位移檢測-文檔

位移及速度檢測電位器傳感器，電容式位移傳感器差動變壓器式，感應(yīng)同步器式光柵位移檢測，碼盤式傳感器電渦流位移計，自感式位移檢測速度傳感器及轉(zhuǎn)速傳感器加速度檢測位移與速度檢測在自動檢測系統(tǒng)中,位移的測量是一種最基本的測量工作,它的特性是測量空間距離的大小,如距離、位置、尺寸、角度等。按照位移的特征位移傳感器分類線位移——機構(gòu)沿著某一條直線移動的距離角位移——機構(gòu)沿著某一定點轉(zhuǎn)動的角度根據(jù)傳感器的工作原理電阻式位移傳感器電容式位移傳感器電感式位移傳感器光電式位移傳感器、光柵以及磁柵感應(yīng)同步器、激光位移傳感器根據(jù)輸出信號模擬式數(shù)字式根據(jù)傳感器原理和使用方法接觸式非接觸式位移及速度檢測位移及速度檢測位移檢測電阻式位移傳感器適用于較大范圍位移的測量,但精度不高。電容式位移傳感器、差動電感式位移傳感器和電阻應(yīng)變式位移傳感器,一般用于小位移的測量(幾微米～幾毫米),差動變壓器式位移傳感器用于中等位移的測量(幾毫米～100毫米左右)。感應(yīng)同步器、光柵、磁柵、激光位移傳感器用于精密檢測系統(tǒng)位移的測量,測量精度高(可達(dá)±1m),量程也可大到幾米。位移傳感器不僅用于直接測量角位移和線位移的場合,而且在其他物理量如力、壓力、應(yīng)變、液位等能轉(zhuǎn)換成位移的任何場合中,也廣泛作為測量和控制反饋傳感器用。電容式傳感器、電阻應(yīng)變式傳感器前面章節(jié)已經(jīng)詳細(xì)講解,本章主要介紹電位器式位移傳感器、光柵位移傳感器、磁柵位移傳感器、感應(yīng)同步器、液位位移傳感器。1.電位器的基本概念電位器是人們常用到的一種電子元件,它作為傳感器可以將機械位移轉(zhuǎn)換為與其有一定函數(shù)關(guān)系的電阻值的變化,從而引起電路中輸出電壓的變化。圖電位器結(jié)構(gòu)分壓器兩邊電阻的比值為

電阻體b端接地,則分壓器輸出電壓電位器由電阻體和電刷（也稱可動觸點）兩部分組成,可作為變阻器使用,如圖a所示,也可作為分壓器使用,如圖b所示。一、電位器式位移傳感器位移及速度檢測由上可見，電位器的輸出信號均與電刷的位移量成比例，實現(xiàn)了位移與輸出電信號的對應(yīng)轉(zhuǎn)換關(guān)系。因此，這類傳感器可用于測量機械位移量，或可測量已轉(zhuǎn)換成位移量的其它物理量（如壓力、振動加速度等）。這種類型傳感器特點是:結(jié)構(gòu)簡單、價格低廉，輸出信號大，一般不需放大，但是，它的分辨率不高，精度也不高，所以不適于精度要求較高的場合。另外，動態(tài)響應(yīng)較差，不適于動態(tài)快速測量。電位器式線位移傳感器結(jié)構(gòu)原理如圖所示當(dāng)滑桿隨待測物體往返運動時,電刷在電阻體上也來回滑動。使電位器兩端輸出電壓隨位移量改變而變化線位移傳感器一、電位器式位移傳感器位移及速度檢測角位移傳感器圖

傳感器的轉(zhuǎn)軸與被測角度轉(zhuǎn)軸相連,電刷在電位器上轉(zhuǎn)過一個角位移時,在檢測輸出端有一個與轉(zhuǎn)角成比例的電壓輸出一、電位器式位移傳感器位移及速度檢測慣性敏感元件在被測加速度的作用下,使片狀彈簧產(chǎn)生正比于被測加速度的位移,從而引起電刷在電阻體上下滑動,輸出與加速度成比例的電壓信號電位器式傳感器的應(yīng)用當(dāng)被測流體通入彈性敏感元件膜盒的內(nèi)腔時,在流體壓力作用下,膜合硬中心產(chǎn)生彈性位移,推動連桿上移,使曲柄軸帶動電位器的電刷在電阻體上滑動,輸出與被測壓力成正比的電壓信號一、電位器式位移傳感器位移及速度檢測油量表的工作原理一、電位器式位移傳感器位移及速度檢測將機械位移量轉(zhuǎn)換為電容量變化的傳感器稱為電容式位移傳感器。變極距式電容傳感器可進行線位移的測量,變面積式電容傳感器可進行角位移的測量。二、電容式位移傳感器位移及速度檢測下圖是變極距式電容傳感器用于軋制板材厚度自動控制的工作原理圖。

