影像式閃測(cè)儀校準(zhǔn)規(guī)范(征求意見稿)

中華人民共和國(guó)國(guó)家計(jì)量技術(shù)規(guī)范影像式閃測(cè)儀校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforQuickImagingProbeMeasuringMachine（征求意見稿）國(guó)家市場(chǎng)監(jiān)督管理總局發(fā)布影像式閃測(cè)儀校準(zhǔn)規(guī)范CalibrationSpecificationforQuickImagingProbeMeasuringMachineJJF××××—202X主要起草單位：參加起草單位：JJF××××—202×本規(guī)范主要起草人：參加起草人：I 2 2 2 3 3 3 3 3 3 3 3 3 3 4 6 91JJF1071-2010《國(guó)家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)2影像式閃測(cè)儀校準(zhǔn)規(guī)范GB/T24762-2009產(chǎn)品幾何技術(shù)規(guī)范(GPS)影像影像式閃測(cè)儀（以下簡(jiǎn)稱測(cè)量?jī)x）是一種基于遠(yuǎn)上的廣視角大景深的光學(xué)影像式測(cè)量?jī)x器，廣泛應(yīng)用于般情況下，測(cè)量?jī)x能一次性獲取被測(cè)量工件的完整圖像工件，并一次性完成所有工件的測(cè)量，故也圖1為測(cè)量?jī)x示意圖，由光源（反射光源、透射光源至少配備一種）、圖像傳感器34.2尺寸測(cè)量誤差4.3景深內(nèi)各截面測(cè)量一致性4.4變倍探測(cè)誤差(c)校準(zhǔn)室內(nèi)無(wú)影響測(cè)量的振動(dòng)、光噪5.2校準(zhǔn)用標(biāo)準(zhǔn)器12346校準(zhǔn)項(xiàng)目和方法校準(zhǔn)前，首先對(duì)影像式閃測(cè)儀的外觀及各部分4此項(xiàng)計(jì)量特性分別在廣角模式和高精度模式下進(jìn)行校準(zhǔn)。按照?qǐng)D2所示在視場(chǎng)內(nèi)選擇均勻分布的5個(gè)測(cè)量位置，選取尺寸合適的圓形靶標(biāo)，靶標(biāo)尺寸應(yīng)保證在最小放大倍率時(shí)得各測(cè)量位置處的圓直徑為Di，以Dmax-D6.2尺寸測(cè)量誤差將二維掩膜板放置在垂直于測(cè)量?jī)x光軸的工作臺(tái)面上線成像清晰，分別在平行于X軸和Y軸的方向進(jìn)行測(cè)量。每個(gè)方向測(cè)量5個(gè)間隔間隔尺寸和最大間隔尺寸，其他尺寸間隔大致寸，3次測(cè)得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器上實(shí)際值的差值為尺寸示值誤差，取尺寸示值誤差中絕將線紋尺放置在垂直于測(cè)量?jī)x光軸的工作臺(tái)面上，調(diào)晰，在4個(gè)位置進(jìn)行測(cè)量，分別是測(cè)量范圍內(nèi)兩條對(duì)角線方向和另兩個(gè)分別平行于X軸和Y不小于有效測(cè)量范圍的66%，其他間隔大致相等。在各測(cè)量位置上依次對(duì)規(guī)定的線紋進(jìn)行測(cè)量。3次測(cè)得值的平均值與標(biāo)準(zhǔn)器實(shí)際值的差值為尺寸示值誤差，取尺寸示值誤差56.3景深內(nèi)各截面測(cè)量一致性選擇垂直于測(cè)量?jī)x光軸的工作臺(tái)面上任意位置，分測(cè)量。在測(cè)量?jī)x景深范圍內(nèi)大致選擇均勻分布的5個(gè)測(cè)量截面，選擇尺寸適當(dāng)?shù)牧繅K確定對(duì)應(yīng)的測(cè)量位置。將圓形靶標(biāo)置于量塊表面，在第一個(gè)清晰，測(cè)量圓形靶標(biāo)直徑，然后保持測(cè)量系統(tǒng)不動(dòng)，依次在剩余4個(gè)測(cè)量位置測(cè)量圓形靶標(biāo)直徑，分別記錄圓形靶標(biāo)的直徑實(shí)測(cè)值，以5個(gè)位置測(cè)量結(jié)果的極差值作為景深內(nèi)各截5mm的量塊構(gòu)成景深內(nèi)不同的測(cè)量截面，分別在上述各測(cè)3、分別在不同的測(cè)量高度選擇尺寸相同的一組量塊，保證圓形靶標(biāo)可靠放置于率下圓形靶標(biāo)直徑不小于視場(chǎng)大小的10%，最大倍率時(shí)可在視場(chǎng)中心獲得完整靶標(biāo)圖像。將圓形靶標(biāo)放置于工作臺(tái)面，切換不同放大倍率β(βmin~βmax分別測(cè)量圓形靶標(biāo)的直徑Δβ=dimax-dimin7校準(zhǔn)結(jié)果的表達(dá)經(jīng)校準(zhǔn)的影像式閃測(cè)儀發(fā)給校準(zhǔn)證書，校準(zhǔn)6尺寸測(cè)量誤差的不確定度評(píng)定e=L-lL——儀器示值；u(e)=u2(L)+u2(l)12者34A5.1、玻璃線紋尺引入的不確定度分量u17根據(jù)玻璃線紋尺的溯源證書，玻璃線紋尺的測(cè)量不確定度為U=0.20μm+1.5×1u=10.20+1.510-6L3μmA5.2、分辨力引入的不確定度分量u21u21=0.u21=0.01=0.029μmA5.3、測(cè)量重復(fù)性引入的不確定度分量u22對(duì)玻璃線紋尺的10mm點(diǎn)進(jìn)行10次測(cè)量采用貝塞爾公式計(jì)算實(shí)驗(yàn)標(biāo)準(zhǔn)偏差得到u22=s=0.31μm兩者取結(jié)果較大者，則u2=u22=0.31μmA5.4、影像式閃測(cè)儀光柵尺與玻璃線紋尺線膨脹系數(shù)差引入的不確定度分量u3A5.5、溫度誤差引入的標(biāo)準(zhǔn)不確定度分量u4經(jīng)過(guò)充分等溫后，玻璃線紋尺和影像式閃測(cè)儀的光柵尺的溫度差估計(jì)落在 2