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文檔簡介
建設(shè)項目環(huán)境影響報告表(污染影響類)項目名稱:集成電路晶圓級GoldBump封測生產(chǎn)線建設(shè)項目建設(shè)單位(蓋章):華天科技(江蘇)有限公司編制日期:2023年12月中華人民共和國生態(tài)環(huán)境部制 1 20 106 135 214 218 219表、、稱新建(遷建)改建技術(shù)改造注:備案中為新建項目,實際企業(yè)一期項目正在建設(shè)中,本項目為擴建項目不予批準后再次申報項目超五年重新審核項目重大變動重新報批項目(核準/備設(shè)是:專項評價類別設(shè)置原則本項目情況專項設(shè)置情況大氣排放廢氣含有毒有害污染物、二噁英、苯并[a]芘、氰化物、氯氣且廠界外500米范圍內(nèi)有環(huán)境空氣保護目標的建設(shè)項目不涉及無地表水新增工業(yè)廢水直排建設(shè)項目(槽罐車外送污水處理廠的除外新增廢水直排的污水集中處理廠不涉及無環(huán)境風(fēng)險有毒有害和易燃易爆危險物質(zhì)存儲量超過臨界量的建設(shè)項目本項目涉及的各類風(fēng)險物質(zhì)存儲量均小于臨界無量Q值小于1,不涉及風(fēng)險專項。生態(tài)取水口下游500米范圍內(nèi)有重要水生生物的自然產(chǎn)卵場、索餌場、越冬場和洄游通道的新增河道取水的污染類建設(shè)項目不涉及無海洋直接向海排放污染物的還有工程建設(shè)項目不涉及無注:1、廢氣中有毒有害污染物指納入《有毒有害大氣污染物名錄》的污染物(不包括無排放標準的污染物)。2、環(huán)境空氣保護目標指自然保護區(qū)、風(fēng)景名勝區(qū)、居住區(qū)、文化區(qū)和農(nóng)村地區(qū)中人群較集中的區(qū)域。3、臨界量及其計算方法可參考《建設(shè)項目環(huán)境風(fēng)險評價技術(shù)導(dǎo)則》(HJ169)附錄B、附錄C。規(guī)劃名稱:《南京江北新區(qū)橋林新城總體規(guī)劃(審查文件名稱及文號:《省生態(tài)環(huán)境廳關(guān)于南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃規(guī)劃時段:近期2015-2020年;遠期2021-2030定浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠近期處理規(guī)模為3萬m3/d,遠期處理規(guī)模為4污水管網(wǎng)規(guī)劃:東集污區(qū)污水收集沿浦烏公路敷設(shè)d12道路下敷設(shè)d400-d800污水管。西集污區(qū)污水收集沿云杉路、新星大道敷設(shè)d800-d1200污水主干管,其他道路下敷設(shè)d4產(chǎn)生的廢水分質(zhì)分類接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠及浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢2、與《南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2021-203年、遠期至2035年,主導(dǎo)產(chǎn)業(yè)為集成電京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2021本項目位置本項目位置本項目位置本項目位置③《南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2021-2035)環(huán)境影響報告書》審類別準入內(nèi)容相符性分析禁止引入類項目1.禁止引入與國家、地方現(xiàn)行產(chǎn)業(yè)政策相沖突的項2.禁止引入不符合《長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單指南》《江蘇省長江經(jīng)濟帶發(fā)展負面清單實施細則》《南京市建設(shè)項目環(huán)境準入暫行規(guī)定的通知》等要求的項目。膠粘劑等項目。本項目與國家及地方產(chǎn)業(yè)政策相符,本項目不使用高VOCs含量的涂料、油墨、膠黏劑等限制引入類項目1.限制引入《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2019年本)》《江蘇省工業(yè)和信息產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整限制淘汰目錄和能耗限額》中的限制類項目。2.限制引入污染治理措施達不到《揮發(fā)性有機物(VOCs)污染防治技術(shù)政策》《江蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機物污染控制南》等要求的項目。3.限制新(擴)建電鍍項目,確屬工藝需要、不能剝離電鍍工序的項目,需組織專家進行技術(shù)論證。本項目不屬于限制類項目,本項目廢氣經(jīng)治理后能滿足《揮發(fā)性有機物(VOCs)污蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機物污染控制指南》等要求。本項目已進行鍍工序不能剝離論證??臻g布局約束1.區(qū)內(nèi)永久基本農(nóng)田區(qū)域?qū)嵭袊栏癖Wo,確保其面積不減少、土壤環(huán)境質(zhì)量不下降,除法律規(guī)定的重點建設(shè)項目選址確實無法避讓外,其他任何項目不得占用。2.在瓊花湖河道兩岸設(shè)置一定寬度的綠化景觀帶:在蘭橋雅居居民安置小區(qū)西北向與工業(yè)區(qū)相鄰區(qū)域設(shè)置以道路、防護林為主要形式的空間防護帶,防護帶寬度原則上不小于50米,非生產(chǎn)型企業(yè)空間防護距離可以適當縮小,但不應(yīng)小于30米。3.區(qū)內(nèi)規(guī)劃的水域和防護綠地,禁止一切與環(huán)境保護功能無關(guān)的建設(shè)活動。本項目未占用基本農(nóng)田污染物排放管控1.環(huán)境質(zhì)量:大氣環(huán)境質(zhì)量達到《環(huán)境空氣質(zhì)量標準》二級標準、《環(huán)境影響評價技術(shù)導(dǎo)則大氣環(huán)境》(HJ2.2-2018)附錄D其他污染物空氣質(zhì)量濃度參考限值;石磧河和高旺河水環(huán)境質(zhì)量達《地表水環(huán)境環(huán)境質(zhì)量》Ⅲ類水標準;土壤達到《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)險管控標準(試行)》(GB36600-2018)篩選值中的第一類、第二類用地標準。2.總量控制:大氣污染物排放量:近期2025年:二氧化硫137.24噸/年、氮氧化物352.44噸/年、顆粒物238.29噸/年、氨氣5.73噸/年、異丙醇9.33噸/噸/年、氮氧化物380.58噸/年、顆粒物250.65噸/噸/年。水污染物排放量:近期2025年:化學(xué)需氧根據(jù)監(jiān)測數(shù)據(jù),石磧河水質(zhì)未達到Ⅲ類水標準。本項目污染物排放總量:大氣污染物排放量:異丙醇0.0222噸/年、VOCs1.2264噸/年,水污染物排放量:化學(xué)需氧量16.3155噸/年、氨氮0.1621噸/年、總氮0.6827、總磷0.0315噸/年。滿足規(guī)劃近期及遠期總量量243.69噸/年、氨氮29.6噸/年、總磷2.44噸/年、氟化物5.81噸/年、總銅1.94噸/年。遠期2035年:化學(xué)需氧量245.06噸/年、氨氮27.89噸/年、總磷2.45噸/年、氟化物5.21噸/年、總銅1.74噸/年。3.其他要求:提高污水處理廠再生水回用率,浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠近期20%、遠期30%,浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)污水處理廠遠期30%。環(huán)境風(fēng)險1.建立區(qū)域監(jiān)測預(yù)警系統(tǒng),實行聯(lián)防聯(lián)控。生產(chǎn)、使用、儲存危險化學(xué)品或其他存在環(huán)境風(fēng)險的企業(yè),應(yīng)當采取風(fēng)險防范措施,并根據(jù)要求編制環(huán)境風(fēng)險應(yīng)急預(yù)案,防止發(fā)生環(huán)境污染事故。2.加強布局管控。開發(fā)區(qū)內(nèi)部的功能布局應(yīng)充分考慮風(fēng)險源對區(qū)內(nèi)及周邊環(huán)境的影響,儲罐區(qū)、危廢倉庫應(yīng)遠離村鎮(zhèn)集中區(qū)、區(qū)內(nèi)人群聚集的辦公樓、周邊村莊及河流,且應(yīng)在規(guī)劃區(qū)的下風(fēng)向布局,以減少對其項目的影響;區(qū)內(nèi)不同企業(yè)風(fēng)險源之間應(yīng)盡量遠離,防止其中某一風(fēng)險源發(fā)生風(fēng)險事故引起其他風(fēng)險源爆發(fā)帶來的連鎖反應(yīng),降低風(fēng)險事故發(fā)生的范圍。本項目周邊無環(huán)境敏感目標,且具有完善的風(fēng)險防控措施,滿足風(fēng)險防控要求。建議企業(yè)編制環(huán)境風(fēng)險應(yīng)急預(yù)案,在總體調(diào)查、環(huán)境風(fēng)險評價的基礎(chǔ)上,對企業(yè)現(xiàn)有的突發(fā)環(huán)境事件預(yù)防措施、應(yīng)急裝備、應(yīng)急隊伍、應(yīng)急物資等應(yīng)急能力進行評估,明確進一步需求。資源開發(fā)利用1.水資源利用總量為2333萬噸/年。2.土地資源可利用總面積上線1976.5公頃,建設(shè)用地總面積上線1937.27公頃,工業(yè)用地及倉儲用地總面積上線1376.17公頃。3.能源利用上線為單位GDP綜合能耗0.31噸標煤/萬元。本項目新鮮水用量185330.5噸/年,用地面積169367平方米,滿足資源開發(fā)利用要求污染物已批復(fù)總量規(guī)劃總量本項目總量是否滿足總量控制近期遠期大氣污染物異丙醇7.6479.330.0222是VOCs114.13162.260.7666是生產(chǎn)廢水污染物化學(xué)需氧量185.43243.69245.0611.4047是氨氮29.627.890.5184是總磷2.442.450.1037是生活污水污染物化學(xué)需氧量185.43243.69245.066.3188是氨氮29.627.890.158是總磷2.442.450.0263是注:已批復(fù)總量來源于《江蘇省浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2021-2035)環(huán)境影響報告書》及其審查意見。