位移及速度檢測二、電容式位移傳感器工作原理:在初級線圈接入電源U1后，次級線圈即感應(yīng)輸出電壓U2，滑動板移動時引起鐵芯的移動，從而引起線圈互感系數(shù)的變化，此時的輸出電壓隨之作相應(yīng)的變化。位移及速度檢測三、差動變壓器式位移傳感器也有差動變壓器式壓力傳感器差動變壓器是感應(yīng)式位移傳感器中應(yīng)用最廣的一種.它是一個其原邊有一個繞組,副邊有兩個按差動方式聯(lián)接的繞組的開口變壓器.位移及速度檢測三、差動變壓器式位移傳感器當(dāng)鐵芯處于中間位置時,輸出電壓:

當(dāng)鐵芯向右移動時,則輸出電壓:

當(dāng)鐵芯向左移動時,則輸出電壓:

輸出電壓的方向反映了鐵芯的運動方向,大小反映了鐵芯的位移大小。位移及速度檢測四、感應(yīng)同步器式位移傳感器位移及速度檢測四、感應(yīng)同步器式位移傳感器定尺和滑尺上的繞組分布是不同的。在定尺上的是連續(xù)繞組,節(jié)距w2＝2(a2+b2)。在滑尺上的則是分段繞組。分段繞組為兩組,布置成在空間相差90°,故又稱為正、余弦繞組。感應(yīng)同步器的連續(xù)繞組和分段繞組相當(dāng)于變壓器的一次側(cè)和二次側(cè)線圈,利用交變電磁場和互感原理工作。感應(yīng)同步器由定尺和滑尺組成。制造工藝方法:首先用絕緣粘結(jié)劑把銅箔粘牢在金屬（或玻璃）基板上，然后按設(shè)計要求腐蝕成不同曲折形狀的平面繞組。位移及速度檢測四、感應(yīng)同步器式位移傳感器

工作原理感應(yīng)同步器在工作時,如果在其中一種繞組上通以交流激勵電壓,由于電磁耦合,在另一種繞組上就產(chǎn)生感應(yīng)電動勢。該電動勢隨定尺和滑尺（對長感應(yīng)同步器而言）的相對位置不同呈正弦、余弦函數(shù)變化。通過對正弦、余弦函數(shù)變化的感應(yīng)電動勢信號的檢測處理,便可測量出直線位移量（對長感應(yīng)同步器而言）。位移及速度檢測四、感應(yīng)同步器式位移傳感器例如:在數(shù)控機床中的應(yīng)用。1—定部件(床身)

2—運動部件(工作臺或刀架)

3—定尺繞組引線

4—定尺座

5—防護罩

6—滑尺

9—調(diào)整墊

7—滑尺座

8—滑尺繞組引線

10—定尺

11—正弦勵磁繞組

12—余弦勵磁繞組

位移及速度檢測四、感應(yīng)同步器式位移傳感器根據(jù)勵磁繞組中勵磁方式的不同,感應(yīng)同步器也有相位工作方式和幅值工作方式兩種。

(1)

相位工作方式。給滑尺的正弦勵磁繞組和余弦勵磁繞組分別通以頻率相同、幅值相同,但相位差π/2的勵磁電壓,即

us=Umsintω

uc=Umsin(π/2+tω）=Umcostω

當(dāng)滑尺移動X距離時,定尺繞組中的感應(yīng)電壓為

ud=kUmsin(tω-θ)=kUmsin(tω-2πXτ)

式中

k——電磁耦合系數(shù)；

Um——勵磁電壓幅值；

τ——節(jié)距；

X——滑尺移動距離；

θ——電氣相位角。

位移及速度檢測四、感應(yīng)同步器式位移傳感器ud=kUmsin(tω-θ)=kUmsin(tω-2πXτ)從上式可以看出,定尺的感應(yīng)電壓與滑尺的位移量有嚴(yán)格對應(yīng)關(guān)系。通過測量定尺感應(yīng)電壓的相位,即可測得滑尺的位移量。

