藍寶石單晶襯底拋光片編制說明VIP

國家標準《藍寶石單晶襯底拋光片》編制說明（預(yù)審稿）一、工作簡況1、立項目的與意義藍寶石晶體作為電子信息產(chǎn)業(yè)及特殊光電設(shè)備領(lǐng)域的重要材料，隸屬于國家重點支持的高新技術(shù)領(lǐng)域第四大類“新材料”中光電子、光子晶體信息材料技術(shù)?！爸袊圃?025”中明確提出重點發(fā)展新材料領(lǐng)域中的關(guān)鍵戰(zhàn)略材料如電子陶瓷和人工晶體材料?！懂a(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整指導(dǎo)目錄（2011年本）》明確支持“信息、新能源、國防、航天航空等領(lǐng)域用高品質(zhì)人工晶體材料、制品和器件生產(chǎn)裝備技術(shù)開發(fā)”和“半導(dǎo)體、光電子器件、新型電子元器件等電子產(chǎn)品用材料”、“半導(dǎo)體照明襯底、外延、芯片、封裝及材料”等領(lǐng)域發(fā)展。隨著電子信息技術(shù)的發(fā)展，尤其是半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)的飛速發(fā)展，藍寶石襯底的市場需求越來越強烈。由于在透紅外光、介電性能和抗劃傷等方面的突出優(yōu)勢，藍寶石不僅可以使觸摸屏的敏感度和反應(yīng)速度更高，且硬度大可以抵擋刀劃等各種磨損，因此被廣泛應(yīng)用于消費電子領(lǐng)域，主要包括智能手機攝像頭的保護蓋板、指紋識別HOME鍵蓋板、智能手表屏幕蓋板以及未來可能推廣的智能手機屏幕蓋板等。藍寶石的應(yīng)用領(lǐng)域主要涉及LED襯底材料、消費電子和軍事等應(yīng)用，其中，襯底為藍寶石最主要的應(yīng)用，占據(jù)了約80%的份額，消費電子行業(yè)占據(jù)約20%。在LED襯底領(lǐng)域藍寶石襯底相對其他襯底材料占90%以上的市場份額。隨著Mini/Micro-LED產(chǎn)業(yè)化進程加速，對藍寶石襯底需求量也與日俱增，有報道對藍寶石襯底需求量進行測算：每片4英寸芯片可量產(chǎn)1700萬Micro-LED，約可供1臺60英寸4K電視/3臺手機（2K）/2臺平板（2K）。預(yù)計2025年芯片/襯底需求量達到3500萬片，如果蘋果全部采用Micro-LED，則需要6300萬片。截至2021年12月，藍寶石出口單價為762.12美元每千克。據(jù)行家說Research預(yù)測，到2026年MircoLED將能帶來1.96億美金的芯片產(chǎn)值?；贚ED芯片技術(shù)的發(fā)展及產(chǎn)品的快速迭代，帶動藍寶石襯底向更大尺寸方向發(fā)展。同時，Mini/Micro-LED對波長均勻性和缺陷控制有更高要求，對襯底材料的平坦度、表面微觀缺陷以及潔凈度等有提出更高品質(zhì)技術(shù)要求。因此，原有的標準GB/T30858-2014所規(guī)定的技術(shù)要求已遠遠滿足不了藍寶石襯底目前實際的市場需求，鑒于藍寶石襯底近幾年的迅速發(fā)展，需要對GB/T30858-2014《藍寶石單晶襯底拋光片》標準進行修訂，以引導(dǎo)藍寶石行業(yè)發(fā)展，滿足市場需求和促進技術(shù)進步。2、任務(wù)來源根據(jù)《國家標準化管理委員會關(guān)于下達2024年第一批推薦性國家標準計劃及相關(guān)標準外文版計劃的通知》（國標委發(fā)[2024]16號）的要求，由天通銀廈新材料有限公司等單位負責(zé)修訂《藍寶石單晶襯底拋光片》，計劃編號20240142-T-469，項目周期16個月，要求完成時間2025年7月。3、任務(wù)承擔(dān)單位概況天通銀廈新材料有限公司成立于2014年，注冊資本8.85億元，是專業(yè)從事大尺寸藍寶石晶體、晶棒及襯底晶圓研發(fā)、制造和銷售為一體的國家高新技術(shù)企業(yè)。