嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）招標(biāo)文件

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心

（三期）

公開(kāi)招標(biāo)

項(xiàng)目編號(hào)：中磊-zjzl-JX（2020）第2號(hào)

項(xiàng)目名稱：嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）

采購(gòu)人：嘉興學(xué)院

采購(gòu)代理機(jī)構(gòu)：浙江中磊工程咨詢有限公司

2020年4月10日

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

目錄

第一章公開(kāi)招標(biāo)采購(gòu)公告............................3

第二章招標(biāo)需求......................................6

第三章供應(yīng)商須知...................................38

第四章評(píng)標(biāo)辦法及評(píng)分標(biāo)準(zhǔn).........................53

第五章嘉興市政府采購(gòu)合同（指引）................55

第六章投標(biāo)文件格式...............................64

第2頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

第一章公開(kāi)招標(biāo)采購(gòu)公告

根據(jù)《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法》、《中華人民共和國(guó)政府采購(gòu)法實(shí)施條例》和《政府采

購(gòu)貨物和服務(wù)招標(biāo)投標(biāo)管理辦法》、《浙江省政府采購(gòu)活動(dòng)現(xiàn)場(chǎng)組織管理辦法》等規(guī)定,浙江中

磊工程咨詢有限公司受采購(gòu)人委托，經(jīng)JM-00034510號(hào)采購(gòu)計(jì)劃批準(zhǔn)，現(xiàn)就嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與

低碳能源技術(shù)中心（三期）進(jìn)行公開(kāi)招標(biāo)采購(gòu)，歡迎合格供應(yīng)商前來(lái)投標(biāo)，現(xiàn)將有關(guān)事項(xiàng)公告如

下：

一、項(xiàng)目編號(hào)：中磊-zjzl-JX（2020）第2號(hào)

二、采購(gòu)組織類(lèi)型：分散采購(gòu)委托代理

三、采購(gòu)人方式：公開(kāi)招標(biāo)

四、招標(biāo)項(xiàng)目：嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）

五、招標(biāo)采購(gòu)內(nèi)容：

標(biāo)預(yù)算金額最高限價(jià)

項(xiàng)采購(gòu)內(nèi)容數(shù)量

（萬(wàn)元）（萬(wàn)元）

一

多源高通量復(fù)合材料基因組制備系統(tǒng)1套725725

二射頻離子源（進(jìn)口1臺(tái)）1臺(tái)9493.5

氣相色譜（進(jìn)口2臺(tái)）、8通道藻類(lèi)培養(yǎng)與在線監(jiān)

測(cè)系統(tǒng)（進(jìn)口1臺(tái)）、斑馬魚(yú)微視行為系統(tǒng)（進(jìn)口

三1臺(tái)）、總有機(jī)碳分析儀（進(jìn)口1臺(tái)）、離子色譜8臺(tái)202201

儀（進(jìn)口1臺(tái)）、紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)（進(jìn)口1臺(tái)）、

真空等離子表面處理系統(tǒng)（進(jìn)口1臺(tái)）

四高溫高壓固定床微型反應(yīng)裝置等設(shè)備1批1批168168

六、采購(gòu)需求（概述）

標(biāo)項(xiàng)一：為嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心實(shí)驗(yàn)室的要求，需要采購(gòu)多源高通量復(fù)合

材料基因組制備系統(tǒng)1套。

標(biāo)項(xiàng)二：為嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心實(shí)驗(yàn)室的要求，需要采購(gòu)射頻離子源設(shè)備

1臺(tái)。

標(biāo)項(xiàng)三：為嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)究中心實(shí)驗(yàn)室的要求，需要采購(gòu)氣相色譜、8

通道藻類(lèi)培養(yǎng)與在線監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、斑馬魚(yú)微視行為系統(tǒng)、總有機(jī)碳分析儀、離子色譜儀、紫外可見(jiàn)

分光光度計(jì)、真空等離子表面處理系統(tǒng)等設(shè)備。

標(biāo)項(xiàng)四：為嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心實(shí)驗(yàn)室的要求，需要采購(gòu)高溫高壓固定床

微型反應(yīng)裝置等設(shè)備1批。

七、合格供應(yīng)商的資格要求

第3頁(yè)共86頁(yè)

_____________嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

（一）符合政府采購(gòu)法第二十二條：

1.具有獨(dú)立承擔(dān)民事責(zé)任的能力；2.具有良好的商業(yè)信譽(yù)和健全的財(cái)務(wù)會(huì)計(jì)制度；3.具有履

行合同所必需的設(shè)備和專(zhuān)業(yè)技術(shù)能力：4有依法繳納稅收和社會(huì)保障資金的良好記錄；5參加政

府采購(gòu)活動(dòng)前三年，在經(jīng)營(yíng)活動(dòng)中沒(méi)有重大違法記錄；6法律、行政法規(guī)規(guī)定的其他條件。

（-）符合財(cái)庫(kù)［2016R25號(hào)《關(guān)于在政府采購(gòu)活動(dòng)中查詢及使用信用記錄有關(guān)問(wèn)題的通知》

規(guī)定，且未被"信用中國(guó)"（）和“信用中國(guó)（浙江）”網(wǎng)站

（sdf.lkj//credit.zj.gov.cn）>中國(guó)政府采購(gòu)網(wǎng)（sdf.Ikjccgp.gov.cn）列入失信被執(zhí)行人、

重大稅收違法案件當(dāng)事人名單、政府采購(gòu)嚴(yán)重違法失信行為記錄名單。

（三）不允許聯(lián)合體投標(biāo)

注:本采購(gòu)項(xiàng)目，中標(biāo)單位與采購(gòu)單位簽訂的政府采購(gòu)合同適用于嘉興市政府采購(gòu)貸款政策，

簡(jiǎn)稱“政采貸”，具體內(nèi)容可參閱政府采購(gòu)貸款流程：

sdf.lkj//sdf.Ik.j.jxzbtb.cn/zxfw/005012/20181016/7e541bf4-ad29-4286-ace8-dl2clb2c54fc

