FFU使用說明書(維護(hù)手冊(cè)).doc

注意：敬請(qǐng)用戶在操作使用M-R FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組之前，必須詳細(xì)閱讀使用說明書！并妥善保存。M-R FFU風(fēng)機(jī)過濾機(jī)組 執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)：Q/320500BSK 010-2004使用/維護(hù)說明書本企業(yè)已通過潔凈行業(yè)協(xié)會(huì)質(zhì)量體系認(rèn)證歡迎使用FFU風(fēng)機(jī)過濾單元由衷地感謝您加入本公司的用戶隊(duì)伍！ FFU層流罩通用安裝使用維護(hù)說明書請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀本說明書，并妥善保存，以備日后維護(hù)時(shí)參考。目 錄1. 概述1-1風(fēng)機(jī)過濾器單元31-2結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)42. 重要安全事項(xiàng)2-1安裝使用環(huán)境52-2運(yùn)送與安裝52-3安裝使用注意事項(xiàng)53. 使用說明3-1運(yùn)轉(zhuǎn)前點(diǎn)檢事項(xiàng)63-2運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)注意事項(xiàng)64. 維護(hù)說明4-1日常維護(hù)74-2定期維護(hù)74-3故障排除8附 錄9本說明書內(nèi)容包含風(fēng)機(jī)過濾器單元的安裝使用維護(hù)方法，本機(jī)體是安裝在潔凈區(qū)域天花板上，藉由濾網(wǎng)捕捉室內(nèi)空氣中的塵埃，為能平穩(wěn)且安全地發(fā)揮機(jī)體性能，使用前請(qǐng)?jiān)敿?xì)閱讀此說明書。注：本公司為了提高產(chǎn)品質(zhì)量和性能，在不斷改進(jìn)和創(chuàng)新中，本產(chǎn)品如有更新或更改，我公司隨時(shí)更改本說明書，恕不另行通知。1.概述1-1風(fēng)機(jī)過濾器單元風(fēng)機(jī)過濾器單元（FFU）是一種自帶動(dòng)力、具有過濾功效的模塊化的末端送風(fēng)裝置。風(fēng)機(jī)從FFU頂部將空氣吸入并經(jīng)HEPA過濾，過濾后的潔凈空氣在整個(gè)出風(fēng)面以0.45m/s20%的風(fēng)速均勻送出。廣泛用于半導(dǎo)體、液晶制造業(yè)、電子、生物制藥.等行業(yè)。使用環(huán)境周圍溫度：540濕度：低于85%RH(沒有濕氣凝結(jié)狀態(tài)下)周圍空氣：一般室內(nèi)空氣清凈度：100-10級(jí)請(qǐng)避免連續(xù)反復(fù)ON/OFF操作機(jī)體如果在未符合上述條件的環(huán)境下使用風(fēng)機(jī)濾網(wǎng)機(jī)組，將會(huì)影響制品性能，并可能會(huì)發(fā)生電氣短路現(xiàn)象，造成電氣部件損壞，縮短制品使用壽命。為能安全且有效地使用風(fēng)機(jī)過濾器單元請(qǐng)參閱第4頁的重要安全事項(xiàng)。FFU天花板的輕鋼架照明裝置圖解： 1-2結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)(1) 主要部件圖1 標(biāo)準(zhǔn)品范例 (2) 表1. 部件明稱及功能(參考圖1)No.部 品 名 稱功 用備 注1初效濾網(wǎng)可有效攔截粒徑5um的灰塵根據(jù)環(huán)境可用可不用2外殼設(shè)備外殼可選優(yōu)質(zhì)冷軋板噴塑,鍍鋅鋁鋼板,鋁板及不銹鋼板等材料3把手方便搬運(yùn)4吊環(huán)機(jī)體吊裝選配件5導(dǎo)流消聲裝置引導(dǎo)氣流及消除噪聲6風(fēng)機(jī)系統(tǒng)為設(shè)備提供動(dòng)力風(fēng)機(jī)選用美日合資M-R電機(jī)7高效濾網(wǎng)可過濾微小粒徑的灰塵效率99.99% 0. 3um可選各種效率的濾網(wǎng)8控制系統(tǒng)調(diào)速及開關(guān)電源62.重要安全事項(xiàng)不當(dāng)使用風(fēng)機(jī)過濾器單元組將會(huì)造成制品性能降低，使用時(shí)請(qǐng)務(wù)必遵守下列事項(xiàng)：2-1 安裝使用環(huán)境風(fēng)機(jī)過濾器單元的安裝應(yīng)遠(yuǎn)離加熱器、火爐或其它熱源。 設(shè)置風(fēng)機(jī)過濾器單元場所不可放置易燃物，以免發(fā)生火災(zāi)。 