GB13742-1992光學(xué)傳遞函數(shù)測量準(zhǔn)確度.pdf

中華 人 民 共 和 國 國家 標(biāo) 準(zhǔn) 光學(xué)傳遞函數(shù)測量準(zhǔn)確度“ B /T 1 3 7 4 2 - 9 2 O p t i c a l t r a n s e r f u n c t i o n - a c c u r a c y o f me a s u r e m e n t1 主題內(nèi)容與適用范圍 本標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定 了 對光學(xué)傳遞函數(shù)測量裝置的性能和準(zhǔn)確度進(jìn)行評價的導(dǎo)則， 并提出 了 光學(xué)傳遞函數(shù)測量中的主要誤差來源、 誤差的檢驗方法、 誤差計算、 測量準(zhǔn)確度等。 本標(biāo)準(zhǔn)適用于各種光學(xué)傳遞函數(shù)測量裝置。2 引用標(biāo)準(zhǔn) G B 4 3 1 5 . 1 光學(xué)傳遞函數(shù)術(shù)語符號 G B 4 3 1 5 . 2 光學(xué)傳遞函數(shù)測量導(dǎo)則3 測最裝置的誤差來源3 . 1 光學(xué)臺的幾何條件 光學(xué)臺用于安放“ 測試圖樣” 、 “ 被測樣品” 以及“ 像分析器” ， 使它們處于正確的幾何關(guān)系下（ 即； 由 選擇的成像狀態(tài)來定義） 。為了滿足正確的幾何關(guān)系， 通常要靠導(dǎo)軌的直線性、 導(dǎo)軌之間的垂直度、 或被測樣品相對于參考面之間的平行度以及角度標(biāo)尺的準(zhǔn)確度來保證。否則， 將導(dǎo)致對理想的成像狀態(tài)的偏離， 引起光學(xué)傳遞函數(shù)的測量誤差。 光學(xué)臺幾何參數(shù)對測量準(zhǔn)確度的影響取決于所采用的測量布局， 下面所列為G B 4 3 1 5 . 2 所推薦的測量布局中的主要誤差源及產(chǎn)生的 M T F 偏差。3 . 1 . 1 物和像均處于有限遠(yuǎn) 測試圖樣和像分析器的導(dǎo)軌必須垂直于“ 參考軸” 。 直線度和垂直度偏差將造成對理想像面的偏離，從而導(dǎo)致 MT F測量誤差。 由像高以及物像距的裝定所帶來的誤差也會對 MT F 測量產(chǎn)生影響。3 門 2 物處于無限遠(yuǎn) 此種狀態(tài)下只有像方（ 或物方） 導(dǎo)軌相對于理想像面的偏離和像高或視場角的裝定誤差會對 M T F測量產(chǎn)生影響。 若使用準(zhǔn)直物鏡， 還存在物方無限遠(yuǎn)的調(diào)整誤差。 若未使用準(zhǔn)直物鏡， 而是采用加長物距來近似無限遠(yuǎn)的情況 F ， 必須保證足夠遠(yuǎn)的物距， 至少在鏡頭的5 0 倍焦距以上（ 除非特殊規(guī)定） 。否則， 將造成較大的MT F偏差。3 門. 3 物和像均處于無限遠(yuǎn) 此種狀態(tài)下， 當(dāng)改變像方視場角時， 像方準(zhǔn)直管必須與像分析器連動， 并繞一個通過出瞳、 且垂直于參考軸的軸線旋轉(zhuǎn)， 以保證像分析器與無焦系統(tǒng)之間不產(chǎn)生橫向偏移， 從而不產(chǎn)生由于 廠 作焦點隨像方角度改變而帶來的 M T F 誤差。 如果所采用的測量布局無法保證上述要求， 或者由于支撐無焦系統(tǒng)和像分析器的聚焦導(dǎo)軌自 身的國家技術(shù)監(jiān)督局 1 9 9 2 一 1 1 一 0 4 批準(zhǔn)1 9 9 3 一 0 8 一 0 1 實施免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t )免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊, 即可下載 c s / T 1 3 7 4 2 一9 2機(jī)械彎曲而造成它們之間相對關(guān)系的改變， 則將產(chǎn)生 M T F誤差。 