西工大-MEMS創(chuàng)業(yè)計劃書.doc

Mems壓力傳感器創(chuàng)業(yè)計劃書項目名稱Mems壓力傳感器公司名稱西安mems壓力傳感器技術(shù)有限公司成立時間計劃2014年年初公司地址陜西省西安市注冊資本10萬所處行業(yè)電子行業(yè)所處階段計劃階段 融資金額無融資方式合伙退出方式簽訂合同聯(lián)系方式聯(lián)系人xx電話 12345678910傳真郵箱 CGQ126.com公司網(wǎng)站融資說明創(chuàng)業(yè)初期，公司規(guī)模較小，所需資金較少，所以不進行融資，只需要以合伙方式開業(yè)。合伙人共有三名，以合同的方式進行合伙及退出合伙。股東構(gòu)成姓名：xx 投入資金:5.5萬元 所占比重:50% 姓名：張 投入資金:3.5萬元 所占比重:30% 姓名：徐 投入資金:1萬元 所占比重:20% 徐是持有勞動保障部門頒發(fā)的再就業(yè)優(yōu)惠證的下崗失業(yè)人員，曾經(jīng)從事過有關(guān)mems的工作，合同注明徐以技術(shù)股份和1萬元資金入股 企業(yè)簡介公司地處西安，信息資源集中，技術(shù)力量雄厚，與國內(nèi)外有著廣泛的聯(lián)系，通過了解、吸收、傳播世界先進的傳感器測量產(chǎn)品、檢測技術(shù)和自動化技術(shù)，虔誠為國內(nèi)客戶服務(wù)。我們本著互惠互利、攜手并進的原則，以成為企業(yè)“優(yōu)秀合作伙伴”為已任，深受業(yè)界好評。我們致力于稱重mems壓力傳感器系列產(chǎn)品和工業(yè)控制系統(tǒng)的研發(fā)、生產(chǎn)、推廣和服務(wù)等工作，是目前國內(nèi)品種較為齊全的壓力傳感器及儀器儀產(chǎn)品配套供應(yīng)商。企業(yè)宗旨：優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品，保證客戶的市場；理想的價格，拓展客戶的空間主要產(chǎn)品及服務(wù)主要產(chǎn)品及服務(wù)主要產(chǎn)品及服務(wù)主要產(chǎn)品及服務(wù)主要產(chǎn)品及服務(wù)主要產(chǎn)品及服務(wù)主要產(chǎn)品及服務(wù)主要產(chǎn)品及服務(wù)一、 項目可行性1) 項目主要內(nèi)容及技術(shù)路線介紹MEMS即微機電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。MEMS傳感器是采用微電子和微機械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實現(xiàn)智能化的特點。同時，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機械傳感器所不能實現(xiàn)的功能。微機械壓力傳感器是最早開始研制的微機械產(chǎn)品，也是微機械技術(shù)中最成熟、最早開始產(chǎn)業(yè)化的產(chǎn)品。從信號檢測方式來 看，微機械壓力傳感器分為壓阻式和電容式兩類，分別以體微機械加工技術(shù)和犧牲層技術(shù)為基礎(chǔ)制造。從敏感膜結(jié)構(gòu)來看，有圓形、方形、矩形、E形等多種結(jié)構(gòu)。 壓阻式壓力傳感器的精度可達(dá)0.05%0.01%,年穩(wěn)定性達(dá)0.1%/F.S,溫度誤差為0.0002%,耐壓可達(dá)幾百兆帕,過壓保護范圍可達(dá)傳感器 量程的20倍以上,并能進行大范圍下的全溫補償?，F(xiàn)階段微機械壓力傳感器的主要發(fā)展方向有以下幾個方面。(1)將敏感元件與信號處理、校準(zhǔn)、補償、微控制器等進行單片集成，研制智能化的壓力傳感器。(2)進一步提高壓力傳感器的靈敏度，實現(xiàn)低量程的微壓傳感器。(3)提高工作溫度，研制高低溫壓力傳感器。（4)開發(fā)諧振式壓力傳感器。2) 項目技術(shù)創(chuàng)新點及描述 MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路（IC）設(shè)計技術(shù)和制造工藝，進行高精度、低成本的大批量生產(chǎn)，從而為消費電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門，使壓力控制變得簡單易用和智能化。傳統(tǒng)的機械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出，因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣做得像IC那么微小，成本也遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于MEMS壓力傳感器。