.htmlo

八、公告期限：自公告發(fā)布之日起5個(gè)工作日

九、報(bào)名、注冊(cè)及招標(biāo)文件的獲?。?/p>

1、本項(xiàng)目招標(biāo)文件實(shí)行“政府采購(gòu)云平臺(tái)”在線獲取，不提供招標(biāo)文件紙質(zhì)版。供應(yīng)商獲

取招標(biāo)文件前應(yīng)先完成“政府采購(gòu)云平臺(tái)”的賬號(hào)注冊(cè)；

2、地點(diǎn)：政采云平臺(tái)（https://sdf.Ikjzcygov.cn/）；

3、方式：潛在供應(yīng)商登陸政采云平臺(tái)，在線申請(qǐng)獲取招標(biāo)文件（進(jìn)入“項(xiàng)目采購(gòu)”應(yīng)用，

在獲取招標(biāo)文件菜單中選擇項(xiàng)目，申請(qǐng)獲取招標(biāo)文件，本項(xiàng)目招標(biāo)文件不收取工本費(fèi)；僅需瀏

覽招標(biāo)文件的供應(yīng)商可點(diǎn)擊“游客，瀏覽招標(biāo)文件”直接下載招標(biāo)文件瀏覽）;

4、供應(yīng)商獲取招標(biāo)文件時(shí)須提交的文件資料：無(wú)；

5、提示：招標(biāo)公告附件內(nèi)的招標(biāo)文件（或采購(gòu)需求）僅供閱覽使用，供應(yīng)商只有在“政府

采購(gòu)云平臺(tái)”完成獲取招標(biāo)文件申請(qǐng)并下載了招標(biāo)文件后才視作依法獲取招標(biāo)文件（法律法規(guī)所

指的供應(yīng)商獲取招標(biāo)文件時(shí)間以供應(yīng)商完成獲取招標(biāo)文件申請(qǐng)后下載招標(biāo)文件的時(shí)間為準(zhǔn)）。

注：請(qǐng)供應(yīng)商按上述要求獲取招標(biāo)文件，如未在“政采云”系統(tǒng)內(nèi)完成相關(guān)流程，引起的投

標(biāo)無(wú)效責(zé)任自負(fù)。

投標(biāo)文件制作注意事項(xiàng)

］、本項(xiàng)目通過(guò)"政府采購(gòu)云平臺(tái)（）”實(shí)行在線投標(biāo)響應(yīng)（電子投標(biāo)），

供應(yīng)商應(yīng)先安裝“政采云電子交易客戶端”，并按照本招標(biāo)文件和“政府采購(gòu)云平臺(tái)”的要求，

通過(guò)“政采云電子交易客戶端”編制并加密投標(biāo)文件。供應(yīng)商未按規(guī)定加密的投標(biāo)文件，“政府

采購(gòu)云平臺(tái)”將予以拒收。

“政采云電子交易客戶端”請(qǐng)自行前往“浙江政府采購(gòu)網(wǎng)-下載專(zhuān)區(qū)-電子交易客戶端”進(jìn)行

下載。

2、供應(yīng)商須申領(lǐng)CA,并在政采云平臺(tái)完成綁定方可進(jìn)行投標(biāo)文件的編制，CA相關(guān)操作可參

考“浙江政府采購(gòu)網(wǎng)-下載專(zhuān)區(qū)-電子交易客戶端-CA驅(qū)動(dòng)和申領(lǐng)流程”。

第4頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

注：供應(yīng)商在進(jìn)行上述操作時(shí)，如遇技術(shù)問(wèn)題可致電400-881-7190進(jìn)行咨詢或查閱《供應(yīng)

商項(xiàng)目采購(gòu)-電子招投標(biāo)操作指南》。操作指南在政府采購(gòu)電子賣(mài)場(chǎng)-服務(wù)中心-幫助文檔-供應(yīng)商

登錄后，查看最新版指南。

3、投標(biāo)供應(yīng)商應(yīng)當(dāng)在投標(biāo)截止時(shí)間前，將生成的“電子加密投標(biāo)文件”上傳遞交至“政府

采購(gòu)云平臺(tái)”。投標(biāo)截止時(shí)間以后上傳遞交的投標(biāo)文件將被“政府采購(gòu)云平臺(tái)”拒收。

4、投標(biāo)供應(yīng)商在“政府采購(gòu)云平臺(tái)”完成“電子加密投標(biāo)文件”的上傳遞交后，還可以（郵

寄形式）在投標(biāo)截止時(shí)間前遞交以介質(zhì)（U盤(pán)）存儲(chǔ)的數(shù)據(jù)電文形式的“備份投標(biāo)文件”，“備

份投標(biāo)文件”應(yīng)當(dāng)密封包裝并在包裝上標(biāo)注投標(biāo)項(xiàng)目名稱、投標(biāo)單位名稱并加蓋公章。

5、通過(guò)“政府采購(gòu)云平臺(tái)”上傳遞交的“電子加密投標(biāo)文件”無(wú)法按時(shí)解密，投標(biāo)供應(yīng)商

遞交了備份投標(biāo)文件的，以備份投標(biāo)文件為依據(jù)，否則視為投標(biāo)文件撤回。通過(guò)“政府采購(gòu)云平

臺(tái)”上傳遞交的“電子加密投標(biāo)文件”已按時(shí)解密的，“備份投標(biāo)文件”自動(dòng)失效。投標(biāo)供應(yīng)商

僅遞交備份投標(biāo)文件的，投標(biāo)無(wú)效。

十、投標(biāo)保證金：無(wú)

十一、投標(biāo)截止時(shí)間和地點(diǎn)：

1、投標(biāo)截止時(shí)間：2020年5月9日9時(shí)30分整在嘉興市公共資源交易中心（嘉興市廣場(chǎng)路

350號(hào)，市行政中心西側(cè)）開(kāi)標(biāo)。

2、遞交注意事項(xiàng)

供應(yīng)商應(yīng)當(dāng)在投標(biāo)截止時(shí)間前完成電子交易文件的傳輸遞交，投標(biāo)截止時(shí)間前可以補(bǔ)充、修