由于視場角的裝定以及無限遠(yuǎn)物距的調(diào)整也會產(chǎn)生 MT F 偏差。3 . 1 . 4 像增強(qiáng)器以及其他屏幕成像系統(tǒng) 測量這類系統(tǒng)的一個通用的方法， 是在像和（ 或） 物平面內(nèi)的每一個測試位置都重新調(diào)焦， 使測試目標(biāo)調(diào)焦到物面或像面調(diào)焦到像分析器。 這樣可以消除由機(jī)械誤差引起的調(diào)焦誤差。3 . 1 . 5 被測樣品的安裝 每次測量中， 由于被測樣品的拿下和裝上會導(dǎo)致測量結(jié)果的變化。主要影響是使像面產(chǎn)生傾斜（ 見圖1 ) 。 傾斜角B 對 M T F造成的誤差不容忽視， 0 角的大小應(yīng)視對MT F測量準(zhǔn)確度的要求， 推薦數(shù)據(jù)為0 硯3 X1 0 一 5 安裝定位面 像方視*4軌一 ， ；， ”“分 ， 協(xié)被側(cè)鏡頭、戶七i法蘭盆 一 丁 光軸 圖 1 被測鏡頭安裝時的 . 0 1 , 誤差示意3 . 2 改變方位 在多數(shù) O T F測量裝置中， 都是通過旋轉(zhuǎn)測試圖樣和像分析器來改變方位。 測試圖樣或像分析器在沿旋轉(zhuǎn)軸方向產(chǎn)生的位移會造成焦點位置的改變， 由于焦點位置的改變而帶來的MT F誤差， 將由于測量布局的不同而異。3 . 3 物方圖樣和像方圖樣的定位對中 如果物方圖樣和像方圖樣為非圓對稱， 則應(yīng)重視它們的相對定位。其圖樣為垂直于掃描方向的狹縫。兩者之間的（ 見圖 2 ) 角位移a 將導(dǎo)致狹縫寬度的增大， 產(chǎn)生MT F誤差。 對有些裝置來說， 采用光柵和狹縫的組合產(chǎn)生周期目 標(biāo)， 其空間頻率可以通過改變光柵相對于狹縫的位置而變化。 空間頻率誤差來 自 光柵和狹縫的相對定位差。 這種情況下， 用戶應(yīng)自 行作出評價（ 見3 . 6空間頻率誤差） 。 一二 甘一 a 1l5r9i3lEl w 狹縫有 效寬 度二 w+ l s i n s 圖 2 分析器狹縫 與測試圖樣之間的相對定位誤差示意免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t )免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊, 即可下載 G B / T 1 3 7 4 2 一 9 23 . 4 修正因子 由于測量裝置中存在著一些固有誤差， 如： 目 標(biāo)狹縫或像分析器狹縫的有限寬度、 非相干藕合的中繼透鏡的MT F ， 軸外測量時幾何條件對空間頻率的影響（ 見G B 4 3 1 5 . 幻等， 在MT F測量結(jié)果中 應(yīng)使用修正因子。3 . 4 . 1 狹縫寬度的修正 MT F ( r ) =K ( r ) MT F ( r ) ” （ 1 ） 而 K ( r ) =7r r g / s i n x x r g“ （ 2 ）式中； g 物方的狹縫寬度， m m; K ( r ) 修正因子。 當(dāng)狹縫寬度存在誤差時， 將導(dǎo)致 MT F 誤差。 A MT F ( r ） 一M T F ( r ) ( T rr d g / s i n 7r r g ) ( 1 一Tr r g / t g 7r r g ) （ 3）式中： g f 像方的狹縫寬度， M M;MT F （ 二 ） 修正前的實測值。3 . 4 . 2 對非相干藕合的中繼透鏡的MT F的修正 用于光電系統(tǒng)或器件的MT F裝置中經(jīng)常使用非相干藕合的中繼透鏡， 這些中繼透鏡的MT F的倒數(shù)作為 MT F 測量中的修正因子。中繼透鏡的MT F值的誤差， 將導(dǎo)致被測系統(tǒng) M T F的測量結(jié)果的誤差。3 - 4 . 3 視場角的空間頻率修正 當(dāng)光柵測試圖樣位于準(zhǔn)直物鏡的焦面上并于準(zhǔn)直物鏡共軸時， 其軸外測量應(yīng)對頻率標(biāo)尺進(jìn)行修正。