GB 2831-2009光學(xué)零件的面形偏差

代替GB/T2831—1981光學(xué)零件的面形偏差SurfaceformdeviationofopticalelementsPart5:Surfaceformtolerances,NEQ)2009-11-15發(fā)布2010-02-01實施中華人民共和國國家質(zhì)量監(jiān)督檢驗檢疫總局發(fā)布GB/T2831—2009 I 2規(guī)范性引用文件 3術(shù)語和定義 4面形偏差的公差規(guī)定 25標(biāo)注方法 6公差標(biāo)注示例 47檢驗方法 5附錄A(規(guī)范性附錄)弧矢偏差的公差與曲率半徑公差間的換算 8附錄B(資料性附錄)光圈度量 附錄C(資料性附錄)使用干涉儀判讀不規(guī)則干涉條紋 附錄D(資料性附錄)PV值、rms值及Power值與其他參數(shù)的關(guān)系 參考文獻 本標(biāo)準(zhǔn)對應(yīng)ISO10110-5:2007《光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)零件和光學(xué)系統(tǒng)圖樣第5部分：面形公差》,與ISO10110-5:2007的一致性程度為非等效。本標(biāo)準(zhǔn)與ISO10110-5:2007的主要差異：——刪除國際標(biāo)準(zhǔn)的序言和前言；——增加了術(shù)語和定義；——增加了光圈識別檢驗方法；——增加了面形偏差的未注公差規(guī)定； 增加了不規(guī)則干涉條紋判讀及有關(guān)數(shù)字干涉條紋解析內(nèi)容。本標(biāo)準(zhǔn)代替GB/T2831—1981《光學(xué)零件面形偏差的檢驗方法(光圈識別法)》,本標(biāo)準(zhǔn)與GB/T2831—1981的主要差異為：——修改了標(biāo)準(zhǔn)名稱；——增加了術(shù)語和定義，明確了PV值及rms值的定義；——增加了面形偏差的公差的單位規(guī)定；——增加了面形偏差的畫圖表示，并修改了面形偏差的表示方法及表示位置；——增加了未注公差的標(biāo)注規(guī)定；——增加了數(shù)字化PV值及rms值的測量問題；——將換算公式、光圈識別方法放入附錄A和附錄B;——增加了不規(guī)則干涉條紋判讀及數(shù)字干涉條紋解析，并將其內(nèi)容放入附錄C。本標(biāo)準(zhǔn)的附錄A是規(guī)范性附錄，附錄B、附錄C和附錄D是資料性附錄。本標(biāo)準(zhǔn)由中國機械工業(yè)聯(lián)合會提出。本標(biāo)準(zhǔn)由全國光學(xué)和光子學(xué)標(biāo)準(zhǔn)化技術(shù)委員會(SAC/TC103)歸口。本標(biāo)準(zhǔn)負(fù)責(zé)起草單位：寧波永新光學(xué)股份有限公司、上海光學(xué)精密機械研究所、上海理工大學(xué)、鳳凰光學(xué)集團有限公司、江南永新光學(xué)有限公司、蘇州一光儀器有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)參加起草單位：浙江舜宇集團股份有限公司、寧波華光精密儀器有限公司、寧波市教學(xué)儀器有限公司、麥克奧迪實業(yè)集團有限公司、貴陽新天光電科技有限公司、梧州奧卡光學(xué)儀器公司、南京東利來光電實業(yè)有限公司。本標(biāo)準(zhǔn)所代替標(biāo)準(zhǔn)的歷次版本發(fā)布情況為：——GB/T2831—1981。I1光學(xué)零件的面形偏差本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了光學(xué)零部件面形偏差的術(shù)語和定義、公差及檢驗方法。本標(biāo)準(zhǔn)適用于使用光學(xué)樣板的等厚干涉方法及干涉儀方法檢驗光學(xué)零部件的面形偏差。