相對于傳統(tǒng)的機械量傳感器，MEMS壓力傳感器的尺寸更小，最大的不超過1cm，使性價比相對于傳統(tǒng)“機械”制造技術(shù)大幅度提高。 以下是mems壓力傳感器的工作原理、和市場應(yīng)用 MEMS壓力傳感器按原理分，有電容型、壓阻型，壓電式，金屬應(yīng)變式，光纖式等。重點介紹硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機電傳感器。 硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的，具有較高的測量精度、較低的功耗，極低的成本?；菟诡D電橋的壓阻式傳感器，如無壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電。其電原理如圖1所示。硅壓阻式壓力傳感器其應(yīng)變片電橋的光刻版本如圖2。 MEMS硅壓阻式壓力傳感器采用周邊固定的圓形的應(yīng)力杯硅薄膜內(nèi)壁，采用MEMS技術(shù)直接將四個高精密半導(dǎo)體應(yīng)變片刻制在其表面應(yīng)力最大處，組成惠斯頓測量電橋，作為力電變換測量電路，將壓力這個物理量直接變換成電量，其測量精度能達(dá)0.01%0.03%FS。硅壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)如圖3所示，上下二層是玻璃體，中間是硅片，硅片中部做成一應(yīng)力杯，其應(yīng)力硅薄膜上部有一真空腔，使之成為一個典型的絕壓壓力傳感器。應(yīng)力硅薄膜與真空腔接觸這一面經(jīng)光刻生成如圖2的電阻應(yīng)變片電橋電路。當(dāng)外面的壓力經(jīng)引壓腔進入傳感器應(yīng)力杯中，應(yīng)力硅薄膜會因受外力作用而微微向上鼓起，發(fā)生彈性變形，四個電阻應(yīng)變片因此而發(fā)生電阻變化，破壞原先的惠斯頓電橋電路平衡，產(chǎn)生電橋輸出與壓力成正比的電壓信號。圖4是封裝如IC的硅壓阻式壓力傳感器實物照片。 電容式壓力傳感器 利用MEMS技術(shù)在硅片上制造出橫隔柵狀，上下二根橫隔柵成為一組電容式壓力傳感器，上橫隔柵受壓力作用向下位移，改變了上下二根橫隔柵的間距，也就改變了板間電容量的大小，即壓力=電容量（圖5）。電容式壓力傳感器實物如圖6。壓力傳感器應(yīng)用、市場汽車無疑是MEMS壓力傳感器最大的市場。一輛高端的汽車一般都會有上百個傳感器，包括3050個MEMS傳感器，其中就有十個左右的壓力傳感器。放眼眾多種類的壓力傳感器的應(yīng)用和市場前景，在輪胎壓力監(jiān)測系統(tǒng)（Tire Pressure Monitor System，TPMS）中應(yīng)用的壓力傳感器，則是未來市場中最看好的部分。目前99%的TPMS中采用的壓力傳感器都是基于MEMS技術(shù)的，按照Yole預(yù)計，僅僅用于TPMS的MEMS壓力傳感器在2012年將達(dá)到$ 183M，用于汽車的MEMS傳感器2010年的銷售額達(dá)到了$ 662.3M，比2009年的$ 501.2M增長了32.1%。亞太地區(qū)的MEMS 壓力傳感器市場年增長率為6.9%。2012年是一個重要的時間點。大多數(shù)的MEMS壓力傳感器政策截止時間都是在2012年，也就是說在2012年后，發(fā)達(dá)國家汽車市場TPMS和ESC兩種應(yīng)用都會成為標(biāo)配。中國的汽車要出口到歐美發(fā)達(dá)市場都必須有以上配置，從這些國家進口的汽車也會帶以上配置，這無疑將促進MEMS壓力傳感器的廣泛應(yīng)用。許多因素將推動轎車采用更多的MEMS傳感器，2012年是一個重要的時間點。大多數(shù)的MEMS壓力傳感器政策截止時間都是在2012年，也就是說在2012年后，發(fā)達(dá)國家汽車市場TPMS和ESC兩種應(yīng)用都會成為標(biāo)配，也就是說無論是進口還是出口的汽車也會帶以上配置，這無疑將促進MEMS壓力傳感器的廣泛應(yīng)用。美國在2012年以前將強制汽車安裝電子穩(wěn)定系統(tǒng)（ESC），歐盟將在2014年以前。歐洲還將在2014年以前強制汽車安裝TPMS，預(yù)計這些動態(tài)將提升總體銷售額。ESC法將促進陀螺儀、加速度計和高壓傳感器的銷售；而TPMS法則將促進MEMS壓力傳感器的出貨量接近1.379億，而2009年只有4290萬個。 