公司歷經(jīng)10年的發(fā)展，已成長為國內(nèi)大尺寸藍寶石晶體生長、大尺寸晶棒加工以及襯底晶圓超精密加工技術(shù)領(lǐng)先的企業(yè)，產(chǎn)品主要應(yīng)用于工業(yè)、醫(yī)藥業(yè)、集成電路及智能手機終端、新一代MicroLED顯示技術(shù)和5G通信等行業(yè)。公司生產(chǎn)區(qū)域包括已建成的老廠區(qū)和正在規(guī)劃建設(shè)的新廠區(qū)。其中，老廠區(qū)已建成160kg~400kg級藍寶石晶體的量產(chǎn)項目、晶體掏棒和襯底加工等延鏈補鏈項目，可實現(xiàn)年產(chǎn)藍寶石晶體2000噸。綜合老廠區(qū)的已建成項目和新廠區(qū)正在規(guī)劃建設(shè)的所有項目，公司在藍寶石材料產(chǎn)業(yè)上的總投資已接近40億元，可實現(xiàn)藍寶石晶體綜合年產(chǎn)能約4700噸、藍寶石晶棒年產(chǎn)能超過5400萬毫米、藍寶石襯底片年產(chǎn)能480萬片的產(chǎn)業(yè)規(guī)模。公司作為高新技術(shù)企業(yè)，一直致力于產(chǎn)品創(chuàng)新與技術(shù)提升，潛心研究和開發(fā)新產(chǎn)品、新工藝、新技術(shù)。公司自主立項并開展研發(fā)創(chuàng)新活動超過20項，近年來研發(fā)投入超過1.6億元。公司先后研發(fā)出不同（100~720kg）公斤級藍寶石晶體、高端顯示領(lǐng)域所需的藍寶石襯底晶片（2~8英寸），其中720kg級晶體是目前國內(nèi)最大規(guī)格藍寶石晶體。經(jīng)過幾年的創(chuàng)新突破，目前已形成了企業(yè)自有的大尺寸藍寶石生長工藝技術(shù)和切磨拋技術(shù)，獲得了多項自主研發(fā)和創(chuàng)新的技術(shù)、工藝，其中授權(quán)專利51項、計算機軟件著作權(quán)15項，科技成果12項。公司主持修訂了國家標準GB/T31092—2022《藍寶石單晶晶錠》，編制組負責(zé)人康森曾負責(zé)起草了GB/T34504—2017《藍寶石拋光襯底片表面殘留金屬元素測量方法》。4、主要工作過程4.1、起草階段本項目編制單位天通銀廈新材料有限公司、徐州凱成科技有限公司、徐州美興光電科技有限公司、中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所通過調(diào)研國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)的生產(chǎn)現(xiàn)狀及技術(shù)發(fā)展趨勢，考慮用戶的當(dāng)前使用要求及以后技術(shù)發(fā)展的潛在使用要求，于2024年10月形成了討論稿。2024年10月15日，由全國半導(dǎo)體設(shè)備和材料標準化技術(shù)委員會材料分技術(shù)委員會組織，在云南省昆明市組織召開了國家標準《藍寶石單晶襯底拋光片》第一次工作會議（討論會），與會專家對討論稿進行了逐條評審，對技術(shù)內(nèi)容和文本質(zhì)量進行了充分討論，并對范圍、技術(shù)要求、試驗方法、檢驗規(guī)則等具體內(nèi)容提出了寶貴意見和建議。4.2、征求意見階段第1次工作會議結(jié)束后，編制組逐項落實會議確定的19項專家意見，對標準稿件進行修改，于2024年11月形成了征求意見稿，通過郵件發(fā)送行業(yè)內(nèi)多家生產(chǎn)、使用等相關(guān)單位征求意見。根據(jù)各相關(guān)單位的修改建議，對標準稿件進行修改和完善，于2024年12月形成了預(yù)審稿，并于2024年12月在蘇州市參加《藍寶石單晶襯底拋光片》標準第2次工作會議。