2規(guī)范性引用文件下列文件中的條款通過本標(biāo)準(zhǔn)的引用而成為本標(biāo)準(zhǔn)的條款。凡是注日期的引用文件，其隨后所有的修改單(不包括勘誤的內(nèi)容)或修訂版均不適用于本標(biāo)準(zhǔn)，然而，鼓勵根據(jù)本標(biāo)準(zhǔn)達成協(xié)議的各方研究是否可使用這些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本適用于本標(biāo)準(zhǔn)。GB/T13323光學(xué)制圖(GB/T13323—2009,ISO10110-1:2006,Opticsandphotonics—Prepara-tionofdrawingsforopticalelementsandsystems—Part1:General,NEQ)3術(shù)語和定義下列術(shù)語和定義適用于本標(biāo)準(zhǔn)。面形偏差surfaceformdeviation被測光學(xué)表面相對于參考光學(xué)表面的偏差。注：在用樣板檢測的圓形檢驗范圍內(nèi)，面形偏差是通過垂直位置所觀察到的干涉條紋(通稱光圈)的數(shù)目、形狀、變化和顏色來確定。峰谷值peak-to-valley(PV)value兩面之間的最大距離減去最小距離，簡稱PV值。條紋間隔單位unitoffringespacing一個條紋間隔的面形偏差等于1/2波長?？偙砻嫫顮顟B(tài)totalsurfacedeviationfunction實際表面和所期望的理論表面之差所規(guī)定的理論表面?？偯嫘纹罹讲顬樽钚≈档那蛎?。近似球面和平面之間的PV值。不規(guī)則性狀態(tài)irregularityfunction總面形偏差狀態(tài)和近似球面之差所規(guī)定的理論表面。2不規(guī)則性狀態(tài)與最接近它的平面之間的PV值。近似非球面approximatingasphericsurface對于不規(guī)則性狀態(tài)均方差是一個最小值的旋轉(zhuǎn)對稱表面。旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則性rottionallysystemetricirregularity近似球面與最佳接近球面的平面之間的峰谷值(PV值)?？偯嫘纹罹讲顃otalrmsdeviationRMSt被測光學(xué)表面與所期望的理論表面之間的均方差(rms)值。沒有減去任何類型的面形偏差。不規(guī)則性均方差rmsirregularityRMSi按3.7的不規(guī)則性狀態(tài)均方差值。非對稱性均方差rmsasymmetryRMSa不規(guī)則狀態(tài)與近似非球面之間差值的均方差值。光圈正負(fù)號Positive(High)andNegative(Low)signsofnewtonrings在用樣板檢驗的圓形檢驗范圍內(nèi)，當(dāng)被測光學(xué)表面相對于參考光學(xué)表面中間接觸時，規(guī)定高光圈像散偏差astigmatismdeviationofnewtonrings被測光學(xué)表面相對于參考光學(xué)表面在兩個相互垂直方向上產(chǎn)生的光圈數(shù)不等所對應(yīng)的偏差。局部偏差irregularitydeviationofnewtonrings被測光學(xué)表面相對于參考光學(xué)表面在任一方向上產(chǎn)生的干涉條紋的局部不規(guī)則性程度。4面形偏差的公差規(guī)定4.1總則4.1.1面形偏差的公差由最大可允許弧矢偏差值、不規(guī)則性和旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則性表示。另外，還可以用測量面形偏差的3項均方差rms的公差(總面形偏差均方差，RMSt;不規(guī)則性均方差，RMSi;非對稱4.1.2在用樣板檢驗時，面形偏差的公差包括3項：a)被測光學(xué)表面相對于參考光學(xué)表面的曲率半徑偏差所對應(yīng)的光圈數(shù)用N表示；b)像散偏差對應(yīng)光圈數(shù)用△?N表示；3c)局部偏差所對應(yīng)的光圈數(shù)用△?N表示。