改或者撤回電子交易文件。補(bǔ)充或者修改電子交易文件的，應(yīng)當(dāng)先行撤回原文件，補(bǔ)充、修改后

重新傳輸遞交。投標(biāo)截止時(shí)間前未完成傳輸?shù)模暈榉艞壨稑?biāo)。

現(xiàn)階段為電子交易試運(yùn)行階段，為確保采購(gòu)項(xiàng)目順利實(shí)施，避免因解密失敗導(dǎo)致投標(biāo)供應(yīng)商

投標(biāo)無(wú)效，供應(yīng)商在電子交易平臺(tái)傳輸提交投標(biāo)文件后，將政采云平臺(tái)上最后生成的具備電子簽

章的備份電子標(biāo)文件1份下載至U盤(pán)，可以郵寄或送達(dá)到浙江中磊工程咨詢有限公司（嘉興市中

環(huán)廣場(chǎng)東區(qū)A座403）,采用郵寄方式的同時(shí)將投標(biāo)單位的單位名稱、聯(lián)系人、參與項(xiàng)目名稱、

聯(lián)系電話、郵遞單號(hào)等信息統(tǒng)一發(fā)送至代理機(jī)構(gòu)郵箱：455291270@。如供應(yīng)商選擇快遞費(fèi)

到付，招標(biāo)代理將拒簽。

3、備份電子標(biāo)文件制作為非強(qiáng)制性，但如遇因應(yīng)商電子投標(biāo)文件解密失敗等情況造成無(wú)效

標(biāo)，后果由供應(yīng)商自負(fù)。

十二、開(kāi)標(biāo)時(shí)間及地點(diǎn)：

本次招標(biāo)將于2020年5月9日9時(shí)30分整在嘉興市公共資源交易中心（嘉興市廣場(chǎng)路350

號(hào)，市行政中心西側(cè)）開(kāi)標(biāo)。供應(yīng)商無(wú)需到開(kāi)標(biāo)現(xiàn)場(chǎng)，但須準(zhǔn)時(shí)在線參加，直至評(píng)審結(jié)束。

開(kāi)標(biāo)時(shí)間截止后半小時(shí)內(nèi)（2020年5月9日10:00前）供應(yīng)商可以登錄“政采云”平臺(tái)，用

“項(xiàng)目采購(gòu)-開(kāi)標(biāo)評(píng)標(biāo)”功能進(jìn)行投標(biāo)文件解密。若供應(yīng)商在規(guī)定時(shí)間內(nèi)（2020年5月9日10:00

前）投標(biāo)文件無(wú)法解密或解密失敗且備份文件讀取失敗，則投標(biāo)無(wú)效。

十三、招標(biāo)公告發(fā)布于：浙江政府采購(gòu)網(wǎng)（https:〃sdf./）和嘉興學(xué)院采購(gòu)網(wǎng)

(sdf.Ikj//)。

第5頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

十四、業(yè)務(wù)咨詢：

嘉興學(xué)院

聯(lián)系人：葛老師聯(lián)系電話/p>

地點(diǎn)：浙江省嘉興市嘉杭路118號(hào)

浙江中磊工程咨詢有限公司聯(lián)系人：袁先生

聯(lián)系電話真/p>

地址：嘉興市中環(huán)廣場(chǎng)東區(qū)A座403室

政府采購(gòu)行政監(jiān)管及投訴受理部門(mén)：嘉興市財(cái)政局

聯(lián)系電話/p>

十五、其他事項(xiàng)

供應(yīng)商應(yīng)按招標(biāo)文件要求，提供社保繳納證明材料。若社保繳納地點(diǎn)為嘉興市［含五縣（市）］

范圍內(nèi)的人員，供應(yīng)商只需提供本項(xiàng)目所涉人員社保繳納承諾函（格式詳見(jiàn)第六章）即可，無(wú)需

再提供紙質(zhì)社保繳納證明。供應(yīng)商應(yīng)對(duì)提交資料的真實(shí)性負(fù)責(zé)，若核實(shí)存在造假情形，監(jiān)管部門(mén)

將記錄企業(yè)不良信用并予以公示。

浙江中磊工程咨詢有限公司

2020年4月15日

第6頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

第二章招標(biāo)需求

一、項(xiàng)目背景

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心主要為全校的科研和教學(xué)工作服務(wù)，同時(shí)為地方經(jīng)濟(jì)

建設(shè)服務(wù)，為嘉興市及長(zhǎng)三角地區(qū)的企業(yè)、研究單位、高校等提供技術(shù)服務(wù)。2018年啟動(dòng)建設(shè)

至今，經(jīng)過(guò)一期和二期的建設(shè)擁有了ICP-MS、原位紅外光譜儀、在線氣體質(zhì)譜分析儀、熒光光

譜儀、實(shí)驗(yàn)室砂磨機(jī)、氣質(zhì)聯(lián)用儀、氣相色譜儀、液相色譜儀、全自動(dòng)物理吸附儀、比表面及孔

徑分析儀、自動(dòng)程序升溫化學(xué)吸附分析儀、綜合熱分析儀、F-T合成催化反應(yīng)裝置、多通道固定

床催化反應(yīng)裝置等大型儀器設(shè)備。現(xiàn)有實(shí)驗(yàn)室建設(shè)僅能實(shí)現(xiàn)基本科學(xué)研究的開(kāi)展，遠(yuǎn)不能滿足高

水平的科研需求，遠(yuǎn)不夠推動(dòng)嘉興學(xué)院創(chuàng)大升碩實(shí)現(xiàn)質(zhì)的飛躍。因此，綠色生態(tài)與低碳能源研究

中心的三期建設(shè)為本中心建設(shè)的重中之重。

本項(xiàng)目計(jì)劃采購(gòu)多源高通量復(fù)合材料基因組制備系統(tǒng)、氣相色譜、8通道藻類(lèi)培養(yǎng)與在線監(jiān)

測(cè)系統(tǒng)、斑馬魚(yú)微視行為系統(tǒng)、總有機(jī)碳分析儀、離子色譜儀、紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)等高端大型

儀器設(shè)備用于科研和教學(xué)；為創(chuàng)建應(yīng)用技術(shù)型大學(xué)，采購(gòu)靜電紡絲機(jī)、高溫高壓固定床微型反應(yīng)

