《靜電防護(hù)基礎(chǔ)知識》PPT課件.ppt

1、靜電防護(hù)基礎(chǔ)知識,制作：蔡汾良 審核：尹紀(jì)兵 時(shí)間：2008年月日,培訓(xùn)內(nèi)容,靜電防護(hù)的重要性 靜電及其防護(hù)基本概念 靜電危害 靜電防護(hù),靜電防護(hù)的重要性,1.隨著科技進(jìn)步，超大規(guī)模集成電路廣泛應(yīng)用。2.由于元器件尺寸的變小和芯片內(nèi)部的氧化膜變薄，使器 件承受靜電放電的能力下降。.元器件的儲存，貼裝，焊接，測試直到包裝等工序可能 發(fā)生因靜電放電造成對器件的損害。, 靜電定義,1 靜電 (Electrostatic),靜電就是對于觀測者相對靜止的電荷。,2 靜電釋放 (ESD：Electrostatic Discharge),兩個(gè)具有不同靜電電位的物體, 由于直接接 觸或受靜電場感應(yīng)而引起靜電電

2、荷的轉(zhuǎn)移, 使帶電體上的電荷部分或全部消失的現(xiàn)象。,3 靜電釋放敏感產(chǎn)品 (ESDS：Electrostatic Discharge Sensitive Devices),對靜電釋放產(chǎn)生的損害敏感的零部件或組件。, 靜電的產(chǎn)生,1 摩擦起電(由物體的接觸摩擦產(chǎn)生靜電) 2 剝離起電（相互密切結(jié)合的物體剝離） 3 斷裂帶電（材料因機(jī)械破裂使帶電粒子分開） 4 高速運(yùn)動中的物體（高速運(yùn)動的物體表面與空氣摩擦帶電）, 靜電危害,A：靜電吸附 元器件制造過程中由于二氧化硅等材料易吸附空氣中的帶電微粒導(dǎo)致半導(dǎo)體 擊穿失效； B：靜電擊穿和軟擊穿 靜電放電對靜電敏感器件損害的主要表現(xiàn)，一是硬擊穿，造成整個(gè)

3、器件的失效 和損壞；二是軟擊穿，造成器件的局部損傷，降低了器件的技術(shù)性能，而留下 不易被人們發(fā)現(xiàn)的隱患，以致設(shè)備不能正常工作。, 靜電防護(hù)標(biāo)志,標(biāo)志(a) 用于表明一電氣或電子設(shè)備、電子元器件容易被靜電損害或 某區(qū)域是靜電敏感區(qū)域。 標(biāo)志(b)用于表明材料或設(shè)備具有防靜電功能。 標(biāo)志(c)用于表明設(shè)備不能處于靜電、電磁場或純磁場的影響之下。 標(biāo)志(d)用于表明某區(qū)域或某設(shè)備容易受到高壓電場的損壞。, 典型ESD控制工作系統(tǒng),1. 防ESD地面 2. 防ESD臺面 3. 防ESD設(shè)備周轉(zhuǎn)、包裝、運(yùn)輸材料 4. 防ESD腕帶插孔 5. 個(gè)人ESD防護(hù)用品(腕帶、腳環(huán)、工服、手套等) 6. 可靠的接

4、地系統(tǒng),靜電防護(hù), 防靜電手腕帶,1 所有與靜電釋放敏感產(chǎn)品和設(shè)施有直接接觸的人員在生產(chǎn)中必須佩戴腕帶； 2 作業(yè)員在每班開始前必須用腕帶測試儀檢查其連續(xù)使用性,并在ESD日檢表上作記錄。發(fā)現(xiàn)有不合格的須立即進(jìn)行更換，直到檢測合格為止。,佩戴防靜電手腕帶注意事項(xiàng),1 手腕帶必須貼緊皮膚，不要戴在衣服或手套上； 2 皮膚干燥的員工，如果測試失敗，可在再次測試前，在戴手腕帶處抹一些專用皮膚霜，以增加皮膚的導(dǎo)電性； 3 有手腕帶接地點(diǎn)的工位，在不影響操作的前提下，必須使用手腕帶。對轉(zhuǎn)件員及上料員因無法使用手腕帶，這些員工要使用防靜電工作手套； 4 員工在 防靜電保護(hù)區(qū) 內(nèi)工作時(shí)，提倡盡可能使用手腕帶

