Centrotherm-擴(kuò)散三級(jí)保養(yǎng)(新).doc

Centrotherm擴(kuò)散爐三級(jí)維修保養(yǎng)作業(yè)指導(dǎo)書目錄第一章 設(shè)備的基礎(chǔ)知識(shí).31.1.1、緊急停機(jī)、主電源開關(guān).31.1.2 、附屬設(shè)施條件.31.1.3、設(shè)備結(jié)構(gòu)特征及附圖.3第二章 設(shè)備全員生產(chǎn)維.（TPM）.6第一節(jié) TPM介紹.62.1.1、TPM 名詞術(shù)語釋義.62.1.2、TPM 的內(nèi)容和特點(diǎn).62.1.3、TPM 的5S 活動(dòng).82.1.4、TPM設(shè)備保養(yǎng).82.1.5、設(shè)備點(diǎn)檢.102.1.6、日常工具管理.10第二節(jié) 設(shè)備一級(jí)保養(yǎng)（日常維護(hù)項(xiàng)目）.112.2.1、設(shè)備衛(wèi)生.112.2.2、設(shè)備運(yùn)行情況12第三節(jié) 設(shè)備二級(jí)保養(yǎng)（定期維護(hù)和調(diào)整項(xiàng)目）.142.3.1、設(shè)備維護(hù)計(jì)劃.142.3.2、設(shè)備維護(hù)步驟.142.3.3、石英器件的維護(hù).172.3.4、更換源瓶.19第四節(jié) 設(shè)備三級(jí)保養(yǎng).202.4.1、安全事項(xiàng).202.4.2、故障顯示及處理.21 （一）CESAR控制計(jì)算機(jī)上的故障顯示及排除.21 （二）設(shè)備部件的故障診斷.22 A、裝載區(qū)故障22 B、毒性氣體抽排裝置中的故障.23 C、水平式爐體故障.23 D、氣源柜中故障.24 E、爐體部件檢測(cè).24 F、調(diào)節(jié)TGA空閑傳感器.262.4.3、CMI錯(cuò)誤報(bào)警及排除.29第三章 POCL3性質(zhì)和應(yīng)急處理.343.1、三氯氧磷性質(zhì).343.2、三氯氧磷泄露應(yīng)急處理預(yù)案.36附：設(shè)備縮寫詞含義.37 擴(kuò)散爐二級(jí)保養(yǎng)檢查記錄單38第一章 設(shè)備的基礎(chǔ)知識(shí) 設(shè)備安全控件及輔助設(shè)施參數(shù)1.1.1、緊急停機(jī)主電源開關(guān)機(jī)身背部，停止所有動(dòng)作，不受控制的工藝程序取消，使整個(gè)設(shè)備無電壓。緊急停機(jī)按鈕操作屏上方，停止所有動(dòng)作，不受控制的工藝程序取消，使整個(gè)設(shè)備無電壓。停止動(dòng)作按鈕停止所有機(jī)械動(dòng)作，工藝程序不受影響。 1.1.2、冷卻水：入口17-21度，最少65升/分鐘，4-6bar，進(jìn)出壓差4bar壓縮空氣：干燥，無油，5-7bar氧氣：1.2-2.5bar氮?dú)猓?.2-2.5 bar電源：3/N380/220V 50HZ 160KW排風(fēng)量：2000m3/h 1.1.3、結(jié)構(gòu)特征：擴(kuò)散系統(tǒng)A氣源柜：工藝氣體控制系統(tǒng)。外接氮?dú)?、氧氣、壓縮空氣，內(nèi)置磷源容器，為系統(tǒng)爐管提供工藝氣體，頂部設(shè)有排風(fēng)。B爐體：由保溫材料巖棉爐腔，每個(gè)爐腔外圍是加熱絲，內(nèi)部放置石英爐管。四個(gè)爐腔的下面是爐溫控制系統(tǒng)。頂部是冷卻系統(tǒng)。CENTROTHERM擴(kuò)散系統(tǒng)的總電源從爐體背面中下部接入。C裝載/卸載：用于卸載、裝載硅片，各部分分別對(duì)應(yīng)相應(yīng)的爐管和爐腔。下側(cè)內(nèi)部是電路及控制部分。下方是各部分控制按鈕?？刂破劣糜趯?duì)整個(gè)系統(tǒng)的控制及監(jiān)視。設(shè)備自帶有凈化系統(tǒng)。電阻率測(cè)試儀：由PC和四探針測(cè)試臺(tái)組成。 圖一： LOAD 裝載區(qū) 圖二： 主冷卻系統(tǒng)圖三：加熱爐體第二章 設(shè)備的維護(hù)第一節(jié) TPM介紹1.1.1、TPM 名詞術(shù)語釋義TPM（Total productive maintenance 全面生產(chǎn)維護(hù)）：TPM是以設(shè)備綜合效率和完全有效生產(chǎn)率為目標(biāo)，以全系統(tǒng)的預(yù)防維修體系為載體，以員工的行為規(guī)范化為推進(jìn)過程，以全體人員參與為基礎(chǔ)的設(shè)備維護(hù)、保養(yǎng)、點(diǎn)檢和維修體制。