裝置、電腦微波超聲波紫外光組合催化儀、轉(zhuǎn)矩流變儀、BMP和批處理消化器、動(dòng)態(tài)老化測(cè)試

儀等部分國(guó)產(chǎn)裝備用于應(yīng)用技術(shù)研究。本項(xiàng)目的實(shí)施將助力嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源研究中

心成為高水平科技創(chuàng)新平臺(tái)，更好地服務(wù)于學(xué)校的科研教學(xué)工作，服務(wù)于地方經(jīng)濟(jì)和材料的智能

制造方面相關(guān)人才的培養(yǎng)。該平臺(tái)的順利建成，將使得本中心具備了沖擊國(guó)際權(quán)威高質(zhì)量代表性

科研成果的必要條件，并爭(zhēng)取成為省部級(jí)重點(diǎn)科研單位。

二、采購(gòu)清單及規(guī)格型號(hào)及技術(shù)指標(biāo)要求

標(biāo)項(xiàng)一：

序儀器名數(shù)量

規(guī)格型號(hào)及技術(shù)指標(biāo)要求

號(hào)稱（臺(tái)、套）

一、系統(tǒng)簡(jiǎn)介：多源高通量復(fù)合材料基因組制備系統(tǒng)是用于高通量材料基因芯片

制備的專(zhuān)用高效鍍膜裝置。該系統(tǒng)采用全新的高真空、多腔體設(shè)計(jì)思路，將原位

儲(chǔ)靶換靶和原位熱處理集成在一起，并采用配備了輔助離子源沉積的RF射頻離

多源高

子源離子束濺射系統(tǒng)，電子束蒸發(fā)系統(tǒng)和激光濺射鍍膜系統(tǒng)等多種鍍膜源?？赏?/p>

通量復(fù)

時(shí)滿足金屬、非金屬等不同材料的鍍膜，實(shí)現(xiàn)了高均一性、高致密度、高純度、

合材料

1高分辨率的材料基因芯片制備。該系統(tǒng)包含儲(chǔ)靶腔、激光輔助離子束濺射鍍膜1套

基因組

工藝腔、電子束蒸發(fā)鍍膜工藝腔，熱處理腔、三個(gè)傳送腔、取樣腔（帶等離子體

制備系

清潔基片功能）和表征腔體等多個(gè)腔體組成，之間用高真空插板閥連接。通過(guò)專(zhuān)

統(tǒng)

有儲(chǔ)靶腔體的設(shè)計(jì)，可以同時(shí)儲(chǔ)存至少36種不同的靶材，滿足各種材料基因芯

片的制備工作。該系統(tǒng)能夠在1英寸的基底上制備多達(dá)數(shù)十萬(wàn)個(gè)不同組分的薄

膜樣品，用以高通量的成分、結(jié)構(gòu)、性能分析表征，通過(guò)一次實(shí)驗(yàn)即可完成多元

第7頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

材料相圖的數(shù)據(jù)采集，大幅度提高了材料制備效率、降低材料研制成本。

如下圖所示：為該系統(tǒng)的設(shè)計(jì)圖，其包含儲(chǔ)靶腔、靶材傳送腔、離子束和激

光鍍膜工藝腔、電子束蒸發(fā)鍍膜工藝腔、基片傳送腔1、基片傳送腔2、真空熱

處理腔、樣品表征腔及取樣腔共九個(gè)真空腔室，各腔室之間通過(guò)插板閥進(jìn)行隔斷，

同時(shí)包括工藝布?xì)鈫卧涂刂茊卧Ｕ麄€(gè)樣品制備、熱處理及表征過(guò)程均在真空

環(huán)境下進(jìn)行，隔絕了外部污染，同時(shí)整個(gè)薄膜制備過(guò)程中均采用PLC精確控制。

二、功能模塊描述

1.儲(chǔ)靶模塊：為防止鍍膜過(guò)程中靶材的污染，在系統(tǒng)設(shè)計(jì)中采用獨(dú)立真空

腔體儲(chǔ)存系統(tǒng)中可能使用的靶材，儲(chǔ)存靶材的數(shù)量可根據(jù)客戶需求制定，標(biāo)配儲(chǔ)

靶腔可存儲(chǔ)3inch靶材不少于36個(gè)。

2.傳輸模塊：本設(shè)備系統(tǒng)采用真空機(jī)械手傳送模塊，一個(gè)機(jī)械手用于傳送

系統(tǒng)需要的靶材，另外兩個(gè)個(gè)機(jī)械手用于傳送基片，傳送過(guò)程均在真空過(guò)程中進(jìn)

行，并且傳送精度高。

3.高精度樣品升降旋轉(zhuǎn)模塊：高精度樣品升降旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)采用精密絲桿和高

