萬業(yè)企業(yè)-市場(chǎng)前景及投資研究報(bào)告-半導(dǎo)體離子注入機(jī)龍頭“1+N”平臺(tái)化延展

證券研究報(bào)告萬業(yè)企業(yè)（600641）：低估的半導(dǎo)體離子注入機(jī)龍頭，“1+N”平臺(tái)化延展打開成長(zhǎng)空間評(píng)級(jí)：增持股票代碼：60064124.03/14.23160.7252

周最高價(jià)/最低價(jià)：總市值(億)上次評(píng)級(jí)：目標(biāo)價(jià)格：最新收盤價(jià)：首次覆蓋自由流通市值(億)自由流通股數(shù)(百萬)160.7217.27930.632023年12月2日核心觀點(diǎn)

地產(chǎn)企業(yè)轉(zhuǎn)型半導(dǎo)體賽道，半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單飽滿。公司傳統(tǒng)主業(yè)為房地產(chǎn)相關(guān)業(yè)務(wù)，2015年引入浦科投資為第一大股東，通過內(nèi)生外延快速推進(jìn)公司向半導(dǎo)體設(shè)備的戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型。1）2018年收購(gòu)凱世通，依托離子注入機(jī)正式切入半導(dǎo)體設(shè)備賽道；2）2020年?duì)款^收購(gòu)Compart

Systems，縱向拓展半導(dǎo)體設(shè)備零部件；3）2021年攜手寧波昇瑞成立嘉芯半導(dǎo)體，布局薄膜沉積、刻蝕等環(huán)節(jié)，構(gòu)建“1+N”半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)。從收入結(jié)構(gòu)來看，隨著公司戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型快速推進(jìn)，公司房地產(chǎn)業(yè)務(wù)收入占比快速下降，2023H1下降至72%。與此形成鮮明對(duì)比的是，公司專用設(shè)備制造收入占比快速提升，2020-2023H1分別達(dá)到2%、14%、18%和27%。從訂單表現(xiàn)來看，2023年初至中報(bào)披露日（2023.8.25)，公司旗下凱世通及嘉芯半導(dǎo)體共獲得集成電路設(shè)備訂單近3億元，兩家累計(jì)集成電路設(shè)備訂單金額近15億元。考慮到2021-2023H1公司專用設(shè)備制造收入合計(jì)不足5億元，我們判斷半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單可達(dá)約10億元，約為2021-2023H1合計(jì)收入的2倍，在手訂單飽滿，有望成為后續(xù)業(yè)績(jī)?cè)鲩L(zhǎng)重要驅(qū)動(dòng)力。離子注入機(jī)：低國(guó)產(chǎn)化率品種，有望提速。相較IC設(shè)計(jì)、封測(cè)環(huán)節(jié)，晶圓制造是中國(guó)大陸當(dāng)前半導(dǎo)體短板，自主可控驅(qū)動(dòng)本土晶圓廠大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)。2023Q1-Q3國(guó)內(nèi)一線Fab廠暫未看到大規(guī)模招標(biāo)啟動(dòng)，自主可控&半導(dǎo)體景氣回暖背景下，看好2024年招標(biāo)大年出現(xiàn)。1）市場(chǎng)規(guī)模：我們預(yù)計(jì)2024年全球和中國(guó)大陸半導(dǎo)體離子注入設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模分別為245和86億元，其中低能大束流離子注入機(jī)分別為149.5和52.3億元，市場(chǎng)空間較為廣闊。2）競(jìng)爭(zhēng)格局：全球離子注入機(jī)市場(chǎng)基本由美國(guó)AMAT和Axcelis主導(dǎo)，2019年二者合計(jì)全球市場(chǎng)份額高達(dá)90%，我們預(yù)估2022年國(guó)產(chǎn)化率仍不足10%，是前道設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率較低環(huán)節(jié)之一。細(xì)分國(guó)產(chǎn)設(shè)備商來看，萬業(yè)企業(yè)旗下凱世通是國(guó)內(nèi)離子注入機(jī)設(shè)備領(lǐng)先企業(yè)，凱世通和中科信已實(shí)現(xiàn)批量國(guó)產(chǎn)化，二者優(yōu)勢(shì)領(lǐng)域互補(bǔ)，凱世通前期聚焦低能大束流和高能離子注入機(jī)領(lǐng)域，而中科信的中能離子注入機(jī)具備較強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。往后來看，在實(shí)現(xiàn)0到1突破的基礎(chǔ)上，看好國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)1到N快速放量。離子注入設(shè)備有望快速放量，平臺(tái)化發(fā)展打開成長(zhǎng)空間。公司在穩(wěn)固離子注入設(shè)備國(guó)產(chǎn)龍頭地位的同時(shí)，橫向拓展薄膜沉積、刻蝕等市場(chǎng)規(guī)模更大的設(shè)備環(huán)節(jié)，縱向布局半導(dǎo)體設(shè)備零部件領(lǐng)域，不斷打開成長(zhǎng)空間。1）離子注入機(jī)：2022年凱世通獲得多家12英寸客戶超過7.5億元集成電路離子注入機(jī)訂單，2023年截至中報(bào)披露日（2023.8.25)，又新增集成電路離子注入機(jī)訂單金額超1.6億元，在手訂單飽滿。往后來看，隨著凱世通在多家客戶端的設(shè)備驗(yàn)證加速推進(jìn)，我們判斷公司有望充分受益于一線晶圓廠后續(xù)大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)，離子注入機(jī)訂單有望加速放量。

2）橫向：2021年公司與寧波昇瑞共同設(shè)立嘉芯半導(dǎo)體，覆蓋薄膜沉積、刻蝕、清洗、熱處理等設(shè)備。截至2023年中報(bào)披露日（2023.8.25），嘉芯半導(dǎo)體累計(jì)獲取訂單金額超4.7億元，其中2023年累計(jì)新增訂單金額超1.3億元，平臺(tái)化發(fā)展快速推進(jìn)。3）縱向：2020年12月公司牽頭收購(gòu)全球半導(dǎo)體設(shè)備零部件龍頭Compart

Systems，進(jìn)一步加強(qiáng)在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)協(xié)同效應(yīng)，夯實(shí)核心競(jìng)爭(zhēng)力。

盈利預(yù)測(cè)與投資評(píng)級(jí)：我們預(yù)計(jì)公司2023-2025年?duì)I業(yè)收入分別為11.89、14.09和16.67億元；2023-2025年歸母凈利潤(rùn)分別為3.99、4.68和5.44億元，2023-2025年EPS分別為0.43、0.50和0.58元，2023年12月1日收盤價(jià)17.27元對(duì)應(yīng)PE分別為40、34和30倍。考慮到公司離子注入機(jī)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，以及“1+N”平臺(tái)化發(fā)展的成長(zhǎng)空間，成長(zhǎng)性較為突出，首次覆蓋，給予“增持”評(píng)級(jí)。風(fēng)險(xiǎn)提示：晶圓廠資本開支下滑、客戶驗(yàn)證不及預(yù)期、轉(zhuǎn)型風(fēng)險(xiǎn)等。1核心觀點(diǎn)盈利預(yù)測(cè)與估值財(cái)務(wù)摘要2021A8802022A1,1582023E1,1892024E1,4092025E1,667營(yíng)業(yè)收入（百萬元）YoY（%）-5.5%37731.6%4242.7%39918.5%46818.3%544歸母凈利潤(rùn)（百萬元）YoY（%）19.4%56.2%0.4112.5%54.4%0.46-5.8%50.4%0.4317.2%50.4%0.5016.2%50.0%0.58毛利率（%）每股收益（元）ROE4.9%41.775.1%37.944.7%40.275.2%34.355.7%29.56市盈率2目錄一房地產(chǎn)企業(yè)轉(zhuǎn)型半導(dǎo)體賽道，半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單飽滿二三離子注入設(shè)備：低國(guó)產(chǎn)化率品種，有望提速離子注入設(shè)備有望快速放量，平臺(tái)化發(fā)展打開成長(zhǎng)空間四五盈利預(yù)測(cè)與投資建議風(fēng)險(xiǎn)提示31.1切入離子注入機(jī)賽道，打造“1+N”半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)