設(shè)備壽命周期費(fèi)用（Life cycle cost,縮寫為LCC)：是指設(shè)備在預(yù)期的壽命周期內(nèi)，為其論證、研制、生產(chǎn)、使用、保障及報(bào)廢處置和改造所支付的一切費(fèi)用的總和。它表明一臺(tái)設(shè)備一生要花多少錢，所以是設(shè)備的一個(gè)非常重要的經(jīng)濟(jì)參數(shù)量值。設(shè)備壽命周期費(fèi)用因而也成為現(xiàn)代質(zhì)量觀念中的重要內(nèi)涵與要素。設(shè)備的綜合效率化：綜合效率化就是使設(shè)備更有效地工作，使設(shè)備所產(chǎn)生的P、Q、C、D、S、M(即產(chǎn)量、質(zhì)量、成本、交貨期、安全與勞動(dòng)情緒）的最大輸出達(dá)到最大限度。設(shè)備綜合效率計(jì)算公式： 設(shè)備綜合效率=時(shí)間開動(dòng)率性能開動(dòng)率合格品率100% 時(shí)間開動(dòng)率= 開動(dòng)時(shí)間/負(fù)荷時(shí)間 100% 負(fù)荷時(shí)間=理論負(fù)荷時(shí)間（理論節(jié)拍計(jì)劃產(chǎn)量）+全部停機(jī)時(shí)間（停工記錄單） 計(jì)劃停機(jī)時(shí)間（僅限于設(shè)備保養(yǎng)時(shí)間+用餐時(shí)間） 開動(dòng)時(shí)間=設(shè)備最后一次停機(jī)開始時(shí)間設(shè)備開始記錄時(shí)間各種停機(jī)時(shí)間 性能開動(dòng)率=理論節(jié)拍（CT） 生產(chǎn)數(shù)量/開動(dòng)時(shí)間 100% 合格率=合格品數(shù)量/生產(chǎn)數(shù)量 100% 2.1.2、TPM 的內(nèi)容和特點(diǎn)1、TPM 的內(nèi)容1）TPM 以最大限度的發(fā)揮設(shè)備功能，以零故障、零缺陷為總目標(biāo)；2）TPM 是以重疊式的小組活動(dòng)方式，在等級(jí)制度的組織之下加以推動(dòng)的，力爭從上至下的政策和自下而上的意見得到貫徹和溝通；3）TPM 以5S（SEIRI 整理、SEITON 整頓、SEISO 清掃、SEIKETSU 清潔、SHITSUKE素養(yǎng)）為基礎(chǔ)，開展自主維修活動(dòng)；4）TPM 以降低六大損失（設(shè)備故障、安裝調(diào)整、空轉(zhuǎn)短暫停機(jī)、速度降低、加工廢品、初期未達(dá)產(chǎn)）來提高設(shè)備綜合效率；5）TPM 的推動(dòng)不僅局限于生產(chǎn)部門和維修部門，設(shè)計(jì)開發(fā)等其它業(yè)務(wù)、行政部門都要納入其中。2、TPM 的特點(diǎn)日本的全員生產(chǎn)維修與原來的生產(chǎn)維修體制相比，主要突出一個(gè)“全”字，這個(gè)“全”字有三方面的含義，即全系統(tǒng)、全效率和全員參加。所謂的全系統(tǒng)是指生產(chǎn)維修的各個(gè)側(cè)面均包括在內(nèi)，如預(yù)防維修、維修預(yù)防、必要的事后維修和改善維修。全效率是指設(shè)備壽命周期費(fèi)用評(píng)價(jià)和設(shè)備綜合效率；全員參加是指這一維修體制的群眾性特征，從公司經(jīng)理到相關(guān)科室，直到全體操作工人都要參加，尤其是操作工人的自主小組活動(dòng)。三個(gè)“全”之間的關(guān)系為：全員為基礎(chǔ)，全系統(tǒng)為載體，全效率為目標(biāo)。TPM 的主要目標(biāo)就落在“全效率”上，“全效率”在于限制和降低六大損失：1）設(shè)備停機(jī)時(shí)間損失；2）設(shè)置與調(diào)整停機(jī)損失；3）閑置、空轉(zhuǎn)與短暫停機(jī)損失；4）速度降低損失；5）殘、次、廢品損失，邊角料損失（缺陷損失）；6）產(chǎn)量損失（由啟動(dòng)到穩(wěn)定生產(chǎn)間隔）。有了這三個(gè)“全”字，使生產(chǎn)維修更加得到徹底地貫徹執(zhí)行，使生產(chǎn)維修的目標(biāo)得到更有力的保障。這也是日本全員生產(chǎn)維修的獨(dú)特之處。2.1.3、TPM 的5S 活動(dòng)5S 活動(dòng)也是全員生產(chǎn)維修的特征之一。所謂的5S 是5 個(gè)日語詞匯的拼音字頭。這5 個(gè)詞是：整理、整頓、清潔、清掃和素養(yǎng)。這些看起來有些重復(fù)繁瑣的單詞，恰恰是TPM 的基礎(chǔ)和精華。