4.1.3在用數(shù)字干涉儀檢驗時，PV值和rms值僅僅在實際的檢驗區(qū)域內(nèi)計算給出。其表達形式見附4.2單位弧矢偏差值、不規(guī)則性和旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則性的最大可允許誤差，規(guī)定以條紋間隔或以納米(nm)為單位。若面形偏差檢驗是由入射光與反射光干涉方法進行，則光的半波長的面形偏差產(chǎn)生1個波長的波前差，形成干涉圖的不同明暗度。從1個亮環(huán)到另一個亮環(huán)或從1個暗環(huán)到另一個暗環(huán)為1個條紋間隔。條紋間隔并不表示條紋的橫向距離，實際干涉圖上可見的干涉條紋相當(dāng)于波前差的波長數(shù)。若技術(shù)要求是用一個或幾個rms值偏差類型給出，也應(yīng)以條紋間隔或納米(nm)為單位。注1:實際上規(guī)定1個干涉條紋間隔即1/2個波長(波長單位為納米)。注2:應(yīng)用ms類型的公差值需要對光學(xué)系統(tǒng)用數(shù)字干涉分析方法給出。4.3波長注1:規(guī)定可以從一種標(biāo)準(zhǔn)波長轉(zhuǎn)換到另一種波長，見式(1):N??=N?×(a?/λ?) (1)N??——波長λ?的條紋間隔數(shù)；4.4未注公差光學(xué)零件的產(chǎn)品圖樣上未標(biāo)注面形偏差公差時，其表面應(yīng)符合表1規(guī)定的一般面形偏差要求。當(dāng)零件的面形偏差要求高于或低于面形偏差未注公差時，均應(yīng)在零件的產(chǎn)品圖樣上予以標(biāo)注。表1面形偏差未注公差光學(xué)零件最大尺寸范圍/mm30～100一般面形偏差未注公差，條紋數(shù)3/10(2)(所有φ30)3/10(2)(所有φ60)注：表中的公差標(biāo)注法，見5.1、5.2。4.5弧矢偏差的公差與曲率半徑公差間的換算遵照附錄A的規(guī)定。5標(biāo)注方法5.1標(biāo)識則性或合適的rms值偏差類型構(gòu)成。5.2標(biāo)注構(gòu)成面形偏差的公差的標(biāo)注構(gòu)成采用下列3種形式之一：3/A(B/C);或3/A(B/C)RMSx<D,其中x為t、i或a之一；或a)A值表示下列情況之一：——最大可允許的弧矢偏差，以納米(nm)、條紋間隔或光圈數(shù)表示；4——以長劃線“—”表示總的曲率半徑公差由曲率大小尺寸給出(不適用于平面表面)。b)B值表示下列情況之一：——以納米(nm)或條紋間隔表示的最大可允許的不規(guī)則性值，或?qū)?yīng)的以像散偏差表示的光——以“一”表示未給出的不規(guī)則性公差。c)C值是以納米(nm)或條紋間隔表示的可允許的旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則性或局部偏差表示的光圈數(shù)，如沒有該公差，就寫成3/A(B)。如對于3種偏差類型都沒有公差要求，則寫成3/一。d)D值是可允許的以字母x分類的rms最大規(guī)定值，x為其中t,i或a之一。允許規(guī)定多于一個類型的rms面形偏差的公差技術(shù)要求，并應(yīng)在圖樣技術(shù)要求中用分號分開表示。如第6章中的示例5。所示的面形偏差的公差都是指光學(xué)有效面積，如特指光學(xué)有效面積內(nèi)的特殊較小區(qū)域，該檢驗范圍的直徑應(yīng)附上所容許的范圍φ表示，如下所示：3/A(B/C)RMSx<D(所有的φ…)若技術(shù)要求沒有規(guī)定PV公差值，總面形偏差僅包括弧矢偏差和不規(guī)則性兩個值。必要時，總面形偏差要求將在圖樣中另加說明。例如：總表面偏差不超過0.25λ或總表面偏差不超過150nm。