修正頻率由下式得出： 子午方位二 二 r o c O S 2 w ” ” “ “ “ （ 4 ） 弧午方位r =r o c o s w “ “ “ “ “ 一 （ 5）式中： 二 。 一 軸上空間 頻率， m m - l o ； 值的誤差將由。 值的誤差引起， 這些誤差表示為： 子午方位d r = 2 r o s i n w c o s w d w” ” ” ” ” ， ” ” 一 （ 6 ） 弧午方位d r =r o s i n w d w ” ” ” ” ” ” （ 7 ）I5 調(diào)焦 調(diào)焦準(zhǔn)確度取決于： 調(diào)焦技術(shù)、 調(diào)焦所選用的頻率（ 低頻的調(diào)焦準(zhǔn)確度一般較低） 、 被測鏡頭的數(shù)值孔徑、 被測鏡頭的MT F 數(shù)值以及與裝置和測量布局有關(guān)的信噪比。 正常情況下， 調(diào)焦位置的不準(zhǔn)確（ 一般在軸上） 只造成一定的MT F誤差。但當(dāng)存在著象散和場曲時， 將會導(dǎo)致軸外的較大誤差。I6 空間頻率誤差 空間頻率的誤差來源為： 標(biāo)定誤差、 轉(zhuǎn)換器或機(jī)械作用形成空間頻率讀數(shù)的非線性或零位偏移。 存在畸變時， 像方空間頻率與物方空間 頻率之間的相對關(guān)系會隨像高變化。I7 中 繼光學(xué)件的殘余像差 在 M T F測量鏈中與被測系統(tǒng)相千藕合的任何光學(xué)系統(tǒng)（ 準(zhǔn)直物鏡和成像中繼透鏡等） 都不應(yīng)存在影響MT F測量準(zhǔn)確度的像差， 因為它們是無法修正的。 從已 知的中繼透鏡的殘余像差精確估算誤差影響， 必須同時了解被測系統(tǒng)的像差。 此外還需進(jìn)行復(fù)雜的計算 。 如果測量一個與被測系統(tǒng)具有相同的數(shù)值孔徑和光闌直徑的衍射受限鏡頭， 從中獲得由于中繼透鏡的殘余像差而對MT F測量造成的誤差， 也就代表了這一誤差源對測量所造成的最大偏差。 這一誤差值可以直接測量得出， 也可以從所測得的中 繼透鏡的殘余像差中計算得出。 假如被測系統(tǒng)本身的像質(zhì)較差， 采用上述方法將會過高地估算誤差量。免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t )免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊, 即可下載 G B / T 1 3 7 4 2 一 9 23 . 8 光譜響應(yīng)特性 對測量裝置光譜響應(yīng)特性的要求與實際值之間的不匹配將導(dǎo)致 M T F測量誤差。這一誤差量取決于被測系統(tǒng)的MT F對特定的不匹配狀態(tài)的敏感性。 如果被測系統(tǒng)的設(shè)計數(shù)據(jù)和光譜不匹配的特性已知， 那么相應(yīng)的 MT F誤差應(yīng)可通過復(fù)色光的MT F計算出來； 另外， 也可以使用窄帶濾光片（ 見 3 . 4 ) 的MT F測量結(jié)果中估算出來。 由 于色差的存在， 即使是在MT F 值接近于零的頻率處， 也會對MT F測量導(dǎo)致不可忽視的誤差。 如測量一個光學(xué)系統(tǒng)， 其設(shè)計要求使用單色光， 但卻未進(jìn)行這色差校正， 或只進(jìn)行了很少的校正， 此時仍可能造成MT F測量誤差。 在此類測量中， 即使用一般的窄帶濾光片也會增加指定波帶以外的透射比的相對效應(yīng)。3 . 9 測試圖樣的擴(kuò)展 如果測試圖樣的邊界條件不合格， 其橫向?qū)挾鹊脑黾踊驕p少， 都將造成對 MT F測量的影響。物方圖樣和像方圖樣等擴(kuò)展的限度與點擴(kuò)散函數(shù)的尺寸有關(guān)。3 . 1 0 像分析器的角響應(yīng)特性和信噪比 為了保證 MT F 測量結(jié)果的正確， 像分析器的角響應(yīng)必須與被測系統(tǒng)的光束相適應(yīng)。 頻率特性的任何截斷或非均勻衰減都將導(dǎo)致 M T F誤差。 