整理：把要與不要的事、物分開，再將不需要的事、物處理掉。讓生產(chǎn)現(xiàn)場或工作場所透明化，增大作業(yè)空間，減少碰撞事故、提高工作效率。整理的難點(diǎn)在于物品的分類以及處理物品的決策。沒有果斷、有效的處理，就使下一步的整頓難以進(jìn)行。整頓：把留下來的有用物品加以定置、定位，按照使用頻率和可視化準(zhǔn)則，合理布置、擺放、做到規(guī)范化、色彩標(biāo)記化和定置化，便于快速找到和取用物品。整頓的要點(diǎn)在于事先的設(shè)計(jì)，先有設(shè)計(jì)方案，再付諸行動(dòng)，可以事半功倍，避免整頓之中的返工。清掃：清除工作場所的灰塵、鐵屑、垃圾、油污，創(chuàng)造整潔、明快的工作環(huán)境。把清掃和設(shè)備的點(diǎn)檢、保養(yǎng)結(jié)合起來。因?yàn)榍鍜呒词屈c(diǎn)檢的過程，我們主張由操作員工自己清掃。清掃工作也要有一工作流程的管理，如劃分清掃區(qū)域，明確設(shè)備、清掃責(zé)任人，確定清掃周期、清掃方法和清掃標(biāo)準(zhǔn)，并設(shè)計(jì)清掃的考核評(píng)估體系。只有這樣，清掃才不至變成一次大掃除，而成為一項(xiàng)持久的工作。清潔：前3 個(gè)S 的堅(jiān)持、深化和制度化，也是更高層次的清掃，即清除廢水、粉塵和空氣污染，創(chuàng)造一個(gè)環(huán)保、健康的工作場所。素養(yǎng)：素養(yǎng)即為精神上“清潔”。一開始要以制度為推動(dòng)力，最后達(dá)到“習(xí)慣”的目標(biāo)，是形式化制度化習(xí)慣化性格化的過程。2.1.4、TPM設(shè)備保養(yǎng)1 設(shè)備的保養(yǎng)分為：一級(jí)保養(yǎng)，二級(jí)保養(yǎng)，三級(jí)保養(yǎng)。由于其具有三個(gè)等級(jí)的保養(yǎng)責(zé)任和內(nèi)容，故稱為三級(jí)保養(yǎng)。三級(jí)保養(yǎng)一般連續(xù)按周期完成。它是設(shè)備專業(yè)管理與群眾管理相結(jié)合的有效保養(yǎng)制度之一。一級(jí)保養(yǎng) 又稱日常保養(yǎng)，是操作者對(duì)所操作設(shè)備每日（班）必須進(jìn)行的保養(yǎng)。其內(nèi)容為班前加油、擦拭、調(diào)整、班中的檢查、調(diào)節(jié)、班后的清掃、歸位等工作。日常保養(yǎng)可以防止故障、推遲劣化，延長設(shè)備壽命，減少事故的發(fā)生。 二級(jí)保養(yǎng) 以跟班維修技術(shù)員為主，由操作工人輔助，按計(jì)劃對(duì)設(shè)備進(jìn)行的定期維護(hù)。其內(nèi)容為：對(duì)設(shè)備進(jìn)行局部拆卸、檢查、清洗；疏通油路，更換不合格的氈墊、油線；調(diào)整各配合間隙；緊固各部位。電氣部分由維修電工負(fù)責(zé)。根據(jù)不同設(shè)備及運(yùn)行條件定期進(jìn)行。 三級(jí)保養(yǎng) 以常白班設(shè)備維修技術(shù)員為主、結(jié)合設(shè)備部技術(shù)員以及設(shè)備供應(yīng)商技術(shù)人員參加的定期（半年檢、年檢）維修，其內(nèi)容為：擦洗設(shè)備，調(diào)整精度，拆檢、更換和修復(fù)少量易損件，并進(jìn)行調(diào)整、緊固，刮研輕微磨損的部件。保持設(shè)備完好及正常運(yùn)行。2 保養(yǎng)“十字”作業(yè)法根據(jù)設(shè)備保養(yǎng)內(nèi)容及要求可簡述為保養(yǎng)“十字”法。清潔，指設(shè)備外觀及配電柜無灰垢、油泥；潤滑，指設(shè)備各潤滑部位的油質(zhì)、油量滿足要求；緊固，指各連接部位緊固；調(diào)整，指有關(guān)間隙、油壓、安全裝置調(diào)整合理；防腐，指各導(dǎo)軌面、金屬結(jié)構(gòu)件及機(jī)體清除掉腐蝕介質(zhì)的侵蝕及銹跡。 日常潤滑檢查 主要內(nèi)容是：操作工人在班前檢查加油試車時(shí)，察看潤滑裝置及潤滑系統(tǒng)是否完善、暢通，發(fā)現(xiàn)缺陷應(yīng)立即排除；維修工或潤滑日常巡回檢查時(shí)，有重點(diǎn)地查看主要潤滑部位是否缺油，協(xié)助操作工排除潤滑缺陷和故障。 潤滑“五定” 五定：定人（定人加油）；定時(shí)（定時(shí)換油）；定點(diǎn)（定點(diǎn)給油）；定質(zhì)（定質(zhì)選油）；定量（定量用油）。