二、標準編制的原則及確定主要內(nèi)容的依據(jù)1、編制原則本標準起草單位自接受起草任務(wù)后，成立了標準編制工作組，負責(zé)收集生產(chǎn)統(tǒng)計、檢驗數(shù)據(jù)、市場需求及客戶要求等信息。以國家標準GB/T30858—2014《藍寶石單晶襯底拋光片》為基礎(chǔ)，初步確定了《藍寶石單晶襯底拋光片》標準起草所遵循的基本原則和編制依據(jù)：1）標準的編寫格式按國家標準GB/T1.1—2020《標準化工作導(dǎo)則第1部分：標準化文件的結(jié)構(gòu)和起草規(guī)則》的統(tǒng)一規(guī)定和要求進行編寫?？紤]用戶的當(dāng)前使用要求及以后技術(shù)發(fā)展的潛在使用要求?？紤]國內(nèi)生產(chǎn)企業(yè)的生產(chǎn)現(xiàn)狀及技術(shù)發(fā)展趨勢。2、標準主要內(nèi)容的確定依據(jù)及主要試驗驗證情況分析本標準代替GB/T30858—2014《藍寶石單晶襯底拋光片》。相比于GB/T30858—2014，本次的主要技術(shù)變動內(nèi)容如下。2.1、更改了適用范圍。討論稿中基于目前的市場需求和技術(shù)發(fā)展，將2014版原文件中“1范圍”由“適用于單面拋光藍寶石襯底片”修改為“適用于外延生長半導(dǎo)體薄膜用藍寶石襯底片”。在第一次工作會議（討論會）中，與會專家提出僅“適用于外延生長半導(dǎo)體薄膜”不能全面描述藍寶石拋光片的應(yīng)用范圍，故在預(yù)審稿中將適用范圍完善為“適用于外延生長半導(dǎo)體薄膜、生產(chǎn)藍寶石圖形化襯底、藍寶石鍵合襯底等用途的藍寶石拋光片”。此外，根據(jù)討論會中的專家意見，將藍寶石單晶襯底拋光片的簡稱由“藍寶石襯底片”更改為“藍寶石拋光片”，更符合本文件中的產(chǎn)品屬性。2.2、更改了規(guī)范性引用文件。隨著藍寶石晶體材料品質(zhì)的提升以及檢測技術(shù)的不斷完善，目前已有藍寶石單晶晶向、襯底片彎曲度、襯底片翹曲度、位錯密度、半峰寬值的檢測標準，并且目前已有更適用的總雜質(zhì)含量和表面粗糙度的檢測標準。因此，本文件將原文件中規(guī)范性引用文件GB/T1555、GB/T6619、GB/T6620、附錄A、附錄B、附錄C、附錄D分別用GB/T34210、GB/T31353、GB/T31352、GB/T33236、GB/T33763、GB/T34612、GB/T29505替代。根據(jù)相關(guān)術(shù)語和定義界定的需要，增加了規(guī)范性引用文件GB/T31092。由于本文件新增了參考槽的尺寸及允許偏差、邊緣寬度的技術(shù)要求，所以新增了規(guī)范性引用文件GB/T1958和YS/T26作為試驗方法。根據(jù)討論會專家意見，出于對7.2中包裝環(huán)境潔凈度的規(guī)范表述的需要，增加了規(guī)范性引用文件GB/T25915.1。2.3、刪除了“藍寶石”、“襯底”、“局部厚度變化”、“藍寶石晶棒”、“亮點”的定義。根據(jù)需要，增加了規(guī)范性引用文件GB/T31092，GB/T14264和GB/T31092界定的術(shù)語和定義可以滿足本文件的要求，不再單獨列出藍寶石、襯底、亮點的定義。此外，修訂后的文件中無“藍寶石晶棒”的術(shù)語，并且“局部厚度變化”的術(shù)語在全文中只出現(xiàn)了一次，因此，刪除藍寶石晶棒和局部厚度變化的術(shù)語和定義。2.4、增加了總則。根據(jù)市場需求和產(chǎn)品特點，在第4章技術(shù)要求中增加總則“藍寶石拋光片的技術(shù)參數(shù)是指在合格質(zhì)量區(qū)內(nèi)的要求”，使表述更加規(guī)范、嚴謹。根據(jù)GB/T14264—2024《半導(dǎo)體材料術(shù)語》中合格質(zhì)量區(qū)的定義“邊緣去除后所限定的各參數(shù)值均符合規(guī)定的晶片表面中心區(qū)域”，在總則中規(guī)定了各規(guī)格藍寶石拋光片的邊緣去除區(qū)，從而明確了各規(guī)格藍寶石拋光片的合格質(zhì)量區(qū)。