房地產(chǎn)企業(yè)切入離子注入機(jī)賽道，“1+N”半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)戰(zhàn)略快速推進(jìn)。萬業(yè)企業(yè)成立于1991年，1993年成功上市，傳統(tǒng)主業(yè)為房地產(chǎn)相關(guān)業(yè)務(wù)。2015年公司引入浦科投資成為第一大股東，2017年?duì)款^成立上海半導(dǎo)體裝備材料產(chǎn)業(yè)投資基金，戰(zhàn)略重心不斷向半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)移。在此基礎(chǔ)上，通過內(nèi)生外延，公司在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的發(fā)展版圖持續(xù)擴(kuò)張。1）2018年收購(gòu)凱世通，依托離子注入機(jī)正式切入半導(dǎo)體設(shè)備賽道；2）2020年?duì)款^收購(gòu)全球半導(dǎo)體設(shè)備零部件龍頭Compart

Systems，縱向拓展半導(dǎo)體設(shè)備零部件業(yè)務(wù)；3）2021年攜手寧波昇瑞成立嘉芯半導(dǎo)體，布局薄膜沉積、刻蝕等設(shè)備環(huán)節(jié)，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體設(shè)備橫向平臺(tái)化拓展。圖：通過外延并購(gòu)+產(chǎn)業(yè)整合，公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域的布局日趨完善41.1切入離子注入機(jī)賽道，打造“1+N”半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)

浦科投資現(xiàn)為公司第一大控股股東，持股比例達(dá)到29.27%，曾投資盛美上海、先進(jìn)半導(dǎo)體、中微半導(dǎo)體、瀾起科技等多家優(yōu)質(zhì)半導(dǎo)體企業(yè)，為公司向半導(dǎo)體行業(yè)轉(zhuǎn)型打下基礎(chǔ)。

2023年10月26日，公司控股股東浦科投資將其所持有的總股本5%協(xié)轉(zhuǎn)予上海國(guó)盛股權(quán)投資基金。本次協(xié)議轉(zhuǎn)讓后，浦科投資持股24.27%，上海國(guó)盛股權(quán)投資基金持股5%。萬業(yè)企業(yè)此番引入國(guó)資平臺(tái)股東，有望給公司帶來更多的發(fā)展機(jī)遇。圖：浦科投資為公司第一大股東（股權(quán)結(jié)構(gòu)截至2023Q3末）51.1切入離子注入機(jī)賽道，打造“1+N”半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)

公司半導(dǎo)體行業(yè)布局可劃分為裝備和零部件兩個(gè)板塊，分別依托子公司凱世通、嘉芯半導(dǎo)體和鐠芯電子開展。

（1）半導(dǎo)體裝備：以凱世通的離子注入機(jī)為基礎(chǔ)，依托嘉芯半導(dǎo)體橫向拓展刻蝕、薄膜沉積等前道核心設(shè)備。

1）凱世通：主營(yíng)產(chǎn)品為離子注入機(jī)，可應(yīng)用于集成電路、光伏和AMOLED等領(lǐng)域，其中集成電路領(lǐng)域拳頭產(chǎn)品為低能大束流離子注入機(jī)及高能離子注入機(jī)，適用于12英寸晶圓制造。

2）嘉芯半導(dǎo)體：打造3-4種前道主制程核心設(shè)備，包括刻蝕設(shè)備、薄膜沉積設(shè)備、快速熱處理及退火設(shè)備、清洗設(shè)備等，可滿足8及12英寸設(shè)備需求。

（2）半導(dǎo)體零部件：依托參股子公司鐠芯電子旗下Compart

Systems開展，Compart

Systems為全球領(lǐng)先的氣體輸送系統(tǒng)精密零部件及組件制造商，主要產(chǎn)品包括BTP組件、裝配件、密封件、氣棒總成、質(zhì)量流量控制器（MFC）、焊接件等，可應(yīng)用于集成電路制造工藝中氧化/擴(kuò)散、蝕刻和沉積等設(shè)備的精確氣體輸送系統(tǒng)。61.1切入離子注入機(jī)賽道，打造“1+N”半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)圖：公司半導(dǎo)體相關(guān)業(yè)務(wù)主要由子公司凱世通、鐠芯電子和嘉芯半導(dǎo)體開展71.1切入離子注入機(jī)賽道，打造“1+N”半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)

房地產(chǎn)業(yè)務(wù)持續(xù)收縮，半導(dǎo)體設(shè)備收入占比快速提升。隨著公司戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型快速推進(jìn)，公司房地產(chǎn)業(yè)務(wù)收入占比快速下降，2023H1下降至72%。與此形成鮮明對(duì)比的是，公司專用設(shè)備制造收入占比快速提升，2023H1達(dá)到27%。細(xì)分專用設(shè)備收入結(jié)構(gòu)來看，嘉芯半導(dǎo)體處于快速放量階段，2022年和2023H1分別實(shí)現(xiàn)收入6663和6510萬元，在專用設(shè)備制造中的收入占比分別達(dá)到32%和63%。圖：2023H1公司專用設(shè)備制造收入占比達(dá)到27%圖：2023H1專用設(shè)備業(yè)務(wù)中凱世通收入占比37%其他專用設(shè)備制造房地產(chǎn)嘉芯半導(dǎo)體凱世通100%80%60%40%20%0%100%80%60%40%20%0%2017201820192020202120222023H120192020202120222023H181.2地產(chǎn)放量驅(qū)動(dòng)業(yè)績(jī)拐點(diǎn)出現(xiàn)，半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單飽滿

存量地產(chǎn)業(yè)務(wù)逐步收入轉(zhuǎn)結(jié)，驅(qū)動(dòng)公司收入端拐點(diǎn)出現(xiàn)。2019-2022Q1-Q3公司收入端呈現(xiàn)逐步下滑趨勢(shì)，主要系地產(chǎn)業(yè)務(wù)快速收縮。隨著2022Q4公司順利完成B2項(xiàng)目的“保交樓”工作，實(shí)現(xiàn)交房收入結(jié)轉(zhuǎn)，公司存量地產(chǎn)業(yè)務(wù)收入快速放量，驅(qū)動(dòng)公司收入端拐點(diǎn)出現(xiàn)。2022年和2023Q1-Q3分別實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入11.58和7.62億元，分別同比+32%和+205%。

半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單飽滿，有望成為后續(xù)收入端增長(zhǎng)重要驅(qū)動(dòng)力。2023年初至中報(bào)披露日（2023.8.25)，公司旗下凱世通及嘉芯半導(dǎo)體共獲得集成電路設(shè)備訂單近3億元（其中凱世通超1.6億元、嘉芯超1.3億元），兩家累計(jì)集成電路設(shè)備訂單金額近15億元?？紤]到2021-2023H1公司專用設(shè)備制造收入合計(jì)不足5億元，我們判斷半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單可達(dá)約10億元，約為2021-2023H1合計(jì)收入的2倍，在手訂單飽滿。隨著半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單陸續(xù)交付、確認(rèn)收入，公司收入端表現(xiàn)有望延續(xù)快速增長(zhǎng)態(tài)勢(shì)。圖：2023Q1-Q3公司實(shí)現(xiàn)營(yíng)業(yè)收入7.62億元，同比+205%圖：2023H1公司專用裝備制造實(shí)現(xiàn)收入1.04億元，同比+18%營(yíng)業(yè)收入（億元）26.79同比（%）專用設(shè)備制造收入（億元）同比(%)30252015105240%210%180%150%120%90%60%30%0%-30%-60%2.52520%460%400%340%280%220%160%100%40%2.0620.9618.691.511.231.0311.589.310.848.807.620.500.22-20%-80%020192020202120222023H191.2地產(chǎn)放量驅(qū)動(dòng)業(yè)績(jī)拐點(diǎn)出現(xiàn)，半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單飽滿