必須測量像分析器的方向（ 或極性） 響應(yīng)， 并用 3 . 7 所描述的方法評價可能存在的誤差。 同時， 像分析器應(yīng)具有較高的信噪比， 以保證對低能量及高空間頻率的被測系統(tǒng) MT F測量的準(zhǔn)確度 。3 . 1 1 目標(biāo)發(fā)生器照明光束的方向 和發(fā)光特性 測試圖樣的照明光束應(yīng)均勻地充滿準(zhǔn)直物鏡的光闌。3 . 1 2 信號處理系統(tǒng) 測量裝置信號處理系統(tǒng)的不完善及誤差將導(dǎo)致 MT F 誤差?？墒褂脴?biāo)準(zhǔn)測試鏡頭或精密狹縫測量后估算出來。3 . 1 3 雜光 MT F測量不應(yīng)受到室內(nèi)照明等雜光的影響。4 測量裝置誤差的檢驗方法4 . 1 光學(xué)臺的幾何條件4 . 1 . 1 導(dǎo)軌的綜合誤差 由于支撐像分析器和測試圖樣的導(dǎo)軌存在著直線度、 非線性或俯仰等偏差， 造成對理想平面的偏離（ 見圖 3 ) 。本標(biāo)準(zhǔn)推薦利用一個敏感的線位移傳感器及參考平面對導(dǎo)軌的綜合誤差進(jìn)行直接測量的方法， 測量布局見圖 4 。把傳感器安裝在通常安放像分析器或測試圖樣單元的位置上， 使測量探頭沿著光軸的方向， 將參考平面或直邊平行于像或物面（ 即垂直于參考軸） 。 測量探頭可以直接測量出參考平面或直邊與像分析器或測試圖樣單元沿導(dǎo)軌移動時的距離之間的變化。 在測量中， 把垂直于光學(xué)系統(tǒng)法蘭盤安裝定位面的軸作為參考軸。 因此參考平面或直邊應(yīng)平行于法蘭盤安裝定位面。 這種測量方法可給出包括對參考軸的任何垂直角偏差在內(nèi)的誤差。免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t )免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊, 即可下載 G B / T 1 3 7 4 2 一9 2 ca) RAW*% (b ) 、1 ！ 一 、 、 、 鏡頭安 裝定 位面 1 、 、視場導(dǎo)軟 I、像面 （ C ） 一滋 分析 器瀟 側(cè) 鏡頭 焦導(dǎo) 執(zhí)二卜悶二 t 俯仰 視場導(dǎo)執(zhí)上 圖 3 機(jī)械導(dǎo)軌的綜合誤差 ( a ） 直線性偏差; ( b ) 運動方向的非線性偏差 ( c ) 俯仰偏差免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t )免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊, 即可下載 G B / T 1 3 7 4 2 一 9 2 尸 ，線位移傳感器 護(hù) 嘴 尸 r 、 、1，111卜 L J、 聚焦導(dǎo)執(zhí) 、 份 一多 刃 個 回 成 且 班 像方 視場導(dǎo) 執(zhí)一 一 一一 圖 4 用線位移傳感器對導(dǎo)軌的綜合誤差進(jìn)行測量示意4 . 1 . 2 各工作面之間的平行度和（ 或） 相對于參考軸的垂直度 可利用自準(zhǔn)直光管及平面鏡來檢查各工作面之間的平行度和（ 或） 與準(zhǔn)直光束方向的垂直度（ 見圖5 ) 。 此外， 測量裝置上的準(zhǔn)直物鏡也可被用作自 準(zhǔn)直光管來觀察測試圖樣及其反射像。 參考平面 一價 圖 5 兩個參考面之間的平行度測量示意4 . 1 . 3 轉(zhuǎn)角準(zhǔn)確度 轉(zhuǎn)角準(zhǔn)確度的測量， 可采用自 準(zhǔn)直光管連同安裝在旋轉(zhuǎn)部件上的精密光學(xué)多面體來進(jìn)行； 或自 準(zhǔn)直光管連同平面鏡以及安裝在旋轉(zhuǎn)部件上的精密測角儀來完成。4 . 2 準(zhǔn)直物鏡對焦 檢驗準(zhǔn)直光束的平行度偏差的辦法很多， 如用標(biāo)定過的測距計放在準(zhǔn)直光束中直接測量物距L 。 或用自 準(zhǔn)望遠(yuǎn)鏡測量準(zhǔn)直光束斷面的角偏差， 計算得出L值。