JJG 28-2019平晶行業(yè)標準

中華人民共和國國家計量檢定規(guī)程2019-09-27發(fā)布2020-03-27實施國家市場監(jiān)督管理總局JJG28-2019平晶檢定規(guī)程JJG28—2019 1范圍 2引用文件 3概述 4計量性能要求 4.1平行度 4.2工作面平面度 4.3非工作面的平面度 4.4穩(wěn)定性 5通用技術(shù)要求 5.1外觀及表面質(zhì)量 5.2外形尺寸 5.3長平晶十字刻線位置 5.4兩端面夾角 5.5工作面與圓柱母線的垂直度 6計量器具控制 6.1檢定項目和主要檢定設(shè)備 6.2檢定條件 6.3檢定方法 6.4檢定結(jié)果處理 6.5檢定周期 附錄A平晶表面疵病的尺寸及數(shù)量 附錄B相移式等厚干涉測量法 附錄C等厚干涉測量法 附錄D等傾干涉測量法 附錄E四面互檢法檢定長平晶數(shù)據(jù)處理實例 附錄F長平晶自重變形量 附錄G檢定證書和檢定結(jié)果通知書內(nèi)頁格式 JJG28—2019IJJF1001-2011《通用計量術(shù)語及定義》、JJF1002-2010《國家計量檢定規(guī)程編寫規(guī)則》、JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》共同構(gòu)成本規(guī)程修訂工作的基礎(chǔ)性系列技術(shù)法規(guī)。本規(guī)程與JJG28-2000《平晶》相比，除編輯性修改外，主要技術(shù)改進如下： 原LJG28-2000《平晶》檢定規(guī)程的印刷錯誤，現(xiàn)更正如下：原規(guī)程P25頁文字第3行：P20附錄C第1行第8列：E=(L/Ln)Kns應(yīng)為：E=(L/Ln)△Kn 依據(jù)LJG146-2011《量塊》,取消了6等量塊，改用5等量塊(見6.3.2)。 取消了平行平晶平行度在激光平面等厚干涉儀上檢定的方法。 增加相移式等厚測量裝置的結(jié)構(gòu)概述、測量方法(附錄B)等相關(guān)內(nèi)容?！黾訕藴势骄gs范圍內(nèi)的平面度計算方法(附錄C)。本規(guī)程的歷次版本發(fā)布情況為： JJG28—2000——JJG28—1991——JJG28—1980 1平晶檢定規(guī)程本規(guī)程適用于平晶(包括平面平晶、平行平晶和長平晶)的首次檢定、后續(xù)檢定和使用2引用文件GB/T903—2019無色光學(xué)玻璃JB/T7401-1994平面平晶JB/T7402-1994平行平晶ISO14999-4:2015(E)光學(xué)和光子學(xué)光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)的干涉儀測量-第四章：在IS010110中所明確規(guī)定的公差說明和評價(OpticsandphotonicsInterferometricmeasurementofopticalelementsandopticalsystems-Part4:InterpretationandevaluationoftolerancesspecifiedinIS010110)。凡是注日期的引用文件，僅注日期的版本適用于本規(guī)程；凡是不注日期的引用文件，其最新版本(包括所有的修改單)適用本規(guī)程。3概述平晶是以光波干涉法測量平面度、直線度、研合性以及平行度的計量器具，包括平面平晶、平行平晶和長平晶。平面平晶按工作面數(shù)可分為單工作面平晶和雙工作面平晶，其外形示意見圖1,按用途又可分為標準平晶和工作平晶兩大類，標準平晶分為一、二等，工作平晶分為一、二級。