2.5、更改了化學(xué)組成的要求。由于GB/T31092中藍寶石單晶的定義為“人工生長的有確定晶向的型氧化鋁單晶”，因此刪除4.1中“藍寶石單晶的化學(xué)組成為高純的α-Al2O3”的冗余表達，并將條標題修改為“總雜質(zhì)含量”。根據(jù)討論會中的專家意見，明確了主要雜質(zhì)元素類型，將總雜質(zhì)含量的技術(shù)要求修改為“藍寶石拋光片中雜質(zhì)元素Li、Na、Mg、Si、Ca、Ti、V、Cr、Fe、Co、Nb、Cu、Ga、Mo、W的總含量應(yīng)小于100mg/kg”，與GB/T31092—2022《藍寶石單晶晶棒》中的總雜質(zhì)含量的要求相統(tǒng)一。2.6、更改了結(jié)晶完整性的要求。在實際的藍寶石晶體生長過程中，若受到雜質(zhì)、溫度變化或震動產(chǎn)生的應(yīng)力作用，或者受到打擊、切削、研磨等機械應(yīng)力作用，會使晶體內(nèi)部質(zhì)點排列變形，原子行列相互滑移，不再符合理想晶體的有序排列，形成線狀缺陷，即位錯。大量的位錯會影響藍寶石晶體的光學(xué)、電學(xué)、力學(xué)性能，在LED襯底應(yīng)用方面，位錯的存在會降低襯底外延層的質(zhì)量，進而降低LED照明的發(fā)光效率。隨著新型顯示技術(shù)的發(fā)展，對藍寶石襯底材料的品質(zhì)要求不斷提升。低位錯密度的襯底片是制作高質(zhì)量外延片的基礎(chǔ)，因此，基于目前的市場需求和技術(shù)水平，結(jié)合相關(guān)單位的征集意見，對藍寶石拋光片的位錯密度的技術(shù)要求進行修改。具體的修改內(nèi)容是：將位錯密度“應(yīng)小于104個/cm2”修改為“應(yīng)符合表2的規(guī)定”。位錯密度單位為個每平方厘米等級位錯密度Ⅰ＜?500Ⅱ500?~?1?000X射線雙晶搖擺曲線的半峰全寬也是表征晶體材料結(jié)構(gòu)完整性的重要參數(shù)。因此，基于目前的市場需求和技術(shù)水平，對藍寶石拋光片的雙晶搖擺曲線半峰全寬的技術(shù)要求進行修改。具體的修改內(nèi)容是：將雙晶搖擺曲線的半峰全寬“應(yīng)小于30?arcsec”修改為“應(yīng)小于20?arcsec”。2.7、刪除了生長方法的要求。本文件修訂過程中，凡是“按雙方合同的規(guī)定”的未定技術(shù)要求，均包含在本文件的4.10“如需方對藍寶石拋光片有特殊技術(shù)要求，由供需雙方協(xié)商確定，并在訂貨單中注明”的表述中，不再單獨列出。因此，刪除了原文件中生長方法的要求。2.8、更改了表面取向及主參考面取向或主參考槽取向，刪除了圖1、圖2。為提升表述的清晰性和格式的規(guī)范性，本文件對原文件的表1進行了格式上的更改和完善。同時，表3中的內(nèi)容能夠清楚說明表面取向及參考面取向的關(guān)系，不需要圖示解釋，因此刪除原文件中的圖1和圖2。2.9、更改了尺寸及允許偏差的要求，增加了邊緣寬度的要求。隨著Micro-LED、Mini-LED的快速發(fā)展，其工藝與LED工藝雖有部分相同，但尺寸相差10倍以上，亮度更高，壽命更長。這要求Micro-LED具有良好的一致性和均勻性，因此對其襯底材料的直徑、加工精度、表面粗糙度、亞表面損傷等的要求更加嚴格。原文件所規(guī)定的技術(shù)要求已滿足不了藍寶石拋光片實際的市場需求，因此本文件提高了原文件中外形尺寸及允許偏差的技術(shù)要求。此外，LED芯片技術(shù)的發(fā)展及產(chǎn)品的快速迭代，帶動藍寶石襯底向更大尺寸方向發(fā)展。與小尺寸襯底相比，大尺寸襯底的芯片產(chǎn)量大幅提高，邊緣濾除損失比例大幅降低。在技術(shù)成熟度和成本降低的綜合驅(qū)動下，6、8英寸藍寶石襯底的市場需求開始快速增加。