2.1.5、設(shè)備點(diǎn)檢為了維持設(shè)備所規(guī)定的性能，按照設(shè)備的規(guī)定部位，通過人的五官和監(jiān)測(cè)儀器，判別有無異狀或性能是否良好的檢查，根據(jù)規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)使設(shè)備異狀和劣化能早期發(fā)現(xiàn)、早期預(yù)防、早期治療。 點(diǎn)檢分日常點(diǎn)檢和定期點(diǎn)檢兩種。日常點(diǎn)檢是以人的五官為主進(jìn)行檢查，而定期點(diǎn)檢則除了以人的五官檢查外還要用儀器測(cè)定。此外，兩者的檢查標(biāo)準(zhǔn)和檢查周期以及執(zhí)行人員也不同。 日常點(diǎn)檢由設(shè)備操作工人按規(guī)定標(biāo)準(zhǔn)，以五官感覺為主，對(duì)設(shè)備各部位進(jìn)行技術(shù)狀態(tài)檢查，以便及時(shí)發(fā)現(xiàn)隱患，采取對(duì)策，盡量減少故障停機(jī)損失。 檢查一般采用主觀檢查法： 聽：設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)過程中是否有異常聲音 摸：軸承部位及其他部位的溫度是否異常 查：設(shè)備及管路有無“跑、冒、滴、漏”和其他缺陷隱患 看：設(shè)備運(yùn)行參數(shù)是否符合規(guī)定要求 聞：設(shè)備運(yùn)行部位是否有異常氣味 定期點(diǎn)檢 為進(jìn)行預(yù)防保全，在一定的時(shí)間間隔內(nèi)所進(jìn)行的設(shè)備點(diǎn)檢。這種點(diǎn)檢根據(jù)設(shè)備點(diǎn)檢保全規(guī)程進(jìn)行，一般由設(shè)備保全部門承擔(dān)。2.1.6、 日常工具管理 要點(diǎn)： 1、交接班的工具交接 2、工具的正常使用 3、工具的日常保養(yǎng) 4、以舊換新制度 5、工具臺(tái)帳的管理設(shè)備使用部門及設(shè)備操作人員負(fù)有對(duì)所使用的設(shè)備維護(hù)和保養(yǎng)的責(zé)任，按照三級(jí)保養(yǎng)的一級(jí)進(jìn)行日常工作中的維護(hù)，采取多種方式，提高操作人員的設(shè)備維護(hù)意識(shí)和水平。操作人員要認(rèn)真學(xué)習(xí)設(shè)備各項(xiàng)操作技能，熟練掌握操作技術(shù)，掌握設(shè)備工作原理，了解設(shè)備基本性能、工作方式，熟知設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)情況，操作人員平時(shí)要注意設(shè)備的保養(yǎng)及時(shí)登記設(shè)備操作記錄表，有問題及時(shí)解決或反映給設(shè)備維護(hù)人員。按照誰使用、誰負(fù)責(zé)的管理原則，把設(shè)備的用和管緊密結(jié)合起來，共同做好設(shè)備維護(hù)、保養(yǎng)、搶修，使設(shè)備能更好的服務(wù)于生產(chǎn)。第二節(jié) 設(shè)備一級(jí)保養(yǎng)（日常維護(hù)項(xiàng)目）設(shè)備日常的點(diǎn)檢重點(diǎn)項(xiàng)：設(shè)備使用記錄；設(shè)備衛(wèi)生和設(shè)備的運(yùn)行狀況。2.2.1設(shè)備衛(wèi)生1當(dāng)生產(chǎn)結(jié)束后，日常對(duì)設(shè)備衛(wèi)生的維護(hù)保養(yǎng)，用酒精和無塵布對(duì)設(shè)備主體進(jìn)行擦拭。 2 用酒精和無塵布對(duì)石墨槳進(jìn)行清洗，保證槳上無有害雜質(zhì)，進(jìn)而保障了生產(chǎn)的質(zhì)量。 3用夾子或者是手將設(shè)備里的碎片都清理出來。2.2.2設(shè)備的運(yùn)行情況一、設(shè)備外部設(shè)施的檢查（特氣、冷卻水、三氯氧磷）1 檢查氧氣壓力、氮?dú)鈮毫蛪嚎s空氣壓力是否正常。如果不正常，用調(diào)壓閥進(jìn)行調(diào)節(jié)（順時(shí)針擰動(dòng)調(diào)壓閥加大壓力，逆時(shí)針擰動(dòng)調(diào)壓閥減小壓力）壓縮空氣：干燥，無油，5-7bar氧氣：1.2-2.5bar氮?dú)猓?.2-2.5 bar2檢查冷卻水壓力（進(jìn)水壓力在0.4Mpa，出水壓力在0.1Mpa左右 ）3 檢查裝有三氯氧磷的源瓶進(jìn)氣口和出氣口的閥門是否打開，通氣是否順暢二、設(shè)備硬件設(shè)施的檢查1檢查源溫控制器顯示源瓶的溫度和源溫控制器的狀態(tài)，如果狀態(tài)不正常，請(qǐng)點(diǎn)擊RUN ACKN RESET SET 等按鍵進(jìn)行設(shè)置或復(fù)位。