因此,本項目與《江蘇省浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2021-2035)環(huán)境文件名稱相符性分析《產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄(2019年本)》“鼓勵類”中“二十八、信息產(chǎn)業(yè)”“19、集成電路設(shè)計,線寬0.8微米以下集成電路制造,及球柵陣列封裝(BGA)、插針網(wǎng)格陣列封裝(PGA)、芯片規(guī)模封裝(CSP)、多芯片封裝(MCM)、柵格陣列封裝(LGA)、系統(tǒng)級封裝(SIP)、倒裝封裝(FC)、晶圓級封裝(WLP)、傳感器封裝(MEMS)等先進封裝與測試”“20、集成電路裝備制造”本項目屬于鼓勵類《市場準入負面清單(2022年版)》禁止或許可準入類項目本項目不在該負面清單內(nèi)《長江經(jīng)濟帶發(fā)展行,2022年版)河段利用與岸線開發(fā)”、“區(qū)域活動”、“產(chǎn)業(yè)發(fā)展”所列禁止項目本項目不在該負面清單內(nèi)《南京市建設(shè)項目《南京市建設(shè)項目環(huán)境準入暫行規(guī)定》文件名稱相符性分析《江蘇省產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整限制、淘汰和禁止目錄》(蘇辦發(fā)〔2018〕32號)限制類和淘汰類項目本項目不屬于限制類和淘汰類項目《江蘇省限制用地項目目錄(2013)》限制用地項目目錄本項目不屬于限制用地項目目錄《江蘇省禁止用地項目目錄(2013)》禁止用地項目目錄本項目不屬于禁止用地項目目錄項目選址位于浦口項目選址位于浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)內(nèi)府認定的開發(fā)園區(qū)或工業(yè)集中區(qū)(為研發(fā)配套的組裝加工項目除外)。江南繞城公路內(nèi)不得新(擴、改)建工業(yè)生產(chǎn)項目(節(jié)能減排、清潔生產(chǎn)、安全除患以及為研發(fā)配套的組裝加工項目除外)。本項目不涉及城市清潔空氣廊道保護區(qū)(都市區(qū)生態(tài)廊道和城市通風(fēng)走廊)內(nèi),嚴控各類開發(fā)區(qū)擴園和新增成片新區(qū)建設(shè),嚴控大型構(gòu)筑物和排放廢氣的項目建設(shè)。本項目不涉及四大片區(qū)(金陵石化及周邊地區(qū)、梅山地區(qū)、大廠地區(qū)和長江二橋至三橋沿岸)不得新(擴)建工業(yè)項目(節(jié)能減排、清潔生產(chǎn)、安全除患和油品升級改造項目除外)及貨運碼頭。本項目不涉及本項目從事集成電本項目從事集成電路的封裝和測試,改)建化工生產(chǎn)項目(節(jié)能減排、清潔生產(chǎn)、不屬于化工生產(chǎn)項安全除患、油品升級改造和為區(qū)域配套的危不屬于化工生產(chǎn)項險廢物集中處置、氣體分裝、無化學(xué)反應(yīng)的工業(yè)氣體制造項目除外)。南京化工園禁止新(擴)建農(nóng)藥和染料中間體、光氣以及排放惡臭氣體且不能有效治理的化工項目,禁止新增限制類項目產(chǎn)能以及落后工藝和落后產(chǎn)品。玉帶片區(qū)從嚴控制化工生產(chǎn)項目。除六合紅山表面處理中心外,其他區(qū)域不得新(擴)建電鍍項目。確屬工藝需要、不能剝離電鍍工序的項目,需由環(huán)保部門會同經(jīng)濟主管部門組織專家技術(shù)論證,通過專家論證同意后方可審批建設(shè)。本項目從事集成電路的封裝和測試,涉及電鍍工序不可剝離,已經(jīng)組織專家進行技術(shù)論證,論證材料見附件。全市范圍內(nèi)不得新(擴)建燃燒原(散)煤、重油、石油焦等高污染燃料的設(shè)施和裝置。本項目不涉及秦淮河、滁河以及固城湖、石臼湖流域禁止新(擴)建釀造、制革等水污染重的項目,禁止新(擴)建工業(yè)生產(chǎn)廢水排水量大于1000噸/日的項目,禁止新(擴)建排放含汞、砷、鎘、鉻、鉛等重金屬以及持久性有機污染物的工業(yè)項目(六合紅山表面處理中心除外)。本項目選址位于浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū),不在上述范圍內(nèi)。本項目選址位于浦 在太湖流域范圍。太湖流域禁止建設(shè)為特征因子的工業(yè)口經(jīng)濟開發(fā)區(qū),不本項目選址位于浦 在太湖流域范圍。管控類別重點管控要求相符性分析長江流域加強生態(tài)空間保護,禁止在國家確定的生態(tài)保護紅線和永久基本農(nóng)田范圍內(nèi),投資建設(shè)除國家重大戰(zhàn)略資本項目不在國家確定的源勘查項目、生態(tài)保護修復(fù)和地質(zhì)災(zāi)害治理項目、重生態(tài)保護紅線和永久基空間大基礎(chǔ)設(shè)施項目、軍事國防項目以及農(nóng)民基本生產(chǎn)生本農(nóng)田范圍內(nèi)。布局活等必要的民生項目以外的項目。約束禁止在沿江地區(qū)新建或擴建化學(xué)工業(yè)園區(qū),禁止新建本項目不屬于石油加工、或擴建以大宗進口油氣資源為原料的石油加工、石油石油化工、基礎(chǔ)有機無機化工、基礎(chǔ)有機無機化工、煤化工項目;禁止在長江化工、煤化工項目,不新干流和主要支流岸線1公里范圍內(nèi)新建?;反a頭。建?;反a頭。本項目不屬于碼頭項目和過江干線通道項目。強化港口布局優(yōu)化,禁止建設(shè)不符合國家港口布局規(guī)本項目不屬于碼頭項目和過江干線通道項目?!督K省內(nèi)河港口布局規(guī)劃(2017—2035年)》的碼頭項目,禁止建設(shè)未納入《長江干線過江通道布局規(guī)劃》的過江干線通道項目。本項目不屬于獨立焦化本項目不屬于獨立焦化項目。污染物排放管控根據(jù)《江蘇省長江水污染防治條例》實施污染物總量控制制度。本項目實施污染物總量控制制度。全面加強和規(guī)范長江入河排污口管理,有效管控入河污染物排放,形成權(quán)責(zé)清晰、監(jiān)控到位、管理規(guī)范的長江入河排污口監(jiān)管體系,加快改善長江水環(huán)境質(zhì)量。本項目廢水接管污水處理廠,不直接排放。環(huán)境風(fēng)險防范沿江環(huán)境風(fēng)險。深化沿江石化、化工、醫(yī)藥紡織、印染、化纖、?;泛褪皖悅}儲、涉重金屬和危險廢物處置等重點企業(yè)環(huán)境風(fēng)險防控。本項目具有完善的風(fēng)險防控措施。(2)與《南京市“三線一單”生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控實施方案》相符性分析管控類別重點管控要求相符性分析江蘇省南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)空間布局約束(1)執(zhí)行規(guī)劃和規(guī)劃環(huán)評及其審查意見相關(guān)要求。(2)優(yōu)先引入:智能制造、集成電路、新能源汽車、新一代信息技術(shù)、智能交通、智能裝備制造、現(xiàn)代物流。(3)禁止引入:非環(huán)保類研發(fā)項目;不符合全國和省級港口布局規(guī)劃以及港口總體規(guī)劃的碼頭項目;不符合《長江干線過江通道布局規(guī)劃》的過江通道項目;露天和敞開式噴涂作業(yè)(除工藝有特殊要求外)。本項目從事集成電路的封裝與測試,屬于優(yōu)先引入項目,符合要污染物排放管控嚴格實施污染物總量控制制度,根據(jù)區(qū)域環(huán)境質(zhì)量改善目標,采取有效措施減少主要污染物排放總量,確保區(qū)域環(huán)境質(zhì)量持續(xù)改善。園區(qū)污染物排放總量按照規(guī)劃和規(guī)劃環(huán)評及其審查意見的要求進行管控。本項目實施污染物總量控制制度。環(huán)境風(fēng)險(1)園區(qū)建立環(huán)境應(yīng)急體系,完善事故應(yīng)急救援體系,加強應(yīng)急物資裝備儲備,編制突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案,定期開展演練。(2)生產(chǎn)、使用、儲存危險化學(xué)品或其他存在環(huán)境風(fēng)險的企事業(yè)單位,應(yīng)當制定風(fēng)險防范措施,編制完善突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案,防止發(fā)生環(huán)境污染事故。(3)加強環(huán)境影響跟蹤監(jiān)測,建立健全各環(huán)境要素監(jiān)控體系,完善并落實園區(qū)日常環(huán)境監(jiān)測與污染源監(jiān)控計劃。企業(yè)已制定風(fēng)險防范措施,建議企業(yè)編制完善突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案,防止發(fā)生環(huán)境污染事故。資源利用效率(1)引進項目的生產(chǎn)工藝、設(shè)備、能耗、污染物排放、資源利用等均須達到同行業(yè)先進水平。(2)按照國家和省能耗及水耗限額標準執(zhí)行。(3)強化企業(yè)清潔生產(chǎn)改造,推進節(jié)水本項目各資源利用效率較高。 要求型企業(yè)、節(jié)水型園區(qū)建設(shè),提高資源能源利用效率。環(huán)境質(zhì)量底線環(huán)境質(zhì)量底線項目相符性分析生態(tài)保護紅線本項目選址位于南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū),距離最近的國家級生態(tài)保護紅線范圍為東南6.8km處的橋林飲用水水源保護區(qū)(備用),距離最近的生態(tài)空間管控區(qū)域范圍為西北10km生態(tài)保護紅線生態(tài)管控區(qū)域和生態(tài)紅線保護范圍內(nèi),對生態(tài)環(huán)境影響小。根據(jù)《2022年南京市生態(tài)環(huán)境狀況公報》,2022年實況數(shù)據(jù)統(tǒng)計,南京市環(huán)境空氣質(zhì)量達到二級標準的天數(shù)為291天,同比減少9天,達標率為79.7%,同比下降2.5個百分點。其中,達到一級標準天數(shù)為85天,同比減少6天;未達到二級標準的天數(shù)為74天(其中,輕度污染71天,中度污染3天主要污染物為O3和PM2.5。