《高純銅鑄錠》（預(yù)審稿）

1YS/T919—××××高純銅鑄錠本文件規(guī)定了高純銅鑄錠的產(chǎn)品分類、技術(shù)要求、試驗(yàn)方法、檢驗(yàn)規(guī)則、標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯存、隨行文件和訂貨單內(nèi)容。本文件適用于制造半導(dǎo)體濺射靶材所需的高純銅鑄錠。2規(guī)范性引用文件下列文件中的內(nèi)容通過文中的規(guī)范性引用而構(gòu)成本文件必不可少的條款。其中，注日期的引用文件，僅該日期對(duì)應(yīng)的版本適用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改單）適用于本文件。GB/T8170數(shù)值修約規(guī)則與極限數(shù)值的表示和判斷GB/T14265金屬材料中氫、氧、氮、碳和硫分析方法通則YS/T837濺射靶材-背板結(jié)合質(zhì)量超聲波檢驗(yàn)方法YS/T922高純銅化學(xué)分析方法痕量雜質(zhì)元素的測(cè)定輝光放電質(zhì)譜法3術(shù)語和定義本文件沒有需要界定的術(shù)語和定義。4產(chǎn)品分類高純銅鑄錠按化學(xué)成分分為四個(gè)牌號(hào)：IC-Cu-7N、IC-Cu-6N5、IC-Cu-6N、IC-Cu-5N。5技術(shù)要求5.1化學(xué)成分5.1.1高純銅鑄錠的化學(xué)成分應(yīng)符合表1規(guī)定。需方對(duì)化學(xué)成分有特殊要求時(shí)，由供需雙方協(xié)商，并在訂貨單中注明。表1高純銅鑄錠的化學(xué)成分IC-Cu-7NIC-Cu-6N5IC-Cu-6NIC-Cu-5N2 B —————— 2YS/T××××—×××× K———————————Na—Nb NiP U V ———15.1.2高純銅錠中碳、氮、氧、氫、硫雜質(zhì)元素含量見表2，需方對(duì)以上雜質(zhì)元素有特殊要求時(shí)，由供需雙方協(xié)商，并在訂貨單中注明。表2高純銅錠中碳、氮、氧、氫、硫雜質(zhì)元素含量IC-Cu-7NIC-Cu-6N5IC-Cu-6NIC-Cu-5N分?jǐn)?shù)）/×10-4%C111N1115O1115H1S15.2外形尺寸3YS/T919—××××高純銅鑄錠形狀一般為圓柱型，直徑（D）大于150mm，長(zhǎng)度大于400mm。其外形尺寸及允許偏差，可根據(jù)需方要求提供或由供需雙方協(xié)商。5.3外觀質(zhì)量高純銅鑄錠表面為機(jī)加工表面。鑄錠表面應(yīng)潔凈，無裂紋、無毛刺、無夾雜、無孔洞和其他沾污。5.4內(nèi)部質(zhì)量高純銅鑄錠內(nèi)部應(yīng)連續(xù)一致，無氣孔、無疏松、無縮孔和無夾雜等缺陷。6試驗(yàn)方法6.1化學(xué)成分6.1.1高純銅鑄錠中金屬雜質(zhì)元素、氟、氯、硫、磷的分析方法按照YS/T922的規(guī)定執(zhí)行。6.1.2高純銅鑄錠中氣體雜質(zhì)元素碳、氮、氧、氫的分析方法按照GB/T14265的規(guī)定執(zhí)行。6.2外形尺寸高純銅鑄錠的形狀和尺寸由相應(yīng)精度的量具檢測(cè)。6.3外觀質(zhì)量外觀質(zhì)量用目視檢測(cè)，如發(fā)現(xiàn)與本文件5.3規(guī)定不符，在10倍放大鏡下目視檢查。6.4內(nèi)部缺陷檢查高純銅鑄錠內(nèi)部缺陷檢查按照YS/T837的規(guī)定進(jìn)行。7檢驗(yàn)規(guī)則7.1檢查和驗(yàn)收7.1.1產(chǎn)品應(yīng)由供方或第三方進(jìn)行檢驗(yàn)，產(chǎn)品質(zhì)量應(yīng)符合本文件或訂貨單的規(guī)定。7.1.2需方可對(duì)收到的產(chǎn)品按本文件的規(guī)定進(jìn)行檢驗(yàn)。如檢驗(yàn)結(jié)果與本文件或訂貨單的規(guī)定不符時(shí)，應(yīng)以書面形式向供方提出，由供需雙方協(xié)商解決。質(zhì)量異議應(yīng)在收到產(chǎn)品之日起30天內(nèi)向供方提出。如需仲裁，應(yīng)由供需雙方在需方共同取樣或協(xié)商確定。7.2組批產(chǎn)品應(yīng)成批提交驗(yàn)收。每批產(chǎn)品應(yīng)由同一系統(tǒng)、同一生產(chǎn)周期生產(chǎn)的同一牌號(hào)的產(chǎn)品組成。7.3檢驗(yàn)項(xiàng)目產(chǎn)品檢驗(yàn)項(xiàng)目及取樣應(yīng)符合表3規(guī)定。表3檢驗(yàn)項(xiàng)目、取樣位置及數(shù)量4YS/T××××—××××7.4檢驗(yàn)結(jié)果判定7.4.1化學(xué)成分檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判定該錠不合格。7.4.2外形尺寸檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判定該錠不合格。7.4.3外觀質(zhì)量檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判定該錠不合格。7.4.4內(nèi)部質(zhì)量檢驗(yàn)結(jié)果不合格時(shí)，判定該錠不合格。8標(biāo)志、包裝、運(yùn)輸、貯運(yùn)和隨行文件應(yīng)在檢驗(yàn)合格的產(chǎn)品上至少標(biāo)記下列內(nèi)容：a)產(chǎn)品名稱；b)牌號(hào)；c)規(guī)格尺寸；d)凈重；e)批次；f)生產(chǎn)日期；g)企業(yè)名稱；h)生產(chǎn)廠家地址及電話。8.2包裝、運(yùn)輸和貯存8.2.1高純銅鑄錠獨(dú)立包裝，采用緩沖材料進(jìn)行表面包覆。外包裝采用木箱包裝，包裝箱內(nèi)應(yīng)有防碰撞措施。需方有特殊要求時(shí)，由供需雙方商定。8.2.2高純銅鑄錠在運(yùn)輸過程中應(yīng)防止碰撞、高處墜落、雨淋、接觸各種試劑，保證包裝完整。8.2.3高純銅鑄錠應(yīng)貯存于干燥、通風(fēng)、無腐蝕性氣體的倉(cāng)庫(kù)中。8.3隨行文件每批產(chǎn)品應(yīng)附有隨行文件，其中除應(yīng)包括供方信息、產(chǎn)品信息、本文件編號(hào)、出廠日期或包裝日期外，還宜包括：a)產(chǎn)品質(zhì)量保證書：.產(chǎn)品特點(diǎn)（包括制造工藝及原材料的特點(diǎn)）；.產(chǎn)品獲得的質(zhì)量認(rèn)證及帶供方技術(shù)監(jiān)督部門檢印的各項(xiàng)分析檢驗(yàn)結(jié)果。b)產(chǎn)品合格證5YS/T919—××××c)產(chǎn)品質(zhì)量控制過程中的檢驗(yàn)報(bào)告及成品檢驗(yàn)報(bào)告。d)產(chǎn)品使用說明：正確搬運(yùn)、使用、貯存方法