隨著存量地產(chǎn)業(yè)務(wù)收入轉(zhuǎn)結(jié)，公司利潤(rùn)端表現(xiàn)明顯改善。房地產(chǎn)業(yè)務(wù)收縮背景下，2018-2020年公司歸母凈利潤(rùn)出現(xiàn)明顯下滑。隨著存量地產(chǎn)業(yè)務(wù)陸續(xù)收入確認(rèn)，2023Q1-Q3公司分別實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)和扣非歸母凈利潤(rùn)1.64和0.63億元，分別同比+211%和+41%，利潤(rùn)端明顯改善。2023Q1-Q3歸母凈利潤(rùn)增速明顯高于扣非歸母凈利潤(rùn)，主要系存在公允價(jià)值變動(dòng)凈收益3627萬元，同比增加8665萬元。進(jìn)一步分析發(fā)現(xiàn)，2020-2022年公司扣非后銷售凈利率表現(xiàn)相對(duì)穩(wěn)定，2023Q1-Q3銷售凈利率和扣非銷售凈利率分別為14.05%和8.26%，分別同比-2.98pct和-9.55pct，短期有所下降。下面將從毛利端和費(fèi)用端進(jìn)行分析：圖：2023Q1-Q3公司實(shí)現(xiàn)歸母凈利潤(rùn)1.64億元，同比+211%圖：2023Q1-Q3公司銷售凈利率為14.05%，同比-2.98pct歸母凈利潤(rùn)（億元）同比（%）銷售凈利率（%）扣非后銷售凈利率（%）12108250%200%150%100%50%45%40%35%30%25%20%15%10%5%9.725.7364.243.7743.151.6420%0-50%0%201820192020202120222023Q1-Q3201820192020202120222023Q1-Q3101.2地產(chǎn)放量驅(qū)動(dòng)業(yè)績(jī)拐點(diǎn)出現(xiàn)，半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單飽滿

1）毛利端：綜合銷售毛利率相對(duì)穩(wěn)定，半導(dǎo)體設(shè)備毛利率短期承壓。2021-2023Q1-Q3公司銷售毛利率分別為56.22%、54.44%和53.04%，保持相對(duì)穩(wěn)定。分業(yè)務(wù)來看，2021-2023H1公司專用設(shè)備毛利率分別為39.20%、19.74%和9.48%，出現(xiàn)明顯下降。往后來看，隨著高毛利率的離子注入機(jī)陸續(xù)確認(rèn)收入，我們判斷公司專用設(shè)備業(yè)務(wù)的毛利率有較大提升空間。

2）費(fèi)用端：戰(zhàn)略轉(zhuǎn)型背景下，期間費(fèi)用率快速提升。2018-2022年公司期間費(fèi)用率快速提升，2022年達(dá)到19.85%，我們判斷主要系公司在半導(dǎo)體領(lǐng)域投入力度加大，研發(fā)和管理費(fèi)用率明顯上提。2023Q1-Q3期間費(fèi)用率為33.50%，同比-14.70pct，規(guī)模效益有所體現(xiàn)。往后來看，隨著存量房產(chǎn)業(yè)務(wù)陸續(xù)收入轉(zhuǎn)結(jié)，以及半導(dǎo)體設(shè)備收入確認(rèn)，公司期間費(fèi)用率有較大下降空間。圖：2022年公司專用設(shè)備毛利率19.74%，明顯下降圖：2023年Q1-Q3公司期間費(fèi)用率達(dá)到33.50%，同比-14.70pct銷售毛利率(%)房產(chǎn)銷售毛利率（%）專用設(shè)備毛利率（%）銷售費(fèi)用率（%）研發(fā)費(fèi)用率（%）管理費(fèi)用率（%）期間費(fèi)用率（%）財(cái)務(wù)費(fèi)用率（%）70%60%50%40%30%20%10%0%40%30%20%10%0%33.50%39.20%19.85%32.03%16.69%16.85%27.81%19.74%11.11%6.14%20190.27%20182020202120222023Q1-Q3201820192020202120222023Q1-Q3-10%11目錄一房地產(chǎn)企業(yè)轉(zhuǎn)型半導(dǎo)體賽道，半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單飽滿二三離子注入設(shè)備：低國(guó)產(chǎn)化率品種，有望提速離子注入設(shè)備有望快速放量，平臺(tái)化發(fā)展打開成長(zhǎng)空間四五盈利預(yù)測(cè)與投資建議風(fēng)險(xiǎn)提示122.1.2024年有望迎來招標(biāo)大年，景氣復(fù)蘇同樣利好設(shè)備需求

相較IC設(shè)計(jì)、封測(cè)環(huán)節(jié)，晶圓制造是中國(guó)大陸當(dāng)前半導(dǎo)體行業(yè)短板，自主可控驅(qū)動(dòng)本圖：2023年資本開支預(yù)計(jì)同比+18%土晶圓廠大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)。受海外制裁等影響，2023Q1-Q3國(guó)內(nèi)一線Fab廠暫未看到大規(guī)模招標(biāo)啟動(dòng)，往后來看，看好2024年招標(biāo)大年出現(xiàn)。資本性支出（億美元）同比（%）80220%190%160%130%100%70%

1）邏輯端：仍為擴(kuò)產(chǎn)主力，產(chǎn)能增量主要來自深圳、京城、上海臨港、天706050403020100津西青四條12英寸產(chǎn)線，規(guī)劃總產(chǎn)能為34萬片/月。資本開支方面，2023Q1-Q3資本開支達(dá)到51.3億美元，同比+18%，2023年全年原預(yù)期為同比持平，現(xiàn)上調(diào)到約75億美元，上調(diào)幅度約18%，我們判斷主要系加大海外核心瓶頸設(shè)備采購(gòu)，為2024年及之后的大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)提供支撐。40%10%

2）存儲(chǔ)端：2023Q1-Q3一線存儲(chǔ)大廠擴(kuò)產(chǎn)受阻，長(zhǎng)存、長(zhǎng)鑫陸續(xù)增資背景下，疊加設(shè)備與工藝技術(shù)端進(jìn)步，我們預(yù)計(jì)2024年存儲(chǔ)端擴(kuò)產(chǎn)需求有望快速起量。-20%-50%201820192020202120222023E圖表：持續(xù)大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)，已成為中國(guó)大陸晶圓代工擴(kuò)產(chǎn)主力2021年底產(chǎn)能規(guī)劃產(chǎn)能廠商實(shí)施主體工廠代碼工藝尺寸類型

項(xiàng)目地點(diǎn)狀態(tài)（萬片/月）

（萬片/月）中芯南方中芯南方SN1SN2邏輯代工FinFET14-7nm邏輯代工FinFET14-7nm邏輯代工0.18μm~55nm邏輯代工65-24nm12寸12寸12寸12寸12寸12寸12寸12寸12寸上海上海1.503.53.56建成在建建成建成在建計(jì)劃建成在建計(jì)劃中芯北方

B1(Fab4、6)北京5.26.20中芯北方中芯京城中芯京城中芯深圳中芯西青中芯東方B2B3P1北京105邏輯代工45/40-32/38nm邏輯代工45/40-32/38nm邏輯代工28nm北京B3P2北京05Fab16A/B深圳0428~180nm邏輯天津0101028nm邏輯上海臨港0132.1.2024年有望迎來招標(biāo)大年，景氣復(fù)蘇同樣利好設(shè)備需求