二、 國內(nèi)外同行業(yè)供應(yīng)商介紹1) 意法半導(dǎo)體在2010年年底，STM新推出的MEMS壓力傳感器LPS001WP成功地實現(xiàn)從地下750米的深處到珠穆朗瑪峰頂端都能夠確定所在位置的海拔高度，智能手機以及其它便攜設(shè)備在不久的未來將能夠與這類傳感器進行整合。新產(chǎn)品LPS001WP是一款微型壓力傳感器，采用創(chuàng)新的傳感技術(shù)，能夠精確地測量壓力和海拔高度。該產(chǎn)品采用超輕巧、薄型封裝，特別適用于智能手機、運動型手表、各種不同的便攜設(shè)備、氣象站，以及汽車和工業(yè)應(yīng)用。這款產(chǎn)品的首要目標(biāo)應(yīng)用之一是進階型的便攜式GPS定位設(shè)備，傳統(tǒng)的GPS定位功能只能確定設(shè)備的2D位置。在整合LPS001WP壓力傳感器后，同一款設(shè)備將能提供精確的3D定位功能；舉例來說，當(dāng)整合壓力傳感器的GPS導(dǎo)航手機發(fā)送緊急求助呼叫時，消防人員、醫(yī)療救護人員或警察人員將能根據(jù)接收到的呼叫信號確定事故發(fā)生的具體所在位置和樓層。LPS001WP的壓力檢測量程從300毫巴至1100毫巴，相當(dāng)于從-750米到9000米海拔高度之間的氣壓，可檢測到最小0.065毫巴的氣壓變化，相當(dāng)于80厘米的海拔高度。該產(chǎn)品采用意法半導(dǎo)體獨有的VENSENS制程，能夠?qū)毫鞲衅髡显趩我痪希坏梢怨?jié)省晶圓對晶圓的鍵合工序，還可最大幅度地提升產(chǎn)品的可靠性。另外，STM推出的面向手機及平板電腦的新款MEMS麥克風(fēng)和MEMS壓力傳感器，為將來的增長奠定了基礎(chǔ)。從2011年開始，這些產(chǎn)品將會提高意法半導(dǎo)體的利潤。2) 博世（bosch） 在壓力傳感器市場的地位也十分強大，尤其是面向中國市場歧管空氣壓力低壓力型硅MEMS壓力傳感器。博世向許多中高檔汽車供應(yīng)此類傳感器。根據(jù)中國許多城市推出的相當(dāng)于EURO 4的排放規(guī)定，壓力傳感器正在更多的汽車生產(chǎn)中得到采用。自1995年開始，博世公司的歧管空氣壓力低壓力傳感器開始占領(lǐng)市場，并且一直處于領(lǐng)先地位，在該領(lǐng)域獲得質(zhì)量最上乘的美譽。 德國博世（Robert Bosch）開發(fā)出了面向汽車輪胎氣壓警報系統(tǒng)（TPMS）的壓力傳感器模塊”SMD400”， 特點是增加了判斷車輛停止?fàn)顟B(tài)、在車輛停止時降低消費電能的功能。壓力檢測使用壓電元件，壓力傳感器的檢測范圍為0600kPa，測定的壓力值以無線方式傳輸給車輛內(nèi)部配備的電子控制單元（ECU）。3) 飛思卡爾（freescale） 1980年Freescale憑借第一款壓力傳感器產(chǎn)品進入 MEMS 傳感器市場。20世紀(jì)80年代中期，公司推出溫度補償壓力傳感器，并于80年代后期開始為汽車安全氣囊市場開發(fā)第一款表面微機加速傳感器。在過去的30年里，F(xiàn)reescale在汽車、消費、工業(yè)和醫(yī)療產(chǎn)品上實現(xiàn)重大變化，一直在傳感器領(lǐng)域處于領(lǐng)先地位，最近其傳感器裝運量突破10億只，取得重要里程碑。 Freescale 提供眾多的壓力傳感器系列，包括不同的壓力范圍、各種封裝和端口連接選項?；贛EMS技術(shù)的壓力傳感器為家用電器、醫(yī)療設(shè)備、消費電子、工業(yè)控制和汽車市場提供了強勁的解決方案。Freescale的壓力傳感器可用于極低壓力的測量，壓力測量范圍從幾個英寸水柱到150psi。大致分三類：未補償硅壓力傳感器（如MPXC12DT1 ），補償壓力傳感器（如MPX2300DT1），集成式硅壓力傳感器（如MPXx4006）4) 敏芯微電子技術(shù)有限公司公司的管理團隊有著深厚的半導(dǎo)體封裝和MEMS產(chǎn)業(yè)背景，公司的技術(shù)核心團隊有著在國內(nèi)外頂尖大學(xué)微電子實驗室從事MEMS 與集成電路（IC）技術(shù)研究的寶貴經(jīng)驗，擁有數(shù)項涉及MEMS 關(guān)鍵技術(shù)的突破性發(fā)明和世界級科研成果。主要產(chǎn)品：MEMS微型硅麥克風(fēng)（如MSMA42 ），硅壓力傳感器（如MPS40）。5) 北京青鳥元芯微系統(tǒng)科技有限責(zé)任公司是目前國內(nèi)第一家采用MEMS技術(shù)批量生產(chǎn)微型傳感器的高新技術(shù)企業(yè)。公司以”北京大學(xué)微電子學(xué)研究院”和”微米/納米加工技術(shù)國家級重點實驗室”為技術(shù)依托，專門從事各種微型傳感器的研發(fā)和生產(chǎn)。