2手動(dòng)運(yùn)行工藝檢查爐門開啟、關(guān)閉是否正常，紅箭頭指的方向?yàn)闋t門開啟的方向。如果不正常請(qǐng)檢查爐門在操作界面上的狀態(tài)以及其他控制電路。3檢查控制石墨槳的電機(jī)是否能夠帶動(dòng)槳前后、上下的運(yùn)動(dòng)。如果不正常請(qǐng)檢查PADDLE在操作界面上的狀態(tài)，用SERVICE里的HANDING進(jìn)行復(fù)位。4檢查SLIDER的傳輸是否正常。如果不正常而導(dǎo)致報(bào)警請(qǐng)檢查限位開關(guān)、位置傳感器。5檢查設(shè)備升降機(jī)能否上下運(yùn)動(dòng)，機(jī)械手爪子能否開或關(guān)。第三節(jié) 設(shè)備二級(jí)保養(yǎng)（維護(hù)和調(diào)整項(xiàng)目）2.3.1、設(shè)備維護(hù)周期、方法 擴(kuò)散爐的維護(hù)周期為兩周，具體維護(hù)日期根據(jù)PECVD或制絨機(jī)維護(hù)日期定制，或是影響到工藝的正常運(yùn)行后也應(yīng)及時(shí)做好維護(hù)工作。（1）、維護(hù)時(shí)間：早班對(duì)設(shè)備進(jìn)行維護(hù)，維護(hù)時(shí)間3小時(shí)。（2）、維護(hù)的主要內(nèi)容：尾氣部分清理、設(shè)備內(nèi)外衛(wèi)生清潔、關(guān)鍵部件的檢查、清潔和運(yùn)動(dòng)部件的潤滑。 （3）維護(hù)所需的主要工具和物品：隔熱手套、隔熱面罩、PVC手套、無塵布、橡膠手套、泡沫墊、清理用的專用工具等。 （4）每兩月對(duì)尾氣管進(jìn)行更換和清洗。 2.3.2、設(shè)備維護(hù)步驟1. 打開爐管狀態(tài)欄，觀察需要維護(hù)的爐管是否在運(yùn)行著工藝。如果正在運(yùn)行著工藝，請(qǐng)工藝結(jié)束后再進(jìn)行維護(hù)。如果沒有運(yùn)行著工藝，請(qǐng)返回到JOB界面,將爐管狀態(tài)改變成封鎖狀態(tài)。封鎖狀態(tài)工藝結(jié)束2. 打開氣源柜，先將三個(gè)夾子同時(shí)拿下，而后將殘液罐、冷卻罐和尾氣管輕輕分開。3. 將分開的冷卻罐上的廢氣管擰開，注意不要丟失里面的黑色O圈。注意O圈4. 將殘液罐、冷卻罐和尾氣管輕輕取下，注意一手扶住罐子，一手托底。將其放在早已準(zhǔn)備好的泡沫墊上，把尾氣管稍微向外抽出點(diǎn)。抽出一點(diǎn)5. 清洗殘液罐。戴上防酸手套，把殘液倒盡后，將殘液罐用清水反復(fù)沖洗干凈，包括罐口和皮墊也沖洗干凈。沖洗當(dāng)中要拿穩(wěn)，不要讓殘液罐與其他物體發(fā)生碰撞。沖洗完畢后，將水倒干，然后將其放回泡沫墊上，擦拭干凈。（注意：白色皮墊不要丟失）6. 清洗冷卻罐。打開水管時(shí)，先不要開太大，當(dāng)水進(jìn)入冷卻罐后會(huì)產(chǎn)生大量濃煙，這時(shí)應(yīng)先遠(yuǎn)離濃煙。等煙霧消失后，將罐中水倒掉，注意輕拿輕放。如果戴防酸手套不方便，可以摘掉，再戴一副PVC手套。如果瓶內(nèi)還有白色物質(zhì)，再繼續(xù)沖洗，直到干凈為止。注意：瓶口和皮墊也要沖洗。在水槽中沖洗時(shí)一定要小心，避免石英器件與水槽發(fā)生碰撞。清洗時(shí)一手托底，一手半捂住罐口，慢慢將水倒出。將水開小點(diǎn)濃烈白煙 7、清洗尾氣管。在清洗過程當(dāng)中，有的尾氣管可能已經(jīng)堵死，在沖洗過程當(dāng)中，將水開小點(diǎn)。沖洗完畢后，注意廢氣管里面的O圈是否還在。 8、用無塵布擦拭尾氣管；擦拭各個(gè)部件，用干凈的無塵布，輕輕擦拭。一手撫著尾氣管，輕輕擦拭。 9、 安裝時(shí)各管上的部件不可混裝。 10、在安裝時(shí)首先將廢氣管安好，再將尾氣管、殘液罐和冷卻罐連接在同一條直線上，以免緊固時(shí)損壞石英器件，而后將其用夾子夾緊（夾子的松緊程度掌握好，當(dāng)頂絲頂?shù)綂A子后再擰半圈即可）。保持接口在同一條直線上 11、 尾氣管安裝完成后確保其密封性完好。 12、清理裝載區(qū)時(shí)在打開窗戶時(shí)必須小心謹(jǐn)慎，防止碰到舟和石英器件。13、在身體進(jìn)入裝載區(qū)清理碎片時(shí)禁止碰觸石英件和槳等易碎品。2.3.3、石英器件的維護(hù)石英件的維護(hù)方法： 石英器件清洗規(guī)范：禁止用酒精擦拭石英舟。一、操作過程參照安全操作規(guī)程，佩戴防護(hù)用品，注意安全。 