全球半導(dǎo)體行業(yè)景氣拐點(diǎn)已經(jīng)出現(xiàn)，看好2024年進(jìn)入新一輪上行期。1）全球范圍內(nèi)來看，2023年2月全球半導(dǎo)體單月銷售額觸底，為3970億美元，同比-21%，此后連續(xù)7個(gè)月出現(xiàn)環(huán)比改善，拐點(diǎn)信號(hào)明顯，全球半導(dǎo)體整體復(fù)蘇呈現(xiàn)加速態(tài)勢(shì)，后續(xù)伴隨下游需求市場(chǎng)回暖以及去庫(kù)存結(jié)束，全球半導(dǎo)體行業(yè)有望進(jìn)入新一輪上升周期。2）對(duì)于中國(guó)大陸市場(chǎng)，半導(dǎo)體行業(yè)同樣出現(xiàn)復(fù)蘇跡象，2023年3月以來，同樣連續(xù)7個(gè)月環(huán)比為正，考慮到中國(guó)市場(chǎng)下游新能源等領(lǐng)域發(fā)展較快，看好中國(guó)半導(dǎo)體市場(chǎng)加速?gòu)?fù)蘇彈性。圖：2023年3月份以來全球半導(dǎo)體銷售額同比表現(xiàn)持續(xù)改善圖：2023年3月份以來中國(guó)大陸半導(dǎo)體銷售額同比表現(xiàn)持續(xù)改善中國(guó)大陸半導(dǎo)體銷售額（十億美元）中國(guó)大陸同比（%）全球半導(dǎo)體銷售額（十億美元）全球同比（%）605040302010040%10%-20%-50%201816141210840%10%-20%-50%64202021-01

2021-05

2021-09

2022-01

2022-05

2022-09

2023-01

2023-05

2023-092021-01

2021-05

2021-09

2022-01

2022-05

2022-09

2023-01

2023-05

2023-09142.1.2024年有望迎來招標(biāo)大年，景氣復(fù)蘇同樣利好設(shè)備需求

歷史數(shù)據(jù)表明，全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額與半導(dǎo)體銷售額同比增速呈現(xiàn)高度聯(lián)動(dòng)效應(yīng)，同時(shí)在行業(yè)上行周期時(shí)，半導(dǎo)體設(shè)備可以表現(xiàn)出更高的同比增速，具備更強(qiáng)增長(zhǎng)彈性。展望2024年，全球范圍內(nèi)來看，在終端消費(fèi)持續(xù)復(fù)蘇的背景下，SEMI預(yù)計(jì)2024年全球晶圓廠設(shè)備支出約1000億美元，同比增長(zhǎng)14%，2024年半導(dǎo)體設(shè)備需求有望明顯反彈，進(jìn)入下一輪上行周期。對(duì)于中國(guó)大陸市場(chǎng)，疊加自主可控需求，我們看好2024年半導(dǎo)體設(shè)備需求加速放量。圖表：全球半導(dǎo)體和半導(dǎo)體設(shè)備銷售額同比增速高度聯(lián)動(dòng)全球半導(dǎo)體銷售額同比（%）全球半導(dǎo)體設(shè)備銷售額同比（%）40%30%20%10%0%2011

2012

2013

2014

2015

2016

2017

2018

2019

2020

2021

2022-10%-20%152.2.離子注入為前道核心設(shè)備之一，技術(shù)壁壘較高

離子注入為晶圓制造摻雜核心工藝，技術(shù)壁壘較高。由于純凈硅材料導(dǎo)電性能較差，晶圓制造需要在有源區(qū)、襯底和柵極等部位引入摻雜工藝增大電導(dǎo)率。離子注入機(jī)主要用于集成電路制造中的摻雜工藝，即將特定元素（B、P、As）等以離子形式加速到預(yù)定能量后注入半導(dǎo)體材料中，并按照預(yù)定的方式改變材料性能。除了用于摻雜工藝外，離子注入機(jī)還可以用于輔助摻雜（預(yù)非晶化、擴(kuò)散和激活控制等）、輔助其它集成電路制造工藝（例如光刻、刻蝕）等領(lǐng)域。圖：離子注入機(jī)主要用于集成電路中的摻雜工藝圖：離子注入機(jī)的離子束產(chǎn)生與控制子系統(tǒng)示意圖注：數(shù)字標(biāo)出的為典型平面結(jié)構(gòu)晶體管中的離子注入?yún)^(qū)域162.2.離子注入為前道核心設(shè)備之一，技術(shù)壁壘較高

細(xì)分設(shè)備類別來看，根據(jù)離子能量和注入劑量的不同，離子注入機(jī)可劃分為低能大束流、中低束流和高能離子注入機(jī)三大類，其中低能大束流離子注入機(jī)廣泛應(yīng)用于源漏、多晶硅柵極注入，市場(chǎng)占比高達(dá)61%。圖：離子注入機(jī)主要分為低能大束流、高能離子、中低束流三大類類別市場(chǎng)占比圖示能量范圍注入劑量范圍工藝中的主要應(yīng)用離子束電流大于10mA，極值為25mA，源漏注入、多晶硅柵極注入61%1013

-1016cm-2低能大束流離子注入機(jī)束流能量小于120keV束流能量超過200keV，極值在5MeV左右高能離子注入機(jī)18%20%1011

-1013cm-2深埋層離子束電流大于10mA，束流能量小于180keV輕摻雜漏區(qū)、SmartCut穿透阻擋層等1011

-1017cm-2中低束離子注入機(jī)172.2.離子注入為前道核心設(shè)備之一，技術(shù)壁壘較高

量化來看，我們預(yù)計(jì)2024年全球半導(dǎo)體離子注入設(shè)備市場(chǎng)規(guī)?？蛇_(dá)245億元，其中低能大束流離子注入機(jī)達(dá)到149.5億元。對(duì)于中國(guó)大陸市場(chǎng)，我們預(yù)計(jì)2024年半導(dǎo)體離子注入設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約為86億元，其中低能大束流離子注入機(jī)市場(chǎng)規(guī)模可達(dá)52.3億元。圖：2024年中國(guó)大陸半導(dǎo)體離子注入設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模約為86億元2017566201864514%1582019598-7%146202071219%1742021102644%251202210745%2023E874-19%2142024E100014%245全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模（億美元）①同比（%）離子注入設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模（億元）②=①*3.5%*7低能大束流離子注入機(jī)③=②*61%高能離子注入機(jī)④=②*18%13984.625.027.71.426396.428.531.61.689.326.329.31.5106.431.434.91.7153.445.350.32.5160.547.452.62.6130.638.542.82.1149.544.149.02.5其中中低束流離子注入機(jī)⑤=②*20%其他離子注入設(shè)備⑥=②*1%中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模（億美元）①中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額全球占比（%）離子注入設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模（億元）②=①*3.5%*7低能大束流離子注入機(jī)③=②*61%8215%2012820%3113523%3318726%4629629%7328326%6926230%6435035%8612.33.64.019.15.66.320.15.96.628.08.39.244.313.114.50.742.212.513.90.739.211.612.80.652.315.417.20.9高能離子注入機(jī)④=②*18%其中中低束流離子注入機(jī)⑤=②*20%其他離子注入設(shè)備⑥=②*1%0.20.30.30.5測(cè)算182.3離子注入機(jī)國(guó)產(chǎn)化率較低，是國(guó)產(chǎn)化率提升彈性較大賽道

全球范圍內(nèi)來看，離子注入設(shè)備基本由AMAT和Axcelis供應(yīng)。2019年AMAT和Axcelis在半導(dǎo)體離子注入設(shè)備市場(chǎng)的份額合計(jì)高達(dá)90%，可見全球高端離子注入機(jī)市場(chǎng)仍由美國(guó)企業(yè)主導(dǎo)。此外，對(duì)于技術(shù)壁壘略低的中束流離子注入機(jī)，Sumitomo（日本住友）等日本廠商也具備較強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。