圖1平面平晶示意圖 2平行平晶按尺寸分為四個系列，每個系列中尺寸相鄰的四塊可組成一套，其外形示意見圖2。長平晶按尺寸分別為210mm和310mm兩種，其外形示意見圖3。S圖2平行平晶示意圖t×45° 圖3長平晶示意圖4計量性能要求平行平晶兩工作面的平行度要求見表1。 JJG28—20193表1平行平晶兩工作面的平行度系列兩工作面的平行度(μm)Ⅲ4.2工作面平面度4.2.1平面平晶工作面的平面度一級、二級平面平晶工作面的平面度見表2。表2工作平面平晶工作面的平面度規(guī)格(mm)有效直徑d級d范圍內(nèi)(2/3)d范圍內(nèi)d范圍內(nèi)(2/3)d范圍內(nèi)-, —'注：1、(2/3)d指直徑為有效直徑d的三分之二，且在平晶的中心部位區(qū)域。2、工作平晶在有效直徑外允許塌邊。一等標準平晶在有效直徑內(nèi)的平面度不大于0.03μm,任意兩相互垂直截面方向的平面度之差不大于0.015μm,(2/3)d內(nèi)的平面度不大于0.015μm;二等標準平晶在有效直徑內(nèi)的平面度不大于0.05μm,任意兩個相互垂直截面平面度之差不大于0.03μm,(2/3)d內(nèi)的平面度不大于0.03μm。標準平晶在(2/3)d內(nèi)的平面度應(yīng)與總偏差方向一致，兩相互垂直截面方向上的偏差方向也應(yīng)一致。標準平晶的規(guī)格尺寸應(yīng)不小于D150mm。 44.2.2平行平晶工作面的平面度平行平晶工作面的平面度不大于0.1μm(在有效直徑外允許塌邊),中間2/3直徑范圍內(nèi)的平面度不大于0.05μm。4.2.3長平晶工作面的平面度長平晶工作面的平面度見表3表3長平晶工作面的平面度平面度(μm)在工作長度內(nèi)(在無自重變形時)在橫向40mm內(nèi)注：“一”表示凹4.3非工作面的平面度4.3.1平面平晶非工作面的平面度平面平晶非工作面的平面度≤3.0μm。4.3.2長平晶非工作面的平面度4.4穩(wěn)定性一等標準平晶兩次檢定周期的平面度之差不大于0.010μm,二等標準平晶和210mm長平晶兩次檢定周期的平面度之差不大于0.020μm,310mm長平晶兩次檢定周期的平面度之差不大于0.030μm:5通用技術(shù)要求5.1外觀及表面質(zhì)量平晶非工作面上應(yīng)標有制造廠廠名(或廠標)、出廠編號，長平晶非工作面上還應(yīng)刻有受檢點位置的十字刻線，刻字、刻線應(yīng)清晰。平晶表面應(yīng)無破損，玻璃材質(zhì)應(yīng)透明，無明顯的氣泡和條紋，對于新制造的和修理后的平晶表面疵病的尺寸和數(shù)量見附錄A。使用中的平晶工作面允許有不影響準確度和不損傷被測量具工作面的劃痕和破損。5.2外形尺寸5.2.1平面平晶的外形尺寸平面平晶的外形尺寸見表4,修理后的平晶厚度尺寸H允許比標稱尺寸小3mm。 JJG28—201955.2.2平行平晶的外形尺寸平行平晶的外形尺寸見表5的規(guī)定。對于修理后的平晶，其外形尺寸應(yīng)不小于H?,但四塊平晶尺寸H的遞差必須在(0.11~0.14)mm之間。表4平面平晶的外形尺寸mm規(guī)格Dt基本尺寸與極限偏差基本尺寸與極限偏差基本尺寸與極限偏差30±0.845±0.860±0.9520±1.6580±0.9520±1.6525±1.6530±1.65200±1.4540±1.95表5平形尺寸mm尺寸極限偏差ⅡIH40.0040.1240.2540.3740.5040.6240.7540.8741.00 6尺寸極限偏差lⅡIDb889t5.2.3長平晶的外形尺寸長平晶的外形尺寸見表6的規(guī)定。