5.3標(biāo)注規(guī)則面形偏差的公差按GB/T13323的規(guī)定，注寫在產(chǎn)品圖樣專用表格的面形偏差欄中，或?qū)⑿铇?biāo)注表面用指引線引出后注明，并與中心偏公差及表面疵病公差以序排列，或在技術(shù)要求中說明。除非另有規(guī)定，對于兩個或多個光學(xué)零件的膠合件(或光膠件),對單個光學(xué)零件規(guī)定的面形偏差的公差也適用于光學(xué)膠合件(即膠合后或光膠后)的面形偏差的公差。6公差標(biāo)注示例6.1專用表格標(biāo)注面形偏差的公差按GB/T13323的規(guī)定標(biāo)注在產(chǎn)品圖樣的面形偏差欄中。示例1:弧矢偏差的公差是3個條紋間隔；不規(guī)則性不超過1個條紋間隔。示例2:弧矢偏差的公差是5個條紋間隔；未要求不規(guī)則性或旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則性；不規(guī)則性均方差小于0.05條紋間隔。示例3:3/3(1/0.5);λ=632.8nm(全部φ20)弧矢偏差的公差是3個條紋間隔；總的不規(guī)則性不超過1個條紋間隔；旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則性不超過0.5個條紋間隔；條紋間隔以波長λ為632.8nm度量；所有公差都適用于φ示例4:不要求弧矢偏差；曲率半徑公差由曲率半徑表示；所有的不規(guī)則性不超過1個條紋間隔。示例5:弧矢偏差、不規(guī)則性或旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則性都沒有公差要求；曲率半徑公差由曲率半徑給出；與所期望的理論表面比較時，總面形偏差均方差小于0.07個條紋間隔，非對稱性均方差小于0.035個條紋間隔。所有面形偏差的條紋間隔以波長λ為405nm度量。示例6:56.2引出標(biāo)注見圖1。圖1弧矢偏差的公差3個條紋間隔，不規(guī)則性不超過1個條紋間隔7檢驗方法7.1光圈識別法7.1.1檢驗工具光學(xué)樣板。7.1.2檢驗條件a)計算標(biāo)準(zhǔn)光圈數(shù)的參考波長按4.3。b)最好采用單色光照明，在一般情況下，可用白光照明。此時應(yīng)用同種顏色來評定光圈。c)在確定光圈數(shù)時，如條件限制，不能在垂直位置進行觀察時，應(yīng)按式(2)校正光圈數(shù)N。 (2)式中：N——垂直位置觀察時的光圈數(shù)；N'——與垂直方向成傾角α?xí)r所觀察到的光圈數(shù)。7.1.3正負(fù)(高低)光圈的識別a)一般情況下高低光圈的識別負(fù)(低)光圈：當(dāng)空氣隙縮小時，條紋從邊緣向中心移動，如圖2a)。正(高)光圈：當(dāng)空氣隙縮小時，條紋從中心向邊緣移動，如圖2b)。b)光圈數(shù)少時高低光圈的識別負(fù)(低)光圈：當(dāng)空氣隙縮小時，條紋彎曲方向和移動方向，如圖3a)。正(高)光圈：當(dāng)空氣隙縮小時，條紋彎曲方向和移動方向，如圖3b)。c)在白光下觀測時，也可按光圈顏色的序列來識別正負(fù)(高低)光圈正(高)光圈：從中心到邊緣的顏色序列為“黃、紅、藍”等，如圖4b)所6圖2高低光圈的識別圖3光圈數(shù)少時高低光圈的識別圖4按光圈顏色的序列來識別高低光圈7.1.4光圈的度量光圈數(shù)N的度量一般以目視估讀有效檢驗范圍內(nèi)的光圈數(shù)確定，對精度不高時，也可根據(jù)干涉色度量，見附錄B。7.2干涉圖觀察法7.2.1檢驗工具球面干涉儀、平面干涉儀。77.2.2檢驗條件a)儀器參考波長一般為633nm,按4.3計算實際條紋數(shù)；b)儀器應(yīng)置于防震動工作臺上。7.2.3檢驗方法及判定遵照附錄C的規(guī)定。7.3數(shù)字波面干涉測量法多項式描述表(波)面的一種試驗、分析方法，用于PV值及rms值等相關(guān)參數(shù)，見附錄D。