請(qǐng)勿在機(jī)體附近使用具爆炸性或揮發(fā)性的化學(xué)物品，如果機(jī)體吸入這些化學(xué)物品將有可能會(huì)導(dǎo)致火災(zāi)或爆炸等事故發(fā)生。 請(qǐng)勿于機(jī)體附近使用含硫酸、鹽酸、漂白劑及其它具腐蝕性化學(xué)藥品，如果使用這些化學(xué)藥品將有可能會(huì)導(dǎo)致機(jī)體腐蝕及損壞。2-2 運(yùn)送與安裝 請(qǐng)?jiān)陲L(fēng)機(jī)過濾器單元包裝完好的狀態(tài)下搬運(yùn)制品，搬運(yùn)時(shí)務(wù)必保持水平，如果使用輕便推車等工具運(yùn)送時(shí)，請(qǐng)選用車臺(tái)超過機(jī)體包裝寬度的推車。 機(jī)體安裝后，機(jī)體上方至少須預(yù)留30公分以上的空間，以利將來機(jī)體維修，未預(yù)留足夠的維修空間，機(jī)體將無法進(jìn)行維修及部件更換。 試運(yùn)轉(zhuǎn)前，請(qǐng)先拆除吸入口上及均流板下附著的保護(hù)膜。2-3 安裝使用注意事項(xiàng)風(fēng)機(jī)過濾器單元安裝于無塵室時(shí)，請(qǐng)務(wù)必遵守下列指示當(dāng)進(jìn)入無塵室時(shí)請(qǐng)穿著防塵衣以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。請(qǐng)以酒精清理工具以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。請(qǐng)以酒精清理衣柜未保護(hù)處以免攜帶灰塵進(jìn)入室內(nèi)。點(diǎn)檢時(shí)請(qǐng)使用防塵紙及原子筆作記錄以免再產(chǎn)生灰塵。 切勿直接重壓風(fēng)機(jī)過濾器單元機(jī)體，以免造成機(jī)體變形。 請(qǐng)勿以沾濕的手操作機(jī)體，以免發(fā)生觸電危險(xiǎn)。 請(qǐng)勿遮蔽機(jī)體吸入口及吹出口，機(jī)體吸入口及吹出口被遮蔽，將導(dǎo)致機(jī)體性能無法正常發(fā)揮，造成機(jī)體功能異?；螂姎獠考p壞。 實(shí)施第三種接地工事，以避免電擊產(chǎn)生之危險(xiǎn)。3.安裝使用3-1運(yùn)轉(zhuǎn)前檢查事項(xiàng)運(yùn)轉(zhuǎn)前請(qǐng)先檢查下列注意事項(xiàng)： 機(jī)體外部電源是否連接，電源供應(yīng)是否妥當(dāng)。 機(jī)體接地工事是否已實(shí)施。 機(jī)體上方空氣吸入口及下方濾網(wǎng)的保護(hù)膜是否已取下。3-2運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)注意事項(xiàng)(1) 開始運(yùn)轉(zhuǎn) 當(dāng)電源開啟后，機(jī)體即開始運(yùn)轉(zhuǎn)。 機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)后請(qǐng)確認(rèn)是否有異?，F(xiàn)象。當(dāng)有下列情形發(fā)生，機(jī)體無法正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，請(qǐng)向經(jīng)銷服務(wù)人員反映。 機(jī)體內(nèi)部有異物，機(jī)體離心風(fēng)扇無法正常旋轉(zhuǎn)。 機(jī)體內(nèi)部電線脫落，接頭松脫。 機(jī)體內(nèi)部電氣部件，如過電源插頭、馬達(dá)損壞。(2) 停止運(yùn)轉(zhuǎn) 運(yùn)轉(zhuǎn)后如發(fā)現(xiàn)異?，F(xiàn)象，請(qǐng)即切斷電源，停止機(jī)體運(yùn)轉(zhuǎn)。4.維修點(diǎn)檢 自購買日起進(jìn)行定期檢查，請(qǐng)勿自行檢查，以免造成觸電或火災(zāi)等事故發(fā)生。 除了維修人員外，請(qǐng)勿自行拆解、修理或變更規(guī)格，以免造成觸電或火災(zāi)的發(fā)生。 當(dāng)更換濾網(wǎng)等部件時(shí)，請(qǐng)注意不要損壞濾紙。 維修點(diǎn)檢時(shí)，請(qǐng)務(wù)必先切斷電源，停止機(jī)器運(yùn)轉(zhuǎn)后再實(shí)施，以免發(fā)生觸電或傷害危險(xiǎn)。 當(dāng)安裝維修點(diǎn)檢完成后，在機(jī)體起動(dòng)前，請(qǐng)確定機(jī)體基礎(chǔ)穩(wěn)固。4-1日常維護(hù)每天工作開始之前請(qǐng)依表2.點(diǎn)檢下列各項(xiàng)，當(dāng)發(fā)現(xiàn)有不正常的情形，立即切斷電源并采取改正措施。表2. 日常維護(hù)NO.