對(duì)于中國(guó)大陸市場(chǎng)，離子注入機(jī)為前道設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率最低環(huán)節(jié)之一，我們預(yù)估2022年國(guó)產(chǎn)化率仍不足10%。細(xì)分國(guó)產(chǎn)設(shè)備商來看，凱世通和中科信已經(jīng)實(shí)現(xiàn)批量國(guó)產(chǎn)化，二者優(yōu)勢(shì)領(lǐng)域互補(bǔ)，凱世通前期聚焦低能大束流和高能離子注入機(jī)領(lǐng)域，而中科信的中能離子注入機(jī)具備較強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力。圖：2019年全球離子注入機(jī)由美國(guó)AMAT和Axcelis主導(dǎo)其他10%Axcelis20%AMAT70%圖：海內(nèi)外半導(dǎo)體離子注入機(jī)供應(yīng)商梳理圖：2022年華虹無錫設(shè)備招標(biāo)中離子注入機(jī)國(guó)產(chǎn)化率約6%2022年國(guó)產(chǎn)化率所屬地區(qū)美國(guó)廠商業(yè)務(wù)進(jìn)展主要產(chǎn)品VIISta900XP、VIISta3000XP、VIISta9003D、VIIStaHCP、VIIStaPLAD、VIIStaTrident等90%

80%80%70%60%AMAT全球第一大離子注入機(jī)供應(yīng)商，IC離子注入機(jī)龍頭全球第二大離子注入機(jī)供應(yīng)商，可用于先進(jìn)制程工藝需求AxcelisPurionH系列、PurionM系列和PurionXE等50%33%中束流離子注入機(jī)具備較強(qiáng)市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，2023年2月首臺(tái)大束流離子注入機(jī)順利交付。聚焦低能大束流和高能離子注入機(jī)，已取得多家12英寸核心集成電路客戶訂單。在半導(dǎo)體領(lǐng)域較為領(lǐng)先，主要服務(wù)于臺(tái)積電等具有多合一離子注入機(jī)、高能離子注入機(jī)、中束流離

SAion、UHE系列、MC3-Ⅱ/GP、SHX-Ⅲ/S、NV-CI

E8000、CIC200、CI-S0400MBR06CF、CI-S0400ASH06BF-01等40%30%20%10%0%中科信23%15%中國(guó)大陸11%

10%低能大束流istellar-500、高能離子注入機(jī)istellar-HE2000等iBlazar、iPulsar

Plus、iSTAR等6%2%凱世通0%

0%中國(guó)臺(tái)灣日本漢辰科技日本住友日本日新子注入機(jī)、大束流離子注入機(jī)主導(dǎo)AMOLED面板制造領(lǐng)域GSDⅢ-180等EXCEED系列、IMPHEAT-II系列等192.3離子注入機(jī)國(guó)產(chǎn)化率較低，是國(guó)產(chǎn)化率提升彈性較大賽道

往后來看，在實(shí)現(xiàn)0到1突破的基礎(chǔ)上，看好國(guó)產(chǎn)離子注入機(jī)1到N快速放量。相較薄膜沉積、刻蝕等環(huán)節(jié)，離子注入設(shè)備產(chǎn)品結(jié)構(gòu)較為單一，通用性較強(qiáng)，較易實(shí)現(xiàn)規(guī)模化放量。以全球離子注入設(shè)備龍頭Axcelis為例，產(chǎn)品全面覆蓋大束流、高能和中束流三大類，基于同一個(gè)通用的高性能Purion平臺(tái)，主流產(chǎn)品型號(hào)僅有9個(gè)，與薄膜沉積、刻蝕等領(lǐng)域形成鮮明對(duì)比，可以進(jìn)一步驗(yàn)證上述邏輯。圖：全球離子注入機(jī)龍頭Axcelis產(chǎn)品系列較少，設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)化程度較高圖：2022年Axcelis營(yíng)業(yè)收入達(dá)到9.20億美元產(chǎn)品類別產(chǎn)品型號(hào)產(chǎn)品特點(diǎn)營(yíng)業(yè)收入（億美元）同比（%）PurionH大束流

PurionDragonPurionH200覆蓋傳統(tǒng)的能量和劑量應(yīng)用領(lǐng)域，適用于一般大束流針對(duì)前沿應(yīng)用，尤其是低能量高劑量應(yīng)用具備高能、大束流能力，針對(duì)功率器件市場(chǎng)12

級(jí)

LINAC，能量高達(dá)4.5

兆電子伏特12

級(jí)

LINAC，能量高于

PurionXE，達(dá)到5.25

兆電子伏特1098765432109.20

70%40%6.624.75PurionXEPurionEXE4.11

4.433.0110%3.43高能PurionVXEPurionXemaxPurionXEPower14

級(jí)

LINAC，能量高達(dá)

8兆電子伏特雙

LINAC

設(shè)計(jì)，能量高達(dá)

15

兆電子伏特2.671.96

2.03-20%支持大規(guī)模功率器件鋁注入-50%中束流PurionM能量范圍覆蓋2

千電子伏特至

1兆電子伏特2013

2014

2015

2016

2017

2018

2019

2020

2021

202220目錄一房地產(chǎn)企業(yè)轉(zhuǎn)型半導(dǎo)體賽道，半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單飽滿二三離子注入設(shè)備：低國(guó)產(chǎn)化率品種，有望提速離子注入設(shè)備有望快速放量，平臺(tái)化發(fā)展打開成長(zhǎng)空間四五盈利預(yù)測(cè)與投資建議風(fēng)險(xiǎn)提示213.1離子注入設(shè)備：凱世通市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力顯著，有望進(jìn)入放量期

凱世通離子注入機(jī)產(chǎn)業(yè)化快速推進(jìn)，在半導(dǎo)體領(lǐng)域正在快速突破。1）2021年5月凱世通低能大束流離子注入機(jī)通過客戶驗(yàn)收，為國(guó)產(chǎn)設(shè)備首例。2）2021Q4凱世通低能大束流重金屬、超低溫離子注入機(jī)相繼通過客戶驗(yàn)收。3）2022Q1公司獲得重要客戶批量訂單，并在2022年4月交付批量訂單中的首批大束流離子注入機(jī)。4）2023Q1公司與新增12英寸客戶簽署高端離子注入機(jī)相關(guān)訂單金額超1億元，產(chǎn)品覆蓋低能大束流、低能大束流超低溫、高能離子注入機(jī)等不同類型，并開拓覆蓋了邏輯、存儲(chǔ)、功率等多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域。圖：凱世通低能大束流離子注入機(jī)綜合性能優(yōu)異圖：凱世通在半導(dǎo)體離子注入機(jī)領(lǐng)域產(chǎn)業(yè)化快速突破關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo)硅片尺寸凱士通產(chǎn)品參數(shù)12英寸國(guó)外主流同類產(chǎn)品參數(shù)12英寸時(shí)間進(jìn)展首臺(tái)低能大束流離子注入機(jī)率先在國(guó)內(nèi)

12英寸晶圓廠完成設(shè)備驗(yàn)收，屬于國(guó)內(nèi)首臺(tái)完成主流客戶驗(yàn)證并確認(rèn)收入的國(guó)產(chǎn)低能大束流設(shè)備2021年5月特征線寬7nm-32nm7nm-32nmP、B、As、Ge、C、N、

P、B、As、Ge、C、N、H、低能大束流重金屬離子注入機(jī)、低能大束流超低溫離子注入機(jī)成功通過離子種類注入能量2021Q4HSb驗(yàn)證和驗(yàn)收，高能離子注入機(jī)順利在另一家