(規(guī)范性附錄)弧矢偏差的公差與曲率半徑公差間的換算換算公式：最大可允許的條紋數(shù)相應(yīng)于曲率半徑公差的換算，由式(A.1)和式(A.2)給出：因△R/R是一個小量，若d/R也是一個小量，此式可近似寫成：N≈[d/(2R)]2×(△R/λ)…………………R——曲率半徑，單位為毫米(mm);△R——曲率半徑公差值，單位為毫米(mm);d——被測區(qū)域的直徑，單位為毫米(mm);λ——波長，單位為納米(nm)(一般指波長為546.07nm)。89(資料性附錄)B.1目視估讀光圈度量B.1.1光圈數(shù)N的度量N=3N=2N=2N=1圖B.1光圈數(shù)N的度量圖B.1表示在被測光學(xué)表面與參考光學(xué)表面僅有半徑偏差情況下的光圈數(shù)N的度量方法以及表示偏差大小和方向的誤差曲線。其中，虛線表示參考光學(xué)表面，曲線表示球面(或平面)相對于參考光學(xué)表面的偏差大小和方向。平行線間距表示1/2λ。(H)的比值(N)來度量，如圖B.2。圖B.2N<1的光圈數(shù)的度量GB/T2831—2009a)以暗(或明)兩相鄰條紋的中心距離作為條紋的間距(H);b)一般調(diào)至3～5根條紋數(shù)；B.1.2像散光圈數(shù)△?N的度量△?N以兩個相互垂直方向上光圈數(shù)N的最大代數(shù)差的絕對值來度量。B.1.2.1橢圓形像散光圈數(shù)△?N的度量如圖B.3。圖B.3橢圓形像散光圈數(shù)A?N的度量圖B.3表示被測光學(xué)表面在X-X和Y-Y方向上的光圈數(shù)N,和N,不等，偏差方向相同。圖例中，N?=-2,Ny=-3,則該被測面的光圈數(shù)N=-3,像散光圈數(shù)△1N=|Nz-N,|=1。B.1.2.2馬鞍形像散光圈數(shù)△?N的度量如圖B.4。圖B.4馬鞍形像散光圈數(shù)A?N的度量圖B.4表示，被測光學(xué)表面在X-X和Y-Y方向上的偏差方向相反。圖例中，N,=-1,N,=+2,則該被測面的光圈數(shù)N=+2,馬鞍形像散光圈數(shù)△?N=|N?-N?|=3。B.1.2.3柱形像散光圈數(shù)△?N的度量如圖B.5。圖B.5柱形像散光圈數(shù)A?N的度量數(shù)N=0,圖例中，N?=-1,N,=0,則該被測面的光圈N=-1,柱形像散光圈數(shù)△N=|N?-N,|=1。B.1.2.4在光圈數(shù)少的情況下，像散圖B.6N<1的像散光圈數(shù)A;N的度量圖B.6表示，被測光學(xué)表面在X-X和Y-Y方向上的光圈數(shù)不等，而N,和N,都小于1。可根據(jù)兩個方向的干涉條紋的彎曲度來確定N?和N,。在圖例中，N?=-0.2,N,=-0.4,則此被測面的光圈數(shù)N=-0.4,像散光圈數(shù)△?N=|N?-N,|=0.2。B.1.3局部光圈數(shù)A?N的度量△?N以局部不規(guī)則干涉條紋對理想平滑干涉條紋的偏離量(e)與兩相鄰條紋間距(H)的比值來B.1.3.1中心局部光圈數(shù)△?N的度量如圖B.7。圖B.7中心局部光圈數(shù)△?N的度量圖B.7a)表示低光圈中心低圖B.7b)表示低光圈中心高B.1.3.2邊緣局部光圈數(shù)△?N的度量如圖B.8。圖B.8a)表示低光圈翹邊圖B.8b)表示低光圈蹋邊B.1.3.3中心及邊緣均有局部偏差的局部光圈數(shù)△?N的度量如圖B.9。HHYXXHHYXX圖B.9中心及邊緣均有局部偏差的局部光圈數(shù)A?N的度量圖B.9a)表示低光圈中心高，蹋邊。邊緣局部光圈數(shù)則該被測面的局部光圈數(shù)取大值為△?N=0.4中心局部光圈數(shù)4邊緣局部光圈數(shù)則該被測面的局部光圈數(shù)取大值為△?N=0.35B.1.4弓形光圈的光圈數(shù)N和局部光圈數(shù)A?N的度量如圖B.10。圖B.10弓形光圈的光圈數(shù)N和局部光圈數(shù)A?N的度量當(dāng)被測的光圈為弓形光圈而對N的取值方向有爭議時，則規(guī)定根據(jù)△?N為最小的原則來取值N和△?N。如，當(dāng)被測面出現(xiàn)如圖B.10所示的干涉圖形時，則對該被測面的N和△?N的判斷可能引起爭議。