各項污染物指標監(jiān)測結(jié)果:PM2.5年均值為28μg/m3,達標,同比下降3.4%;PM10年均值為51μg/m3,同空比下降8.9%,同比持平;NO2年均值為27μg/m3,達標,同比下降18.2%;氣SO2年均值為5μg/m3,達標,同比下降16.7%;CO日均濃度第95百分環(huán)位數(shù)為0.9mg/m3,達標,同比下降10.0%;O3日最大8小時值濃度170境μg/m3,超標率為0.06倍,同比上升1.2%。2022年南京市為大氣環(huán)境質(zhì)量不達標區(qū)。《南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2021-2035)環(huán)境影響報告書》顯示,根據(jù)2021年3月19日~3月25日引用監(jiān)測數(shù)據(jù),各監(jiān)測點,非甲烷總烴能夠滿足《大氣污染物綜合排放標準詳解》的標準限值,未突破環(huán)境質(zhì)量底線。本項目異丙醇、非甲烷總烴經(jīng)沸石+RTO后經(jīng)P1-3排氣筒達標排放,對大氣環(huán)境影響較小。根據(jù)《2022年南京市生態(tài)環(huán)境狀況公報》,全市水環(huán)境質(zhì)量持續(xù)優(yōu)良。納入江蘇省“十四五”水環(huán)境考核目標的42個地表水斷面水質(zhì)全部達標,水質(zhì)優(yōu)良(《地表水環(huán)境質(zhì)量標準》Ⅲ類及以上)比例為100%,無喪失使用功能(《地表水環(huán)境質(zhì)量標準》劣Ⅴ類)斷面。長江南京段干流水質(zhì)總體狀況為優(yōu),5個監(jiān)測斷面水質(zhì)均達到《地表水環(huán)境質(zhì)量標準》Ⅱ類標準。地表水全市18條省控入江支流中,年均水質(zhì)均達到《地表水環(huán)境質(zhì)量標準》Ⅲ類及以上,其中12條省控入江支流水質(zhì)為Ⅱ類,6條省控地表水根據(jù)《光大工業(yè)廢水處理南京有限公司浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠一W5、W6)、高旺河(W10)斷面監(jiān)測數(shù)據(jù)及相關(guān)結(jié)論,玉蓮河各監(jiān)測斷面,除COD超標,其余監(jiān)測因子均滿足《地表水環(huán)境質(zhì)量標準》(GB3838-2002)Ⅳ類標準要求。石磧河除COD超標,其余監(jiān)測因子均滿足《地表水環(huán)境質(zhì)量標準》(GB3838-2002)Ⅲ類標準要求。地下水三個地下水監(jiān)測點位中,D1、D2監(jiān)測點地下水中錳優(yōu)于《地下水質(zhì)量標準》(GB/T14848-2017)地下水聲項目區(qū)域聲環(huán)境質(zhì)量較好。土項目所在地土壤各監(jiān)測指標均能滿足《土壤環(huán)境質(zhì)量建設(shè)用地土壤污染風(fēng)壤險管控標準》(GB36600-2018)第二類用地的篩選值。資源利用上線本項目用水來自自來水管網(wǎng),用電由市政電網(wǎng)所供給,項目用地用途為工業(yè)用地,符合當?shù)赝恋匾?guī)劃要求,不會達到資源利用上限。負面清單本項目屬于《中共南京市委南京市人民政府關(guān)于優(yōu)化全市區(qū)域功能定位和產(chǎn)業(yè)布局的意見》(寧委發(fā)〔2016〕23號)中優(yōu)先開發(fā)區(qū)域,符合《關(guān)于印發(fā)長江保護修復(fù)攻堅戰(zhàn)行動計劃的通知》(環(huán)水體〔2018〕181號)的要求,不屬于《市政府關(guān)于印發(fā)南京市建設(shè)項目環(huán)境準入暫行規(guī)定的通知》(寧政發(fā)〔2015〕251)、《南京市制造業(yè)新增項目禁止和限制目錄(2018)版》(寧委辦發(fā)〔2018〕57號)中限制類項目;不屬于《市場準入負面清單(2022年版)》中禁止準入類項目,同時也不在許可準入清單以內(nèi)的行業(yè),對照清單,對市場準入負面清單以外的行業(yè)、領(lǐng)域、業(yè)務(wù)等,各類市場主體皆可依法平等進入,符合地區(qū)準入要求和其他相關(guān)要求。根據(jù)《南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開發(fā)建設(shè)規(guī)劃(2021-2035)環(huán)境影響報告書》,本項目不屬于限制類項目,廢氣經(jīng)治理后能滿足《揮發(fā)性有機物(VOCs)污染防治技術(shù)政策》《江蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機物污染控制指南》等要求,電鍍工序已做電鍍工序不可剝離論證報告。根據(jù)橋林新城規(guī)劃發(fā)展的重點產(chǎn)業(yè)優(yōu)先、限制、禁止發(fā)展項目清單,本項目屬于優(yōu)先發(fā)展的“集成電路的芯片制造、封裝測試、衛(wèi)星導(dǎo)航、大數(shù)據(jù)產(chǎn)業(yè)”,不在限制發(fā)展的項目類別內(nèi),不在禁止發(fā)展的“制革、化工、印染、釀造生產(chǎn)項目;使用非水性料、膠黏劑的項目;純電鍍項目;含重金屬、持久性有機物等有毒有害廢水達不到零排放的項目;禁止生產(chǎn)方式落后、高耗能、嚴重浪費資源和污染環(huán)境大的項目”。序號文件要求相符性分析1項目選址應(yīng)符合生態(tài)環(huán)境分區(qū)管控要求,不得位于法律法規(guī)明令禁止建設(shè)的區(qū)域,應(yīng)避開生態(tài)保護紅線。鼓勵新建、擴建項目選址布設(shè)在依法合規(guī)設(shè)立的產(chǎn)業(yè)園區(qū)內(nèi),符合園區(qū)規(guī)劃及規(guī)劃環(huán)境影響評價要求。本項目位于南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū),不在生態(tài)保護紅線內(nèi),符合《南京江北新區(qū)橋林新城總體規(guī)劃(2015-2030年)》等規(guī)劃要求。符合2強化節(jié)水措施,鼓勵再生水使用,減少新鮮水消耗,鼓勵清洗水回用,提高水的回用率和重復(fù)利用率。本項目冷卻水循環(huán)使用,切割、研磨廢水經(jīng)處理后部分回用于生產(chǎn)符合3鼓勵采用轉(zhuǎn)輪濃縮吸附燃燒裝置處理硅片有機洗、光刻、濕法去膠等工序產(chǎn)生的有機廢氣;應(yīng)采用噴淋吸收等有效措施處理襯底清洗、濕法刻蝕、濕法去膠、含氰電鍍等工序產(chǎn)生的氯化氫、氟化物、氮氧化物、硫酸霧、磷酸霧、氰化氫等酸性廢氣以及襯底清洗、顯影等工序產(chǎn)生的氨、胺類化合物等堿性廢氣;化學(xué)氣相本項目有機廢氣采?。?套沸石并聯(lián)+1套RTO)處理后通過30m高P1-3#排氣筒有組織排放,處理效率達90%;含氰廢氣采取堿液噴淋處理后通過30m高符合4567沉積、干法刻蝕、擴散、離子注入、熱氧化、干法去膠等工序產(chǎn)生的氟化物、氯氣、氯化氫、硅烷、磷化氫等特種廢氣,以及焊接工序產(chǎn)生的鉛及其化合物等涉重金屬焊接煙塵應(yīng)配置收集系統(tǒng)和凈化處理裝置,應(yīng)采用干式吸附等有效措施處理離子注入工序產(chǎn)生的含砷廢氣。重點關(guān)注氮氧化物、氯化氫、硫酸霧、氟化物、氯氣、揮發(fā)性有機物、氰化物、氨等特征污染物的達標排放情況。P2-1#排氣筒有組織排放,處理效率達80%。符合符合符合符合按照清污分流、雨污分流、分類收集、分質(zhì)處理的原則,設(shè)立完善的廢水分類收集、處理、回用系統(tǒng),提高水循環(huán)利用率,減少廢水外排量。生產(chǎn)廢水優(yōu)先回用。含氟廢水、含氨廢水、有機廢水、酸堿廢水、含重金屬廢水、含砷廢水等應(yīng)設(shè)立完善的廢水收集、處理、回用系統(tǒng)。鼓勵含重金屬廢水采用化學(xué)沉淀法預(yù)處理,砷化鎵芯片制造產(chǎn)生的含砷廢水采用過濾+化學(xué)沉淀法預(yù)處理;含氟廢水采用化學(xué)沉淀法預(yù)處理,含氨廢水采用吹脫法或厭氧氨氧化法預(yù)處理。根據(jù)生產(chǎn)工藝及廢水排放種類,重點關(guān)注氟化物、總氮、總砷、總磷、重金屬等特征因子的達標排放情況。本項目采取清污分流、雨污分流方式,分別單獨收集處理各生產(chǎn)工序的不同生產(chǎn)廢水,分類處置,最終進入綜合調(diào)節(jié)系統(tǒng),本項目不涉及砷化鎵、含氟廢水、含氨廢水等。按照減量化、資源化、無害化的原則,妥善處理處置固體廢物。危險廢物應(yīng)委托有相應(yīng)危廢處置資質(zhì)的單位進行處置。重點關(guān)注危險廢物種類識別是否遺漏。鼓勵通過綜合利用的方式實現(xiàn)固體廢物減量化,鼓勵廢硫酸階梯使用。危險廢物和一般工業(yè)固體廢物貯存應(yīng)符合《危險廢物貯存污染控制標準》(GB18597)、《一般工業(yè)固體廢物貯存和填埋污染控制標準》(GB18599)等相關(guān)要求。本項目不合格品由供應(yīng)商回收,一般固廢外售處置,危險廢物委托有資質(zhì)的單位處置。優(yōu)化高噪聲區(qū)域及設(shè)備如大宗氣站、動力站房、冷卻塔、風(fēng)機、空壓機、鍋爐等廠區(qū)平面布置,優(yōu)先選擇低噪聲設(shè)備和工藝,采取減振、隔聲、消聲等措施有效控制噪聲污染,加強廠區(qū)內(nèi)固定設(shè)備、運輸工具、貨物裝卸等噪聲源管理,同時避免突發(fā)噪聲擾民。廠界噪聲應(yīng)滿足《工業(yè)企業(yè)廠界環(huán)境噪聲排放標準》(GB12348)要求。位于噪聲敏感建筑物集中區(qū)域的改建、擴建項目,應(yīng)強化噪聲污染防治措施,進一步降低噪聲影響。本項目選擇低噪聲設(shè)備和工藝,合理布置廠區(qū)平面布置。嚴格防控項目環(huán)境風(fēng)險,建立完善的環(huán)境風(fēng)險防控體系,提升環(huán)境風(fēng)險防控能力,確保環(huán)境風(fēng)險防范和應(yīng)急措施合理、有效。針對項目可能產(chǎn)生的突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)制定有效的風(fēng)險防范和應(yīng)急措施,提出運行期突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案編制要求?;瘜W(xué)品庫、化學(xué)品供應(yīng)間等化學(xué)品存儲區(qū)應(yīng)設(shè)置事故廢水收集或應(yīng)急儲存設(shè)施,以及采取其他防液體流散措施。應(yīng)計算氯氣、砷化氫、磷化氫等有毒有害氣體的泄漏影企業(yè)已制定風(fēng)險防范措施,建議企業(yè)編制完善突發(fā)環(huán)境事件應(yīng)急預(yù)案,防止發(fā)生環(huán)境污染事故。響范圍并提出環(huán)境風(fēng)險防范和應(yīng)急措施。