兩面角倒角為(0.5±0.1)mm,三面角倒角為(1表6長平晶的外形尺寸mm長平晶長度;新制的修理后210±140±125±0.5310±140±130±0.55.3長平晶十字刻線位置長平晶的非工作面上有表示受檢點位置的十字刻線，對于210mm長平晶有七個十字刻線，刻線間隔為30mm,兩端十字刻線距端面為15mm;對于310mm長平晶兩端十字刻線距端面為20mm,刻線間隔為30mm,共有九個間隔，另外在對稱中點位置增加一個十字刻線，共十一個十字刻線。以非工作面向上，廠標刻字順序為準，左邊第一個十字刻線為零位十字刻線，從零位十字刻線至其他各十字刻線的距離對標稱尺寸的偏差應(yīng)應(yīng)不大于0.1mm,兩端十字刻線距端面的距離對標稱尺寸的偏差應(yīng)應(yīng)不大于0.2mm,十字刻線在平晶上的位置應(yīng)對稱。5.4兩端面夾角平面平晶工作面與其對應(yīng)面夾角a為端面夾角，以平晶兩面的厚度差表示，其極限值見表7。長平晶工作面與其對應(yīng)面夾角，在縱向兩端厚度差應(yīng)不大于0.1mm,在橫向兩端厚度 7表7平面平晶工作面與其對應(yīng)面的厚度差厚度差(mm)5.5工作面與圓柱母線的垂直度平行平晶工作面與圓柱母線的垂直度<1°。6計量器具控制計量器具控制包括首次檢定、后續(xù)檢定和使用中的檢查。6.1檢定項目和主要檢定設(shè)備檢定項目和主要檢定設(shè)備見表8。6.2.1平面平晶、長平晶檢定前必須放置在(20±5)℃和濕度不大于80%RH的檢定室內(nèi)進行等溫，等溫時間不少于表9規(guī)定。6.2.2平行平晶檢定前必須放置在(20±3)℃和濕度不大于80%RH的檢定室內(nèi)進行等溫，等溫時間不少于10h。 JJG28—20198表8檢定項目和主要檢定器具序號首次檢定后續(xù)檢定使用中的檢查平行平晶平面平晶長平晶修理后周期檢定1外觀及表面質(zhì)量放大鏡十十十十△△△2外形尺寸游標卡尺MPE:±0.03mm立式光學(xué)計MPE:±0.25μm5等量塊測長儀MPE:±(1μm+5×10°L)十十一△△△3兩端面夾角百分表MPE:0.02mm專用臺架、表式卡規(guī)。十+—△△4十字刻線位置萬能工具顯微鏡MPE:±(1μm+5×10°L)十+ 一△5工作面與母線垂直度角度規(guī)MPE:±2十十一△6非工作面平面度二級平面平晶十十 —△△7兩工作面的平行度立式光學(xué)計MPE:±0.2μm十十十十△8工作面平面度標準平晶MPE:≤0.05μm相移式激光等厚干涉儀示值誤差：≤λ/40nm測量重復(fù)性PV10≤A/500nm平面等厚干涉儀MPE:±0.02μm平面等傾干涉儀U=A/50μm(k=2)十十十十△△△9穩(wěn)定性標準平晶MPE:≤0.05μm—十△△ JJG28—20199相移式激光等厚干涉儀示值誤差：≤A/40測量重復(fù)性PV10≤A/500nm平面等厚干涉儀MPE:±0.02μmm平面等傾干涉儀U=λ/50μm(k=2)表9平晶等溫時間平面平晶人長平晶6.2.3測量平面度時，平晶在儀器內(nèi)等溫的時間和室溫變化見表10的規(guī)定。表10平晶在儀器內(nèi)等溫的時間和室溫變化平晶類別平晶規(guī)格等溫時間24h室溫變化1h室溫變化平面平晶12 平晶類別平晶規(guī)格等溫時間24h室溫變化1h室溫變化平行平晶I,Ⅱ系列I,IV系列1長平晶16.3檢定方法以黑色屏幕為背景，在(8~15)W日光燈照射下，借助4~6倍放大鏡，目力觀察。6.3.2外形尺寸平行平晶中心長度尺寸H用5等量塊在光學(xué)計上進行比較測量，也可以用測長儀直接測量。其它外形尺寸用游標卡尺進行測量6.3.3長平晶十字刻線位置在萬能工具顯微鏡上測量。