(2)

幅值工作方式。給滑尺的正弦勵磁繞組和余弦勵磁繞組分別通以相位相同、頻率相同,但幅值不同的勵磁電壓,即

us=Usmsintω

uc=Ucmsintω

其中,Usm、Ucm幅值分別為

Usm=Umsinθ1

Ucm=Umcosθ1

式中

θ1——電氣給定角。

位移及速度檢測四、感應(yīng)同步器式位移傳感器

當(dāng)滑尺移動時,定尺繞組中的感應(yīng)電壓為

ud=kUmsintωsin(θ1-θ)=kUmsintωsinθΔ

當(dāng)θΔ很小時,定尺繞組中的感應(yīng)電壓可近似表示為

ud=kUmsintωθΔ

又因為

θΔ=2πX/τ則

ud=kUm*2π/Xτ

式中

XΔ——滑尺位移增量。

從式可以看出,當(dāng)位移增量XΔ很小時,感應(yīng)電壓的幅值和XΔ成正比,因此,可通過測量ud的幅值來測定位移XΔ的大小。

位移及速度檢測五、光柵式位移傳感器位移及速度檢測五、光柵式位移傳感器位移及速度檢測五、光柵式位移傳感器莫爾條紋由大量等寬等間距的平行狹縫組成的光學(xué)器件稱為光柵,如圖所示。用玻璃制成的光柵稱為透射光柵,它是在透明玻璃上刻出大量等寬等間距的平行刻痕,每條刻痕處是不透光的,而兩刻痕之間是透光的。光柵的刻痕密度一般為每厘米10、25.50、100線。刻痕之間的距離為柵距W。位移及速度檢測五、光柵式位移傳感器如果把兩塊柵距W相等的光柵面平行安裝,且讓它們的刻痕之間有較小的夾角θ時,這時光柵上會出現(xiàn)若干條明暗相間的條紋,這種條紋稱莫爾條紋。位移及速度檢測五、光柵式位移傳感器莫爾條紋是光柵非重合部分光線透過而形成的亮帶,它由一系列四棱形圖案組成,如圖中d－d線區(qū)所示。圖中f－f線區(qū)則是由于光柵的遮光效應(yīng)形成的。位移及速度檢測五、光柵式位移傳感器莫爾條紋有兩個重要的特性:(1)當(dāng)指示光柵不動，主光柵左右平移時，莫爾條紋將沿著指示柵線的方向上下移動。查看莫爾條紋的上下移動方向，即可確定主光柵左右移動方向。(2)莫爾條紋有位移的放大作用。當(dāng)主光柵沿與刻線垂直方向移動一個柵距W時，莫爾條紋移動一個條紋間距B。當(dāng)兩個等距光柵的柵間夾角θ較小時，主光柵移動一個柵距W，莫爾條紋移動KW距離，K為莫爾條紋的放大系數(shù):

條紋間距與柵距的關(guān)系為:

當(dāng)θ角較小時,例如θ=30′,則K=115,表明莫爾條紋的放大倍數(shù)相當(dāng)大。這樣,可把肉眼看不見的光柵位移變成為清晰可見的莫爾條紋移動,可以用測量條紋的移動來檢測光柵的位移?？梢詫崿F(xiàn)高靈敏的位移測量。五、光柵式位移傳感器位移及速度檢測光柵位移傳感器的結(jié)構(gòu)如圖所示,由主光柵、指示光柵、光源和光電器件等組成。五、光柵式位移傳感器位移及速度檢測主光柵和被測物體相連,它隨被測物體的直線位移而產(chǎn)生移動。當(dāng)主光柵產(chǎn)生位移時,莫爾條紋便隨著產(chǎn)生位移。用光電器件記錄莫爾條紋通過某點的數(shù)目,便可知主光柵移動的距離,也就測得了被測物體的位移量。五、光柵式位移傳感器位移及速度檢測光柵位移傳感器的應(yīng)用測量精度高（分辨率為0.1μm）,動態(tài)測量范圍廣（0～1000mm）,可進行無接觸測量,容易實現(xiàn)系統(tǒng)的自動化和數(shù)字化。在機械工業(yè)中得到了廣泛的應(yīng)用,特別是在量具、數(shù)控機床的閉環(huán)反饋控制、工作母機的坐標(biāo)測量等方面。五、光柵式位移傳感器位移及速度檢測