8土壤及地下水污染防治應(yīng)堅持源頭控制、分區(qū)防控、跟蹤監(jiān)測和應(yīng)急響應(yīng)的防控原則。項目應(yīng)對涉及有毒有害物質(zhì)的生產(chǎn)、使用、貯存、運輸、回收、處置、排放的裝置、設(shè)備設(shè)施及場所,提出防腐蝕、防滲漏、防流失、防揚散等土壤和地下水污染防治具體措施,并根據(jù)環(huán)境保護目標的敏感程度、項目平面布局、水文地質(zhì)條件等采取分區(qū)防滲措施,提出有效的土壤、地下水監(jiān)控和應(yīng)急方案,避免污染土壤和地下水。對于可能受影響的地下水環(huán)境敏感目標,應(yīng)提出保護措施;涉及飲用水功能的,強化地下水環(huán)境保護措施,確保飲用水安全。涉及土壤污染重點監(jiān)管單位的新建、改建、擴建項目,需提出土壤污染隱患排查、土壤和地下水自行監(jiān)測相關(guān)要求。本項目危廢倉庫、化學(xué)品庫及廢水處理裝置等位置均采取合理的分區(qū)防滲措施并建設(shè)應(yīng)急事故池,正常狀況下無地下水、土壤污染途徑,且周邊200m范圍內(nèi)無地下水、土壤環(huán)境保護目標,本項目引用《集成電路晶圓級先進封測生產(chǎn)線建設(shè)項目》南京泓泰環(huán)境檢測有限公司對地下水及土壤環(huán)境的現(xiàn)狀監(jiān)測。監(jiān)測時間為符合9改建、擴建項目應(yīng)全面梳理現(xiàn)有工程存在的環(huán)保問題或減排潛力,提出有效整改或改進措施。原項目正在建設(shè)中,有機廢氣處理系統(tǒng)、廢水處理系統(tǒng)依托于原項目,新建一座堿液噴淋含氰廢氣處理系統(tǒng)符合明確項目實施后的環(huán)境管理要求和環(huán)境監(jiān)測計劃。根據(jù)自行監(jiān)測技術(shù)指南和排污許可證申請與核發(fā)技術(shù)規(guī)范要求,制定廢水、廢氣污染物排放及廠界噪聲監(jiān)測計劃并開展監(jiān)測,監(jiān)測位置應(yīng)符合技術(shù)規(guī)范要求。排放全氟辛酸及其鹽類和相關(guān)化合物(PFOA類)等新污染物的土壤污染重點監(jiān)管單位,還應(yīng)依法依規(guī)制定周邊環(huán)境監(jiān)測計劃。電子工業(yè)污水集中處理設(shè)施運營企業(yè)應(yīng)按照《電子工業(yè)水污染物排放標準》(GB39731)開展廢水綜合毒性監(jiān)測。本項目制定了相關(guān)的環(huán)境管理要求和環(huán)境監(jiān)測計劃,廢水各項排放指標應(yīng)滿足《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放標準》(DB32/3747-2020)中相關(guān)標準。符合序號文件要求相符性分析1第十五條排放揮發(fā)性有機物的生產(chǎn)經(jīng)營者應(yīng)當履行防治揮發(fā)性有機物污染的義務(wù),根據(jù)國家和省相關(guān)標準以及防治技術(shù)指南,采用揮發(fā)性有機物污染控制技術(shù),規(guī)范操作規(guī)程,組織生產(chǎn)經(jīng)營管理,確保揮發(fā)性有機物的排放符合相應(yīng)的排放標準。本項目產(chǎn)生的有機廢氣采用沸石+RTO工藝進行處理,滿足排放標準后排放。符合本項目車間有機廢氣產(chǎn)生點均設(shè)置收集系統(tǒng),收集后的廢本項目車間有機廢氣產(chǎn)生點均設(shè)置收集系統(tǒng),收集后的廢氣再經(jīng)沸石+RTO處理達標后有組織排放;危廢庫產(chǎn)生的有符合2動應(yīng)當在密閉空間或者密閉設(shè)備中進行。生產(chǎn)場所、生產(chǎn)設(shè)備應(yīng)當按照環(huán)境保護和安全生產(chǎn)等要求設(shè)計、安裝和有效運行揮發(fā)性有機物回收或者凈化設(shè)施;固體廢物、廢水、廢氣處理系統(tǒng)產(chǎn)生的廢氣應(yīng)當收集和處理;含有揮發(fā)性有機物的物料應(yīng)當密閉儲存、運輸、裝卸,禁止敞口和露天放置。無法在密閉空間進行的生產(chǎn)經(jīng)營活動應(yīng)當采取有效措施,減少揮發(fā)性有機物排放量。機廢氣收集與車間有機廢氣一起處理后排放。②與《江蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機物污染控制指南》(蘇環(huán)辦〔2劑、顯影劑、光刻膠、蝕刻液等環(huán)保材料,減少VOCs污染物的產(chǎn)生量。2、對式處理?!闭埮c核發(fā)技術(shù)規(guī)范電子工業(yè)》(HJ1031-2019)推薦的吸附濃縮),達95%以上。因此本項目符合《江蘇省重點行業(yè)揮發(fā)性有機物污染控制指南》③與《關(guān)于進一步加強涉VOCs建設(shè)項目環(huán)評文件審批有關(guān)要求的通知》序號文件要求相符性分析1嚴格標準審查環(huán)評審批部門按照審批權(quán)限,嚴格排放標準審查。有行業(yè)標準的嚴格執(zhí)行行業(yè)標準,無行業(yè)標準的應(yīng)執(zhí)行國家、江蘇省相關(guān)排放標準,鼓勵參照天津市《工業(yè)企業(yè)揮發(fā)性有機本項目污染物的排放執(zhí)行《半導(dǎo)體行業(yè)污染物排放《大氣污染物綜合排放標準》(DB32/4041-2021)。符合234物排放控制標準》(DB12/524-2020)等標準中最嚴格的標準。VOCs無組織排放執(zhí)行《揮發(fā)性有機物無組織排放控制標準》(GB37822-2019)及《大氣污染物綜合排放標準》(DB32/4041-2021),并執(zhí)行廠區(qū)內(nèi)VOCs特別排放限值。符合符合符合嚴格總量審查市生態(tài)環(huán)境局、各派出局總量管理部門嚴格排放總量審查(含各行政審批局負責(zé)審批的建設(shè)項目)。VOCs排放量優(yōu)先采用國家大氣源清單統(tǒng)計數(shù)據(jù)。涉新增VOCs排放(含有組織、無組織排放)的建設(shè)項目,在環(huán)評文件審批前應(yīng)取得排放總量指標,并實施2倍削減替代。對未完成VOCs總量減排任務(wù)的區(qū)(園區(qū)),暫緩其涉新增VOCs,排放的建設(shè)項目審批。本次環(huán)評在審批前已經(jīng)完成VOCs的平衡總量指標。全面加強源頭替代審查環(huán)評文件應(yīng)對主要原輔料的理化性質(zhì)、特性等進行詳細分析,明確涉VOCs的主要原輔材料的類型、組分、含量等。使用涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等材料的,VOCs含量應(yīng)滿足國家及省VOCs含量限值要求(附表),優(yōu)先使用水性、粉末、高固體分、無溶劑、輻射固化等低VOCs含量、低反應(yīng)活性材料,源頭控制VOCs產(chǎn)生。禁止審批生產(chǎn)和使用高VOCs含量的涂料、油墨、膠粘劑、清洗劑等建設(shè)項目。由于晶圓對清洗工藝要求高,目前半導(dǎo)體行業(yè)清洗劑基本以溶劑型為主,暫時未研發(fā)出可替代的水性清洗劑。企業(yè)在生產(chǎn)過程采用先進工藝和設(shè)備,實現(xiàn)設(shè)備、從源頭減少VOCs泄漏環(huán)節(jié),可減少物料損耗,認真落實各項污染防治措施,減少污染物排放?!肚逑磩]發(fā)性有機化合物含量限值》(GB38508-2020)中明確:“本標準不適用于航空航天,核工業(yè)、軍工、半導(dǎo)體(含集成電路)制造用清洗集成電路)制造,故本項目使用的有機清洗劑不執(zhí)行該標準。全面加強無組織排放控制審查涉VOCs無組織排放的建設(shè)項目,環(huán)評文件應(yīng)嚴格按照《揮發(fā)性有機物無組織排放標準》及《大氣污染物綜合排放標準》(DB32/4041-2021)等有關(guān)要求,重點加強對含VOCs物料儲存、轉(zhuǎn)移和輸送、設(shè)備與管線組件泄漏、敞開液面逸散以及工藝過程等5類排放源的VOCs管控評價,詳細描述采取的VOCs廢氣無組織控制措施,充分論證其可行性和可靠性,不得采用密閉收集、密閉儲存等簡單、籠統(tǒng)性文字進行描述。生產(chǎn)流程中涉及VOCs的生產(chǎn)環(huán)節(jié)和服務(wù)活動,在符合安全要求前提下,應(yīng)按要求在密閉空間或者設(shè)備中進行。無法密閉的,應(yīng)采本項目涉及VOCs無組織排放,主要是工藝廢氣的未能收集部分及危廢庫內(nèi)危險廢物的揮發(fā)。本次工藝廢氣產(chǎn)生點均采用微負壓方式收集,收集效率可達90%以上。56取措施有效減少廢氣排放,并科學(xué)設(shè)計廢氣收集系統(tǒng)。采用全密閉集氣罩或密閉空間的,除行業(yè)有特殊要求外,應(yīng)保持微負壓狀態(tài),并根據(jù)規(guī)范合理設(shè)置通風(fēng)量。采用局部集氣罩的,距集氣罩開口面最遠處的VOCs無組織排放位置,控制風(fēng)速應(yīng)不低于0.3米/秒。VOCs廢氣應(yīng)遵循“應(yīng)收盡收、分質(zhì)收集”原則,收集效率應(yīng)原則上不低于90%,由于技術(shù)可行性等因素確實達不到的應(yīng)在環(huán)評文件中充分論述并確定收集效率要求。加強載有氣態(tài)、液態(tài)VOCs物料的設(shè)備與管線組件的管理,動靜密封點數(shù)量大于等于2000個的建設(shè)項目,環(huán)評文件中應(yīng)明確要求按期開展“泄漏檢測與修復(fù)”(LDAR)工作,嚴格控制跑冒滴漏和無組織泄漏排放。符合符合全面加強末端治理水平審查涉VOCs有組織排放的建設(shè)項目,環(huán)評文件應(yīng)強化含VOCs廢氣的處理效果評價,有行業(yè)要求的按相關(guān)規(guī)定執(zhí)行。項目應(yīng)按照規(guī)范和標準建設(shè)適宜、合理、高效的VOCs治理設(shè)施。單個排口VOCs(以非甲烷總烴計)初始排放速率大于1kg/h的,處理效率原則上應(yīng)不低于90%,由于技術(shù)可行性等因素確實達不到的,應(yīng)在環(huán)評文件中充分論述并確定處理效率要求。非水溶性的VOCs廢氣禁止采用單一的水或水溶液噴淋吸收處理。除惡臭異味治理外,不得采用低溫等離子、光催化、光氧化、生物法等低效處理技術(shù)。環(huán)評文件中應(yīng)明確,VOCs治理設(shè)施不設(shè)置廢氣旁路,確因安全生產(chǎn)需要設(shè)置的,采取鉛封、在線監(jiān)控等措施進行有效監(jiān)管,并納入市生態(tài)環(huán)境局VOCs治理設(shè)施旁路清單。不鼓勵使用單一活性炭吸附處理工藝。采用活性炭吸附等吸附技術(shù)的項目,環(huán)評文件應(yīng)明確要求制定吸附劑定期更換管理制度,明確安裝量(以千克計)以及更換周期,并做好臺賬記錄。