0=τp=τn時,根據(jù)小注入壽命公式,可以討論壽 Et容易看出,Ei≠Et時,無論EtEV的上方,還是在ECEiEt時,τ取極小值,即復(fù)合中心能級9,+0x0N型區(qū),xX02,ρ(x)0正空間電荷區(qū),–X02≤x≤0,ρ(x)=qND;負空間電荷區(qū),0x+X02,ρ(x)qNA:電中性Px>,+X0/2,ρ(x)=0在電中性NdE故EψdE ExdE 由
2
qNDXEx
xεdε
Ex故
xX0 N N
20ψxqNDx2X0dE
XdE A2Ex 考考ExqNAxεDNA,可得負空間電荷區(qū)中恰與正空間電荷區(qū)反向?qū)ΨQ的的電0ψxqNAx2X010,n畫出開始出現(xiàn)強反型層時的能帶圖和出現(xiàn)強反型層的條((b)UGnMOSUG=0時,半導(dǎo)體表面屬于平帶情況,如圖(a)所示。圖(b)和(c)分別是積累層和耗盡層的能帶圖。nsps分別表示表面的電子密度和空穴密度,EiSnS或
EiSEiqUSEF
qUFUSUFUS2U11,nNCexp
ECEf EfEVpNVexp
nxn0
pxp0exp
n0p0是體內(nèi)的電子和空穴密度,U(x)是表面空間電荷區(qū)中的要附加靜電勢能-eU(x)。譬如ECxECSeUxEVxEVSeUECSEVS分別為表面相應(yīng)于體內(nèi)導(dǎo)帶底和價帶頂?shù)碾娮幽芰?。nx
ECxEf ECSeUxEfN ECSEf
NCexp k expkT n k0Tpx
EfEV EfEVSeUN EfEVS
eUNVexp k
kT eUp k0T12,對于n型半導(dǎo)體,利用耗盡層近似,求出耗盡層層寬度和空間電荷面密度量QSC隨表面勢US ρqND
0 0dU
x空間電荷區(qū),邊界xdxAqND 0dUqNDxx 0xdUdU
xx
Ux
22
xxd
0US
x x01 xd 0SiUS QSCqND
0 Dn
nexpEFEi
nexpqUF
kT
Eiq
q
nNdUS
q
nnid假設(shè)用耗盡層近似得出的公式在強反型開始時也近似適1 Fd 0sUFd xd
22ε0 2F
1n 0s
ni Nd1 n 0 nidq2d
Nd12 n 0 niq Nd
NdES
xUx
22
xxd0得ES
2xxdm
x 0
1
x 0
01 d 0
ni
ni q2N 0 d 0 d響,ND=1017/cm3的n型硅與Al、
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