12英寸晶圓廠完成交付獲得重要客戶批量訂單，包含

12英寸低能大束流離子注入機(jī)和低能大100eV-50keV200eV-60keV2022Q1

束流超低溫離子注入機(jī)，并與另一家集成電路制造廠簽訂了一臺(tái)低能大束流離子注入機(jī)訂單3keV能量下對(duì)P離子的注入束流能達(dá)到40mA注入束流22mA成功向重要客戶交付了批量訂單中的首批大束流離子注入機(jī)，完成了多2022年4月套設(shè)備的順利發(fā)貨與新增12英寸主流客戶簽署低能大束流、低能大束流超低溫、高能離子注入機(jī)等不同類型的高端離子注入機(jī)產(chǎn)品等相關(guān)訂單金額超1億元，生產(chǎn)、交付多款高端離子注入機(jī)系列產(chǎn)品，開拓覆蓋了邏輯、存儲(chǔ)、功率等多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域方向注入劑量范圍最大產(chǎn)能開機(jī)率1014-5*1016ion/cm2400片/小時(shí)1014-5*1016ion/cm2500片/小時(shí)2023Q1約90%(待驗(yàn)證)約92%223.1離子注入設(shè)備：凱世通市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力顯著，有望進(jìn)入放量期

凱世通在手訂單飽滿，并有望充分受益于下游客戶大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)。1）從收入&訂單端來看，2022年凱世通收入僅約1.40億元，暫未明顯放量，2022年凱世通獲得多家12英寸客戶超過7.5億元集成電路離子注入機(jī)訂單，2023年截至中報(bào)披露日（2023.8.25)，又新增集成電路離子注入機(jī)訂單金額超1.6億元，在手訂單飽滿。往后來看，隨著凱世通在多家客戶端的設(shè)備驗(yàn)證加速推進(jìn)，我們判斷公司有望充分受益于一線晶圓廠后續(xù)大規(guī)模擴(kuò)產(chǎn)，離子注入機(jī)訂單有望加速放量。2）從產(chǎn)能端來看，隨著上海金橋基地正式啟動(dòng)，有望支撐公司離子注入機(jī)后續(xù)大批量訂單交付的需求。3）從利潤(rùn)端來看，在收入規(guī)模尚小且考慮到上市公司員工持股計(jì)劃周期內(nèi)股份支付費(fèi)用的影響的背景下，凱世通暫未實(shí)現(xiàn)盈利。隨著在手訂單陸續(xù)交付、確認(rèn)收入，凱世通規(guī)模效應(yīng)有望明顯體現(xiàn)，疊加量產(chǎn)機(jī)型溢價(jià)能力提升，凱世通利潤(rùn)端拐點(diǎn)同樣有望快速出現(xiàn)。圖：2022年凱世通營(yíng)業(yè)收入僅為1.40億元?jiǎng)P世通營(yíng)業(yè)收入（百萬元）同比（%）14016014012010080500%400%300%200%100%0%125846060384022200-100%201820192020202120222023H1233.2橫向：設(shè)立嘉芯半導(dǎo)體，實(shí)現(xiàn)前道核心設(shè)備平臺(tái)化擴(kuò)張圖：嘉芯半導(dǎo)體股權(quán)結(jié)構(gòu)

攜手寧波昇瑞設(shè)立嘉芯半導(dǎo)體，擴(kuò)大半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品覆蓋面。為進(jìn)一步加強(qiáng)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)布局，2021年4月公司攜手寧波芯恩（后改名為寧波昇瑞）創(chuàng)立嘉芯半導(dǎo)體，主打3-4種主制程核心設(shè)備以及多種支撐設(shè)備，產(chǎn)品覆蓋刻蝕、薄膜沉積、快速熱處理及退火、清洗設(shè)備等多款前道核心設(shè)備，致力于為汽車芯片、功率芯片、邏輯芯片等集成電路晶圓制造廠提供成套的前道設(shè)備解決方案。公司在穩(wěn)固離子注入機(jī)龍頭地位的同時(shí)，切入市場(chǎng)規(guī)模更大的薄膜沉積、刻蝕等核心制程設(shè)備環(huán)節(jié)，進(jìn)一步打開公司在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的成長(zhǎng)空間。圖：萬業(yè)企業(yè)在前道半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域逐步實(shí)現(xiàn)平臺(tái)化布局薄膜沉積設(shè)備CVD

PVD

ALD刻蝕設(shè)備

光刻機(jī)

量檢測(cè)設(shè)備

涂膠顯影設(shè)備

離子注入機(jī)

CMP設(shè)備

清洗設(shè)備

熱處理設(shè)備北方華創(chuàng)中微公司上海微電子拓荊科技芯源微華海清科盛美上海萬業(yè)企業(yè)

嘉芯

嘉芯至純科技嘉芯凱世通嘉芯中科飛測(cè)精測(cè)電子243.2橫向：設(shè)立嘉芯半導(dǎo)體，實(shí)現(xiàn)前道核心設(shè)備平臺(tái)化擴(kuò)張

嘉芯半導(dǎo)體訂單快速放量，產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展快速突破。1）從收入端來看，嘉芯半導(dǎo)體自2021Q4正式運(yùn)營(yíng)后，2021年便形成517萬元收入，2022-2023H1又分別實(shí)現(xiàn)收入6663、6510萬元，表現(xiàn)十分亮眼。2）從訂單角度來看，截至2023年中報(bào)披露日（2023.8.25），嘉芯半導(dǎo)體累計(jì)獲取訂單金額超4.7億元，其中2023年累計(jì)新增訂單金額超1.3億元。具體來看：（1）嘉芯閎揚(yáng)：成功中標(biāo)4臺(tái)快速熱處理（RTP）設(shè)備、4臺(tái)氮化硅等離子刻蝕機(jī)、3臺(tái)金屬等離子刻蝕機(jī)、3臺(tái)側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)；（2）嘉芯迦能：成功中標(biāo)8臺(tái)高密度等離子薄膜沉積設(shè)備（HDP-CVD)、2臺(tái)摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備（SACVD）、1臺(tái)二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備（PECVD）、3臺(tái)鈦/氮化鈦沉積設(shè)備（MOCVD）、1臺(tái)鋁銅金屬濺射設(shè)備（Metal

Sputter(Al/Ti/TiN)）、23

臺(tái)雙燃燒+雙水洗尾氣處理設(shè)備。往后來看，隨著戰(zhàn)略級(jí)客戶陸續(xù)引入、設(shè)備品類&先進(jìn)性快速拓展，嘉芯半導(dǎo)體成長(zhǎng)空間有望快速打開。圖表：2022H2-2023H1嘉芯半導(dǎo)體中標(biāo)積塔半導(dǎo)體多類半導(dǎo)體設(shè)備圖表：嘉芯半導(dǎo)體暫未實(shí)現(xiàn)盈利開標(biāo)時(shí)間2022/7/152022/7/212022/7/212022/7/292022/7/292022/7/292022/7/292023/2/3中標(biāo)公告時(shí)間2022/7/192022/7/292022/7/292022/8/22022/8/22022/8/22022/8/22023/2/72023/2/282023/2/282023/3/72023/3/72023/3/142023/5/23數(shù)量（臺(tái)）設(shè)備種類爐管設(shè)備詳細(xì)設(shè)備快速熱處理設(shè)備收入（百萬元）凈利潤(rùn)（百萬元）46806040200薄膜沉積設(shè)備薄膜沉積設(shè)備刻蝕設(shè)備高密度等離子薄膜沉積設(shè)備二氧化硅等離子薄膜沉積設(shè)備金屬等離子刻蝕機(jī)114刻蝕設(shè)備氮化硅等離子刻蝕機(jī)2刻蝕設(shè)備金屬等離子刻蝕機(jī)3刻蝕設(shè)備側(cè)墻等離子刻蝕機(jī)1濺射設(shè)備鋁銅金屬濺射設(shè)備2023/2/212023/2/212023/2/212023/2/212023/2/282023/5/191薄膜沉積設(shè)備薄膜沉積設(shè)備薄膜沉積設(shè)備薄膜沉積設(shè)備薄膜沉積設(shè)備尾氣處理設(shè)備摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備鈦/氮化鈦沉積設(shè)備2202120222023H11鈦/氮化鈦沉積設(shè)備-20-401摻雜硼磷二氧化硅薄膜化學(xué)沉積設(shè)備高密度等離子薄膜沉積設(shè)備雙燃燒+雙水洗尾氣處理設(shè)備223253.3縱向：收購(gòu)Compart布局上游零部件，夯實(shí)核心競(jìng)爭(zhēng)力