吸附后產(chǎn)生的危險廢物,應(yīng)按要求密閉存放,并委托有資質(zhì)單位處置。鼓勵實施集中處置。各區(qū)(園區(qū))應(yīng)加強統(tǒng)籌規(guī)劃,對同類項目相對較為集中的區(qū)域(同一個街道或者毗鄰街道同類企業(yè)超過10家的鼓勵建設(shè)集中噴涂、溶劑集中回收、活性炭集中再生等VOCs廢氣集中處置中心,實現(xiàn)集中生產(chǎn)、集中管理、集中治污。本次環(huán)評已在措施章節(jié)分析了措施可行性論述。根據(jù)工程分析,本項目生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有機廢氣采用沸石轉(zhuǎn)輪+RTO工藝對有機廢氣進行處理,有機廢氣凈化效率可達90%。本項目危廢庫有機廢氣收集后與生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的有機廢氣一起處理后排放,有機廢氣凈化效率≥95%。全面加強臺賬管理制度審查涉VOCs排放的建設(shè)項目,環(huán)評文件中應(yīng)明確要求規(guī)范建立管理臺賬,記錄主要產(chǎn)品產(chǎn)量等基本生產(chǎn)信息;含VOCs原輔材料名稱及其VOCs含量(使用說明書、物質(zhì)安全說環(huán)評報告中已明確要求企業(yè)做好VOCs管理臺賬,臺賬保存期限不少于五年。明書MSDS等采購量、使用量、庫存量及廢棄量,回收方式及回收量等;VOCs治理設(shè)施的設(shè)計方案、合同、操作手冊、運維記錄及其二次污染物的處置記錄,生產(chǎn)和治污設(shè)施運行的關(guān)鍵參數(shù),廢氣處理相關(guān)耗材(吸收劑、吸附劑、催化劑、蓄熱體等)購買處置記錄;VOCs廢氣監(jiān)測報告或在線監(jiān)測數(shù)據(jù)記錄等,臺賬保存期限不少于五年。7嚴格項目建設(shè)期間污染防治措施審查在項目建設(shè)過程中涉及使用涂料、油漆、膠黏劑、油墨、清洗劑等含VOCs產(chǎn)品的,環(huán)評文件中應(yīng)明確要求企業(yè)優(yōu)先使用符合國家、省和本市要求的低(無)VOCs含量產(chǎn)品。同時,鼓勵企業(yè)積極響應(yīng)政府污染預(yù)測預(yù)警,執(zhí)行夏季臭氧污染錯時作業(yè)等要求。由于行業(yè)特殊性,半導(dǎo)體行業(yè)使用的溶劑型清洗劑暫時不可替代,企業(yè)將提高過程控制與末端治理力度,將污染影響降至最低程度。符合項目的建設(shè)與《關(guān)于進一步加強涉VOCs建設(shè)項目環(huán)評文件審批有關(guān)要求的通①與《關(guān)于進一步加強重金屬污染防控的意見》(環(huán)固體〔2022〕17號)),評和行業(yè)環(huán)境準入管控要求。因此,本項目的建設(shè)符合環(huán)固體〔2022〕17號要②《關(guān)于進一步加強重金屬污染防控工作的實施方案》(蘇環(huán)辦〔2022〕為總量替代來源的還應(yīng)載明出讓量和出讓去向。到2華天科技是我國集成電路封測行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè),產(chǎn)業(yè)規(guī)模位列國內(nèi)第二戶要求及行業(yè)技術(shù)標準和規(guī)范,為客戶提供專業(yè)的集成電路封裝測試服務(wù)。類、基板類、晶圓級等從低端到高端300億只/年的集成電路封測能力。公華天科技(江蘇)有限公司于2023年3月編制了《集成電路晶圓級先根據(jù)《建設(shè)項目環(huán)境影響評價分類管理名錄(2021年版)》(生態(tài)環(huán)術(shù)人員進行現(xiàn)場踏勘,同時根據(jù)項目的工程特征和項目建設(shè)區(qū)域的環(huán)境狀表2-1-1本項目產(chǎn)品方案一覽表序號生產(chǎn)車間工程名稱產(chǎn)品名稱及規(guī)格設(shè)計能力年運行時數(shù)1生產(chǎn)廠房1GoldBump生產(chǎn)線GoldBump24萬片7920h表2-1-2本項目擴建后全廠產(chǎn)品方案序號生產(chǎn)車間工程名稱產(chǎn)品名稱及規(guī)格設(shè)計能力年運行時數(shù)擴建前變化量擴建后1生產(chǎn)廠房1Bumping生產(chǎn)線Bumping84萬片084萬片7920h2生產(chǎn)廠房1WLCSP生產(chǎn)線WLCSP24萬片024萬片7920h3生產(chǎn)廠房1GoldBump生產(chǎn)線GoldBump024萬片24萬片7920h表2-1-3本項目鍍種方案一覽表產(chǎn)品鍍種GoldBump晶圓尺寸單個晶圓的鍍點數(shù)量單個鍍點面積6780406μm2總面積3013.755m2(24萬片)金密度19.37g/cm3氰化亞金鉀中金含量68.367%氰化亞金鉀濃度99.9%厚度表2-1-4本項目建設(shè)內(nèi)容一覽表類別建設(shè)項目工程內(nèi)容及規(guī)模備注主體工程生產(chǎn)廠房1丙類一級廠房,占地面積19693.52m2,3F,建筑高度為27.05m,依托一層為非潔凈的生產(chǎn)支持區(qū)擴建GoldBump生產(chǎn)線;生產(chǎn)支持區(qū)主要包含空調(diào)機房、變配電站、空壓站等依托原項目廠房,1層新建GoldBump生產(chǎn)線。生產(chǎn)測試樓丁類二級廠房,占地面積2400m2(100m×24m),8F,建筑高度為31.95m,用于辦公、測試。依托原項目甲類倉庫占地面積720m2,1F,位于廠區(qū)西側(cè)依托原項目乙類倉庫占地面積1800m2,3F,位于廠區(qū)西側(cè)依托原項目危廢倉庫本項目擴建一座危廢庫80m2,位于甲類倉庫;用于存放危廢新建倉庫本項目新建一座倉庫,分為原料區(qū)和成平區(qū),用于堆放本項目的晶圓等原料及產(chǎn)品成品的展示,建筑面積50000m2新建公輔工程給水系統(tǒng)自來水由市政自來水管網(wǎng)供給,本項目新增用水量:185330.5t/a依托原項目供水系統(tǒng)排水系統(tǒng)廠區(qū)實施雨污分流、污污分流。生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)污水處理站預(yù)處理后,部分回用,剩余接管南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠集中處理;食堂污水經(jīng)隔油后,與其他生活污水一起經(jīng)化糞池預(yù)處理后,與純水制備尾水、循環(huán)冷卻水、鍋爐用水一起接管南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠集中處理。本項目新增生產(chǎn)廢水:103679t/a,生活污水、純水制備尾水、循環(huán)冷卻水及鍋爐用水:52657t/a。依托原項目供電系統(tǒng)電源引自浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)橋林園區(qū)變電站及廠內(nèi)110kV變電站。本項目新增用電量:5000萬度/年。依托原項目循環(huán)冷卻系統(tǒng)循環(huán)冷卻系統(tǒng)為間接冷卻,總循環(huán)水量13600t/h,補水為自來水。循環(huán)冷卻水與生活污水一起排入南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠。工藝循環(huán)冷卻水:每棟廠房設(shè)置獨立的工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng),總循環(huán)量1000t/h,系統(tǒng)形式采用密閉式系統(tǒng),板式換熱器換熱。常溫循環(huán)冷卻水:12600t/h,該系統(tǒng)為冷凍機和空壓機提供32-38℃的常溫循環(huán)冷卻水系統(tǒng)。配套1000m3的循環(huán)水池。本項目循環(huán)冷卻系統(tǒng)依托于原項目,本項目設(shè)備所需總循環(huán)水量為1020t/h。原項目設(shè)備所需總循環(huán)水量為9600t/h。本項目擴建后全廠設(shè)備所需的循環(huán)水量為10620t/h,原項目循環(huán)系統(tǒng)設(shè)計循環(huán)量為13600t/h,故本項目依托于原項目循環(huán)系統(tǒng)可行。動力中心,丁類二級廠房,-1/3F,建筑高度為23.3m地下一層為生產(chǎn)和消防水泵房、廢水站、消防水池、生產(chǎn)水池;地上一層為純水站,二、三層為動力站,包含變配電室、冷機、氣體動力等,動力站屋面放置為工業(yè)型冷卻塔。依托原項目壓縮空氣采用水冷離心式空壓機,提供無油壓縮空氣??諝饨?jīng)預(yù)過濾器過濾,由空壓機壓縮后進入壓縮熱吸附式干燥器干燥后,再進過濾器過濾,經(jīng)壓縮空氣緩沖罐供給各生產(chǎn)廠房。5臺,總設(shè)計能力為430Nm3/min依托原項目冷水機組在動力站二、三樓設(shè)置低溫冷水機(7℃)、中溫冷水機(14℃)及中溫?zé)峄厥諜C,供應(yīng)各建筑空調(diào)及工藝使用。依托原項目純水站純水設(shè)備主要包括砂濾器、活性炭過濾器、一級RO反滲透機組、二級RO反滲透機組、EDI系統(tǒng)等。純水管路采用主管循環(huán)供回水系統(tǒng)。原項目2臺100t/h純水機,純水制備得率0.75。本項目新增純水用量133305t/a(16.8t/h)。本項目設(shè)計新增1臺純水機本項目新增1臺純水機真空系統(tǒng)工藝真空系統(tǒng)真空站設(shè)置在動力站三層。工藝真空度660mmHg。廠房真空站采用噴油螺桿式真空泵,采用n+1配置方式。24000m3/h依托原項目供熱系統(tǒng)主要作為生產(chǎn)廠房初期回收熱源不足時補充熱源使用,當產(chǎn)能達50%回收熱源充足時,熱水鍋爐即停止僅當作緊急備援使用。4.2MW×2臺,熱水鍋爐依托原項目大宗氣站制氮站采用空分制氮。提供氮氣,氮氣純度99.999%,制氮站配套液氮緩沖罐和液氮儲存罐。3000Nm3/h×1臺原項目氮氣用量為40L×100瓶,4Nm3,本項目氮氣用量為40L×50瓶,2Nm3,故本項目依托原項目制氮站可天然氣來自市政天然氣管道。職工食堂采用天然氣,用量108000m3/a。食堂配套26個灶頭。本項目不新增天然氣用量依托原項目倒班樓1建筑的二層~六層為主要的倒班樓層,并設(shè)置活動室、洗衣房等生活輔助用房。占地面積1321.97m2,6F依托原項目倒班樓5建筑的二層~十四層為主要的倒班樓層,并設(shè)置活動室、洗衣房等生活輔助用房。