晶圓生產(chǎn)常用名詞介紹.ppt

1、- 0 -，索引，半導(dǎo)體工廠的基礎(chǔ)生產(chǎn)名詞生產(chǎn)流通順序關(guān)于生產(chǎn)能力的名詞Capacity計(jì)算原理生產(chǎn)和生產(chǎn)管理系統(tǒng)的生產(chǎn)指標(biāo)的定義和管理生產(chǎn)的概念生產(chǎn)管理系統(tǒng)和生產(chǎn)指標(biāo)CVP/OTD Turn ratio :周轉(zhuǎn)率，Move和WIP的比率，流通速度的指標(biāo)。=Move/WIP REPSTAGE :基本上分為光刻層次，一層光刻表示一個(gè)REPSTAGE，部分是特殊的。 等待時(shí)間：是直到當(dāng)前步驟的等待時(shí)間，并且不包含在HOLDtime:上一次保持發(fā)生后的時(shí)間fabuout:b-ship中的外部訂單的數(shù)量。 流程表：也稱為RUN CARD。 必須記錄晶片的加工步驟和要求，在流程圖過程中嚴(yán)格遵循流程圖上的

2、工藝步驟和要求。 - 3 -，1.2生產(chǎn)能力相關(guān)名詞，sop :標(biāo)準(zhǔn)操作程序SPT :標(biāo)準(zhǔn)處理時(shí)間，在適當(dāng)?shù)牟僮鳁l件下采用標(biāo)準(zhǔn)操作方法，以普通熟練工人的正常速度完成標(biāo)準(zhǔn)操作所需的時(shí)間。 一般來說，是Batch作業(yè)所需的時(shí)間。 BATCH:一次產(chǎn)量、一次操作生產(chǎn)的數(shù)量、裝置的每RUN的晶片數(shù)。 wph :每個(gè)機(jī)臺(tái)時(shí)間的晶片產(chǎn)量。 用于測(cè)量設(shè)備生產(chǎn)速度WPH=BATCH/SPT Capacity:的生產(chǎn)能力，在設(shè)備目標(biāo)OEE條件下根據(jù)SPT以單位時(shí)間內(nèi)的理論生產(chǎn)量Capacity/day=WPH*24*OEE target，- 4 -，1.3 Capacity_的計(jì)算原理，l FAB Capaci

3、ty一般用光刻層數(shù)(層數(shù))表示。- 5 -、1.4影響能力的因素、F(x )、equipment.uptime.available.set.EFI cicy、Process Type . Recipe； (SPT，WPH) . Frequency，Product mix .Total Frequency，Capacity，yield.fayield 97 %.photoreworkrate 95 %、- 6 -，第二章生產(chǎn)和生產(chǎn)管理系統(tǒng)的生產(chǎn)指標(biāo)的定義和管理，- 7 -， 索引、生產(chǎn)概念生產(chǎn)管理系統(tǒng)和生產(chǎn)指標(biāo)CVP /OTD CT是CVP/CT管理CT、output和WIP、Capacity的

4、關(guān)系和OEE優(yōu)先級(jí)系統(tǒng)Yield， - 8 -，1.1定義了生產(chǎn)概念，生產(chǎn)定義：狹義：投入一定的資源，一系列，經(jīng)過多種形式的轉(zhuǎn)換，附加價(jià)值最后生產(chǎn)消費(fèi)產(chǎn)品的過程的廣義：系統(tǒng)論的發(fā)展使人們能從更抽象、更高的角度認(rèn)識(shí)和掌握各種現(xiàn)象的共性，使有形產(chǎn)品的生產(chǎn)過程和無形產(chǎn)品服務(wù)的- 9 -，2.1生產(chǎn)管理體系，生產(chǎn)管理：對(duì)生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)過程進(jìn)行計(jì)劃、組織、指揮、協(xié)調(diào)、控制和評(píng)價(jià)的一系列管理活動(dòng)。 生產(chǎn)管理現(xiàn)場(chǎng)管理工程技術(shù)管理任務(wù)，將生產(chǎn)管理活動(dòng)按職能分類：現(xiàn)場(chǎng)管理：最大限度地激活人、物、設(shè)備的作用，保證每道工序完美的質(zhì)量，追求效率的狹義生產(chǎn)管理：根據(jù)用戶的要求，采用適當(dāng)、無浪費(fèi)、經(jīng)濟(jì)的方式，生產(chǎn)開發(fā)、設(shè)計(jì)的產(chǎn)