6.3.4兩端面夾角平面平晶兩端面夾角用百分表和專用臺架或表式卡規(guī)測量。測量時，在任意直徑方向兩端的讀數(shù)差(端面間的厚度)的最大值作為測量結(jié)果。長平晶兩端面的夾角用分度值為0.02mm的游標卡尺測量。6.3.5工作面與圓柱母線的垂直度用分度值不大于2’的角度規(guī)測量。6.3.6非工作面的平面度平面平晶采用不小于被檢平面平晶直徑的二級平晶等厚干涉法測量，長平晶用D100mm二級平晶等厚干涉法測量。用光學(xué)計測量時，在四個均勻的直徑方向距邊緣1mm的八個點上進行測量，每點測量兩次取平均值做為該點測得值，在八個測得值中，取其最大差值作為平行度。也可用測量不確定度U≤0.2μm(k=3或p=0.99)的其它方法進行測量。6.3.8工作面的平面度 平行平晶及D30mm~D100mm工作平晶的平面度用比較測量法和絕對測量法測量。平面平晶的平面度等別在一等以下的一般用比較測量法測量，等別在一等(或二等)及更高精度的平面鏡以絕對測量法測量。長平晶的平面度采用多面互檢測量法在平面等傾干涉儀上測量。平晶平面度比較測量可使用以下三種方法：1)相移式等厚干涉測量法；2)平面等厚1)相移式等厚干涉測量法：在相移式激光等厚干涉儀上安裝、調(diào)整標準平晶與被測平晶，產(chǎn)生等厚干涉條紋，驅(qū)動標準平晶移動，從而產(chǎn)生多幅干涉圖像，對其進行采集、處理和分析，求出平晶工作面的平面度(PV值和rms值)。測量步驟：將一等標準平晶或精度優(yōu)于一等平晶的標準平面鏡安裝在儀器參考鏡鏡架位置，被測的二等(或一級)工作平晶安裝在被檢測鏡架(載物臺)上，進行比較測量，讀取相移式等厚干涉測量的平面度。相移式等厚干涉測量方法詳見附錄B。2)平面等厚干涉測量法：用二等標準平晶與平面等厚干涉儀組成平面度標準裝置，測量尺寸(D30~D100)mm工作平面平晶，通過觀測汁算干涉條紋的彎曲量求出平面度(PV值)。并以同樣方法測量平行平晶平面度。等厚干涉測量方法詳見附錄C。3)平面等傾干涉測量法：用一等標準平晶與平面等傾干涉儀組成平面度標準裝置，測量尺寸D150mm的一級平晶；用二等標準平晶與平面等傾干涉儀組成平面度標準裝置，測量尺寸D150mm的二級平晶。平面度的測量應(yīng)在兩相互垂直的方向上進行(見圖4)。計算平面度時，當所測二截面平面度出現(xiàn)的符號相同時，取其中絕對值最大的為平面度，符號相反時，則取兩者絕對值之和為平面度。平面等傾干涉測量方法詳見附錄D。絕對測量法又稱多面互檢法，參加互檢的平晶其外形尺寸、材料應(yīng)一致，三面(或四面)互檢組合中必須選用一塊已知平面度(平面平晶應(yīng)為一等、二等或同等精度的平面鏡)的平晶參加互檢，若該平晶此次測量結(jié)果與原已知的平面度之差不大于0.015μm,則此次的互檢結(jié)果有效。平面平晶互檢時應(yīng)注意直徑截面方向要一一對應(yīng)。三面互檢在相移式激光等厚干涉儀或平面等傾干涉儀上進行，四面互檢在平面等傾干涉儀上進行，其測量結(jié)果為被檢平面平晶截面的平面度絕對測量值；全面形三面互檢在相移式激光等厚干涉儀上進行，其測量結(jié)果為被檢平面平晶全面形的平面度絕對測量值。1)三面互檢法三面互檢法用三個平晶在相移式等厚干涉儀上互檢，獲得三個平晶絕對形貌，即所有JJG28—2019參加互檢的平面平晶被檢兩個截面應(yīng)與刻字成45°(見圖4),長平晶只檢一個截面。圖4刻字位置示意圖2)四面互檢法JJG28—2019△ji——平晶J和K互檢時，在i點的殘差；J、K——A、B、C、D四塊平晶中的某兩塊；Tki——互檢的某兩塊平晶在i點的平面度偏差值之和；J;、K;——平晶J、K在i點的平面度偏差值。