等離子體參數(shù)測(cè)試方法 編制說(shuō)明

《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明1《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明32號(hào)“國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)關(guān)于下達(dá)2024年第五批推薦性國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃及相關(guān)），證，并召開(kāi)了多次專(zhuān)家組會(huì)，與會(huì)專(zhuān)家一致認(rèn)為《等離子體參數(shù)綜合測(cè)試方法》秘書(shū)處向中國(guó)科學(xué)院條件保障與財(cái)務(wù)局提交“關(guān)于調(diào)整《等離子體參數(shù)綜合測(cè)試方法》項(xiàng)目名稱(chēng)的申請(qǐng)”，詳見(jiàn)附件一。該申請(qǐng)于2024年12月30日獲得中科院條2024年7月《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)的任務(wù)下達(dá)后，牽頭單位中12中國(guó)科學(xué)院空天信息3安徽中科大禹科技有《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明2456中國(guó)科學(xué)院等離子體7核工業(yè)西南物理研究院89中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)先1234負(fù)責(zé)制定標(biāo)準(zhǔn)起草計(jì)劃和5負(fù)責(zé)起草和審核標(biāo)準(zhǔn)內(nèi)容678負(fù)責(zé)起草標(biāo)準(zhǔn)電子參數(shù)測(cè)9負(fù)責(zé)起草標(biāo)準(zhǔn)離子參數(shù)測(cè)負(fù)責(zé)起草標(biāo)準(zhǔn)激光專(zhuān)業(yè)技負(fù)責(zé)離子和電子參數(shù)試驗(yàn)3負(fù)責(zé)起草粒子種類(lèi)參數(shù)測(cè)院負(fù)責(zé)粒子種類(lèi)參數(shù)試驗(yàn)驗(yàn)證億、1200億和500億美元左右，在環(huán)境保護(hù)領(lǐng)域的應(yīng)用市場(chǎng)（全球廢水排放量已《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明4離子體物理學(xué)分會(huì)以及歐盟2017年規(guī)劃中都提出了等離子體測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)以及等離哈爾濱工業(yè)大學(xué)以及大連理工大學(xué)等研究機(jī)構(gòu)均提出等離子體測(cè)量測(cè)量以及標(biāo)《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明52024年9月，在合肥召開(kāi)了編寫(xiě)組會(huì)議。標(biāo)準(zhǔn)編寫(xiě)組通過(guò)調(diào)查研究現(xiàn)有國(guó)際《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明62024年9月至12月，標(biāo)準(zhǔn)編制組根據(jù)建議和修改意見(jiàn)，對(duì)《等離子體參數(shù)測(cè)《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明7學(xué)和中科院等離子體物理研究所建立的離子參數(shù)測(cè)試裝置[3-4]，建立了等離子體離子參數(shù)測(cè)試裝置。目前，常用的離子參數(shù)測(cè)試裝置主要包括質(zhì)譜探針-示波器電參數(shù)和表面效應(yīng)影響，在高密度或強(qiáng)磁場(chǎng)環(huán)境中可能失效；激光器-光譜儀測(cè)噪聲。因此，本標(biāo)準(zhǔn)選擇使用激光器-光譜儀測(cè)試系統(tǒng)測(cè)本標(biāo)準(zhǔn)參考中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)建立的電子參數(shù)測(cè)試裝置[5-6]，建立了等離子體電子參數(shù)測(cè)試裝置。目前，常用的電子參數(shù)測(cè)試儀器主要包括朗繆爾探《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明8根據(jù)中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)給出的等離子體粒子種類(lèi)測(cè)試方法[7]，參考GB/T43861—2024《微波等離子體原子發(fā)射光譜方法通則》規(guī)定的發(fā)射光譜測(cè)試方法·OHHαHβO測(cè)試方法[3-4，10]，參考GB/T38257—2019《激光誘導(dǎo)擊穿光譜《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明9根據(jù)中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)以及中國(guó)工程物理研究院給出的等離子體電子密度測(cè)試方法[5-6，11]，結(jié)合多次編寫(xiě)工作小組和專(zhuān)家測(cè)試方法的建議，確定了電子密《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明12本標(biāo)準(zhǔn)針對(duì)等離子體參數(shù)測(cè)試方法的規(guī)范化，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)外在等離子體技通過(guò)明確統(tǒng)一的等離子體參數(shù)測(cè)試方法，等離子體相關(guān)設(shè)備和產(chǎn)品的研發(fā)本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定了統(tǒng)一的等離子體參數(shù)測(cè)試方法，為等離子體相關(guān)設(shè)備和技術(shù)《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明等離子體參數(shù)測(cè)試方法標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施將形成有效的統(tǒng)一測(cè)試方法，有助于提本標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施將推動(dòng)等離子體參數(shù)測(cè)試技術(shù)的創(chuàng)新和發(fā)展，促進(jìn)相關(guān)企業(yè)通過(guò)本標(biāo)準(zhǔn)的發(fā)布和實(shí)施，等離子體設(shè)備和技術(shù)在應(yīng)用前經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的參數(shù)《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明[1]GB/T43861—2024微波等離子體原子發(fā)射光譜方法[2]GB/T38257—2019激光誘導(dǎo)擊穿光electrontemperaturedeterminationinlow-temperaturecollisionalplasmas[f《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明（征求意見(jiàn)稿）《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明123波長(zhǎng)調(diào)節(jié)范圍：410nm-900nm45671），《等離子體參數(shù)測(cè)試方法》征求意見(jiàn)稿編制說(shuō)明eV，離子速度分布函數(shù)可由圖S3直接得到，頻移ΔV每變化1.5GHz與速度變化方法（征求意見(jiàn)稿）》中的方法計(jì)算得到：電子溫度為2.8±0.3eV，電子密度為2.0×1018m-3。86428642Measuredda