磁柵是一種有磁化信息的標(biāo)尺。它是在非磁性體的平整表面上鍍一層約0.02mm厚的Ni-Co-P磁性薄膜。并用錄音磁頭沿長度方向按一定的激光波長λ錄上磁性刻度線而構(gòu)成的。因此又把磁柵稱為磁尺。六、磁柵式位移傳感器位移及速度檢測磁柵錄制后的磁化結(jié)構(gòu)相當(dāng)于一個個小磁鐵按NS、SN、NS……的狀態(tài)排列起來,如圖所示。磁柵的種類可分為單型直線磁柵、同軸型直線磁柵和旋轉(zhuǎn)型磁柵等。磁柵主要用于大型機床和精密機床作為位置或位移量的檢測元件。六、磁柵式位移傳感器位移及速度檢測位移及速度檢測六、磁柵式位移傳感器位移及速度檢測六、磁柵式位移傳感器位移及速度檢測六、磁柵式位移傳感器位移及速度檢測六、磁柵式位移傳感器當(dāng)磁尺與磁頭之間產(chǎn)生相對位移時,磁頭的鐵芯使磁尺的磁通有效地通過輸出繞組,在繞組中產(chǎn)生感應(yīng)電壓。該電壓隨磁尺磁場強度周期的變化而變化,從而將位移量轉(zhuǎn)換成電信號輸出。圖是磁信號與靜態(tài)磁頭輸出信號波形圖。磁頭輸出信號經(jīng)檢測電路轉(zhuǎn)換成電脈沖信號并以數(shù)字形式顯示出來。位移及速度檢測六、磁柵式位移傳感器磁頭分為動態(tài)磁頭和靜態(tài)磁頭動態(tài)磁頭1—磁頭；2—磁柵；3—輸出波形位移及速度檢測六、磁柵式位移傳感器位移及速度檢測六、磁柵式位移傳感器磁柵式傳感器的應(yīng)用位移及速度檢測六、磁柵式位移傳感器位移及速度檢測七、碼盤式位移傳感器碼盤式傳感器是以編碼器為基礎(chǔ)的,測量軸角位置和角位移。

（一）、光電碼盤式傳感器

光電碼盤式傳感器是用光電方法把被測角位移轉(zhuǎn)換成數(shù)字代碼形式表示的電信號的轉(zhuǎn)換部件。

1－光源2－柱面鏡3－碼盤4－狹縫5－光電元件位移及速度檢測七、碼盤式式位移傳感器

工作原理:由光源1發(fā)出的光線，經(jīng)柱面鏡2變成一束平行光或匯聚光，照射到碼盤3上，碼盤由光學(xué)玻璃制成，其上刻有許多同心碼道，每位碼道上都有按一定規(guī)律排列著的若干透光和不透光部分，即亮區(qū)和暗區(qū)。通過亮區(qū)的光線經(jīng)狹縫4后，形成一束很窄的光束照射在光電元件5上，光電元件的排列與碼道一一對應(yīng)。當(dāng)有光照射時，對應(yīng)于亮區(qū)和暗區(qū)的光電元件輸出的信號相反，例如前者為“1”，后者為“0”。光電元件的各種信號組合，反映出按一定規(guī)律編碼的數(shù)字量，代表了碼盤軸的轉(zhuǎn)角大小。由此可見，碼盤在傳感器中是將軸的轉(zhuǎn)角轉(zhuǎn)換成代碼輸出的主要元件。

位移及速度檢測七、碼盤式式位移傳感器光電碼盤光電碼盤一般用照相腐蝕法制作。(碼盤由光學(xué)玻璃制成,其上刻有許多同心碼道,每位碼道上都有按一定規(guī)律排列著的若干透光和不透光部分,即亮區(qū)和暗區(qū))。一、二進制碼盤

四位二進制碼盤如圖示,涂黑部分輸出為0,空白部分輸出為1。（最內(nèi)圈為C4碼道,一半透光,一半不透光,最外面的為C1碼道,共有個黑白間隔。位移及速度檢測七、碼盤式式位移傳感器每一個角度方位對應(yīng)于不同的編碼。例如:零位對應(yīng)于0000（全黑），第四方位對應(yīng)了0011.即:測量時，只要根據(jù)碼盤的起始和終止位置就可確定轉(zhuǎn)角，與轉(zhuǎn)動的中間過程無關(guān)。二進制碼盤主要特點:（1）n位(n個碼道)的二進制碼盤具有2n種不同編碼，稱其容量為2n，其最小分辨力θ1＝3600／2n；對應(yīng)于五個碼道，θ1＝3600／2n＝360/25＝11.25o；對于21個碼道，θ1＝0.68”（2）二進制碼為有權(quán)碼，編碼Cn,Cn-1，…，C1對應(yīng)于由零位算起的轉(zhuǎn)角為:七、碼盤式式位移傳感器位移及速度檢測二、循環(huán)碼碼盤