二、主要是針對(duì)擴(kuò)散工序石英制品的清洗： 1、清洗周期：所有的石英舟每3個(gè)月清洗一次，所有尾氣管每2個(gè)月清洗一次，爐管 每1年清洗一次，熱電偶套管每半年清洗一次。 2、石英爐管、尾氣管、熱電偶套管：使用10%濃度的HF溶液浸泡清洗，根據(jù)被清洗物的清潔程度浸泡4-6小時(shí)，內(nèi)外壁附著物清洗干凈為基準(zhǔn)，然后至少用純水沖洗2-3遍。爐管清洗完成后初次使用首先做飽和2小時(shí)。 3、石英舟：使用15%-20%濃度的HF溶液浸泡清洗，時(shí)間為2小時(shí)，再用純水沖洗完成后用氮?dú)獯蹈?，在爐管中空載運(yùn)行3個(gè)正常工藝循環(huán)，或運(yùn)行一次飽和工藝（prepocl工藝，通源時(shí)間120分鐘）后，再投入生產(chǎn)使用。 三、尾氣管的清理過程： 1圖為給沖洗爐管清洗機(jī)的過程。2圖為取出舊的尾氣管準(zhǔn)備清洗3圖為將舊的尾氣管準(zhǔn)備放入爐管清洗機(jī)里進(jìn)行清洗4圖為將尾氣管放入清洗槽按照10%的HF配比溶液將尾氣管浸泡并沖洗干凈后5圖為將清洗好的尾氣管放到桌子上的海綿墊上。（防止尾氣管發(fā)生斷裂）6圖為將洗好的尾氣管用氮?dú)獯祾吒蓛?.3.4、CENTROTHERM更換源瓶 注意事項(xiàng)： 1、三氯氧磷是高危險(xiǎn)化學(xué)藥品，在操作過程中，要將操作區(qū)域內(nèi)的雜物清理干凈，防止更換時(shí)滑倒，或?qū)υ雌坑兴鶕p傷。 2、更換后的空瓶請(qǐng)注明：更換時(shí)間，設(shè)備號(hào)，班組，空瓶，并退庫。 并詳細(xì)記錄在源 瓶更換記錄中 。 3、當(dāng)設(shè)備CMI界面上出現(xiàn)源瓶液位報(bào)警后就應(yīng)更換磷源瓶，在源溫控制器報(bào)警后各班組生產(chǎn)時(shí)一定要多觀察相應(yīng)源瓶的液位和硅片方塊電阻情況，當(dāng)液位低于0.5CM時(shí)或方塊電阻出現(xiàn)偏差時(shí)也要及時(shí)更換。 4、各種項(xiàng)目都要完整詳細(xì)記錄。 5、源瓶的更換必須由兩人協(xié)同完成，一人操作，一人監(jiān)督輔助。在操作前必須先戴好口罩和手套，然后再進(jìn)行更換。 操作過程： 1、將新源瓶開箱，取出頂部的海綿墊和一個(gè)海綿圈疊放在一起。 2、移出空瓶：先關(guān)進(jìn)氣口閥門，再關(guān)出氣口閥門，關(guān)閉同時(shí)要一手扶著進(jìn)氣或出氣口底部，將進(jìn)出氣口氣管螺絲擰松，把氣管拔下。將源溫控制器蓋子取下；最后將熱電偶取出；雙手緊抱源瓶兩側(cè)將源瓶取出，放置到以預(yù)備好的海綿圈中。 3、安裝新瓶：拆開密封袋，雙手緊抱源瓶兩側(cè)，兩人配合將其取出輕輕放于源溫控制器里面；將熱偶油滴入熱電偶槽中三分之一處，使熱偶油浸沒于熱電偶的金屬探頭，插入熱電偶；將源溫控制器蓋子蓋上； 4、將換下的空瓶裝箱封好； 5、把新瓶進(jìn)出氣口氣管螺絲擰松后再將進(jìn)（出）氣口塞子拔掉，然后一手扶著出氣口，一手將出氣管插到底，將螺絲緊固；一手扶著進(jìn)氣口底部，一手將進(jìn)氣管插到底，將螺絲緊固；然后一手扶著出氣口底部，一手完全打開出氣閥，再回旋半圈；之后一手扶著進(jìn)氣口底部，一手完全打開進(jìn)氣閥，再回旋半圈。 6、做安裝完成后的檢查確認(rèn)。第四節(jié) 設(shè)備三級(jí)保養(yǎng)2.4.1安全事項(xiàng)：危險(xiǎn)！所有設(shè)備上的維護(hù)工作均只能由經(jīng)培訓(xùn)的員工執(zhí)行。經(jīng)培訓(xùn)后的員工必須具備處理以下方面的工作能力：電壓、高電壓、真空技術(shù)、氣動(dòng)系統(tǒng)和自動(dòng)控制科學(xué)與技術(shù)。重新啟動(dòng)系統(tǒng)前請(qǐng)確認(rèn)遵守了所有公司和車間的安全要求，并且所有安全組件和功能監(jiān)控系統(tǒng)均功能完好。警告高壓！設(shè)備上的所有電氣工作均只能由經(jīng)培訓(xùn)后的員工執(zhí)行。經(jīng)培訓(xùn)的員工必須具備處理以下方面的工作能力：電壓、高電壓、真空技術(shù)、氣動(dòng)系統(tǒng)和自動(dòng)控制科學(xué)與技術(shù)。確認(rèn)遵守了所有公司和車間的安全要求。 警告毒性物質(zhì)！源瓶中含有毒物質(zhì)在源瓶第三層及更高層上工作時(shí)請(qǐng)使用一架帶扶手的梯子。在源瓶上工作時(shí)，請(qǐng)始終佩戴供氣式呼吸器、保護(hù)服和合適的安全手套。