5、品，用戶工程技術(shù)管理：為了完成高效的q、d、c而進(jìn)行的產(chǎn)品設(shè)計(jì)，工程設(shè)計(jì)和生產(chǎn)設(shè)備管理，生產(chǎn)管理的任務(wù)和目標(biāo)：企業(yè)的經(jīng)營(yíng)目標(biāo)QQuality (質(zhì)量)、DDelivery (進(jìn)度)、CCost (成本)保證和質(zhì)量提高適時(shí)降低適量產(chǎn)品投入市場(chǎng)的產(chǎn)品成本。 DDelivery (進(jìn)展):包括產(chǎn)量、速度兩個(gè)階段的意思。 生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)管理的作用和意義：生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)過程是企業(yè)創(chuàng)造價(jià)值和利益的主要環(huán)節(jié)生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)管理是企業(yè)經(jīng)營(yíng)的基本功能生產(chǎn)運(yùn)營(yíng)管理是企業(yè)增強(qiáng)競(jìng)爭(zhēng)力的源泉。、- 10 -、2.2生產(chǎn)管理系統(tǒng)和生產(chǎn)指標(biāo)、生產(chǎn)管理系統(tǒng)、生產(chǎn)管理、現(xiàn)場(chǎng)管理、工程技術(shù)管理、指標(biāo)： OTD/CVP CT OUTPUT Yield

6、、生產(chǎn)計(jì)劃生產(chǎn)管理成本資材管理、生產(chǎn)能力管理、工作標(biāo)準(zhǔn)化、PDCA循環(huán)管理模式、OEE、實(shí)踐活動(dòng)， 優(yōu)先系統(tǒng)- 11 -，3.1 OTD/CVPCT定義，OTD :交貨期交貨率CVP :訂貨量的交貨期交貨率CVP=實(shí)際的交貨期入庫數(shù)量/訂單請(qǐng)求入庫數(shù)量* 100 % 從投入到入庫的時(shí)間CT=入庫時(shí)間-顧客保持時(shí)間-投入時(shí)間CT=層：從投入到入庫的實(shí)際流通時(shí)間/層數(shù)，- 12 -，3.2 OTD/CVP/CT管理，OTD運(yùn)用管理工具：Daily review，OTD/CT管理工具，w WAFER START POLICY，WAFER OUT交貨期管理，WAFER OUT，生產(chǎn)目標(biāo)達(dá)成，LONG

7、STAY CONTROL，發(fā)送，1)Capacity Improve 2)優(yōu)先級(jí)系統(tǒng)，1，WIP數(shù)量和WIP分布的限制2，生產(chǎn)能力的大小和穩(wěn)定性的限制3.3 CT、輸出和WIP、Capacity的關(guān)系和規(guī)定：輸出(層/日)=WIP/(CT /層) WIP大于某個(gè)值時(shí)：輸出(層/日) Capacity (層/日) day) CT、output改善：1.控制WIP的合理水平2 .提高靜態(tài)瓶頸設(shè)備的生產(chǎn)能力3 .保證設(shè)備的穩(wěn)定性，減少流程限制，減少動(dòng)態(tài)瓶頸- 14 -，OEE (overallequipmentf OEE是全面測(cè)量半導(dǎo)體器件性能和生產(chǎn)能力的指標(biāo)。 4.1 OEE_定義，- 15 -，

8、Unworried days(holidays )，Installation，Process experiments 、Change of consumable，Regular production，No product，Rework，No operator (02 state )，Engineering Lots，Total Time，可用性Scheduled，Time，Working，Time，UpTime，Engineering，Time，Available，Time，Idle，Time，unschered，Downtime，sc DownTime，(PM )，QC，time，4.2基本

9、概念-OEE_時(shí)間組成，-16，4.3基本概念-OEE_計(jì)算式，OEE=可用% *可用%， 注：1)按照TOC (約束理論)提高瓶頸設(shè)備的usedofavailable%是提高生產(chǎn)率2 )每個(gè)時(shí)期片段的需求不同，因此使用可用性%的數(shù)值不同，所以使用可用性% 設(shè)備的目標(biāo)OEE3) used of available %相當(dāng)于階段裝載(即階段裝載)，因此在計(jì)算設(shè)備生產(chǎn)能力時(shí)，將設(shè)備OEE的Used of available%=100%恢復(fù)到階段裝載，- 17 -、 確認(rèn)現(xiàn)在的瓶頸設(shè)備需要收集充分的數(shù)據(jù)，特別是實(shí)時(shí)準(zhǔn)確的數(shù)據(jù)，成立部門間的OEE項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)來分析數(shù)據(jù)，找出根本原因，提出改進(jìn)措施，達(dá)成效果分析，推進(jìn)Action的執(zhí)行。 鼓勵(lì)設(shè)備供應(yīng)商參加，4.4 OEE實(shí)施，- 18 -，5.1優(yōu)先體系，優(yōu)先等級(jí)：理論剩馀流通周期(加調(diào)整天數(shù))和剩馀交貨時(shí)間差的數(shù)量的大小，或市場(chǎng)訂單需求的緊急度，給園藝加工的優(yōu)先等級(jí)，優(yōu)先等級(jí)：資源有限的前提下，生產(chǎn)目標(biāo)(OTD、 為了更有效地實(shí)現(xiàn)output、line balance、key customer等)，對(duì)晶片加工順序賦予的等級(jí)是合理分配資源的過程。-