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PECVD生產(chǎn)操作規(guī)程PECVD生產(chǎn)操作規(guī)程1安全警告設(shè)備帶有高壓、易燃易爆特種有毒氣體、微波輻射等危險嚴禁無關(guān)人員和小孩進入機器黃色區(qū)域機器運行時,嚴禁拔出微波銅天線,嚴禁拆設(shè)備任何部件。否則可能帶來微波輻射和高壓電擊等危險未經(jīng)培訓和許可嚴禁操作設(shè)備,不正確操作設(shè)備可能損壞設(shè)備,嚴禁亂操作計算機4/1/202421安全警告設(shè)備帶有高壓、易燃易爆特種有毒氣體、微波輻射等危2安全與標識威脅人身傷亡或健康微波輻射危險微波泄露限制:根據(jù)最新科學研究和世界許多國家執(zhí)行規(guī)定,距易接近設(shè)備部件5cm處微波泄漏小于5mw/cm2熱的表面4/1/202432安全與標識威脅人身傷亡或健康3/31/20243
觸電危險戴防護眼鏡戴防護手套4/1/20244觸電危險3/31/202443開機開總電源啟動計算機檢查冷卻水檢查氣源啟動“system”程序4/1/202453開機開總電源3/31/202453.1開總電源檢查三只紅色急停按鈕是否復位,如末復位拉出復位4/1/202463.1開總電源檢查三只紅色急停按鈕是否復位,如末復位拉出
向右轉(zhuǎn)動主電源斷路器手柄復位,然后向左轉(zhuǎn)動手柄,主電源合閘機器上指示燈、溫控儀表點亮可確認總電源已開啟4/1/20247向右轉(zhuǎn)動主電源斷路器手柄復位,然后向左轉(zhuǎn)動手柄,主電源合閘3.2啟動計算機輕壓一下工控機主機上“POWER”按鈕,計算機啟動WIN-NT4/1/202483.2啟動計算機輕壓一下工控機主機上“POWER”按鈕,計3.3檢查冷卻水冷卻水壓力應在4kg/cm2--6kg/cm2范圍內(nèi)先打開冷卻水出水閥,然后打開進水閥4/1/202493.3檢查冷卻水冷卻水壓力應在4kg/cm2--6kg/c
檢查、調(diào)節(jié)水流量計,ww1--4為10L/min,ww5--6為6L/min,ww7--12為2.5L/min(設(shè)備人員調(diào)節(jié))4/1/202410檢查、調(diào)節(jié)水流量計,ww1--4為10L/min,3.4檢查氣源打開壓縮空氣閥,壓縮空氣為5kg/cm2--7kg/cm2打開氮氣閥,氮氣壓力小于5kg/cm24/1/2024113.4檢查氣源打開壓縮空氣閥,壓縮空氣為5kg/cm2-3.5啟動“system”程序用鼠標左鍵雙擊Win-nt桌面“system”圖標啟動后登入自己使用權(quán)限帳號4/1/2024123.5啟動“system”程序用鼠標左鍵雙擊Win-nt4選擇工藝單、生產(chǎn)開真空泵,預加熱啟動指定工藝檢查工藝運行情況放置空石墨框進行傳動狀態(tài)測試工藝調(diào)試,生產(chǎn)4/1/2024134選擇工藝單、生產(chǎn)開真空泵,預加熱3/31/2024134.1開真空泵,預加熱檢查機器無故障顯示后,開真空泵加熱腔和反應腔預加熱當反應腔真空壓力小于1.0e-2mbar,溫度達到預設(shè)定的值,方可啟動工藝4/1/2024144.1開真空泵,預加熱檢查機器無故障顯示后,開真空泵3/34.2啟動指定工藝打開墻壁氣箱中特氣閥點擊“control”控制按鈕,“technology”框中選擇規(guī)定的工藝單后,加載“l(fā)oad”,啟動工藝“start”,在“transp-ortation”框啟動傳動4/1/2024154.2啟動指定工藝打開墻壁氣箱中特氣閥3/31/202414.3檢查工藝運行情況過程狀態(tài)畫面框顯示過程執(zhí)行“processrunning”壓力控制微波開啟特氣開啟以上條件滿足方可啟動工藝4/1/2024164.3檢查工藝運行情況過程狀態(tài)畫面框顯示過程執(zhí)行“proc4.4傳動狀態(tài)測試在機器裝載口平穩(wěn)放置空石墨框進行傳動狀態(tài)測試4/1/2024174.4傳動狀態(tài)測試在機器裝載口平穩(wěn)放置空石墨框進行傳動狀態(tài)4.5進行工藝調(diào)試,生產(chǎn)放入裝有需加工硅片的石墨框進行工藝調(diào)試,生產(chǎn)在機器口放置、檢查好石墨框后按壓黑色準備好按鈕,機器傳動才執(zhí)行帶上高溫手套,及時從機器出口平穩(wěn)拿出石墨框4/1/2024184.5進行工藝調(diào)試,生產(chǎn)放入裝有需加工硅片的石墨框進行工5停機停止工藝運行關(guān)墻壁氣箱中特氣閥,特氣管路吹掃關(guān)掉真空泵,向機器腔體沖入凈化N2退出控制程序“system”,關(guān)主電源關(guān)上壓縮空氣、氮氣、冷卻水4/1/2024195停機停止工藝運行3/31/2024195.1停止工藝運行鼠標點擊“control”按鈕,彈出下拉菜單點擊工藝“stop”按鈕點擊傳動“stop”按鈕4/1/2024205.1停止工藝運行鼠標點擊“control”按鈕,彈出下拉5.2關(guān)墻壁氣箱中特氣閥,特氣管路吹掃關(guān)上位于墻壁氣箱中特氣閥通知經(jīng)過培訓的設(shè)備人員進行特氣管路吹掃4/1/2024215.2關(guān)墻壁氣箱中特氣閥,特氣管路吹掃關(guān)上位于墻壁氣箱中特5.3關(guān)掉真空泵,向腔體沖入N2進入“system”狀態(tài)畫面,點擊“pumps”控制按鈕,彈出下拉菜單等待真空泵凈化N2氣閥關(guān)閉點擊三個真空泵“pumpoff”控制按鈕關(guān)掉真空泵點擊反應腔“vent”控制按鈕,向機器腔體沖入凈化N2,等待沖好指示燈點亮4/1/2024225.3關(guān)掉真空泵,向腔體沖入N2進入“system”狀態(tài)畫5.4退出控制程序,關(guān)主電源進入“service”狀態(tài)畫面,點擊系統(tǒng)中“switchoff”控制按鈕,計算機顯示回到win-nt畫面進行正常關(guān)計算機操作用手按壓一下紅色急停按鈕,關(guān)閉主電源,拉出紅色急停按鈕復位4/1/2024235.4退出控制程序,關(guān)主電源進入“service”狀態(tài)畫面5.5關(guān)上壓縮空氣、氮氣、冷卻水關(guān)上壓縮空氣、氮氣閥等十五分鐘后可關(guān)閉冷卻水,先關(guān)進水閥,然后關(guān)回水閥4/1/2024245.5關(guān)上壓縮空氣、氮氣、冷卻水關(guān)上壓縮空氣、氮氣閥3/3
4/1/202425
3/31/2024254/1/2024263/31/202426
Figure10:Processchamber4/1/202427
3/31/202427Figure12:Gassystem4/1/202428Figure12:Gassystem3/31/20244/1/2024293/31/2024294/1/2024303/31/2024304/1/2024313/31/2024314/1/2024323/31/202432
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