請(qǐng)?jiān)诖蜷_前和預(yù)防性維護(hù)工作后用足夠的惰性氣體清洗管道。在打開和清潔介質(zhì)氣體管道時(shí)，請(qǐng)戴上合適的安全手套和安全眼鏡以及一個(gè)帶多范圍過濾器的防毒面罩。 小心高溫表面！ 如果工藝爐管是燙的，那么爐管密封門、槳和熱電偶一定也很燙，因此在移去這些部件時(shí)應(yīng)小心。 請(qǐng)戴上防燙手套以免燙傷。 請(qǐng)將熱電偶放到一個(gè)無顆粒、不可燃的表面上。小心激光輻射! TGA空閑傳感器是按照激光級(jí)2的要求制造的。請(qǐng)?jiān)谶M(jìn)行預(yù)防性維護(hù)工作和維護(hù)工作期間不要直視激光光束。 預(yù)防性維護(hù)工作和維護(hù)工作期間的激光光束和可能的反射可能會(huì)造成視網(wǎng)膜損傷。 請(qǐng)?jiān)赥GA空閑傳感器上工作時(shí)始終佩戴防治激光輻射的眼鏡。2.4.2 故障顯示及處理（一）CESAR控制計(jì)算機(jī)上的故障顯示及排除加熱區(qū)功率顯示加熱區(qū)溫度顯示一、 加熱區(qū)顯示0 水平爐的溫度控制器壞了。更換溫度控制器。二、 加熱區(qū)顯示3000 CAN總線地址未輸入。1、 設(shè)定CAN總線地址2、 檢查測(cè)量放大器上熱電偶插頭的位置是否正確。3、 檢查測(cè)量放大器中的熔斷器。三、 加熱區(qū)顯示3003 沒有來自熱電偶的信號(hào)1、 檢查熱電偶插頭，如果壞了請(qǐng)更換。2、 檢查熱電偶，如果壞了請(qǐng)更換。四、 多個(gè)區(qū)域的顯示值與設(shè)定值有區(qū)別1、 檢查輸入的上升值是否太高。檢查水平爐為度控制器中的校準(zhǔn)值。2、 檢查加熱箱中熱電偶位置。3、 檢查加熱區(qū)的功率控制器。4、 檢查加熱區(qū)的功率、電流和電壓。5、 檢查加熱箱端面的絕緣。五、 內(nèi)和/或外參考點(diǎn)溫度顯示為0.0 檢查熱電偶插頭中的PT100。如果壞了請(qǐng)更換。六、 工藝舟位置顯示欄有？ 工藝舟不在預(yù)設(shè)置的位置上。1、 檢查當(dāng)前的工藝舟位置是否超出了正常的移動(dòng)距離，如果是請(qǐng)重新調(diào)節(jié)位置。2、 檢查絕對(duì)值編碼器在工藝舟移動(dòng)過程中是否無間隙同步旋轉(zhuǎn)，如果是，請(qǐng)重新調(diào)整絕對(duì)值編碼器的零位置。3、 檢查設(shè)備配置中的校準(zhǔn)值是否改變了，如果是，請(qǐng)糾正。七、 SLS顯示保持未定義 EFM不執(zhí)行裝卸動(dòng)作。1、 用CESAR控制計(jì)算機(jī)檢查記錄項(xiàng)。2、 檢查是否有人按了停止動(dòng)作按鈕，如果是，請(qǐng)排除停止動(dòng)作的原因。3、 檢查裝卸機(jī)是否碰到了限位開關(guān)，如果是，請(qǐng)重新調(diào)整限位開關(guān)位置。八、 不正確的氣體流速，實(shí)際值不足1、 檢查壓縮空氣。2、 檢查氣體壓力。3、 檢查主關(guān)斷閥和層關(guān)斷閥位置。4、 檢查從氣體面板到工藝爐管的氣體輸出是否碰到太多阻力。九、 不正確的氣體流速，實(shí)際值為0 1、檢查壓縮空氣 2、檢查氣體壓力。 3、檢查主關(guān)斷閥和層關(guān)斷閥位置。 4、檢查從氣體面板到工藝爐管的氣體輸出是否碰到太多阻力。 5、檢查電磁閥，如果壞了請(qǐng)更換。 6、檢查氣動(dòng)閥，如果壞了請(qǐng)更換。 7、檢查MFC，如果壞了請(qǐng)更換。 十、實(shí)際氣體流量值顯示不帶設(shè)定值 檢查MFC。如果壞了請(qǐng)更換。（二）設(shè)備部件的故障診斷：A、裝載區(qū)的故障 一、無法打開照明 1、檢查燈是否壞了。 2、檢查配電柜中的熔斷器。 二、冷卻箱關(guān)機(jī)了 1、檢查CMI系統(tǒng)計(jì)算機(jī)的CMS顯示器中是否顯示了故障，如果是請(qǐng)排除。 2、檢查熔斷器。 三、裝卸載（EFM）不工作 1、用CESAR控制計(jì)算機(jī)檢查工藝舟位置和速度輸入項(xiàng)。 2、檢查LIFT是否準(zhǔn)備好，如果沒有，請(qǐng)排除原因。 3、檢查氣柜中的爐層PLC是否已發(fā)出了打開爐門的允許信號(hào)。如果沒有，請(qǐng)排除聯(lián)鎖原 因。 4、檢查是否有人按了停止動(dòng)作按鈕，如果是，排除停止動(dòng)作原因，然后啟動(dòng)按鈕。 5、檢查裝卸機(jī)上的限位開關(guān)是否調(diào)節(jié)不當(dāng)或壞了。 6、檢查離合器。 