半導(dǎo)體設(shè)備零部件為千億元級(jí)大市場(chǎng)，訴求迫切，兼具強(qiáng)β和強(qiáng)α屬性。1）作為半導(dǎo)體設(shè)備成本端主要構(gòu)成，我們預(yù)估2023年全球&中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng)規(guī)模分別約為346、104億美元，市場(chǎng)需求量較為龐大。往后來看，一方面受益于全球半導(dǎo)體行業(yè)景氣復(fù)蘇，海外設(shè)備廠商需求有望明顯回暖；另一方面受益于國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備快速放量，中國(guó)大陸市場(chǎng)對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備零部件的需求正在快速提升。2）半導(dǎo)體設(shè)備高端核心零部件仍高度依賴進(jìn)口，在海外制裁背景下，為保證供應(yīng)鏈安全，零部件訴求愈發(fā)迫切，零部件國(guó)產(chǎn)化已經(jīng)成為國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)重要發(fā)展方向。圖表：2023年全球&中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng)規(guī)模分別約為346和104億美元201756645%90%22415%33201864545%90%25620%51201959845%90%23723%53202071245%90%28226%742021102645%90%4062022107445%90%4252023E87445%90%3462024E100045%90%396全球半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模（億美元）半導(dǎo)體設(shè)備毛利率（%）直接材料成本占比（%）全球半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng)規(guī)模（億美元）中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備銷售額全球占比（%）中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備零部件市場(chǎng)規(guī)模（億美元）29%11726%11230%10435%139263.3縱向：收購(gòu)Compart布局上游零部件，夯實(shí)核心競(jìng)爭(zhēng)力圖表：半導(dǎo)體設(shè)備零部件種類繁多，核心環(huán)節(jié)仍由海外企業(yè)主導(dǎo)，訴求迫切占設(shè)備成本比例國(guó)際及中國(guó)港澳臺(tái)地區(qū)主要企業(yè)分類零部件具體類別應(yīng)用設(shè)備類別中國(guó)大陸主要企業(yè)國(guó)產(chǎn)化情況金屬工藝件：反應(yīng)腔、傳輸腔、過渡腔、內(nèi)襯、勻氣盤等；金屬結(jié)構(gòu)件：托盤、冷卻板、底座、鑄鋼平臺(tái)等；非金屬機(jī)械件：

20%-40%石英、陶瓷件、硅部件、靜電卡盤、橡膠密封件等金屬類：京鼎精密、Ferrotec

金屬類：富創(chuàng)精密、靖江先鋒、托倫斯、江豐電子（少量產(chǎn)品）等等品類繁多，整體國(guó)產(chǎn)化率相對(duì)較機(jī)械類應(yīng)用于所有設(shè)備非金屬類：Ferrotec、Hana、

非金屬類：菲利華（石英零部件）、

高，但高端產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化率較低中國(guó)臺(tái)灣新鶴、美國(guó)杜邦等神工股份（硅件）等對(duì)于核心模塊（射頻電源等），國(guó)內(nèi)企業(yè)尚未進(jìn)入國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)射頻電源、射頻匹配器、遠(yuǎn)程等離子源、AdvancedEnergy、MKS

北方華創(chuàng)（收購(gòu)的北廣科技資產(chǎn)）、

備廠商，少量應(yīng)用于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體電氣類10%-20%應(yīng)用于所有設(shè)備應(yīng)用于所有設(shè)備供電系統(tǒng)、工控電腦等等英杰電氣等設(shè)備廠商，主要應(yīng)用于光伏、LED

等泛半導(dǎo)體設(shè)備，國(guó)產(chǎn)化率低，高端產(chǎn)品尚未國(guó)產(chǎn)化EFEM、機(jī)械手、加熱帶、腔體模組、閥京鼎精密、BrooksAutomation富創(chuàng)精密、華卓精科（雙工機(jī)臺(tái)）、

品類較為繁多，整體國(guó)產(chǎn)化率不、Rorze、ASML（自產(chǎn)雙工

新松機(jī)器人（機(jī)械手）、京儀自動(dòng)化

高，功能復(fù)雜的高端產(chǎn)品未國(guó)產(chǎn)機(jī)電一體類體模組、雙工機(jī)臺(tái)、浸液系統(tǒng)、溫控系統(tǒng)

10%-25%等機(jī)臺(tái)和浸液系統(tǒng)）等（溫控系統(tǒng)）等化氣體輸送系統(tǒng)類：氣柜、氣體管路、管路品類較為繁多，少數(shù)企業(yè)產(chǎn)品已進(jìn)入國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備廠商，整體國(guó)產(chǎn)化率處于中等水平，大部分品類的高端產(chǎn)品未國(guó)產(chǎn)化薄膜沉積、刻蝕、離子注10%-30%

入等干法設(shè)備；以及CMP、清洗等濕法設(shè)備富創(chuàng)精密、正帆科技、萬業(yè)企業(yè)（CompartSystem）、新萊應(yīng)材、沈陽(yáng)科儀、北京中科儀等氣體/液體/真空系

焊接件等；真空系統(tǒng)類：干泵、分子泵、超科林、Edwards、Ebara、MKS等統(tǒng)類真空閥門等；氣動(dòng)液壓系統(tǒng)類：閥門、接頭、過濾器、液體管路等國(guó)內(nèi)企業(yè)自研產(chǎn)品僅少量用于國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備廠商，由于產(chǎn)品成本占比較低，國(guó)內(nèi)企業(yè)主要以采購(gòu)進(jìn)口產(chǎn)品為主，高端產(chǎn)品尚未國(guó)產(chǎn)化國(guó)內(nèi)企業(yè)已少量應(yīng)用于國(guó)內(nèi)光刻設(shè)備，國(guó)產(chǎn)化率較低，高端產(chǎn)品尚未國(guó)產(chǎn)化北方華創(chuàng)（旗下的七星流量計(jì)）、萬儀器儀表類光學(xué)類氣體流量計(jì)、真空壓力計(jì)等1%-3%55%應(yīng)用于所有設(shè)備MKS、Horiba等業(yè)企業(yè)（收購(gòu)的CompartSystem）等主要應(yīng)用于光刻設(shè)備、量測(cè)設(shè)備等北京國(guó)望光學(xué)科技有限公司、長(zhǎng)春國(guó)科精密光學(xué)技術(shù)有限公司等光學(xué)元件、光柵、激光源、物鏡等Zeiss、Cymer、ASML273.3縱向：收購(gòu)Compart布局上游零部件，夯實(shí)核心競(jìng)爭(zhēng)力

牽頭收購(gòu)Compart布局半導(dǎo)體設(shè)備零部件，進(jìn)一步夯實(shí)核心競(jìng)爭(zhēng)力。2020年12月，公司牽頭境內(nèi)外投資人以鐠芯電子和鐠芯控股為收購(gòu)主體，實(shí)現(xiàn)了對(duì)Compart

Systems的收購(gòu)，間接成為其第一大股東。Compart

Systems為全球領(lǐng)先的流量控制系統(tǒng)領(lǐng)域的零部件及組件供應(yīng)商，與多家海外龍頭半導(dǎo)體設(shè)備龍頭長(zhǎng)期合作，主要產(chǎn)品包括

