Horiba流量計(jì)中文說(shuō)明書(shū).ppt

質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介,上海堀場(chǎng)貿(mào)易有限公司,質(zhì)量流量控制器主要是由傳感器、電路板和驅(qū)動(dòng)閥三大部分組成。是能夠?qū)怏w流量做精密測(cè)量和控制的一種儀器。主要使用在半導(dǎo)體工業(yè)和平面顯示器制造和太陽(yáng)能電子方面。 質(zhì)量流量：質(zhì)量流量控制器感測(cè)的是通過(guò)的氣體的分子量，工作時(shí)不受外界的溫度和壓力的影響。,CONTROL ELECTRONICS (P-I-D),SIGNAL PROCESSING,電源: +/- 15VDC,設(shè)定信號(hào): 05V,輸出信號(hào): 05V,進(jìn)氣端,出氣端,什么是質(zhì)量流量控制器,閥驅(qū)動(dòng),傳感器,控制閥,側(cè)流管,MFC 的內(nèi)部結(jié)構(gòu)圖,傳感器的結(jié)構(gòu),熱傳感器,. 根據(jù)傳感器的結(jié)構(gòu)，當(dāng)沒(méi)有氣體流入時(shí)， 傳感器兩邊的溫度呈拋物線狀均勻分布。 當(dāng)有氣體流過(guò)時(shí)，上流端的自加熱電阻 產(chǎn)生的熱量被帶走，從而兩端形成一定 的溫度差，使傳感器兩邊的溫度曲線分 布不再平衡。,傳感器側(cè)流管,傳感器在不同壓力下的特征,必須使側(cè)流管設(shè)計(jì)為層流結(jié)構(gòu)，這樣才能流 出相對(duì)穩(wěn)定和精準(zhǔn)的流量 。 （実用新案第號(hào)）,側(cè)流管在不同壓力下的特征,壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器,陶瓷的堆棧結(jié)構(gòu),外殼構(gòu)造,干燥的氮?dú)?連接端口,陶瓷驅(qū)動(dòng)器的內(nèi)部結(jié)構(gòu),MFC 的閥結(jié)構(gòu),陶瓷閥的工作效果圖,提供高的直流電壓,壓電元件,移動(dòng)方向,壓電元件的伸長(zhǎng),MFC 的閥結(jié)構(gòu),零點(diǎn)對(duì)實(shí)際流量的影響,+200mv,-200mv,200mV 5000mV(5V) 0.04(4） 100SCCM44SCCM,SCCM 標(biāo)準(zhǔn)立方厘米每分鐘 SLM 標(biāo)準(zhǔn)立方升每分鐘 1000sccm = 1slm SCCM和SLM是指在標(biāo)準(zhǔn)條件下的體積單位。標(biāo)準(zhǔn)條件指溫度為零攝氏度，一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓的條件。 在美國(guó)，標(biāo)準(zhǔn)條件被廣泛接受和認(rèn)同。 .然而，在其它不同的國(guó)家通常使用的流量單位除了SCCM和SLM外還有 CCM/ LM (日本) 溫度為 25C, 一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 NCCM/ NLM (日本) 溫度為20C, 一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)大氣壓 CCM作流量單位和SCCM作流量單位的MFC之間的流量相差大約為9.1%。,什么是SCCM /SLM 及區(qū)別,氣體 A,N2,真實(shí)流量,需要流量,QA = C.F.A * QN2,QA : 氣體 A的流量 C.F.A: 氣體A 到N2的轉(zhuǎn)換因數(shù) QN2: N2的流量,轉(zhuǎn)換因數(shù)是一個(gè)平均值。但是實(shí)際的轉(zhuǎn)換因數(shù)可能會(huì)因?yàn)榱髁康姆秶屯饨绲膲毫蜏囟鹊挠绊懚杂胁煌?轉(zhuǎn)換因數(shù)是使用氮?dú)膺M(jìn)行轉(zhuǎn)換，如果是用其它氣體作為測(cè)量氣體，那么測(cè)出的氣體流量值則會(huì)偏差很大。,N2,什么是MFC的轉(zhuǎn)換因數(shù),如何選擇合適的質(zhì)量流量控制器,SEC-7330 M C UC Ar 100SCCM 1/4VCR 型號(hào) *1 *2 *3 *4 *5 *6 *1: 選擇密封圈的材質(zhì) M:金屬密封圈 R: 橡膠密封圈 *2: 選擇閥在不供電的情況下的狀態(tài) O: 常開(kāi) C: 常