測量兩平晶平面度之和的標準不確定度ua由下式計算：n——截面被測點數(shù)；對于D150mm平面平晶，n=5;對于210mm長平晶，n=7;對于∑A2ki為6n個殘差平方之和。測量每塊平晶的平面度的標準不確定度uo可由公式(5)求出或p=0.99),對于二等平面平晶、310mm長平晶，其平面度的測量不確定度U≤0.020μm(k=3或p=0.99)。四面互檢法檢定平晶的數(shù)據(jù)處理示例見附錄E。3)全面形三面互檢法一等平晶或更高精度的平面鏡在相移式激光等厚干涉儀上用全面形三面互檢法測量，在儀器的標準測量端和被檢測測量端安裝有專用旋轉(zhuǎn)裝置，其測量方法見附錄B。不同測量方法導(dǎo)致檢定結(jié)果出現(xiàn)爭議時，以光波干涉法中移相式干涉測量方法的結(jié)果6.3.8.3長平晶工作面橫向40mm內(nèi)平面度用D60mm一級平晶等厚干涉法測量。6.3.9穩(wěn)定性標準平晶和長平晶的穩(wěn)定性，以兩次周期檢定的平面度之差確定6.4檢定結(jié)果處理經(jīng)檢定符合本規(guī)程要求的平晶，應(yīng)出具檢定證書，對于一、二等標準平晶和長平晶檢定證書中應(yīng)給出工作面平面度測量結(jié)果及其測量不確定度。不符合本規(guī)程要求的平晶應(yīng)發(fā)檢定結(jié)果通知書，并注明不合格項目。其證書格式見附錄G6.5檢定周期工作平晶根據(jù)使用情況確定檢定周期，最長不超過1年。標準平晶和長平晶檢定周期一般為1年，使用5年后可延長至2年。 JJG28—2019附錄A平晶表面疵病的尺寸及數(shù)量A.2平晶的工作面表面疵病不應(yīng)密集。對非工作面表面疵病未超過表A.1規(guī)定時，在限的粗麻點允許3個，寬度為(0.04~0.07)mm的粗擦痕允許20mm表A.1平晶工作面的表面疵病序號單位平行D30D45D60D80D100D150D200II各工作面非工作面各工作面非工作面各工作面非工作面各工作面非工作面各工作面非工作面各工作面非工作面各工作面非工作面1D(0.015~0.總數(shù)量≤個2D(0.015~0.7)mm麻點總數(shù)量≤個3D(0.1~0.mm粗麻點(其中)≤個3457933454D(0.4~0.mm粗麻點(其中)≤個345795寬度為0.02)mm擦痕總長度≤mm6寬度為mm JJG28—2019序號單位平面平晶(mm)平行I各工作面非工作面各工作面非工作面各工作面非工作面各工作面非工作面各工作面非工作面各工作面各工作面非工作面擦痕總長度≤7寬度為粗擦痕(其中)≤mm58寬度為粗擦痕(其中)≤mm5注：長平晶表面疵病參照D150mm平面平晶的表面疵病要求aJJG28—2019附錄B相移式等厚干涉測量法B.1相移式等厚干涉儀在激光等厚干涉儀中，參考平晶的反射波面與被檢平晶的反射波面相干產(chǎn)生了干涉條紋，它每一個測量點(x,y)的條紋相位φ與其相對應(yīng)的參考平晶反射面到被檢平晶的反射面的距離d是這里λ為激光波長。相移式干涉測量方法采用PZT驅(qū)動等手段改變干涉條紋的相位從而得到多幅不同相位的干涉圖像。對其分別采集、處理和分析，求出每一個測量點的條紋相位。從公式(B.1)就得到參考平晶反射面到被檢平晶的反射面每一個測量點的距離d(x,y)。如果參考平晶反射面的形貌已知，被檢平晶的形貌即每一個測量點的高度z(x,y)也就可以直接從d(x,y)中獲得。然后根據(jù)在z(x,y)計算出被檢平晶的平面度(PV值和相移式激光等厚干涉儀的示意圖見B.1。測量時，He-Ne激光器輸出的單頻激光被透鏡會聚在位于準直物鏡焦平面的孔徑光闌上。