占地面積1829.28m2,2/14F依托原項目食堂占地面積2624m2,6F依托原項目共設(shè)置2個門衛(wèi)室,占地面積分別為15m2、180m2,1F依托原項目初期雨水池設(shè)置三座初期雨水池及配套收集管網(wǎng),共計2339m3,1#初期雨水池位于食堂南側(cè),容積574m3;2#初期雨水池位于生產(chǎn)測試樓東側(cè),容積227m3;3#初期雨水池位于生產(chǎn)測試樓東側(cè),容積1538m3依托原項目環(huán)保工程廢氣①項目含氰廢氣經(jīng)堿液噴淋處理后通過30m高P2-1#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)有組織排放,風(fēng)機風(fēng)量為47000m3/h。②GoldBump生產(chǎn)線涂布、曝光、光刻膠去除等工序產(chǎn)生的有機廢氣經(jīng)收集后通過管道引至樓頂,利用有機廢氣處理系統(tǒng)(3套沸石并聯(lián)+1套RTO)處理后通過30m高P1-3#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)排放,風(fēng)機風(fēng)量為7000m3/h×3;本項目僅涉及含氰廢氣和有機廢氣,含氰廢氣新建一套堿液噴淋處理系統(tǒng),風(fēng)機風(fēng)量為47000m3/h,處理后通過P2-1#排氣筒排放;有機廢氣依托于原項目,P1-3#排氣筒風(fēng)機風(fēng)量由原項目6000m3/h×3增加至7000m3/h×3。廢水含氰廢水先進入含氰廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為240t/d)處理后進入其他重金屬廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為1460t/d其他重金屬廢水進入其他重金屬廢水處理系統(tǒng)處理后進入一般、酸堿、有機廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為2222t/d)處理后進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為3600t/d)處理達標后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠;廢水處理設(shè)施均依托于原項目固廢處置生活垃圾垃圾桶若干,環(huán)衛(wèi)清運依托原項目一般工業(yè)固廢480m2,位于廠區(qū)西南側(cè)甲類倉庫依托于原項目固廢庫。原項目固廢產(chǎn)生量為418.264t/a+300片,本項目固廢產(chǎn)生量為0.101t/a+100片,按1m2可暫存1t計算,項目固廢每個月處置,本項目依托原項目固廢庫可行。危險廢物新增1座80m2危廢庫,位于廠區(qū)西南側(cè)甲類倉庫新增1座危廢庫應(yīng)急事故消防水池室外消防水箱一座,846m3,位于生產(chǎn)測試樓依托原項目應(yīng)急事故池兩座應(yīng)急池及配套收集管網(wǎng),共計1500m3;位于動力站房負一層依托原項目表2-1-5本項目建成后全廠建設(shè)內(nèi)容類別建設(shè)項目工程內(nèi)容及規(guī)模備注擴建前情況本次擴建情況擴建后全廠情況主體工程生產(chǎn)廠房1丙類一級廠房,占地面積19693.52m2,3F,高度為27.05m,一層為非潔凈的生產(chǎn)支持區(qū)及潔凈Bumping生產(chǎn)車間;二、三層為非潔凈的生產(chǎn)支持區(qū)及潔凈WLCSP生產(chǎn)車間;生產(chǎn)支持區(qū)主要包含空調(diào)機房、變配電站、空壓站等。一層閑置區(qū)域擴建GoldBump生產(chǎn)線。3F,高度為27.05m,一層為非潔凈的生產(chǎn)支持區(qū)及潔凈Bumping及GoldBump生產(chǎn)車間;二、三層為非潔凈的生產(chǎn)支持區(qū)及潔凈WLCSP生產(chǎn)車間;生產(chǎn)支持區(qū)主要包含空調(diào)機房、變配電站、空壓站等。依托原項目廠房,1層新建GoldBump生產(chǎn)線。生產(chǎn)測試樓丁類二級廠房,占地面積2400m2(100m×24m),8F,建筑高度為31.95m,用于辦公、測試。/丁類二級廠房,占地面積2400m2(100m×24m),8F,建筑高度為31.95m,用于辦公、測試。依托原項目甲類倉庫占地面積720m2,1F,位于廠區(qū)西側(cè),本期項目部分原輔料位于甲類倉庫/占地面積720m2,1F,位于廠區(qū)西側(cè)依托原項目乙類倉庫占地面積1800m2,3F,位于廠區(qū)西側(cè),本期項目部分原輔料位于乙類倉庫/占地面積1800m2,3F,位于廠區(qū)西側(cè)依托原項目危廢倉庫240m2,位于甲類倉庫;用于存放危廢本項目擴建一座危廢庫80m2,位于甲類倉庫;用于存放危廢兩座危廢庫,面積分別為240m2,80m2,均位于廠區(qū)西南側(cè)甲類倉庫新建一座危廢庫80m2倉庫/本項目新建一座倉庫,用于堆放晶圓等原料及面積50000m2,分為原料區(qū)和成品區(qū)用于堆放晶圓等原料及產(chǎn)品成品的展新建產(chǎn)品成品的展示,共50000m2示公輔工程給水系統(tǒng)自來水由市政自來水管網(wǎng)供給,2812208t/a自來水由市政自來水管網(wǎng)供給,185330.5t/a自來水由市政自來水管網(wǎng)供給,2997538.5t/a依托原項目供水系統(tǒng)排水系統(tǒng)廠區(qū)實施雨污分流、污污分流。生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)污水處理站預(yù)處理后,部分回用,剩余接管南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠集中處理;食堂污水經(jīng)隔油后,與其他生活污水一起經(jīng)化糞池預(yù)處理后接管南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠集中處理。生產(chǎn)廢水:891442t/a生活污水、純水制備尾水、循環(huán)冷卻水及鍋爐用水:662372t/a。廠區(qū)實施雨污分流、污污分流。生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)污水處理站預(yù)處理后,部分回用,剩余接管南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠集中處理;食堂污水經(jīng)隔油后,與其他生活污水一起經(jīng)化糞池預(yù)處理后,與純水制備尾水、循環(huán)冷卻水、鍋爐用水一起接管南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠集中處理。本項目新增生產(chǎn)廢水:103679t/a,生活污水、純水制備尾水、循環(huán)冷卻水及鍋爐用水:52657t/a。廠區(qū)實施雨污分流、污污分流。生產(chǎn)廢水經(jīng)廠內(nèi)污水處理站預(yù)處理后,部分回用,剩余接管南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠集中處理;食堂污水經(jīng)隔油后,與其他生活污水一起經(jīng)化糞池預(yù)處理后,與純水制備尾水、循環(huán)冷卻水、鍋爐用水一起接管南京浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠集中處理。全廠生產(chǎn)廢水:992241t/a,生活污水、純水制備尾水、循環(huán)冷卻水及鍋爐用水:715029t/a。依托原項目供電系統(tǒng)電源引自浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)橋林園區(qū)變電站及廠內(nèi)110kV變電站。12441.60萬度/年。電源引自浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)橋林園區(qū)變電站及廠內(nèi)110kV變電站。5000萬度/年。電源引自浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)橋林園區(qū)變電站及廠內(nèi)110kV變電站。17441.60萬度/年。依托原項目循環(huán)冷卻系統(tǒng)循環(huán)冷卻系統(tǒng)為間接冷卻,總循環(huán)水量13600t/h,補水為自來水。工藝循環(huán)冷卻水:每棟廠房設(shè)置獨立的工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng),總循環(huán)量1000t/h,系統(tǒng)/循環(huán)冷卻系統(tǒng)為間接冷卻,總循環(huán)水量13600t/h,補水為自來水。工藝循環(huán)冷卻水:每棟廠房設(shè)置獨立的工藝循環(huán)冷卻水系統(tǒng),總循環(huán)量本項目循環(huán)冷卻系統(tǒng)依托于原項目,本項目設(shè)備所需總循環(huán)水量為1020t/h。形式采用密閉式系統(tǒng),板式換熱器換熱。常溫循環(huán)冷卻水:12600t/h,該系統(tǒng)為冷凍機和空壓機提供32-38℃的常溫循環(huán)冷卻水系統(tǒng)。配套1000m3的循環(huán)水池。4000m3/h×2、2800m3/h×21000t/h,系統(tǒng)形式采用密閉式系統(tǒng),板式換熱器換熱。常溫循環(huán)冷卻水:12600t/h,該系統(tǒng)為冷凍機和空壓機提供32-38℃的常溫循環(huán)冷卻水系統(tǒng)。配套1000m3的循環(huán)水池。4000m3/h×2、2800m3/h×2原項目設(shè)備所需總循環(huán)水量為9600t/h。本項目擴建后全廠設(shè)備所需的循環(huán)水目循環(huán)系統(tǒng)設(shè)計循環(huán)量為13600t/h,故本項目依托于原項目循環(huán)系統(tǒng)可行。動力中心,丁類二級廠房,-1/3F,建筑高度為23.3m地下一層為生產(chǎn)和消防水泵房、廢水站、消防水池、生產(chǎn)水池;地上一層為純水站,二、三層為動力站,包含變配電室、冷機、氣體動力等,動力站屋面放置為工業(yè)型冷卻塔。/地下一層為生產(chǎn)和消防水泵房、廢水站、消防水池、生產(chǎn)水池;地上一層為純水站,二、三層為動力站,包含變配電室、冷機、氣體動力等,動力站屋面放置為工業(yè)型冷卻塔。依托原項目壓縮空氣采用水冷離心式空壓機,提供無油壓縮空氣??諝饨?jīng)預(yù)過濾器過濾,由空壓機壓縮后進入壓縮熱吸附式干燥器干燥后,再進過濾器過濾,經(jīng)壓縮空氣緩沖罐供給各生產(chǎn)廠房。