精度步進(jìn)/伺服電機(jī)控制樣品在樣品臺(tái)上升降位置精度和轉(zhuǎn)角位置精度要求，避

免芯片上樣品點(diǎn)之間成分重疊引起的相互“污染”。

4.掩模模塊：連續(xù)掩模能夠進(jìn)行3元芯片的制備，實(shí)現(xiàn)組分連續(xù)變化的三

元芯片制備，從寬視角上篩選所需要的組分。

5.離子束濺射模塊：主要產(chǎn)生高能離子，用于轟擊靶材，使靶材上原子/

分子從靶材表面溢出，并沉積到樣品芯片表面。3cmRF射頻離子源和射頻中和源

及配套控制器由標(biāo)段二采購(gòu)。配套的相應(yīng)尺寸的法蘭接口及配件嚴(yán)格參照本項(xiàng)目

標(biāo)段二設(shè)備的技術(shù)參數(shù)。

6.電子束蒸發(fā)模塊：電子束蒸發(fā)模塊包括電子蒸發(fā)源、珀期指示器、電子

束掃描控制器、高壓電源、電子源控制器等組成。電子在電子源底部產(chǎn)生后，在

磁場(chǎng)作用下，繞動(dòng)270。后打入電子源生煙，加熱省煙內(nèi)材料，使生煙內(nèi)材料變

成氣態(tài)，蒸發(fā)沉積在樣品基片表面。掃描控制器通過(guò)控制電磁場(chǎng)可以改變電子束

運(yùn)動(dòng)的形狀和軌跡，確保坦煙內(nèi)材料蒸發(fā)的均勻性。

7.輔助鍍膜激光器模塊：激光的高能量密度將部分靶材蒸發(fā)甚至電離，使

其脫離靶材進(jìn)而在基底上沉積，從而形成薄膜。可用于濺射各種難熔材料，而且

不同成分全部濺射，可以得到與靶材成分一致的多元化合物薄膜。

8.熱處理模塊：通過(guò)在真空環(huán)境下熱輻射的方式，使基片上薄膜樣品的溫

度均勻升高。該模塊是在薄膜樣品芯片制備后，為樣品芯片上材料的分子提供充

足的熱動(dòng)能，使樣品分子之間可以進(jìn)行充分混合或結(jié)晶，通過(guò)調(diào)節(jié)不同的加熱溫

度、升降溫速率達(dá)到特殊的工藝要求。

9.樣品表征模塊：采用18inch球形樣品真空腔，球形腔中心位置可安裝樣

品位移臺(tái)，根據(jù)球形腔上安裝不同的表征模塊實(shí)現(xiàn)不同的樣品性能檢測(cè)。表征模

第8頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

塊由用戶自行配置。

10.PLC控制模塊.PLC控制模塊在確保整個(gè)系統(tǒng)自動(dòng)化運(yùn)行的同時(shí)，通過(guò)

各種互鎖條件防止人為誤操作或突發(fā)狀況下導(dǎo)致的設(shè)備損壞，包括系統(tǒng)真空條

件、冷卻水水壓條件、壓縮空氣壓力條件以及各閥門(mén)狀態(tài)條件等。

三、技術(shù)參數(shù)要求

a.基片：W3inch；可根據(jù)客戶需求定制。

Ab.膜厚均勻性：樣品1英寸范圍內(nèi)，膜厚200nm時(shí)，W3%?

c.基片臺(tái)：升降高度三20mm,伺服電機(jī)精度±10um；旋轉(zhuǎn)精度360°,

步進(jìn)電機(jī)精度±0.2。；水冷。

d.靶臺(tái)：升降高度20mm，伺服電機(jī)精度±10um；水冷。

▲e.主離子源預(yù)留6英寸法蘭接口，中和源預(yù)留2.75英寸法蘭接口。

源靶距：15-20cm

靶基距：10-15cm

離子束入射角：45度

▲f.電子束蒸發(fā)模塊：加速電壓：-6kVtoTOkV電子源功率：》5kW

時(shí)煙數(shù)量X規(guī)格：3X15cc

電子源掃略軌跡：5種模式可調(diào)。

g.激光模塊：固體激光器NIMMA900,1064/532/355/266nm,800T00mj可

調(diào)，或者

LAMBER-C03YAGnsTaser,355nm,900mJ

Ah.連續(xù)掩模：掩模板與基片間距離WO.5nm

掩模移動(dòng)伺服電機(jī)精度W10Um

掩模移動(dòng)速度0—2.5mm/s可調(diào)

Ai.極限真空：儲(chǔ)靶腔W7X10"torr;

靶材傳送腔W7X106torr

激光輔助離子束工藝腔，＜3X107torr,

電子束蒸發(fā)工藝腔＜7XW6torr

基片傳送腔1＜7X106torr

基片傳送腔2^7X10-6torr

基片裝載腔^7X102torr

基片熱處理腔W7X10%orr

樣品表征腔W7X10"torr

j.基片熱處理腔：溫度范圍：室溫-600°C可調(diào)，精度：W±3℃@600℃

k.設(shè)備所需功率：三相五線，380V士5%100KVA

1.壓縮空氣：用量：＜1.5mJ/min

壓力：0.6—0.8MPa

質(zhì)量：干燥，無(wú)塵，無(wú)油

m.冷卻水：用量：2.5T/h

水壓：2.5—3kg/cm2

水質(zhì)：純水和一般城市自來(lái)水

n.設(shè)備外形：約2mx4m

。.環(huán)境條件溫度：23℃+/—3℃

濕度：40%-60%RH

四、設(shè)備主要構(gòu)成和配置：

▲1.真空系統(tǒng)

a）真空腔體：

1.儲(chǔ)靶腔，＜l＞430*702mm,xl,

2.靶材傳送腔，＜j＞430*273mm,xl,

3.激光輔助離子束濺射鍍膜工藝腔，＜l＞515*471mm,xl,

第9頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

4.電子束蒸發(fā)鍍膜工藝腔，4>430*273mm,xl,

5.基片傳送腔1,4>430*273mm,xl,

6.基片傳送腔2,4>430*273mm,xl,

7.裝片取樣腔，180*245mm,xl,

8.基片熱處理腔，6430*273mm,xl,

9.樣品表征腔，球形腔體，<l>457mm,xl

b）分子泵：6臺(tái)，進(jìn)口；

c）干泵3臺(tái)；

d）復(fù)合真空計(jì)6套進(jìn)口；

e）皮拉尼真空計(jì)5套進(jìn)口；

f）高真空插板閥5套進(jìn)口；

g）高真空插板閥：5套；

h）真空管道，真空角閥，真空擋板閥約30件；

i）真空備用接口5套

▲2.各真空腔相關(guān)的機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)

a）儲(chǔ)靶腔的靶材架的升降和旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)（靶材由供應(yīng)商提供）1套

b）靶材傳送腔內(nèi)真空機(jī)械手系統(tǒng)，1套

C）激光輔助離子束濺射工藝腔內(nèi)靶托的升降和擺動(dòng)系統(tǒng)，1套

d）激光輔助離子束濺射工藝腔內(nèi)基片的升降擺動(dòng)和旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)，1套

e）激光輔助離子束濺射工藝腔內(nèi)基片的連續(xù)掩模機(jī)構(gòu)，1套

f）基片過(guò)渡腔1內(nèi)真空機(jī)械手系統(tǒng)，1套

g）基片過(guò)渡腔2內(nèi)真空機(jī)械手系統(tǒng)，1套

h）基片熱處理腔基片的平移和旋轉(zhuǎn)傳遞系統(tǒng)，1套

i）電子束蒸發(fā)腔體內(nèi)基片的升降擺動(dòng)和旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)。1套