4 . 3 調(diào)焦 對特定的測量裝置來說， 被測鏡頭的焦點定位準(zhǔn)確度將取決于調(diào)焦技術(shù)、 調(diào)焦的準(zhǔn)則、 被測鏡頭的F數(shù)、 被測鏡頭的MT F以及采用的測量結(jié)構(gòu)（ 如： 準(zhǔn)直物鏡的焦距、 像分析器和測試圖樣的狹縫寬度、濾光片的光譜特性等） ， 因此， 對調(diào)焦準(zhǔn)確度的估算因考慮上述這些變量相等還是近似。 調(diào)焦的隨機(jī)誤差可以通過多次直接測量相等或相似條件下調(diào)焦過程的焦點定位的標(biāo)準(zhǔn)差來表示。 調(diào)焦的系統(tǒng)誤差最好是利用合適的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭， 通過比較理論的、 以及實測的離焦MT F曲線和最佳焦點位置來確定， 如圖6 所示。 兩組曲線的兩個最佳焦點之間的偏差即為調(diào)焦誤差。 所得到的離焦曲線免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t )免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊, 即可下載 c B / T 1 3 7 4 2 一 9 2以及最佳焦點位置應(yīng)該是若干次測量結(jié)果的平均值。 對不同的數(shù)值孔徑下的測量結(jié)果進(jìn)行比較， 以便得出不同測量條件下的系統(tǒng)調(diào)焦誤差。 理論最佳焦點 實最佳糕 ： w理 論 離 焦 曲 線1 盆1 一瞻，尸 一一 一 一 調(diào)焦之 1 1 6 調(diào)焦系統(tǒng)誤差的確定4 . 4 光譜特性 已知被測系統(tǒng)的設(shè)計值， 以及光譜特性的非匹配狀態(tài)， 就可以從復(fù)色光的 MT F計算值中得出相應(yīng)的M T F 誤差。 或者利用一套已知其積分透過率的窄帶單色濾光片。把這些濾光片依次放入( T F 裝置的發(fā)射光路中， 測量其在零頻時的信號絕對值。不同濾光片的信號的相對值采用積分透過率修正后， 即為整個測量裝W : 的相對光譜響應(yīng)值。 對于測量線擴(kuò)散函數(shù)的裝置， 其末歸一化的 L S F曲線域?qū)?yīng)于零頻信號n4 . 5 測試圖樣和（ 或） 掃描的擴(kuò)展 當(dāng)物方圖樣、 像方圖樣或掃描的邊界條件正確時， 其尺寸上的變化不應(yīng)造成對 MT F測量的影響。測試圖樣等的最大和最小的允許尺寸與點擴(kuò)散函數(shù)的最大尺寸有關(guān)。4 . 6 測量裝w中的信 號 處理系統(tǒng) 這類誤差可以 通過測量標(biāo)準(zhǔn)測試鏡頭、 衍射受限的小孔光學(xué)件或精密狹縫等完成。 如果使用標(biāo)準(zhǔn)鏡頭， 該標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的參數(shù)應(yīng)盡可能接近被測鏡頭的條件， 軸上測量應(yīng)按規(guī)定的調(diào)焦條件在指定的頻率上取 MT F峰值。 系統(tǒng)誤差取多次測量（ 至少 8 次） 的平均值與 理論 M T F值的偏差。隨機(jī)誤差則取多次測量( 8 次以上） 的標(biāo)準(zhǔn)偏差。上述測里應(yīng)在未重復(fù)調(diào)焦的條件下進(jìn)行（ 相同的焦點） 。 精密狹縫特別適用于那些測量屏幕像（ 如像產(chǎn)生于 C R T顯示器上或像增強(qiáng)器的輸出面上） 的裝粉的準(zhǔn)確度評價。 若使用寬度為9的狹縫作為標(biāo)準(zhǔn)器具時， 其空間頻譜為： s in ( 7 cr g ) / ( a r g ) “ ， ， 介 （ 8） 其系統(tǒng)誤差和隨機(jī)誤差的確定與標(biāo)準(zhǔn)鏡頭的方法一樣。4 7 像分析器的方 向響應(yīng) 評價像分析器的方向響應(yīng)特性的方法取決于它的工作方法。