5臺,總設(shè)計能力為430Nm3/min/采用水冷離心式空壓機,提供無油壓縮空氣??諝饨?jīng)預(yù)過濾器過濾,由空壓機壓縮后進入壓縮熱吸附式干燥器干燥后,再進過濾器過濾,經(jīng)壓縮空氣緩沖罐供給各生產(chǎn)廠房。5臺,總設(shè)計能力為430Nm3/min依托原項目冷水機組在動力站二、三樓設(shè)置低溫冷水機(7℃)、中溫冷水機(14℃)及中溫?zé)峄厥諜C,供應(yīng)各建筑空調(diào)及工藝使用。/在動力站二、三樓設(shè)置低溫冷水機(7℃)、中溫冷水機(14℃)及中溫?zé)峄厥諜C,供應(yīng)各建筑空調(diào)及工藝使用。依托原項目純水站純水設(shè)備主要包括砂濾器、活性炭過濾器、一級RO反滲透機組、二級RO反滲透機組、EDI系統(tǒng)等。純水管路采用主管循環(huán)供回水系統(tǒng)。本次擴建項目新增純水用量133305t/a(16.8t/h)。設(shè)計新增1臺純水機純水設(shè)備主要包括砂濾器、活性炭過濾器、一級RO反滲透機組、二級RO反滲透機組、EDI系統(tǒng)等。純水管路采用主管循環(huán)供回水系統(tǒng)。3臺100t/h純水機,純水制備得率新增1臺純水機2臺100t/h純水機,純水制備得率0.75。本項目純水用量1569685t/a(198t/h)。設(shè)計制水能力200m3/h0.75。擴建后項目純水用量1702990t/a(215t/h)。設(shè)計制水能力300m3/h真空系統(tǒng)工藝真空系統(tǒng)真空站設(shè)置在動力站三層。工藝真空真空度660mmHg。廠房真空站采用噴油螺桿式真空泵,采用n+1配置方式。24000m3/h/工藝真空系統(tǒng)真空站設(shè)置在動力站三層。工藝真空真空度660mmHg。廠房真空站采用噴油螺桿式真空泵,采用n+1配置方式。24000m3/h依托原項目供熱系統(tǒng)主要作為生產(chǎn)廠房初期回收熱源不足時補充熱源使用,當產(chǎn)能達50%回收熱源充足時,熱水鍋爐即停止僅當作緊急備援使用。4.2MW×2臺,熱水鍋爐/主要作為生產(chǎn)廠房初期回收熱源不足時補充熱源使用,當產(chǎn)能達50%回收熱源充足時,熱水鍋爐即停止僅當作緊急備援使用。4.2MW×2臺,熱水鍋爐依托原項目大宗氣站制氮站采用空分制氮。提供氮氣,氮氣純度99.999%,制氮站配套液氮緩沖罐和液氮儲存罐。3000Nm3/h×1臺/采用空分制氮。提供氮氣,氮氣純度99.999%,制氮站配套液氮緩沖罐和液氮儲存罐。3000Nm3/h×1臺原項目氮氣用量為本項目氮氣用量為40L×50瓶,2Nm3,故本項目依托原項目制氮站可行。天然氣來自市政天然氣管道。職工食堂采用天然氣,用量108000m3/a。食堂配套26個灶頭。/來自市政天然氣管道。職工食堂采用天然氣,用量108000m3/a。食堂配套26個灶頭。依托原項目倒班樓1建筑的二層~六層為主要的倒班樓層,并設(shè)置活動室、洗衣房等生活輔助用房。占地面積1321.97m2,6F/建筑的二層~六層為主要的倒班樓層,并設(shè)置活動室、洗衣房等生活輔助用房。占地面積1321.97m2,6F依托現(xiàn)有倒班樓5建筑的二層~十四層為主要的倒班樓層,并設(shè)置活動室、洗衣房等生活輔助用房。占地面積1829.28m2,2/14F/建筑的二層~十四層為主要的倒班樓層,并設(shè)置活動室、洗衣房等生活輔助用房。占地面積1829.28m2,2/14F依托現(xiàn)有食堂占地面積2624m2,6F/占地面積2624m2,6F依托現(xiàn)有共設(shè)置2個門衛(wèi)室,占地面積分別為15m2、/共設(shè)置2個門衛(wèi)室,占地面積分別為15m2、180m2,1F依托現(xiàn)有初期雨水池設(shè)置三座初期雨水池及配套收集管網(wǎng),共計2339m3,1#初期雨水池位于食堂南側(cè),容積574m3;2#初期雨水池位于生產(chǎn)測試樓東側(cè),容積227m3;3#初期雨水池位于生產(chǎn)測試樓東側(cè),容積1538m3/設(shè)置三座初期雨水池及配套收集管網(wǎng),共計2339m3,1#初期雨水池位于食堂南側(cè),容積574m3;2#初期雨水池位于生產(chǎn)測試樓東側(cè),容積227m3;3#初期雨水池位于生產(chǎn)測試樓東側(cè),容積1538m3依托現(xiàn)有環(huán)保工程廢氣①Bumping生產(chǎn)線電鍍銅、電鍍鎳、電鍍錫銀、電鍍金、銅刻蝕等工序產(chǎn)生的酸性廢氣通過酸堿廢氣處理系統(tǒng)(堿液噴淋,堿性洗滌塔2臺并聯(lián))處理后通過30m高P1-1#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)排放,共2臺風(fēng)機,風(fēng)機風(fēng)量共14000m3/h;含氰廢氣經(jīng)堿液噴淋處理后通過30m高P1-2#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)有組織排放,風(fēng)機風(fēng)量為50000m3/h。②WLCSP生產(chǎn)線酸洗工序,Bumping生產(chǎn)線涂布、曝光、軟烤、硬烤、等離子去膠、光刻膠去除、焊料成球等工序產(chǎn)生的有機廢氣經(jīng)收集后通過管道引至樓頂,利用有機廢氣處理系統(tǒng)(3套沸石并聯(lián)+1套RTO)處理后通過30m高P1-3#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)排放,風(fēng)機風(fēng)量為6000m3/h×3;③WLCSP生產(chǎn)線回流焊工序產(chǎn)生錫及其化①項目含氰廢氣經(jīng)堿液噴淋處理后通過30m高P2-1#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)有組織排放,風(fēng)機風(fēng)量為47000m3/h。②GoldBump生產(chǎn)線涂布、曝光、光刻膠去除等工序產(chǎn)生的有機廢氣經(jīng)收集后通過管道引至樓頂,利用有機廢氣處理系統(tǒng)(3套沸石并聯(lián)+1套RTO)處理后通過30m高P1-3#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)排放,風(fēng)機風(fēng)量為7000m3/h×3;①Bumping生產(chǎn)線電鍍銅、電鍍鎳、電鍍錫銀、電鍍金、銅刻蝕等工序產(chǎn)生的酸性廢氣通過酸堿廢氣處理系統(tǒng)(堿液噴淋,堿性洗滌塔2臺并聯(lián))處理后通過30m高P1-1#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)排放,共2臺風(fēng)機,風(fēng)機風(fēng)量共140000m3/h;原項目含氰廢氣經(jīng)堿液噴淋處理后通過30m高P1-2#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)有組織排放,風(fēng)機風(fēng)量為50000m3/h。本項目含氰廢氣經(jīng)堿液噴淋處理后通過30m高P2-1#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)有組織排放,風(fēng)機風(fēng)量為47000m3/h。②WLCSP生產(chǎn)線酸洗工序,GoldBump生產(chǎn)線、Bumping生產(chǎn)線涂布、曝光、軟烤、硬烤、等離子去膠、光本項目僅涉及含氰廢氣和有機廢氣,含氰廢氣新建一套堿液噴淋處理系統(tǒng),風(fēng)機風(fēng)量為47000m3/h,處理后通過P2-1#排氣筒排放;有機廢氣依托于原項目,P1-3#排氣筒風(fēng)機風(fēng)量由原項目6000m3/h×3增加至7000m3/h×3。合物,Bumping生產(chǎn)線回流焊工序產(chǎn)生錫及其化合物和非甲烷總烴,與有機廢氣一起收集處理后排放(P1-3#排氣筒)④WLSCP生產(chǎn)線激光打印工序產(chǎn)生的含塵廢氣經(jīng)收集后通過管道引至樓頂,經(jīng)1套濾筒除塵處理后通過30m高P1-4#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)排放,風(fēng)機風(fēng)量為20000m3/h;⑤鍋爐天然氣燃燒廢氣,天然氣屬于清潔能源,2臺鍋爐的天然氣燃燒廢氣通過1根27m高排氣筒排放(排氣筒編號為P1-5#煙氣量為5200m3/h;⑥RTO天然氣燃燒廢氣,通過P1-3#排氣筒排放;⑦污水處理站廢氣通過動力車間樓頂P1-6#⑧食堂油煙經(jīng)油煙凈化設(shè)備處理后排放,煙道排口高8m(編號為P1-7#),風(fēng)量為22000m3/h;刻膠去除、焊料成球等工序產(chǎn)生的有機廢氣經(jīng)收集后通過管道引至樓頂,利用有機廢氣處理系統(tǒng)(3套沸石并聯(lián)+1套RTO)處理后通過30m高P1-3#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)排放,風(fēng)機風(fēng)量為7000m3/h×3;③WLCSP生產(chǎn)線回流焊工序產(chǎn)生錫及其化合物,Bumping生產(chǎn)線回流焊工序產(chǎn)生錫及其化合物和非甲烷總烴,與有機廢氣一起收集處理后排放(P1-3#排氣筒)④WLSCP生產(chǎn)線激光打印工序產(chǎn)生的含塵廢氣經(jīng)收集后通過管道引至樓頂,經(jīng)1套濾筒除塵處理后通過30m高P1-4#排氣筒(位于生產(chǎn)廠房1樓頂)排放,風(fēng)機風(fēng)量為20000m3/h;⑤鍋爐天然氣燃燒廢氣,天然氣屬于清潔能源,2臺鍋爐的天然氣燃燒廢氣通過1根27m高排氣筒排放(排氣筒編號為P1-5#煙氣量為5200m3/h;⑥RTO天然氣燃燒廢氣,通過P1-3#排氣筒排放;⑦污水處理站廢氣通過動力車間樓頂P1-6#排氣筒排放,高30m,風(fēng)機風(fēng)量150000m3/h;⑧食堂油煙經(jīng)油煙凈化設(shè)備處理后排放,煙道排口高8m(編號為P1-7#風(fēng)量為22000m3/h;廢水①切割廢水進入切割廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為6000t/d)處理后部分回用于純水制備,其余的進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為3600t/d)處理達標后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠;②研磨廢水進入研磨廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為840t/d)處理后部分回用于純水制備,其余