3.加熱和冷卻系統(tǒng)，1套

a）基片熱處理腔的加熱600°C

b）激光輔助離子束濺射工藝腔內(nèi)靶材的冷卻20°C

c）激光輔助離子束濺射工藝腔內(nèi)基片的冷卻20。C

4.電控系統(tǒng)，1套：

a）3相電源的輸入和控制

b）真空系統(tǒng)自鎖，

c）各真空內(nèi)的機(jī)械傳動(dòng)系統(tǒng)的限位，

d）離子源系統(tǒng)的保護(hù)

e）真空系統(tǒng)保護(hù)，

f）報(bào)警：失水，失氣，過(guò)壓，過(guò)流，溫度

5.工作站硬件和軟件，1套：

a）工控機(jī),

b）控制模塊，

C）控制軟件開(kāi)發(fā)

d）和離子源和控制系統(tǒng)的接口和通訊

e）和真空控制系統(tǒng)的接口和通訊

6.離子源和控制系統(tǒng)（由客戶自購(gòu)）

7.電子束蒸發(fā)系統(tǒng)，1套

a）電子蒸發(fā)源

b）電子源控制器

C）電子束掃描控制器

d）坦瑞指示器

8.激光模塊，1套

固體激光器NIMMA900,1064/532/355/266nm,800-100mj

或者LAMBER-C03YAGns-laser,355nm,900mJ

9.布?xì)庀到y(tǒng)，1套

第10頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

a）質(zhì)量流量計(jì)及控制器1套（Eton）

b）控制閥

c）布?xì)夤芗敖宇^

10.設(shè)備機(jī)械平臺(tái)：60X60鋁型材

11.基片裝載腔里的基片濺射清洗系統(tǒng)，1套

五、交貨清單及配件：

1.交貨清單：

（1）多源高通量復(fù)合材料制備系統(tǒng)1套；（包含系統(tǒng)所需的各種真空泵、

真空規(guī)、閘板閥、冷卻水路、氣路、電路、控制觸摸屏、控制電腦等）

序號(hào)名稱制造商數(shù)

量

真空儲(chǔ)靶系統(tǒng)（至少36個(gè)靶位，含分子泵

1定制1

和三維傳動(dòng)系統(tǒng)）

2真空過(guò)渡腔1（含機(jī)械手，插板閥和分子泵）定制1

離子束加輔助激光工藝腔及真空系統(tǒng)（含分

3.1定制1

子泵，插板閥和真空計(jì)等）

3.2高精度樣品Z-0三維傳動(dòng)模塊（含驅(qū)動(dòng)）定制1

3.3靶材Z-。三維傳動(dòng)模塊定制1

3.4掩模模塊（含驅(qū)動(dòng)）定制1

3.5固體激光器1

3.6離子束聚焦透鏡定制1

真空過(guò)渡腔2（含機(jī)械手，不含插板閥和分

4定制1

子泵）

5.1電子束蒸發(fā)腔體（含分子泵）定制1

5.2掩模模塊（含驅(qū)動(dòng)）定制1

5.3電子束蒸發(fā)模塊定制1

6裝片腔，帶等離子清洗功能定制1

真空過(guò)渡腔3（含機(jī)械手，不含插板閥和分

7定制1

子泵）

熱處理系統(tǒng)（含腔體，傳動(dòng)，加熱器，分子

8定制1

泵）

9樣品表征腔體（含分子泵）定制1

10PLC電控系統(tǒng)1

11301X干泵2

2L0T600無(wú)油干泵1

13真空及控制配件（含管道、位置、壓力、流1

第11頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心(三期)?招標(biāo)文件

量、溫度傳感器、角閥等)

14鋁合金機(jī)架定制1

15工藝及過(guò)程控制軟件定制1

16水冷機(jī)組，F(xiàn)T-05A1

17靜音無(wú)油空壓機(jī)1

多源高通量復(fù)合材料基因組制備系統(tǒng)關(guān)鍵配件推薦品牌清單

設(shè)備名稱型號(hào)品牌

MAG德國(guó)萊寶

1300/1000/2200

分子泵

TMP1003日本島津

HiPacel200德國(guó)普發(fā)

301X德國(guó)萊寶

干泵L0T600韓國(guó)LT

A100L德國(guó)阿爾卡特

MPG400瑞士英福康Inficon

復(fù)合真空計(jì)PKR360德國(guó)普發(fā)

PTR90N德國(guó)Leybold

PSG500瑞士英?？礗nficon

皮拉尼真空計(jì)TPR270德國(guó)普發(fā)

TTR91德國(guó)Leybold

IS0100新萊

高真空插板閥IS0100瑞士VAT

IS0100美國(guó)KRI

NIMMA900鐳寶光電

固體激光器LAMBER-C02卓鐳激光技術(shù)有限公司

SpitLight2000SpitLightHighPower

211/241/247Telemark

電子束蒸發(fā)模塊EGG-3101/KIMBALL

EGPS-3101

EG3000LKTech

S7-300/1200德國(guó)西門(mén)子

PLC電控系統(tǒng)CJ2M日本歐姆龍

Q03日本三菱

FT05北京九州同城制冷設(shè)備有限

公司

水冷機(jī)組LSFX-15上海眾有實(shí)業(yè)有限公司

KC-005深圳市凱德利冷機(jī)設(shè)備有限

公司

YB-WWJ750上海勇霸機(jī)電技術(shù)有限公司

QC-D06/08-A2上海曲晨機(jī)電技術(shù)有限公司

靜音無(wú)油空壓機(jī)

GFXA-0.42-8B廣東冠能壓縮機(jī)股份有限公

司

(2)系統(tǒng)操作說(shuō)明書(shū)1份;

2.配件：

(1)Cu、Al、Fe靶材各1個(gè);