點(diǎn)檢專案判斷標(biāo)準(zhǔn)1離心風(fēng)扇及馬達(dá)離心風(fēng)扇必須旋轉(zhuǎn)平順，沒有產(chǎn)生異常聲音，若聽到異常聲音，請(qǐng)確認(rèn)送風(fēng)機(jī)內(nèi)有無異物以及馬達(dá)軸承的聲音是否異常，若馬達(dá)有問題，請(qǐng)更換馬達(dá)。2濾網(wǎng)濾網(wǎng)表面有無損傷、污點(diǎn)、骯臟.等3機(jī)體外觀機(jī)體外觀有無損傷4-2定期維護(hù)使用風(fēng)機(jī)過濾器單元一段時(shí)間后，因使用環(huán)境及使用狀況之差異，為了防止意外及確保風(fēng)機(jī)過濾器單元的正常運(yùn)轉(zhuǎn)，請(qǐng)務(wù)必實(shí)施下列定期點(diǎn)檢。4-2.1定期維護(hù)(1)定期維護(hù)項(xiàng)目請(qǐng)依表3.所示，對(duì)風(fēng)機(jī)過濾器單元實(shí)施定期點(diǎn)檢，當(dāng)部件壽命已至?xí)r，請(qǐng)立即進(jìn)行部件更換。(部件壽命指一般使用狀況下之壽命，會(huì)因使用環(huán)境及使用狀況而有所差異)。(2)當(dāng)由于不可抗力(如地震、電擊.等)或化學(xué)藥品的泄漏(腐蝕氣體.等)意外發(fā)生，停機(jī)再啟動(dòng)后，請(qǐng)務(wù)必實(shí)施相同的檢查。表3. 定期維護(hù)項(xiàng)目部件位置征兆及可能原因評(píng)價(jià)標(biāo)準(zhǔn)，確認(rèn)點(diǎn)檢查頻率部件壽命馬達(dá)(1)軸承損壞而使馬達(dá)運(yùn)轉(zhuǎn)不平順或死鎖。(2)絕緣不良造成過熱、過載導(dǎo)致線圈燒損。(3)電源連接或端子的絕緣不良，而造成異常發(fā)熱、接地錯(cuò)誤、層間短路.等。確認(rèn)馬達(dá)有無異音、振動(dòng)及味道，用耳朵確認(rèn)軸承有無異常聲音。絕緣阻抗須大于5M以上。檢查電纜線及端子有無破損或銹蝕，更換不良部件。一年一次5年以上離心風(fēng)扇(1)因灰塵迭積或破損使得運(yùn)轉(zhuǎn)不平衡而損壞。檢查離心風(fēng)扇有無異音、振動(dòng)及破損，更換不良部件。一年一次5年其它的電氣部件及配線材料(1)絕緣不良，端子螺絲松脫而造成過熱、短路或燒損。(2)配線表皮破損而造成短路、漏電或損傷。檢查有無過熱、銹蝕、暴露的導(dǎo)體，配線表皮破損.等。絕緣阻抗須大于5M以上。鎖緊端子螺絲(每三年一次)更換不良部件。一年一次5年濾網(wǎng)(1)因阻塞而造成風(fēng)速減低。(2)因化學(xué)藥品而造成濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙材不良而使灰塵泄漏。(3)因外部熱源造成濾網(wǎng)材質(zhì)不良。目視檢查濾網(wǎng)材質(zhì)、迫緊、阻隙有無刮傷、褪色、變形。檢查泄漏更換不良部件。一年一次 (視不同使用場所需要而定)外箱及其它組件因化學(xué)藥品而使部件腐蝕或生銹產(chǎn)生灰塵。目視檢查部件有無不良、褪色.等。一年一次其它部件8年表4消耗性部件的更換期間 ( 我司建議 )部 品更 換 期 間濾網(wǎng)1-2年(室內(nèi)清凈度100,000級(jí)的場所) 注初效濾網(wǎng)每3個(gè)月(不同場所而有所區(qū)別)馬達(dá)5年以上注：濾網(wǎng)更換期間會(huì)因不同使用場所的差異而有所不同。4.2.2點(diǎn)檢完成點(diǎn)檢完成后，清潔工作場所及確認(rèn)風(fēng)機(jī)過濾器單元在正常運(yùn)轉(zhuǎn)狀況；保留點(diǎn)檢報(bào)告，當(dāng)部件更換或機(jī)體更新時(shí)作為參考。4-3故障排除若有以下現(xiàn)象發(fā)生，連絡(luò)本公司并告知機(jī)身編號(hào)、機(jī)型、電壓及不良現(xiàn)象(盡可能詳細(xì))，然后慎重的調(diào)查問題的起因及采取適合的改善措施。現(xiàn) 象可 能 原 因改 善 措 施離心風(fēng)扇不運(yùn)轉(zhuǎn)電源未打開馬達(dá)束心電器件損壞馬達(dá)不良打開電源拆除外表的異物更換電器件更換馬達(dá)離心風(fēng)扇產(chǎn)生異常者(運(yùn)轉(zhuǎn)中)馬達(dá)外殼與離心風(fēng)扇接觸連絡(luò)經(jīng)銷商及采取適合的改善措施 非服務(wù)技術(shù)人員請(qǐng)勿拆解、修理或修改風(fēng)機(jī)過濾器單元，以避免造成嚴(yán)重的意外，例如觸電或火災(zāi)。附錄易損件規(guī)格表：序號(hào)名稱規(guī)格型號(hào)單位單臺(tái)數(shù)備注1風(fēng)機(jī)M-R風(fēng)機(jī)