此時可按下述方法加以確定。在圖B.10中，如以邊緣部分的干涉條紋為基準(zhǔn)引出延伸線，作為平滑干涉條紋考慮，則其中心對平滑干涉條紋的偏離量為e?:反之，如以中心部分的干涉條紋為基礎(chǔ)引出延伸線，作為平滑干涉條紋考慮，則其邊緣對平滑干涉條紋的偏離量為e?:△?N">△?N',所以該檢面的光圈數(shù)GB/T2831—2009B.1.5S形光圈的度量對像散光圈數(shù)△?N和局部光圈數(shù)△?N沒有要求的且表面光圈數(shù)少時出現(xiàn)S形光圈，則按圖B.11所示的方法度量N,該被測面的的圖B.11S形光圈數(shù)N的度量B.2干涉色估讀光圈度量B.2.1用樣板檢驗，以熒光燈作光源時，當(dāng)邊緣接觸其邊緣顏色為灰白色時，則可根據(jù)中間顏色按表B.1確定光圈數(shù)。表B.1干涉色估讀光圈度量中間顏色淡黃綠淡綠藍藍紫整黃B.2.2用樣板檢驗，以熒光燈作光源時，與空氣隙厚度相對應(yīng)的光圈數(shù)和顏色見表B.2。表B.2干涉色估讀光圈度量空氣層厚度/nm空氣層厚度/nm81.9218.4245.7黑灰鐵灰草灰灰灰白淡黃黃深黃橙紅紫紅300.4327.7382.3409.6436.9464.2491.5518.8546.1藍淡綠藍淡黃綠黃玫瑰紅淡紅紫紫GB/T2831—2009B.2.3擴大空氣隙的計算舉例之出現(xiàn)較明顯的顏色。然后，從顏色一間隙對照(表B.2)中，查出邊緣與中間顏色的相對應(yīng)間隙的差值來計算光圈數(shù)。例如，在擴大間隙后，中間顏色為淡綠藍，從表B.2中可查出該顏色所對應(yīng)的光圈數(shù)Nφ=1.3,其邊緣顏色為黃色，該顏色所對應(yīng)的光圈數(shù)N邊=0.7,則被測零件的光圈數(shù)為N=N中—N邊=0.6。B.3實物照片附圖附圖B.4N=-0.1附圖B.5N=-0.44A?N=0.2GB/T2831—2009(資料性附錄)使用干涉儀判讀不規(guī)則干涉條紋使用干涉儀常用于生產(chǎn)現(xiàn)場的光學(xué)零件面形偏差不規(guī)則性的快速檢測。當(dāng)用非接觸干涉儀檢驗曲面時，出現(xiàn)的弧矢偏差取決于被測面與參考面之間的距離。有效參考面是將其參考面投影到被測面上。當(dāng)有效參考面的曲率半徑等于名義的理論表面時，確定弧矢偏差最簡單。但需要考慮弧矢偏差符號，名義的理論表面矢高和有效參考面矢高之差必須相加。即相對于干涉參考面，必須確定那個被測面是凹表面還是凸表面。通常，這個有效參考面的曲率半徑是未知的，因此，不能確定弧矢偏差，但可確定不規(guī)則性。C.2無傾斜的干涉條紋C.2.1圓形干涉條紋圖當(dāng)不存在所有其他類型的偏差時，弧矢偏差產(chǎn)生一組同心的、圓形干涉條紋圖，條紋的半徑隨條紋數(shù)的平方根而增加，從條紋圖中心計算。C.2.2橢圓干涉條紋圖當(dāng)存在微小的非對稱偏差量，圓環(huán)圖形畸變成橢圓(如圖C.1所示)。若被測面相對于參考光學(xué)表面是凹的，如果被測面朝向參考光學(xué)表面移動，則干涉條紋向中心移動；如果干涉條紋向外移動，則被測面是凸的。凸凹面的判斷與光圈識別法相同。C.2.3雙曲線干涉條紋圖若存在較大的非對稱偏差量，產(chǎn)生近似的雙曲線形條紋(如圖C,2所示),這時被測面稍微向參考面移動時，有些條紋向內(nèi)移動，有些條紋向外移動。C,2.4干涉條紋不規(guī)則性估讀計算分別取從中心到邊緣兩個方向的條紋數(shù)m和m'(通常兩正交方向，即相互90°)。圖C.1表示2個不規(guī)則性條紋GB/T2831—2009圖C.2表示4個不規(guī)則性條紋——示例C.1,按圖C.1計算橢圓條紋：——示例C.2,按圖C.2計算雙曲線形條紋：不規(guī)則性=m+m′=2.5+1.5=4條紋間隔C.3有傾斜時的干涉條紋C.3.1干涉條紋調(diào)節(jié)C.3.2凹、凸面及誤差判斷若兩個方向條紋移向都朝向中心時，被測面是凹的，若向外，則被測面是凸的。