循環(huán)碼的特點是相鄰兩個數(shù)碼間只有一位不同。碼盤的制作和安裝不準(zhǔn),引起的誤差最多也只是最低的一位數(shù)。四位循環(huán)碼盤如圖示。循環(huán)碼是變權(quán)代碼,測量時需轉(zhuǎn)換成二進制碼（有權(quán)代碼,每一位代表一固定十進制數(shù)）。七、碼盤式位移傳感器位移及速度檢測二進制碼盤的粗大誤差及消除

采用二進制編碼器時,任何微小的制作誤差,都可能造成讀數(shù)的粗誤差。要求各個碼道刻劃精確,彼此對準(zhǔn),這給碼盤制作造成很大困難。由于微小的制作誤差,只要有一個碼道提前或延后改變,就可能造成輸出的粗大誤差。七、碼盤式位移傳感器位移及速度檢測位移及速度檢測雙讀數(shù)頭法循環(huán)碼代替二進制碼 雙讀數(shù)頭的缺點是讀數(shù)頭的個數(shù)增加了一倍。當(dāng)編碼器位數(shù)很多時,光電元件安裝位置也有困難。(a)四位二進制碼盤展開圖(b)采用雙讀數(shù)頭消除粗大誤差的示意圖

七、碼盤式位移傳感器二進制碼與循環(huán)碼的轉(zhuǎn)換4位二進制碼與循環(huán)碼的對照表遵循輸入取值不同為“1”,取值相同為“0”的規(guī)律七、碼盤式位移傳感器位移及速度檢測位移及速度檢測七、碼盤式位移傳感器應(yīng)用光學(xué)碼盤測角儀的原理圖光電元件光放大鑒幅整形糾錯當(dāng)量變換寄存顯示譯碼

光源聚光鏡碼盤狹縫光源1通過大孔徑聚光鏡2形成均勻狹長的光束照射到碼盤3上。根據(jù)碼盤所處的轉(zhuǎn)角位置,位于狹縫4后面的一排光電元件5輸出相應(yīng)的電信號。該信號經(jīng)過放大、鑒幅、整形后,再經(jīng)當(dāng)量變換,最后譯碼顯示。七、碼盤式位移傳感器一、電渦流傳感器工作原理

電渦流效應(yīng)演示

當(dāng)電渦流線圈與金屬板的距離x減小時,電渦流線圈的等效電感L減小,等效電阻R增大。感抗XL的變化比R的變化大得多,流過電渦流線圈的電流i1增大。八、電渦流傳感器位移及速度檢測電渦流的應(yīng)用

——在我們?nèi)粘Ｉ钪薪?jīng)常可以遇到

干凈、高效的電磁爐八、電渦流傳感器位移及速度檢測二、等效阻抗分析

檢測深度與激勵源頻率有何關(guān)系？電渦流線圈受電渦流影響時的等效阻抗Z的函數(shù)表達(dá)式為：Z=R+jωL=f（i1.f、、、r、x）如果控制上式中的i1.f、、、r不變，電渦流線圈的阻抗Z就成為哪個非電量的單值函數(shù)？屬于接觸式測量還是非接觸式測量？八、電渦流傳感器位移及速度檢測位移及速度檢測八、電渦流傳感器間距x的測量：如果控制上式中的i1.f、、、r不變，電渦流線圈的阻抗Z就成為間距x的單值函數(shù)，這樣就成為非接觸地測量位移的傳感器。多種用途：如果控制x、i1.f不變，就可以用來檢測與表面電導(dǎo)率有關(guān)的表面溫度、表面裂紋等參數(shù)，或者用來檢測與材料磁導(dǎo)率有關(guān)的材料型號、表面硬度等參數(shù)。電磁爐內(nèi)部的勵磁線圈八、電渦流傳感器位移及速度檢測56電磁爐的工作原理高頻電流通過勵磁線圈,產(chǎn)生交變磁場,在鐵質(zhì)鍋底會產(chǎn)生無數(shù)的電渦流,使鍋底自行發(fā)熱,燒開鍋內(nèi)的食物。八、電渦流傳感器位移及速度檢測三、電渦流傳感器結(jié)構(gòu)及特性