從準直物鏡出射的平行光束，一部分激光光束到達參考面后被反射回作為參考光束；另一部分激光光束穿過參考面后至被測平晶表面再反射回作為測試光束。參考光束和測試光束再通過光學(xué)系統(tǒng)成像于攝像機上，形成等厚干涉條紋。計算機輸出移相指令給PZT移相器，驅(qū)動干涉儀的參考鏡產(chǎn)生等間隔的位移從而引入相位調(diào)制，攝像機將經(jīng)等間隔調(diào)制的干涉條紋的光強圖像數(shù)字化后送入計算機，通過移相算法對數(shù)字化的移相干涉圖進行處理分析，即得到每一個測量點(x,y)的條紋相位φ(x,y)。JJG28—2019從條紋相位φ(x,y)中，我們就可以得到參考平晶反射面到被檢平晶的反射面的距離z(x,y)=C-(d(x,y)+Z(x,y)),(B.3)式中N為測量點數(shù)。這里需要強調(diào)的是常數(shù)C的取值并不重要。這是因為它不會改變被檢平晶的形貌即任何兩個測量點的相對高度保持不變。最后，去掉z(x,y)的傾斜面后，被檢平晶的平面度(PV值和rms值)由以下兩公式計算PV=max(z(x,y))-mm(z(x,y))B.2全面型三面互檢法全面型三平面互檢法用三個平晶在相移式等厚干涉儀上互檢，獲得三個平晶絕對形貌，即所有測量點的真實高度。三平面互檢法測量示意例圖見圖B.3。全面型三平面互檢法采用兩塊平晶B、C和被檢平晶A進行四次分離測量。即B+A、B+A旋轉(zhuǎn)90°、C+A、C+B。從這四個互檢的結(jié)果即兩個標準平晶反射面之間每一個測量點的距離d,(x,y),d?(x,y),d?(x,y),和d?(x,y)中直接由計算機算出三個平晶的絕對形貌2B+A旋轉(zhuǎn)90°(b)光軸水平圖B.3三平面互檢法測量示意圖JJG28—2019等厚干涉測量法C.1在等厚干涉儀上測量平晶平面度時，應(yīng)調(diào)整干涉條紋的間隔，使測量區(qū)域出現(xiàn)3或5圖C.1等厚干涉示意圖C.3評估平面度時，當所測二截面出現(xiàn)的平面度符號相同時，取其中絕對值最大值為平面度，符號相反時，則取兩者絕對值之和為平面度(見圖C.2)。C.4工作面呈凸形時，平面度取正號；工作面呈凹形時取負號。符號的判別按下述方法JJG28—2019C.5測量結(jié)果減去標準平晶的平面度，方為被檢平晶的平面度。當被檢工作平晶直徑小于或等于100mm時，應(yīng)按下式計算標準平晶在該區(qū)域的平面度，即Fgs為標準平晶在96mm范圍內(nèi)的平面度。Fgs的確定可根據(jù)標準平晶平面度檢定結(jié)果其中心范圍內(nèi)的三點數(shù)據(jù)來確定。例如標準平晶的數(shù)據(jù)：JJG28—20191-2截面為：0,+0.023μm,+0.035μm,+0.028μm,0;3-4截面為：0,+0.025μm,+0.041μm,+0.029μm,0,JJG28—2019附錄D等傾干涉測量法D.1在等傾干涉儀上測量平晶平面度時，D150mm的平面平晶測量+70,+48,0,-48,-70五點；D200mm的平面平晶測量+94,+70,+48,0,-48,-70,-94七點；210mm長平晶測量七點(十字刻線位置);310mm長平晶測量十點(十字刻線位置)。D.2測量平晶平面度時，將被測平晶(或標準平晶)工作面朝上放在儀器工作臺上，在平晶工作面上放置平晶專用支承架(支承架上的鋼球直徑為3.18mm,三個鋼球的直徑差應(yīng)小于0.1μm),然后將另一塊被測平晶工作面朝下放在支承架上，兩塊平晶由三個鋼球支承形成一個平行空氣層，它位于等傾干涉儀光路中的聚焦點附近，并與光軸垂直，這時，在干涉儀目鏡里可以觀察到一組等傾干涉環(huán)。