的進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為3600t/d)處理達標后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠;③一般、酸堿、有機廢水先進入一般、酸堿、有機廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為2222t/d)處理后進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為3600t/d)處理達標后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠;④純水站反沖洗水、廢氣洗滌塔水進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為3600t/d)處理后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠;⑤含鎳廢水先進入含鎳廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為480t/d)處理后車間達標排放接管至浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠,含錫銀廢水進入含銀廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為480t/d)處理后車間達標排放接管至浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠,含氰廢水進入含氰廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為240t/d)后與其他含重金屬廢水(含銅、鈦)進入其他重金屬廢水處理系統(tǒng),這兩股廢水處理達標后進入一般、酸堿、有機廢水處理系統(tǒng),再進入綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng),最后接管/①切割廢水進入切割廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為6000t/d)處理后部分回用于純水制備,其余的進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為3600t/d)處理達標后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠;②研磨廢水進入研磨廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為840t/d)處理后部分回用于純水制備,其余的進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為3600t/d)處理達標后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠;③一般、酸堿、有機廢水先進入一般、酸堿、有機廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為2222t/d)處理后進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為3600t/d)處理達標后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠;④廢氣洗滌塔水進入廠區(qū)綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為3600t/d)處理后接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠;⑤含鎳廢水先進入含鎳廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為480t/d)處理后車間達標排放接管至浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠,含錫銀廢水進入含銀廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計處理能力為480t/d)處理后車間達標排放接管至浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠,含氰廢水進入含氰廢水處理系統(tǒng)(設(shè)計廢水處理設(shè)施均依托于原項目至浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠。⑤循環(huán)冷卻系統(tǒng)排水、純水制備棄水、鍋爐排水直接接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理廠;⑥食堂廢水經(jīng)隔油池預(yù)處理后與其他生活污水一起經(jīng)化糞池預(yù)處理,一并接入市政污水管網(wǎng),接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠集中處理。處理能力為300t/d)后與其他含重金屬廢水(含銅、鈦)進入其他重金屬廢水處理系統(tǒng),這兩股廢水處理達標后進入一般、酸堿、有機廢水處理系統(tǒng),再進入綜合廢水調(diào)節(jié)系統(tǒng),最后接管至浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)工業(yè)廢水處理⑤循環(huán)冷卻系統(tǒng)排水、純水制備棄水、鍋爐排水直接接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠集中處理;⑥食堂廢水經(jīng)隔油池預(yù)處理后與其他生活污水一起經(jīng)化糞池預(yù)處理,一并接入市政污水管網(wǎng),接管浦口經(jīng)濟開發(fā)區(qū)污水處理廠集中處理。固廢處置生活垃圾垃圾桶若干,環(huán)衛(wèi)清運/垃圾桶若干,環(huán)衛(wèi)清運依托現(xiàn)有一般工業(yè)固廢480m2,位于廠區(qū)西南側(cè)甲類倉庫/480m2,位于廠區(qū)西南側(cè)甲類倉庫依托于原項目固廢庫。原項目固廢產(chǎn)生量為418.264t/a+300片,本項目固廢產(chǎn)生量為0.101t/a+100片,按1m2可暫存?zhèn)€月處置,本項目依托原項目固廢庫可危險廢物240m2,位于廠區(qū)西南側(cè)甲類倉庫位于廠區(qū)西南側(cè)甲類倉兩座危廢庫,面積分別為240m2,80m2,均位于廠區(qū)西南側(cè)甲類倉庫新增1座危廢庫庫應(yīng)急事故消防水池室外消防水箱一座,846m3,位于生產(chǎn)測試樓/室外消防水箱一座,846m3,位于生產(chǎn)測試樓依托現(xiàn)有應(yīng)急事故池設(shè)置兩座應(yīng)急池及配套收集管網(wǎng),共計1500m3;位于動力站房負一層/設(shè)置兩座應(yīng)急池及配套收集管網(wǎng),共計1500m3;位于動力站房負一層依托現(xiàn)有建設(shè)內(nèi)容根據(jù)建設(shè)單位提供數(shù)據(jù)資料,本項目的主要原輔材料和能源消耗見表表2-1-6本項目主要原輔料及資源能源消耗類別工序名稱規(guī)格組分年耗量單位全廠最大倉儲量包裝儲存方式包裝方式儲存地點來源及運輸原輔料GoldBump生產(chǎn)線原料24萬片1/室內(nèi)/盒裝倉庫國內(nèi)運輸PVD鈦鎢靶材TiW99.99%TiW99.99%t1/室內(nèi)/盒裝倉庫國內(nèi)運輸金靶材Au99.995%Au99.995%0.78t1/室內(nèi)/盒裝倉庫國內(nèi)運輸黃光光刻膠JSR126N丙二醇甲醚醋酸酯33%、丙烯酸樹脂2.4t1kg/瓶室內(nèi)/瓶裝倉庫國內(nèi)運輸顯影液TMAH2.38%四甲基氫氧化銨2.38%、剩余量為水t21加侖/瓶室內(nèi)/瓶裝倉庫國內(nèi)運輸邊膠清洗液GCTOK73丙二醇甲醚70%,丙二醇甲醚醋酸酯30%8.22t24kg/桶室內(nèi)/桶裝倉庫國內(nèi)運輸CS導(dǎo)電液X6762000草酸鉀,檸檬酸鉀類t0.52kg/桶室內(nèi)/桶裝倉庫國內(nèi)運輸KS434酸液X6362000羥基亞乙基二磷酸10%,90%水24t24kg/桶室內(nèi)/桶裝倉庫國內(nèi)運輸KS434添加劑X6063100草酸鉀99.5%,0.5%水t0.21kg/瓶室內(nèi)/瓶裝倉庫國內(nèi)運輸金補充劑X6763405草酸鉀,檸檬酸鉀類2.88t0.51kg/瓶室內(nèi)/瓶裝倉庫國內(nèi)運輸氰化亞金鉀KAu(CN)2KAu(CN)299.9%0.855t0.11kg/瓶室內(nèi)/瓶裝倉庫國內(nèi)運輸去膠異丙醇≥99.7%t2000L20kg/桶室內(nèi)/桶裝倉庫國內(nèi)運輸去膠液/二甲基亞砜65%,添加劑5%,四甲基氫t0.510kg/桶室內(nèi)/桶倉庫國內(nèi)運氧化銨30%裝輸刻蝕KS金蝕刻液KS6402碘7%;碘化鉀18%;乙醇2%,水73%32t0.510kg/桶室內(nèi)/桶裝倉庫國內(nèi)運輸KS鈦鎢刻蝕液GCTETI310雙氧水31%,水69%96t0.510kg/桶室內(nèi)/桶裝倉庫國內(nèi)運輸研磨研磨貼布230mm*100mmPVC,PET,PO,丙烯酸樹脂等400卷50230mm*50m/卷室內(nèi)/卷倉庫國內(nèi)運輸UV膜/藍膜300mm*100m400mm*100mPVC,PET,PO,丙烯酸樹脂233卷29300mm*100m/卷400mm*100m/卷室內(nèi)/卷倉庫國內(nèi)運輸切割切割液KetecaDiamaflow388LB94%水,1.9%聚乙二醇、4.1%甲基環(huán)氧乙烯,與環(huán)氧乙烯的聚合物,單(辛基苯)醚等4000桶5001加侖/桶室內(nèi)/桶裝倉庫國內(nèi)運輸芯片撿取Tray盤2,3,4寸PP720pcs2000箱2000pcs/箱室內(nèi)/箱倉庫國內(nèi)運輸/氮氣/氮氣NM340L/瓶室內(nèi)/瓶裝大宗氣站國內(nèi)運輸/氬氣/氬氣2.38*104NM340L/瓶室內(nèi)/瓶裝倉庫國內(nèi)運輸注:本項目各原輔料使用量為企業(yè)根據(jù)華天其他廠區(qū)同類產(chǎn)品長期實際生產(chǎn)情況計算得出,可滿足本項目產(chǎn)能需求。其中單個晶圓的鍍點數(shù)量為1852個,單個鍍點的面積為6780406μm2,產(chǎn)量為24萬片,鍍金厚度為10μm,金密度為19.37g/m3,計算出鍍金量為0.584
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