若兩個方向條紋移向相反，則不規(guī)則性大于弧矢偏差。C.3.3干涉條紋不規(guī)則性計算：m=h/sm1=h'/sh=1.3sm=1.3h′=0.5s'm1=0.5圖C.3按參考面在兩個方向取向，不規(guī)則性1.8個條紋間隔C.4非圓形檢驗區(qū)域C.4.1橢圓條紋計算若干涉的參考面與被測面之間存在傾斜，當(dāng)被測面朝向參考面輕微移動時，條紋在兩個方向的移動方向都明顯地向中心移動；或在兩種方向下條紋都是明顯地背向中心移動，則弧矢偏差超過不規(guī)則性，用以下橢圓條紋的兩式計算：C.4.2雙曲線條紋計算若干涉的參考面與被測面之間存在傾斜，當(dāng)被測面朝向參考面輕微移動時，一個方向條紋明顯向中心移動；而另一個方向條紋明顯地背向中心移動，則不規(guī)則性大于弧矢偏差，用計算雙曲線條紋的兩式計算：圖C.4非圓形檢驗區(qū)域的例圖，表明弧矢偏差5.2個條紋間隔，有3.6個條紋間隔的不規(guī)則性C.5旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則性在存在傾斜情況下，呈現(xiàn)“W”或“M”形狀，這取決于傾斜方向。偏離球面的偏差是由條紋直線的偏差所表征。若旋轉(zhuǎn)對稱的不規(guī)則性用條紋偏離直線性h表示，條紋間隔用s表示，則旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則性等于h/s。如圖C.5,中心條紋偏離直線的偏差h是0.5個條紋間隔，則旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則性為：h/s=0.5個條紋間隔。圖C.5表示0.5個條紋間隔的旋轉(zhuǎn)對稱不規(guī)則性實例面形偏差具有旋轉(zhuǎn)對稱性的程度是要通過上述傾斜調(diào)節(jié)反復(fù)觀測的，并使得在另一個方向上條紋定位再觀測。出現(xiàn)的條紋在各個方向上是一樣的，則面形偏差是旋轉(zhuǎn)對稱的。旋轉(zhuǎn)對稱的不規(guī)則性偏差在條紋的所有方向上是一樣的。(資料性附錄)D.1PV值、rms值及Power值與5.2標(biāo)注構(gòu)成中A、B、C值的關(guān)系現(xiàn)代數(shù)字波面干涉儀的輸出參數(shù)，除提供干涉圖、二維圖形及三維等高圖外，一般給出PV、rms及Power3個數(shù)值。這些數(shù)值與5.2中A(B/C)值的關(guān)系由數(shù)字處理進一步得出：數(shù)字波面干涉儀(如，ZYGOGPI干涉儀)輸出界面上設(shè)置有“ISO10110-5”窗口。當(dāng)測試結(jié)束，并已給出PV值、rms值及Power值后，再點擊“ISO10110-5”窗口，則儀器將給出SAG,IRR,RSI等數(shù)值，分別對應(yīng)A,B,C值。也可以給出RMSt,RMSi,RMSa數(shù)值。若干涉儀數(shù)據(jù)中沒有提供“ISO10110-5”窗口所給出的數(shù)值，僅按PV值、rms值及Power值只能給出A值，即Power值等于A值或等于SAG,而其他值沒有直接的對應(yīng)關(guān)系。一個實際被測波前的PV值，有兩個含義：可以理解為波前的最高(前)點到最低(后)點的距離；也可以理解為這一波前移出(Remove)最佳擬合球面后的PV值。一般情況下，兩者有不小的差異。波前移出(Remove)最佳擬合球面后的PV值與5.2中A(B/C)值中的B、C以及RMSx有一定的對應(yīng)關(guān)系。干涉檢驗平面表面時，通常不應(yīng)移出Power值，因為表面殘存多大程度的凸凹表面(光圈)是平面要求控制的技術(shù)指標(biāo)之一；然而，應(yīng)用在光束傳輸中的某些平面表面，移出Power值后的PV值是最重要的，即是否移出Power值應(yīng)視具體使用和檢驗要求而定。一般將Power值定為A值，即為N。移出Power值后的PV值為△N。如果數(shù)字式干涉儀沒有提供移出Power值