BTP（Built

ToPrint）組件、裝配件、密封件、氣棒總成、氣體流量控制器（MFC）、焊接件等，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于氧化/擴(kuò)散、刻蝕和薄膜沉積等設(shè)備中的氣體輸送系統(tǒng)。通過此次收購(gòu)，進(jìn)一步加強(qiáng)公司在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)協(xié)同效應(yīng)，夯實(shí)核心競(jìng)爭(zhēng)力。

2022年5月，大基金二期向鐠芯電子增資3.5億元。截至2023.9.12，大基金二期持有鐠芯電子12.75%股權(quán)，萬業(yè)企業(yè)以21.85%的持股比例為鐠芯電子第一大股東。我們認(rèn)為，通過引入國(guó)家級(jí)戰(zhàn)略投資人的增資，有利于深化Compart

Systems與國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)的產(chǎn)業(yè)協(xié)同，加快推進(jìn)Compart

Systems中國(guó)大陸業(yè)務(wù)開展。圖表：MFC為半導(dǎo)體設(shè)備氣體輸送系統(tǒng)核心零部件圖表：2023H1鐠芯電子凈利潤(rùn)達(dá)到3652萬元營(yíng)業(yè)收入（百萬元）凈利潤(rùn)（百萬元）120010008006004002000202120222023H128目錄一房地產(chǎn)企業(yè)轉(zhuǎn)型半導(dǎo)體賽道，半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單飽滿二三離子注入設(shè)備：低國(guó)產(chǎn)化率品種，有望提速離子注入設(shè)備有望快速放量，平臺(tái)化發(fā)展打開成長(zhǎng)空間四五盈利預(yù)測(cè)與投資建議風(fēng)險(xiǎn)提示294.1盈利預(yù)測(cè)

核心假設(shè)：

1）房地產(chǎn)銷售：公司房地產(chǎn)業(yè)務(wù)戰(zhàn)略性收緊，加快現(xiàn)有項(xiàng)目銷售和資金回籠，假設(shè)2023-2025年收入同比增速分別為-20%、0%和-10%，假設(shè)2023-2025年毛利率穩(wěn)定在65.0%。

2）專用設(shè)備制造：凱世通多款離子注入機(jī)設(shè)備產(chǎn)品獲得了客戶的重復(fù)采購(gòu)和批量訂單，嘉芯半導(dǎo)體的薄膜沉積、刻蝕設(shè)備等陸續(xù)中標(biāo)主流晶圓廠客戶大訂單，公司“1+N”半導(dǎo)體設(shè)備平臺(tái)快速推進(jìn)，假設(shè)2023-2025年收入同比增速分別為110%、50%和50%。隨著毛利率較高的離子注入機(jī)收入占比提升，以及規(guī)模效益，假設(shè)2023-2025年毛利率分別為30.0%、37.0%和42.0%。304.1盈利預(yù)測(cè)圖表：萬業(yè)企業(yè)分業(yè)務(wù)盈利預(yù)測(cè)（單位：百萬元）201820192020931.49-50.16%45.31%202120221157.5831.56%54.44%2023E1188.882.70%2024E1409.3218.54%50.38%2025E1666.6618.26%49.96%營(yíng)業(yè)收入（百萬元）2679.291868.83-30.25%50.90%879.91-5.54%56.22%yoy綜合毛利率（%）55.03%50.41%房地產(chǎn)銷售收入（百萬元）yoy2575.4656.29%58.111733.03-32.71%53.73%857.01-50.55%47.16%681.13-20.52%62.03%898.1631.86%64.47%718.53-20.00%65.00%718.530.00%646.67-10.00%65.00%毛利率（%）65.00%專用設(shè)備制造收入（百萬元）yoy83.9021.76122.91464.83%39.20%206.4467.96%19.74%433.51110.00%30.00%650.2750.00%37.00%975.4150.00%42.00%44.39%16.69%-74.06%32.03%毛利率（%）27.81%27.27物業(yè)服務(wù)收入（百萬元）yoy30.7912.91%-6.13%32.6831.060.87%-2.88%31.9533.919.19%-4.25%35.3532.90-3.00%-0.60%33.0936.1810.00%5.00%34.3839.8010.00%5.00%37.8143.7810.00%5.00%41.59毛利率（%）成本（百萬元）6.87%25.40租賃收入（百萬元）yoy16.1820.1724.70%36.63%12.7820.662.41%54.25%9.4524.6619.36%62.56%9.2319.49-20.94%53.87%8.9921.4410.00%55.00%9.6523.5910.00%55.00%10.6125.9410.00%55.00%11.68毛利率（%）成本（百萬元）29.66%11.38其他業(yè)務(wù)收入（百萬元）yoy2.290.941.0017.310.590.650.720.79-59.02%49.88%6.72%1629.63%58.08%-96.56%76.25%10.00%60.00%10.00%60.00%10.00%60.00%毛利率（%）84.49%63.82%314.2投資建議

我們預(yù)計(jì)公司2023-2025年?duì)I業(yè)收入分別為11.89、14.09和16.67億元；2023-2025年歸母凈利潤(rùn)分別為3.99、4.68和5.44億元，2023-2025年EPS分別為0.43、0.50和0.58元，2023年12月1日收盤價(jià)17.27元對(duì)應(yīng)PE分別為40、34和30倍?？紤]到公司離子注入機(jī)的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力，以及“1+N”平臺(tái)化發(fā)展的成長(zhǎng)空間，成長(zhǎng)性較為突出，首次覆蓋，給予“增持”評(píng)級(jí)。圖表：可比公司估值表（股價(jià)截至2023/12/1)市值股價(jià)歸母凈利潤(rùn)（億元）PE2024E24566152354445代碼公司名稱（億元）

（元）2023E2024E50.8518.717.852025E2023E336696744656622025E19444536273534002371.SZ

北方華創(chuàng)

1234.39688012.SH

中微公司

1046.71688072.SH

拓荊科技

482.68232.84169.02257.86152.73221.64110.75平均37.4015.755.042.867.598.6765.5023.6710.755.81688037.SH

芯源微210.514.08688120.SH

華海清科

352.26688082.SH

盛美上海

482.5510.2110.9513.2513.82600641.SH

萬業(yè)企業(yè)

160.7217.273.994.685.44403430市值股價(jià)營(yíng)業(yè)收入（億元）PS2024E51312810109代碼公司名稱（億元）

（元）2023E2024E270.7380.5540.9526.4636.4150.752025E2023E61717111312132025E002371.SZ

北方華創(chuàng)

1234.39688012.SH

中微公司

1046.71688072.SH

拓荊科技

482.68232.84169.02257.86152.73221.64110.75平均206.7861.7628.4018.9826.7839.42342.36102.2054.0536.0746.9662.70410968688037.SH

芯源微210.51688120.SH

華海清科

352.26688082.SH

盛美上海

482.5587600641.SH

萬業(yè)企業(yè)

160.7217.2711.8914.0916.67141110注：可比公司盈利預(yù)測(cè)均來自Wind一致預(yù)期32目錄一房地產(chǎn)企業(yè)轉(zhuǎn)型半導(dǎo)體賽道，半導(dǎo)體設(shè)備在手訂單飽滿二三離子注入設(shè)備：低國(guó)產(chǎn)化率品種，有望提速離子注入設(shè)備有望快速放量，平臺(tái)化發(fā)展打開成長(zhǎng)空間四五盈利預(yù)測(cè)與投資建議風(fēng)險(xiǎn)提示335風(fēng)險(xiǎn)提示

1、晶圓廠資本開支下滑風(fēng)險(xiǎn)：如果下游晶圓廠的資本開支強(qiáng)度降低，公司可能面臨市場(chǎng)需求下