a)測量平面平晶平面度時，應(yīng)放入平面平晶工作臺和平面平晶專用支承架。調(diào)整專用支承架的三個支承點與工作臺支承點相重合，使工作臺從一端移至另一端時，兩端干涉環(huán)的級數(shù)變化不超過一環(huán)。調(diào)整好測量位置，將儀器保溫門關(guān)好，按要求平衡溫度。b)測量長平晶平面度時，應(yīng)放入長平晶工作臺和長平晶專用支承架。調(diào)整專用支承架的三個支承點與工作臺支承點相重合，使工作臺從一端移至另一端時，兩端干涉環(huán)的級數(shù)變化不超過一環(huán)。然后將測微目鏡取下，裝上接長管，重新套上測微目鏡，調(diào)整日鏡焦距(即調(diào)整接長管長度),使在目鏡視場內(nèi)能同時見到照明光斑的像和上、下長平晶的十字刻線，調(diào)整長平晶使各受檢點的十字刻線與長平晶工作臺運動方向平行，且通過光斑中心，同時還要保證上、下十字刻線重合，再將零十字刻線調(diào)整到光斑中心，然后取下接長管，安上測微目鏡，再次檢查干涉環(huán)變化，直到兩端干涉環(huán)的變化小于一環(huán)為止，將儀器保溫門關(guān)好，按要求平衡溫度。長平晶的支承架也可用量塊代替，兩塊量塊尺寸為3.5mm,尺寸差小于0.1μm,量塊支承需研合在長平晶工作面的兩端。D.3用等傾干涉儀測量平面度，實際上是測量空氣層厚度的變化，設(shè)各點空氣層的厚度為Ho,H?,H?…H+…Hn-r,Hn等，則某一點i對兩端點連線的偏差F;為：Ho,H,Hn—0L;—iLn—n點對0點與n點連線的偏差；i點、n點空氣層厚度；點到0點的距離；點到0點的距離。設(shè)0點的空氣層厚度Ho=△Ko+Ko,Ko為0點空氣層厚度中干涉級數(shù)的整數(shù)部分，△Ko為其干涉級數(shù)的小數(shù)部分，其它各點H=△K+Ko,△K;為i點空氣層厚度減去Ko而剩下的干涉級數(shù)，若用干涉級數(shù)表示平面度偏差值，則當視場中干涉環(huán)直徑增大時表明空氣層厚度增大，當干涉環(huán)增大至中心又產(chǎn)生一新環(huán)JJG28—2019時，則干涉環(huán)的整數(shù)部分增加一級；反之，當干涉環(huán)直徑縮小表明空氣層厚度減小，若干涉環(huán)收縮至中心消失一個干涉環(huán)時，則干涉環(huán)的整數(shù)部分減少一級，0級干涉條紋可以任意選定，一般在0點選Ko為0級條紋，若Ko×λ/2大于Ho,則最里面的干涉環(huán)的級序為0級；若Ko×λ/2小于Ho,則最里面的干涉環(huán)的級序為一1級，在0級環(huán)外第一環(huán)為-1級，0級環(huán)外第二環(huán)為一2級；在0級環(huán)內(nèi)第一環(huán)為+1級，0級環(huán)內(nèi)第二環(huán)為+2級，依此類推。0級環(huán)的確定應(yīng)使△Ko的絕對值小于0.5,一旦0級環(huán)選定后，其余各環(huán)的級序也就確定，在測量過程中一定要記下干涉環(huán)的級序，某一點的干涉級數(shù)可用下式求出：△K;——i點的干涉級數(shù)；D;——i點所測干涉環(huán)直徑；D?——標準干涉環(huán)直徑(干涉環(huán)級數(shù)為整數(shù)時，最里環(huán)直徑)N;——i點被測干涉環(huán)的級序，在0級環(huán)內(nèi)為正，在0級環(huán)外為負。供，也可以通過實測確定，可由下式求出：定參照附錄C第3條。 