5、。,接觸機(jī)板時(shí)如何預(yù)防靜電,正確的拿板方法如圖所示：,在拿取PCB, PCBA, 半成品，靜電釋放敏感產(chǎn)品和設(shè)施時(shí)，必須戴防靜電工作手套/指套。, 防靜電工作鞋,1. 除電工外，所有進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)的人員，必須穿工作鞋。電工因工作需進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)時(shí)，應(yīng)盡量在距離防靜電保護(hù)區(qū) 1.5米的區(qū)域內(nèi)活動，工作完成后不得在生產(chǎn)作業(yè)區(qū)內(nèi)逗留； 2. 除電工外，所有工作人員每日在進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)前，必須用靜電鞋測試儀檢查其連續(xù)使用性，并在ESD日檢表上作記錄。, 防靜電工作服,1. 除電工外，所有進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)的人員，必須穿工作服。發(fā)長過衣領(lǐng)的員工在進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)前，應(yīng)盤或扎起頭發(fā)，使發(fā)梢高于衣領(lǐng)，必要時(shí)，必須

6、戴防靜電工作帽； 2. 電工因工作需進(jìn)入生產(chǎn)作業(yè)區(qū)時(shí), 應(yīng)盡量在距離防靜電保護(hù)區(qū) 1.5米的區(qū)域內(nèi)活動, 工作完成后不得在 生產(chǎn)作業(yè)區(qū)內(nèi)逗留。, 防靜電地板,1. 指定的地板清潔工必須使用防靜電拖把來清除污跡，并使用防靜電清潔劑； 2. 防靜電地板的傳導(dǎo)是通過打蠟來維護(hù)的。ESD測試人員每周測一次生產(chǎn)作業(yè)區(qū)地板的電阻值。對于測試超標(biāo)的區(qū)域，廠務(wù)應(yīng)盡快安排人員進(jìn)行打蠟，對打蠟后的效果， ESD測試人員兩 天內(nèi)應(yīng)安排時(shí)間再次進(jìn)行測量。, 防靜電接地,1.接地裝置可靠 并聯(lián)接地，工作臺不可串聯(lián)接地；主接地線無接頭，線徑不小于25mm；接地電阻小于4ohm；防靜電地線不得與電源零線相接，不 得與防雷地

7、線共用。 2.接地系統(tǒng)可靠 包括限流電阻和連接端子連接可靠，并具有一定載流能力。限流電阻阻值的選擇應(yīng)保證泄漏電流不超過5mA，下限值取1M ohm10%,3.人身安全 工作臺面、坐椅等導(dǎo)靜電的ESD保護(hù)措施均應(yīng)通過限流電阻接到地線。保證減少電擊事故。即使有事故，必須使通過人體的電流低于5mA。 4. 部門合作 當(dāng)移動固定貨架、工作臺等物品時(shí)，及時(shí)通知廠房設(shè)備部門連接接地線。, ESDS（靜電釋放敏感產(chǎn)品）產(chǎn)品的運(yùn)輸存放和操作器具,1. 在運(yùn)輸和存放 ESDS產(chǎn)品時(shí)應(yīng)使用防靜電貨架、防靜電推車和防靜電周轉(zhuǎn)容器； 2. 防靜電貨架的表面必須覆蓋上防靜電墊，并接地；3. 運(yùn)輸用的防靜手推車和轉(zhuǎn)運(yùn)車的表面必須覆蓋上防靜電墊，并且輪子必須是傳導(dǎo)輪；, 腕帶檢測方法： 1. 把檢測儀面板上選擇開關(guān)換至腕帶檢測檔； 2. 按正確方法佩帶腕帶； 3. 把腕