真空技術(shù) 真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法 第4部分：渦輪分子泵 征求意見(jiàn)稿

GB/T40344.4—××××/ISO21360-41真空技術(shù)真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法第4部分：渦輪分子泵ISO21360-1:2012真空技術(shù)真空泵性能測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)方法第1部分：總體要求(Vacuumtechnology—Standardmethodsformeasuringvacuum-pumpperformance—Part臨界前級(jí)壓力criticalbackipc注2：帶有清潔氣流的測(cè)量會(huì)導(dǎo)致不同的結(jié)果[在進(jìn)氣口抽除輕質(zhì)氣體時(shí)，使用重質(zhì)渦輪分子泵能連續(xù)抽氣而不發(fā)生損傷或毀壞Qmax值取決于諸如被抽氣體、所使用的前級(jí)泵、轉(zhuǎn)速和冷卻條件GB/T40344.4—××××/ISO21360-42位為Pa·L/s或mbar·L/s時(shí)，則應(yīng)注明測(cè)試罩溫度，Qmax所用單位為sccm時(shí)除外。qVqVdtqVdt渦輪分子泵基礎(chǔ)壓力basepressureturbomoleculapb1有效壓縮比effectivecompressiKeffK0渦輪分子泵負(fù)載氣體流量為零時(shí)的最大壓縮比，其中pb3是前級(jí)泵的基礎(chǔ)壓力，pb1是渦輪分子泵0K=04符號(hào)和縮略語(yǔ)p3pb3p1pb1GB/T40344.4—××××/ISO21360-43Keff—K0—pb1pb3pcQQmaxqVBqVXTK量（Q=0）時(shí)的壓縮比（K0)，以及前級(jí)泵的體積流率(qVB)：qVqV＜0.05K0或qVB＞20（6）在整個(gè)壓力范圍區(qū)間，式中的qVX是預(yù)估的渦檢測(cè)前級(jí)泵在vmax工作點(diǎn)處是否仍具有經(jīng)計(jì)算得到的抽速。GB/T40344.4—××××/ISO21360-443.1中給出了臨界前級(jí)壓力定義，ISO21360-1:2012,5.5規(guī)定了臨界前級(jí)壓力的定義不基于通過(guò)渦輪分子泵的有效氣體流量，即進(jìn)氣閥5（見(jiàn)ISO21360-1:對(duì)于指定氣體負(fù)載的其他情況，其前級(jí)壓力將限制渦輪分子泵的對(duì)于給定氣體，為了獲得零流量壓縮比（k0其在渦輪分子泵出口管路處的分壓力至少為p3的GB/T40344.4—××××/ISO21360-4警示——應(yīng)對(duì)測(cè)試場(chǎng)地內(nèi)的人員安全進(jìn)行規(guī)定。渦輪分子泵入口法蘭應(yīng)使用標(biāo)準(zhǔn)法蘭封閉并密封。振動(dòng)測(cè)量頭應(yīng)安裝在渦輪分子泵上一個(gè)與電機(jī)）；）；）；）；GB/T40344.4—××××/ISO21360-4GB/T40344.4—××××/ISO21360-47qV大值Keff=K0，則按定義，體積流率將為0。有效壓縮比Keff=p3/pKeff=qVqVBqVqVqV=「K-(q/q)] K0.qV0=K0+(qV0/qVB)-1 qV0