(2)電子源用煙4只；

第12頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心(三期)?招標(biāo)文件

(3)電子源工具包1套；

第13頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

標(biāo)項(xiàng)二：

數(shù)量

序儀器名

規(guī)格型號(hào)及技術(shù)指標(biāo)要求（臺(tái)、

號(hào)稱

套）

允許整機(jī)進(jìn)口

1.整套系統(tǒng)可以符合以下要求：

1.1射頻離子源（有柵網(wǎng)型）；

1.2離子源有水冷裝置；

L3離子源包含電源及控制器，并可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)程控制功能；

1.4整套系統(tǒng)全部由生產(chǎn)廠家工廠預(yù)安裝調(diào)試好。

2.主要參數(shù)：

2.1柵網(wǎng)材質(zhì)：鋁；

▲2.2柵網(wǎng)口徑：3cm；

2.3柵網(wǎng)層數(shù)：兩層；

2.4柵網(wǎng)形式：聚焦型，焦點(diǎn)小于10cm；

2.5最大束流：75mA

▲2.6束流能量:50-1200eV；

2.7使用氣體：所有惰性氣體（Ar,Kr,N2,Xe）,及部分活性氣體（02不能

使用石墨柵網(wǎng)）；

射頻離2.8氣體流量：3Toscem；

11臺(tái)

子源2.9安裝方式：法蘭安裝；

A2.10中和方式：射頻中和。

3.電源及控制器參數(shù)：

3.1射頻輸出：600W；

3.2束流輸出：0-2000DC,4Kw,2A；

3.3加速極輸出:0-1000DC,200mA；

3.4中和極輸出：4A；

3.5電源輸入：200-240V~,單項(xiàng)或三項(xiàng)，最大電流30A；

3.6支持手動(dòng)、自動(dòng)及遠(yuǎn)程RS232控制，并預(yù)留遠(yuǎn)程控制接口；

3.7支持外部MFC控制，并預(yù)留接口。

4.離子源安裝組件要求：

4.1所有真空饋通件需為CF法蘭安裝；

4.2離子源連接線纜需為專(zhuān)用航空插頭。

5.產(chǎn)品特色：

5.1離子源為無(wú)燈絲狀態(tài)工作，減少污染；

5.2離子源及中和器需為射頻方式，保證可長(zhǎng)時(shí)間連續(xù)工作；

第14頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

5.3電源參數(shù)操作界面可視化，可監(jiān)測(cè)多個(gè)參數(shù)，并配有觸摸屏及自動(dòng)互鎖；

5.4離子源為模塊化設(shè)計(jì)，便于維護(hù)，耗材少；

▲5.5離子源射頻輸出采用13.56MHz自動(dòng)匹配網(wǎng)絡(luò)，中和器采用自動(dòng)射頻變頻

配網(wǎng)絡(luò)輸出，便于操作；

6.售后與技術(shù)支持：

6.1國(guó)內(nèi)有工廠指定技術(shù)售后支持團(tuán)隊(duì)（提供證明）；

6.2國(guó)內(nèi)有工廠指定公司提供零配件的維修與銷(xiāo)售?

7.配置要求：

7.13cm射頻離子源1套；

7.2電源及控制器1套；

7.3射頻中和器1套；

7.4射頻離子源安裝饋通件1套：

7.5射頻離子源線纜1套；

7.6射頻離子源備件包1套；

7.73cm射頻離子源手冊(cè)1套；

第15頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

標(biāo)項(xiàng)三:

數(shù)量

序儀器名

規(guī)格型號(hào)及技術(shù)指標(biāo)要求（臺(tái)、

號(hào)稱

套）

允許整機(jī)進(jìn)口

1.工作環(huán)境條件

1.1工作電壓：100-240V,50-60HZ或者12伏直流電，最大150W單相

1.2工作溫度:0-50度

1.3相對(duì)濕度:5-95%

2.柱溫箱

2.1：柱溫箱溫度范圍，室溫+15T80。C,等溫

3.微型進(jìn)樣器

3.1：進(jìn)樣量約0.1叱-10此，通過(guò)設(shè)置進(jìn)樣時(shí)間來(lái)實(shí)現(xiàn)

3.2采樣時(shí)間0-255秒可選，可以設(shè)置自動(dòng)采樣

3.3：可選樣品加熱部件，可加熱到110。C,包括加熱樣品傳輸線

3.4：針對(duì)復(fù)雜樣品可選的樣品反吹功能

3.5全電子流量控制系統(tǒng)，內(nèi)置載氣壓力傳感器

4.測(cè)試樣品要求：

4.1：進(jìn)樣，1/16不銹鋼管路閥系統(tǒng)，自動(dòng)采集樣品，可由工作站設(shè)置采樣時(shí)

氣相色

1間程序1臺(tái)

譜儀

4.2：樣品條件：不冷凝氣體0°C至110C°

4.3：樣品最大進(jìn)樣壓力90kPa（13.05psi）

4.4.根據(jù)樣品的壓力軟件可選的自動(dòng)樣品采樣泵或連續(xù)流動(dòng)

4.5.支持多位閥柱切換（如10通、6通閥等）

4.6.支持樣品安裝在前面進(jìn)樣，以便操作

4.7樣品最大運(yùn)行時(shí)間500秒

4.8具有在線樣品過(guò)濾器，避免顆粒物進(jìn)入系統(tǒng)

▲4.9帶有在線氣體減壓裝置，最高可以耐受17Mpa壓力

5.高靈敏度微型熱導(dǎo)檢測(cè)器：

▲5.1.雙通道帶有參比池，最大可以升級(jí)為4通道，每個(gè)分析通道可以獨(dú)立操

作

5.2.檢測(cè)器內(nèi)部體積200NL

5.3.濃度1ppm到100%級(jí)

5.4.線性動(dòng)態(tài)范圍0-10”

▲5.5.重復(fù)性RSD<0.8%,1mol%的丙烷

第16頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

5.6.載氣類(lèi)型：可選擇H2、N2、Ar、He氣，按照分析樣品的不同選擇，標(biāo)準(zhǔn)裝

備可以實(shí)現(xiàn)雙載氣配置。

5.7.靈敏度:

▲0.5ppm用5cb色譜柱測(cè)試，2ppm用PPU色譜柱測(cè)試

6.軟件系統(tǒng)：

6.1化學(xué)工作站軟件：Windows10操作環(huán)境，色譜分析軟件包（應(yīng)包括：本機(jī)運(yùn)

行控制軟件，數(shù)據(jù)采集、分析、儲(chǔ)存及定性定量分析）；智能報(bào)表提供自定義報(bào)