主要產(chǎn)品：MEMS壓力傳感器芯片、MEMS壓力傳感器、加速度傳感器。市場需求分析一、 行業(yè)歷史現(xiàn)代壓力傳感器以半導(dǎo)體傳感器的發(fā)明為標(biāo)志，而半導(dǎo)體傳感器的發(fā)展可以分為四個階段 ：（1） 發(fā)明階段（1945 - 1960 年） ：這個階段主要是以1947 年雙極性晶體管的發(fā)明為標(biāo)志。此后，半導(dǎo)體材料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用。史密斯（C.S. Smith） 與1945 發(fā)現(xiàn)了硅與鍺的壓阻效應(yīng)，即當(dāng)有外力作用于半導(dǎo)體材料時，其電阻將明顯發(fā)生變化。依據(jù)此原理制成的壓力傳感器是把應(yīng)變電阻片粘在金屬薄膜上，即將力信號轉(zhuǎn)化為電信號進行測量。此階段最小尺寸大約為1cm。（2） 技術(shù)發(fā)展階段（1960 - 1970 年） ：隨著硅擴散技術(shù)的發(fā)展，技術(shù)人員在硅的（001） 或（110） 晶面選擇合適的晶向直接把應(yīng)變電阻擴散在晶面上，然后在背面加工成凹形，形成較薄的硅彈性膜片，稱為硅杯。這種形式的硅杯傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點，實現(xiàn)了金屬- 硅共晶體，為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。（3） 商業(yè)化集成加工階段（1970 - 1980 年） ：在硅杯擴散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù)，擴散硅傳感器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術(shù)為主，發(fā)展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù)，主要有V 形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法。由于可以在多個表面同時進行腐蝕，數(shù)千個硅壓力膜可以同時生產(chǎn)，實現(xiàn)了集成化的工廠加工模式，成本進一步降低。（4） 微機械加工階段（1980 年-） ：上世紀(jì)末出現(xiàn)的納米技術(shù)，使得微機械加工工藝成為可能。通過微機械加工工藝可以由計算機控制加工出結(jié)構(gòu)型的壓力傳感器，其線度可以控制在微米級范圍內(nèi)。利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜，使得壓力傳感器進入了微米階段。二、市場及前景展望一是當(dāng)前西安的傳感器市場主要有高校、小型私營企業(yè)及大型合資汽車企業(yè)組成，由于西安市屬于中等規(guī)模的城市，市場空間尚未飽和，大部分傳感器都是從北京和深圳等地方訂購，因此隸屬西安市本地的傳感器公司的發(fā)展具有一定市場潛力，并且市場未被競爭對手完全占有；二是mems傳感器穩(wěn)定性好，能滿足顧客的質(zhì)量需求，制造工藝并不復(fù)雜，價格上更能吸引中小型的客戶，經(jīng)營得當(dāng)能取得一定的銷售額和利潤；三是公司經(jīng)營成本低，走的是薄利多銷的路線，有開拓市場的能力，便于打響品牌贏得口碑；綜合以上分析，mems壓力傳感器在西安具有很大的發(fā)展空間。市場競爭分析行業(yè)競爭對手：一、 現(xiàn)存的行業(yè)競爭對手意法半導(dǎo)體、博世及飛思卡爾之類國際知名傳感器大公司深圳和北京等地方性集中地小型傳感器公司二、 潛在的行業(yè)競爭對手其他不斷引入本地的其他傳感器公司主要管理團隊姓名：xx 性別：x 年齡：xx歲 籍貫：xx 學(xué)歷/學(xué)位：碩士畢業(yè)院校：西北工業(yè)大學(xué) 主要經(jīng)歷和經(jīng)營業(yè)績：從事軟件開發(fā)、稅收管理、政策法規(guī)工作7年，有創(chuàng)業(yè)夢想，未曾有經(jīng)營公司的經(jīng)歷姓名：張 性別：男 年齡：27歲 籍貫：山東 學(xué)歷/學(xué)位：碩士畢業(yè)院校：廣西大學(xué) 主要經(jīng)歷和經(jīng)營業(yè)績：從事財務(wù)管理、電子管理工作4年，有創(chuàng)業(yè)夢想，未曾有經(jīng)營公司的經(jīng)歷姓名：徐 性別：男 年齡：50歲 籍貫：山東 學(xué)歷/學(xué)位：無主要經(jīng)歷和經(jīng)營業(yè)績：國有企業(yè)下崗職工