親水性固結(jié)磨料研磨墊自修整性能定量研究_第1頁
親水性固結(jié)磨料研磨墊自修整性能定量研究_第2頁
親水性固結(jié)磨料研磨墊自修整性能定量研究_第3頁
親水性固結(jié)磨料研磨墊自修整性能定量研究_第4頁
親水性固結(jié)磨料研磨墊自修整性能定量研究_第5頁
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文檔簡介

親水性固結(jié)磨料研磨墊自修整性能定量研究隨著微電子、光電子、傳感器技術(shù)和材料技術(shù)的不斷發(fā)展,各類光學(xué)材料得到了廣泛應(yīng)用,同時(shí)也對光學(xué)材料的超光滑無損傷加工提出了更高的要求。傳統(tǒng)固結(jié)磨料研磨拋光技術(shù)由于結(jié)合劑的硬度較大,加工光學(xué)材料時(shí)易產(chǎn)生較大的損傷層,嚴(yán)重影響光學(xué)材料的加工效率和使用性能,由此親水性固結(jié)磨料研磨拋光技術(shù)應(yīng)運(yùn)而生。自修整性能作為親水性固結(jié)磨料研磨拋光墊(FAP)最主要的特性之一,直接影響著加工效率和被加工工件的表面質(zhì)量。本文采用理論分析與試驗(yàn)探索相結(jié)合的方法,建立親水性FAP自修整性能與主要影響因素之間的定量關(guān)系。主要完成的工作有:(1)探索了親水性FAP自修整性能的實(shí)現(xiàn)途徑,建立親水性FAP自修整過程模型,初步確定親水性FAP自修整性能的影響因素。通過單因素試驗(yàn),探索因素水平對親水性FAP自修整性能的影響。研究表明:材料硬脆性增大、研磨壓力提高、金剛石粒徑增加,親水性FAP自修整性能提高;隨著FAP中銅粉含量、研磨液中三乙醇胺含量、孔隙率的增加,親水性FAP自修整性能先增加后降低。(2)將工件材料去除速率變化率作為評(píng)價(jià)指標(biāo),采用回歸正交試驗(yàn)方法,探索親水性FAP自修整性能與工件材料特性(脆-塑轉(zhuǎn)變臨界切深)、研磨壓力、金剛石粒徑、孔隙率、研磨液中三乙醇胺含量之間的定量關(guān)系,建立親水性FAP自修整性能的回歸方程。對研磨過程磨屑尺寸形狀進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,探索磨屑對親水性FAP自修整性能的影響。結(jié)果表明:工件材料特性、孔隙率、孔隙率與研磨壓力的交互作用對親水性FAP自修整性能影響較大;隨著研磨加工的持續(xù),磨屑尺寸減小,親水性FAP自修整性能降低。(3)采用正交試驗(yàn)的方法,探索工件材料特性、研磨壓力、孔隙率、基體強(qiáng)度弱化率等因素在多水平下對親水性FAP自修整性能的影響。同時(shí),將親水性FAP自修整性能與被加工工件的表面質(zhì)量聯(lián)系起來。研究表明:工件材料脆性大、研磨壓力高,親水性F

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