電渦流探頭外形交變磁場八、電渦流傳感器位移及速度檢測電渦流探頭內(nèi)部結(jié)構(gòu)

1—電渦流線圈2—探頭殼體3—殼體上的位置調(diào)節(jié)螺紋4—印制線路板5—夾持螺母6—電源指示燈

7—閾值指示燈8—輸出屏蔽電纜線9—電纜插頭

八、電渦流傳感器位移及速度檢測大直徑電渦流探雷器

八、電渦流傳感器位移及速度檢測四、電渦流傳感器的應(yīng)用

（一）、位移測量

電渦流位移傳感器是一種輸出為模擬電壓的電子器件。接通電源后,在電渦流探頭的有效面（感應(yīng)工作面）將產(chǎn)生一個交變磁場。當(dāng)金屬物體接近此感應(yīng)面時,金屬表面將吸取電渦流探頭中的高頻振蕩能量,使振蕩器的輸出幅度線性地衰減,根據(jù)衰減量的變化,可地計算出與被檢物體的距離、振動等參數(shù)。這種位移傳感器屬于非接觸測量,工作時不受灰塵等非金屬因素的影響,壽命較長,可在各種惡劣條件下使用。八、電渦流傳感器位移及速度檢測位移測量儀位移測量包含:偏心、間隙、位置、傾斜、彎曲、變形、移動、圓度、沖擊、偏心率、沖程、寬度等等。來自不同應(yīng)用領(lǐng)域的許多量都可歸結(jié)為位移或間隙變化。數(shù)顯位移測量儀及探頭八、電渦流傳感器位移及速度檢測4~20mA電渦流位移傳感器外形八、電渦流傳感器位移及速度檢測齊平式電渦流位移傳感器外形齊平式傳感器安裝時可以不高出安裝面,不易被損害。八、電渦流傳感器位移及速度檢測偏心和振動檢測八、電渦流傳感器位移及速度檢測通過測量間隙來測量徑向跳動八、電渦流傳感器位移及速度檢測測量金屬薄膜、板材厚度電渦流測厚儀

測量冷軋板厚度八、電渦流傳感器位移及速度檢測（二）、轉(zhuǎn)速測量

若轉(zhuǎn)軸上開z個槽(或齒),頻率計的讀數(shù)為f（單位為Hz）,則轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速n（單位為r/min）的計算公式為八、電渦流傳感器齒輪轉(zhuǎn)速測量例:下圖中，設(shè)齒數(shù)z=48，測得頻率f=120Hz，求該齒輪的轉(zhuǎn)速n。八、電渦流傳感器位移及速度檢測電動機轉(zhuǎn)速測量八、電渦流傳感器位移及速度檢測（三）、電渦流式通道安全檢查門

安檢門的內(nèi)部設(shè)置有發(fā)射線圈和接收線圈。當(dāng)有金屬物體通過時,交變磁場就會在該金屬導(dǎo)體表面產(chǎn)生電渦流,會在接收線圈中感應(yīng)出電壓,計算機根據(jù)感應(yīng)電壓的大小、相位來判定金屬物體的大小。在安檢門的側(cè)面還安裝一臺“軟x光”掃描儀,它對人體、膠卷無害,用軟件處理的方法,可合成完整的光學(xué)圖像。八、電渦流傳感器位移及速度檢測安檢門演示當(dāng)有金屬物體穿越安檢門時報警八、電渦流傳感器位移及速度檢測（一）、自感式傳感器的原理及分類自感式傳感器又稱電感式傳感器或變磁阻式傳感器，原理如圖示。線圈的電感值按下式計算:其中:

九、自感式傳感器位移及速度檢測,忽略Rc,則有

九、自感式傳感器位移及速度檢測自感式傳感器分為三種類型

螺線管式變氣隙型變截面型九、自感式傳感器位移及速度檢測差動變氣隙式自感傳感器結(jié)構(gòu)及測量（交流）電橋（調(diào)幅電路）如圖示。1-鐵芯2-線圈3-銜鐵九、自感式傳感器位移及速度檢測速度傳感器定義:能感受被測速度并轉(zhuǎn)換成可用輸出信號的傳感器。單位時間內(nèi)位移的增量就是速度。速度包括線速度和角速度