因此，本文件中增加了8英寸襯底的尺寸及允許偏差。根據(jù)討論會的專家意見，結(jié)合本文件中產(chǎn)品的市場需求和制程特點，增加了倒角工藝相關(guān)的邊緣寬度（即倒角面幅）的技術(shù)要求，規(guī)定了各規(guī)格藍寶石拋光片的邊緣寬度。2.10、增加了參考槽的尺寸及允許偏差的要求，增加了參考槽的結(jié)構(gòu)圖。為提高材料利用率，藍寶石襯底客戶對6、8英寸大尺寸藍寶石襯底的參考面采用參考槽替代，因此，本文件增加了參考槽尺寸及允許偏差的要求，并增加了參考槽的結(jié)構(gòu)圖。2.11、更改了正表面缺陷的要求。在LED襯底領(lǐng)域，為實現(xiàn)更高亮度LED以及提升LED芯片加工合格率，對藍寶石襯底的面型質(zhì)量、表面缺陷等提出更高的要求。因此，本文件修訂過程中，為適應(yīng)目前市場發(fā)展的需要，基于藍寶石拋光片實際制程及產(chǎn)品特點，更改并提高了拋光片正表面缺陷的技術(shù)要求。具體修訂內(nèi)容如下：減小了劃傷的數(shù)量及尺寸限度；減小了崩邊的尺寸限度；刪除了裂紋、線切痕、亮點三項內(nèi)容。此外，由于本文件增加了8英寸襯底的尺寸，所以在以襯底尺寸分類的劃傷項目中，增加了8英寸襯底的劃傷技術(shù)要求。根據(jù)討論會的專家意見，為提升表述的規(guī)范性（依據(jù)GB/T14264—2024《半導(dǎo)體材料術(shù)語》中的相關(guān)定義），并強調(diào)藍寶石拋光片的拋光面，將文本中的“表面”統(tǒng)一修改為“正表面”，“背面”統(tǒng)一修改為“背表面”。2.12、更改了背表面缺陷的要求。原文件中將對藍寶石拋光片背表面的亮點等缺陷的要求寫入正表面缺陷的技術(shù)要求表中，導(dǎo)致正表面缺陷與背表面缺陷的要求不明晰、易混淆。因此，本文件將正表面缺陷和背表面缺陷的要求進行細分，根據(jù)GB/T1.1—2020中對表的相關(guān)規(guī)定，結(jié)合實際生產(chǎn)制程和產(chǎn)品特點，將裂紋、線切痕、亮點劃分進背表面缺陷，形成了背表面缺陷的技術(shù)要求表，以便更全面、準確、直觀地體現(xiàn)正表面缺陷和背表面缺陷的技術(shù)要求。并且，根據(jù)市場發(fā)展的需要及目前國內(nèi)外各生產(chǎn)廠家藍寶石襯底的制造水平，提高了拋光片背表面缺陷的技術(shù)要求，減小了崩邊的尺寸限度。此外，為提高文件用詞的一致性，將條標題“背面質(zhì)量”修改為“背表面缺陷”。根據(jù)討論會的專家意見，為避免產(chǎn)生歧義，將正、背表面缺陷要求表（見表6、表7）中的“無”改為“不允許存在”。2.13、更改了顆粒度的要求。科技部《“十四五”國家重點研發(fā)計劃“新型顯示與戰(zhàn)略性電子材料”重點專項》中明確指出，“研究大尺寸襯底上低缺陷密度、高波長均勻性、Micro-LED外延生長技術(shù)，解決Micro-LED尺寸效應(yīng)、邊緣效應(yīng)以及低損傷刻蝕和鈍化修復(fù)技術(shù)難題，開發(fā)高均勻性、高效率的Micro-LED外延片和Micro-LED芯片”。受益于行業(yè)景氣度及產(chǎn)能擴張，LED產(chǎn)值將實現(xiàn)高速增長，預(yù)計到2026年Mirco-LED將帶來1.96億美金的芯片產(chǎn)值。Micro-LED對波長均勻性和缺陷控制有更高要求，對襯底材料的平坦度、表面微觀缺陷以及潔凈度等提出更高品質(zhì)技術(shù)要求。因此，根據(jù)市場發(fā)展的需要及目前國內(nèi)外各生產(chǎn)廠家藍寶石襯底的制造水平，結(jié)合討論會的專家意見以及相關(guān)單位的征集意見，提高了顆粒度的尺寸和數(shù)量要求。