表和計(jì)算，帶有觸摸屏系統(tǒng)，方便在線診斷以及數(shù)據(jù)查看。

7：主機(jī)拓展要求：

7.1：后期可以增加不同分析通道，無(wú)需特殊改裝，最大可以實(shí)現(xiàn)四通道分析

7.2：可實(shí)現(xiàn)快速不同分析模塊更換

7.3：可實(shí)現(xiàn)不同反應(yīng)氣體檢測(cè)，無(wú)需手動(dòng)切換，可選擇流量選擇閥

7.配置要求：

7.1.氣相色譜儀主機(jī)系統(tǒng)帶有采樣泵1套

7.2通道一：微型TCD檢測(cè)器、10米MS5A帶反吹色譜柱集成模塊各1套以及安

裝附件

7.3通道二：微型TCD檢測(cè)器、10米PPU帶反吹色譜柱集成模塊各1套以及安

裝附件

7.4通道三：微型TCD檢測(cè)器、10米三氧化二鋁帶反吹色譜柱集成模塊各1套以

及安裝附件

7.5.在線過(guò)濾器濾膜10個(gè)

7.6.1/16英寸不銹鋼螺帽和密封圈一套10/包

7.71/16英寸三通，不銹鋼1套

7.8.安裝工具包1套

7.9.除水除氧過(guò)濾器1套

7.10.標(biāo)氣和樣品氣接入管線1套

7.11樣品減壓器1套

7.12.在線樣品過(guò)濾器1套

7.13.原裝色譜軟件帶有數(shù)據(jù)處理裝置1套

7.14.工作站硬件配置：CPU四核配置（17）,內(nèi)存不小于8G,硬盤(pán)不小于1T,

DVD/+-RW可擦寫(xiě)光驅(qū)，高分辨液晶彩顯224寸；

7.15.數(shù)據(jù)輸出系統(tǒng)：激光打印分辨率》1200X1200dpi,自動(dòng)雙面打印。

允許整機(jī)進(jìn)口1臺(tái)

2氣相色1.工作環(huán)境條件

譜儀

1.1工作電壓：100-240V,50-60HZ或者12伏直流電，最大150W單相

第17頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

1.2工作溫度:0-50度

1.3相對(duì)濕度:5-95%

2.柱溫箱

2.1：柱溫箱溫度范圍，室溫+15-180°C,等溫

3.微型進(jìn)樣器

3.1：進(jìn)樣量約0.1叱-10此，通過(guò)設(shè)置進(jìn)樣時(shí)間來(lái)實(shí)現(xiàn)

3.2采樣時(shí)間0-255秒可選，可以設(shè)置自動(dòng)采樣

3.3：可選樣品加熱部件，可加熱到110。C,包括加熱樣品傳輸線

3.4：針對(duì)復(fù)雜樣品可選的樣品反吹功能

3.5全電子流量控制系統(tǒng)，內(nèi)置載氣壓力傳感器

4.測(cè)試樣品要求：

4.1：進(jìn)樣，1/16不銹鋼管路閥系統(tǒng)，自動(dòng)采集樣品，可由工作站設(shè)置采樣時(shí)

間程序

4.2：樣品條件：不冷凝氣體0°C至110C°

4.3：樣品最大進(jìn)樣壓力90kPa（13.05psi）

4.4.根據(jù)樣品的壓力軟件可選的自動(dòng)樣品采樣泵或連續(xù)流動(dòng)

4.5.支持多位閥柱切換（如10通、6通閥等）

4.6.支持樣品安裝在前面進(jìn)樣，以便操作

4.7樣品最大運(yùn)行時(shí)間500秒

4.8具有在線樣品過(guò)濾器，避免顆粒物進(jìn)入系統(tǒng)

▲4.9帶有在線氣體減壓裝置，最高可以耐受17Mpa壓力

5.高靈敏度微型熱導(dǎo)檢測(cè)器：

▲5.1.雙通道帶有參比池，最大可以升級(jí)為4通道，每個(gè)分析通道可以獨(dú)立操

作

5.2.檢測(cè)器內(nèi)部體積200NL

5.3.濃度1ppm到100%級(jí)

5.4.線性動(dòng)態(tài)范圍0-106

▲5.5.重復(fù)性RSD<0.8%,1mol%的丙烷

5.6.載氣類(lèi)型：可選擇H2、N2、Ar、He氣，按照分析樣品的不同選擇，標(biāo)準(zhǔn)裝

備可以實(shí)現(xiàn)雙載氣配置。

5.7.靈敏度:

▲0.5ppm用5cb色譜柱測(cè)試，2ppm用PPU色譜柱測(cè)試

6.軟件系統(tǒng)：

6.1化學(xué)工作站軟件：WindowslO操作環(huán)境，色譜分析軟件包（應(yīng)包括：本機(jī)運(yùn)

行控制軟件，數(shù)據(jù)采集、分析、儲(chǔ)存及定性定量分析）；智能報(bào)表提供自定義報(bào)

表和計(jì)算，帶有觸摸屏系統(tǒng)，方便在線診斷以及數(shù)據(jù)查看。

第18頁(yè)共86頁(yè)

嘉興學(xué)院綠色生態(tài)與低碳能源技術(shù)中心（三期）?招標(biāo)文件

7：主機(jī)拓展要求：

7.1：后期可以增加不同分析通道，無(wú)需特殊改裝，最大可以實(shí)現(xiàn)四通道分析

7.2：可實(shí)現(xiàn)快速不同分析模塊更換

7.3：可實(shí)現(xiàn)不同反應(yīng)氣體檢測(cè)，無(wú)需手動(dòng)切換，可選擇流量選擇閥

7.配置要求：

7.1.氣相色譜儀主機(jī)系統(tǒng)帶有采樣泵1套

7.2通道一：微型TCD檢測(cè)器、10米MS5A帶反吹色譜柱集成模塊各1套以及安

裝附件

7.3通道二：微型TCD檢測(cè)器、10米PPU帶反吹色譜柱集成模塊各1套以及安

裝附件

7.4.在線過(guò)濾器濾膜10個(gè)

7.5.1/16英寸不銹鋼螺帽和密封圈一套10/包

7.61/16英寸三通，不銹鋼1套

7.7.安裝工具包1