附錄E四面互檢法檢定長平晶數(shù)據(jù)處理示例表E.1檢定位置干涉環(huán)級干涉環(huán)直徑(mm)干涉環(huán)級數(shù)K;K-K?E-△K溫度備注D?=000000AB組合-0.754-0.222-1.129-0.333-1.244-0.367-1.157-0.341-0.753-0.222000檢定位置干涉環(huán)級干涉環(huán)直徑(mm)干涉環(huán)級K-KoE-△KAA2溫度備注D?=000000Ac組合04.14-0.643-0.190-1.035-0.305-1.208-0.356-0.999-0.295-0.583-0.172000 JJG28—2019表E.1(續(xù))檢定位置干涉環(huán)級序N?干涉環(huán)直徑(mm)干涉環(huán)級K-K?E=E-△K;F=△λ/2溫度備注D?=006.202.870.525000020.5A口組合06.842.614.230.616-0.030-0.646-0.1916.172.790.971-0.061-1.032-0.3046.28-0.091-1.140-0.3366.012.450.858-0.121-0.979-0.28906.702.820.9600.435-0.152-0.587-0.17302.320.34300檢定位置干涉環(huán)級序N?干涉環(huán)直徑(mm)干涉環(huán)級數(shù)KK=K-KoE=E-△K;F=溫度備注D?=006.510.645000020.0Bc組合06.962.794.170.4640.004-0.460-0.1366.042.300.6920.008-0.684-0.2026.222.600.7860.012-0.774-0.2286.262.720.8270.016-0.811-0.2392.010.6130.020-0.593-0.17506.560.6690.0240.02400 表E.1(續(xù))檢定位置干涉環(huán)級序N?干涉環(huán)直徑(mm)干涉環(huán)級K-KoE=K?E-△KF=溫度備注D?=006.422.800.5000000BD06.940.9750.4750.020-0.455-0.1344.080.7230.039-0.684-0.2026.142.240.8200.058-0762-0.2256.252.530.9080.078-0.830-0.2454.160.6800.098-0.582-0.17206.570.6170.117,000檢定位置干涉環(huán)級序N?干涉環(huán)直徑(mm)干溲環(huán)級K-KoE=KnE-△K;F=△iA/2溫度備注D?=d:-d2002.854.470000co組合6.730.4040.062-0.342-0.1014.052.0460.7720.125-0.647-0.1916.044.152.2280.9540.188-0.766-0.2266.024.242.2020.9280.250-0.678-0.2004.012.0250.7510.312-0.439-0.1306.730.375000 JJG28—2019表E.2檢定位置(mm)工作面無自重變形平面度(μm)平晶B000000000U=0.010μm注：Do=3.96mm,λ=0.590μmJJG28—2019附錄F長平晶自重變形量對于新制造的和修理后的長平晶需要檢定其自重變形量F.1用加載法測出彎曲變形，算出彈性模量E。先將兩塊同一材料的長平晶按檢定平面度的方法放置在等傾干涉儀內(nèi)，測量它們之間的無自重變形平面度之和，然后在長平晶的對稱中心的十字刻線位置上放置一個200g的圓形專用砝碼，其中部有一直徑不