主光軸（ 通常即為光軸） 與主光線的一致性誤差可以用帶有合適的 F數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭來進(jìn)行測量。軸外測量時， 像分析器的軸線與主光線不免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t )免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊, 即可下載 G s / T 1 3 7 4 2 一 9 2致， 仍可以 使用標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。 然而， 除軸上測量情況不變以外， 軸外測量可模擬圖7 說明的方法來進(jìn)行。 把像分析器安裝在精密旋轉(zhuǎn)臺上， 使像分析器狹縫精確地定位于旋轉(zhuǎn)臺的旋轉(zhuǎn)軸上 ， 利用標(biāo)準(zhǔn)鏡頭進(jìn)行的MT F 測量始終在軸上， 但是像分析器卻在一定的角度范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)（ 即： 測量裝置所允許的最大視場角內(nèi)） 。測量結(jié)果應(yīng)與像分析器的角度無關(guān)， 任何隨角度改變而產(chǎn)生的變化都可能表明像分析器存在方向響應(yīng)誤差。 像分析器 儀幸臺 圖 7 手用旋轉(zhuǎn)臺方法示意5 測量的總誤差計算 MT F 測量的總誤差應(yīng)是所有隨機(jī)誤差的平方和的開方加上總系統(tǒng)誤差的代數(shù)和， 并由下式計算： 乙 M T F ( g , ) “E M T F 十(3 M T F （ 9 ）其中E M T F - 8 M T F I T S M T F 2 I . . . . . . E M T F - E M T F I E M T F 2 十式中： & M T F . 各個隨機(jī)誤差源； E M T F . 各個系統(tǒng)誤差源。 盡管通常情況下， 只有其中一個誤差占主導(dǎo)地位， 但大多數(shù)給定的誤差源中都包括隨機(jī)和系統(tǒng)這兩種誤差成分。6 測量裝置的準(zhǔn)確度6 門標(biāo)稱準(zhǔn)確度 標(biāo)稱準(zhǔn)確度是建立在特殊衍射受限的理想鏡頭的理論特性基礎(chǔ)上， 利用其對導(dǎo)致測量誤差并引起MT F測值變化的裝置參數(shù)的測量結(jié)果得出。 計算標(biāo)稱準(zhǔn)確度時應(yīng)該給出鏡頭的以下主要參數(shù) ： a F數(shù)以及鏡頭焦距； b 波長 ； c 視場； d . 共扼方式； e 規(guī)定空間頻率。 計算標(biāo)稱準(zhǔn)確度時應(yīng)考慮的裝置誤差來源如下： f 光學(xué)臺的幾何條件； 9 ， 方位變化；免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t )免費標(biāo)準(zhǔn)下載網(wǎng)( w w w . f r e e b z . n e t ) 無需注冊, 即可下載 G B / r 1 3 7 4 2 一9 2 h . 測試圖樣以及像分析器的定位調(diào)整； 1 修正因子； J - 調(diào)焦誤差； k 空向 頻率誤差； 1中繼光學(xué)件的殘余像差； m 像分析器的角響應(yīng)特性； n . 測量裝置信號處理系統(tǒng)。6 2 標(biāo)準(zhǔn)鏡頭測量 “ 標(biāo)準(zhǔn)鏡頭” 的制作應(yīng)保證鏡頭本身的M T F值與理論的MT F計算值相吻合。 為了滿足這一準(zhǔn)確度要求， 這種鏡頭通常結(jié)構(gòu)簡單， 性能受到嚴(yán)格規(guī)定。 一般使用的 5 0 m m焦距的平凸標(biāo)準(zhǔn)鏡頭， 它將為O T F測量裝置的準(zhǔn)確度定