具體修改內(nèi)容如下：將2英寸產(chǎn)品顆粒度要求“＞0.3μm＜200個”改為“＜5μm＜50顆”；將4英寸產(chǎn)品顆粒度要求“＞0.3μm＜1000個”改為“＜5μm＜100顆”；將6英寸產(chǎn)品顆粒度要求“＞0.3μm＜1000個”改為“＜5μm＜200顆”。此外，由于本文件增加了8英寸產(chǎn)品的尺寸，所以在顆粒度要求中，增加了8英寸產(chǎn)品的顆粒度技術(shù)要求“＜5μm＜500顆”。2.14、更改了總雜質(zhì)含量、結(jié)晶完整性、表面取向及主參考面取向或主參考槽取向、尺寸及允許偏差、表面粗糙度的試驗方法。隨著藍寶石晶體材料品質(zhì)的提升以及檢測技術(shù)的不斷完善，目前已有藍寶石單晶晶向、襯底片彎曲度、襯底片翹曲度、位錯密度、半峰寬值的檢測標準，并且目前已有適用的總雜志含量和表面粗糙度的檢測標準。因此，本文件將原文件中檢測標準GB/T1555、GB/T6619、GB/T6620、附錄A、附錄B、附錄C、附錄D分別用GB/T34210、GB/T31353、GB/T31352、GB/T33236、GB/T33763、GB/T34612、GB/T29515替代。同時，由于第4章中增加了參考槽和邊緣寬度的技術(shù)要求，故增加了GB/T1958和YS/T26作為試驗方法。2.15、更改了檢查和驗收的要求。根據(jù)產(chǎn)品標準的最新要求，將檢查和驗收的要求更改為“產(chǎn)品應(yīng)由供方或第三方質(zhì)檢部門進行檢驗，保證產(chǎn)品質(zhì)量符合本文件及訂貨單的規(guī)定，并填寫產(chǎn)品質(zhì)量保證書”。2.16、更改了組批的要求。在實際生產(chǎn)過程中，相同長晶工藝生產(chǎn)、并以相同加工工藝加工成的同規(guī)格藍寶石襯底片在客戶生長外延制程中無差別，可視為一批。因此，為提高組批合理性和實際生產(chǎn)效率，將組批要求由“同一晶錠切割的襯底片為一個檢驗批”更改為“每批應(yīng)由相同長晶工藝生產(chǎn)的藍寶石晶體，并以相同加工工藝加工成的同規(guī)格的藍寶石拋光片組成”。2.17、更改了檢驗項目及取樣的要求。為提升表述的清晰性和格式的規(guī)范性，本文件將原文件中的表6劃分為兩個表：抽檢項目（表11）和供需雙方協(xié)商的檢驗項目（表12）。根據(jù)藍寶石拋光片實際生產(chǎn)制程特點，更改了表面缺陷和背面缺陷檢驗方法具體要求。根據(jù)當(dāng)前市場供需雙方需求，以及目前日常出貨檢驗要求，將表面粗糙度的檢驗規(guī)則更改為由供需雙方協(xié)商是否檢驗。2.18、更改了檢驗結(jié)果的判定方法。根據(jù)當(dāng)前市場實際需求，并使文本邏輯更加清晰無歧義，結(jié)合討論會的專家意見，本文件將檢驗結(jié)果的判定方法修改為“若表10中的檢驗項目中有任何一項檢驗不合格，則判定該藍寶石拋光片不合格。除去不合格品后，合格品可以重新組批。各抽檢項目檢驗結(jié)果的接收質(zhì)量限應(yīng)符合表11中的規(guī)定。若表12中的檢驗項目中有任何一項檢驗不合格，則另取雙倍數(shù)量的試樣對不合格項目進行重復(fù)檢驗，若重復(fù)檢驗結(jié)果仍有一試樣不合格，則判定該批產(chǎn)品不合格”。2.19、更改了標志的內(nèi)容。根據(jù)市場需求和產(chǎn)品特點，更改了標志的內(nèi)容。由于客戶對產(chǎn)品打標的要求不一致，因此刪除了原文件中“襯底片的正面/背面應(yīng)有激光打標的產(chǎn)品標號，具體位置按照附錄E規(guī)定的方法或由供需雙方商定”的規(guī)定，客戶對打標的特殊要求，包含在7.4“如需方對藍寶石拋光片的標志、包裝、運輸和貯存由特殊要求，由供需雙方商定”的表述中。2.20、更改了包裝的內(nèi)容。根據(jù)討論會的專家意見，為提升文本的規(guī)范性，將原文件中包裝的“百級環(huán)境”表述為“不低于GB/T25915.1中4級潔凈環(huán)境”。根據(jù)實際生產(chǎn)