電子級四氯化鈦 編制說明

1《電子級四氯化鈦》編制說明（征求意見稿）電子級四氯化鈦是集成電路存儲器制造領域的重要原材料之一，也是電子級二氧化鈦、鈦酸鋇、特種高純合成石英的原材料，還可用于生產(chǎn)高純鈦、海綿鈦等，目前國內(nèi)已有少量產(chǎn)業(yè)化，并開始供應給國內(nèi)存儲器制造廠商，逐步在替代進口；在特種電子級四氯化鈦在國際和國內(nèi)都還沒有明確的標準可以參考，現(xiàn)行的行業(yè)標準氯化鈦中不僅僅只有上述五種雜質(zhì)，故而其測試所得純度并不準確；另外，上述五種雜質(zhì)含量在幾個至幾十ppm級別，完全無法滿足集成電路等行業(yè)對金屬離子ppb級甚《國家標準化發(fā)展綱要》中指出要推動標準化與科技創(chuàng)新互動發(fā)展，加強關鍵技術領域標準研究，在兩化融合、新一代信息技術、大數(shù)據(jù)、區(qū)塊鏈、衛(wèi)生健康、新能源、新材料等應用前景廣闊的技術領域，同步部署技術研發(fā)、標準研制與產(chǎn)業(yè)推廣，富標準的供給渠道，并在重點支持的領域中強調(diào)要研制關鍵基礎標準。研制電子級四氯化鈦標準正是對國家標準化發(fā)展戰(zhàn)略的積極響應，對國家2023年12月國家標準化管理委員下達了《電子級N-甲基-劃號：20232463-T-469）國家標準計劃，由全國半導體設備和材料標準化技術委員會(SAC/TC203)歸口管理，由武漢新硅科技潛江有限公司牽頭起草，項目周期18個月，22023年在全國半導體設備和材料標準化技術委員會的組織下，成科技潛江有限公司牽頭的標準編制小組，小組成員優(yōu)負責電檢測的相關技術人員組成，有著豐富的生產(chǎn)及分析檢測經(jīng)驗有比較清晰的認識，標準編制小組充分開展了調(diào)研工作，調(diào)項目計劃下達后，標準編制小組根據(jù)電子級四氯化鈦的生產(chǎn)與使用經(jīng)驗，并與行業(yè)內(nèi)相關單位的技術人員進行了充分的溝通和交流，通過查閱大量的文獻，比較了國內(nèi)外電子級四氯化鈦的品質(zhì)情況，調(diào)研和調(diào)查了相關客戶的質(zhì)量要求，幾十召開現(xiàn)場工作會議討論標準內(nèi)容，按照國家標準編制原則、框架要求和國家的法律法規(guī)，編制組及時修改標準文本，形成了《電子級四氯化鈦》標《電子級四氯化鈦》國家標準啟動會，與會專家對《電子級四氯化鈦》標準文本進行了詳細地討論并提出了修改意見，會后，編制小組根據(jù)專家組意見對標準文本進行了修改和完善，形成了國家標準《電子級四氯化鈦》工作會議期間，專家組對《電子級四氯化鈦》征求意見稿進行了詳細的討論和評審，并提出了多條修改意見，如①對“表1技術指標”增加備注說明、②“5.1含量檢測”文件正文中、④增加“檢測結果評價”章節(jié)、⑤部分序號或文字錯誤等。以上修改意前驅(qū)體、化合物半導體等，在光纖、光伏、半導體、合成石英等領域有廣泛的應用。南大光電半導體材料有限公司參與了復驗工作，并在標準研制過程中給予了積極的反3本文件主要起草人李楷東統(tǒng)籌了標準的申報工作，作為標準編制主要負責人主持了標準文本和編制說明的編寫，跟進標準修訂進度，推進標準穩(wěn)步完善。何壽林負責標準中產(chǎn)品指標及安全相關事項的編寫，王麗、關彩鳳負責標準中分析測試部分內(nèi)容好彼此之間的關系，追求技術的先進性、指標的武漢新硅科技潛江有限公司設有市級電子半導體材料分析檢測中心，具備千級/百備上，設定不同的升溫程序和參數(shù)，以驗證檢測結經(jīng)過幾十批次的驗證，確定標準文件中所列測試方法，可以有效檢