7、檢查EFM是否動(dòng)作緩慢。 四、裝卸機(jī)運(yùn)行速度不正常 1、用CESAR控制計(jì)算機(jī)檢查工藝舟速度的設(shè)定值項(xiàng)。 2、檢查裝卸機(jī)是否動(dòng)作緩慢。 3、檢查設(shè)備配置是否改變了。 五、不正確的裝卸機(jī)定位 1、檢查是否存在機(jī)械阻力。 2、檢查齒輪帶是否松了，齒輪是否正確嚙合。張緊齒輪帶。 3、檢查裝卸機(jī)是否碰到了一個(gè)限位開關(guān)，如果是，請(qǐng)重新調(diào)整限位開關(guān)或工藝舟路徑。 六、裝卸機(jī)上限位開關(guān)不工作 1、檢查通往限位開關(guān)的電纜是否已連接。 2、檢查裝卸機(jī)上電機(jī)終端的電纜是否已正確連接。 3、檢查限位開關(guān)，如果壞了請(qǐng)更換。 七、裝卸機(jī)只朝一個(gè)方向運(yùn)行 檢查裝卸機(jī)上的限位開關(guān)，如果壞了請(qǐng)更換。 八、軟著陸系統(tǒng)（SLS）的抬升電機(jī)不工作 1、用CESAR控制計(jì)算機(jī)檢查記錄項(xiàng)。 2、檢查是否有人按了停止動(dòng)作按鈕。 3、檢查裝卸機(jī)是否碰到了限位開關(guān)，如果是請(qǐng)重新調(diào)整限位開關(guān)或工藝舟路徑。 4、檢查限位開關(guān)和限位開關(guān)連接。 5、檢查裝卸機(jī)的電機(jī)終端是否已接通電源。 6、工藝舟之前在另一個(gè)地方被下降，將工藝舟移到最大位置。工藝舟自動(dòng)在正確位置停止，在此位置重復(fù)抬升。 B 毒性氣體抽排裝置中的故障 工藝爐管門打不開/不關(guān)閉 1、檢查限位開關(guān)和限位開關(guān)連接。 2、檢查壓縮空氣。 3、檢查是否有人按了停止動(dòng)作按鈕。 4、檢查工藝爐管門是否機(jī)械阻塞了。 5、用CESAR控制計(jì)算機(jī)的狀態(tài)屏幕檢查工藝舟實(shí)際位置和設(shè)定位置。 6、檢查工藝舟是否確實(shí)在末端位置移出了，裝卸機(jī)上的限位開關(guān)必須被遮住。C水平式爐體故障 一、加熱箱外罩過熱 1、檢查主風(fēng)扇功能。 2、檢查冷卻水壓力。 3、檢查冷卻水溫度。 4、使用外部溫度計(jì)來檢查水入口的冷卻水溫度。 5、檢查冷卻水主關(guān)斷閥和層關(guān)斷閥是否已完全打開。 二、加熱箱區(qū)域不工作 檢查熱電偶。如果壞了請(qǐng)更換。 三、整個(gè)加熱箱不工作 1、檢查CMI系統(tǒng)計(jì)算機(jī)的CMS顯示器中是否顯示了故障，如果是，請(qǐng)排除故障。 2、檢查變壓器熔斷器。 3、檢查加熱電路中的熔斷器。 4、通過配電柜中監(jiān)視繼電器的信號(hào)燈檢查CMS與CMI的通訊。信號(hào)燈閃爍表示CMS與CMI之間通訊處于活動(dòng)狀態(tài)。 5、檢查加熱繼電器是否已響應(yīng)。 6、檢查CMS中的超溫保護(hù)是否已激活。 D氣柜中的故障 一、氣體管線中無氣流 1、用CESAR控制計(jì)算機(jī)檢查氣體管線是否已設(shè)定。 2、檢查外部氣體監(jiān)視系統(tǒng)是否已觸發(fā)。 3、檢查主關(guān)斷閥是否已打開。如果否，請(qǐng)查找關(guān)閉原因，是否應(yīng)重新打開。 4、檢查層關(guān)斷閥是否已打開。如果否，請(qǐng)查找關(guān)閉原因，是否應(yīng)重新打開。 5、檢查壓力計(jì)上是否顯示了正確的氣體壓力，如果否，則表示壓力計(jì)壞了，必須更換。 6、檢查CESAR控制計(jì)算機(jī)上是否顯示了此氣體管線質(zhì)量流量控制器的氣體流速設(shè)定值。如果沒有顯示設(shè)定值： 檢查24V電壓供應(yīng)是否工作 檢查是否所有Y層分配器都正確與MFC連接了 檢查是否所有連接插頭都與CESAR正確連接了 在操作面板上檢查CMI用戶界面是否顯示任何其它信息。 二、MFC不工作 1、檢查此氣體管線的氣體流速設(shè)定值是否在CESAR控制計(jì)算機(jī)上顯示。 2、檢查是否可設(shè)定和顯示不同的氣體流速。如果否，說明MFC壞了，必須更換。 三、氣動(dòng)閥不工作 1、檢查是否所有連接頭均在CESAR控制計(jì)算機(jī)上正確插入了。 2、檢查電磁閥與氣動(dòng)閥之間的壓縮空氣及氮軟管。 3、在氣柜上檢查PLC輸入是否工作。 四、氣體流速比不正確 檢查顯示的當(dāng)前氣體流速是否與CESAR控制計(jì)算機(jī)上設(shè)定的氣體流速不同，如果是，檢查關(guān)斷閥是否完全打開，氣動(dòng)閥是否已流通。 五、氣柜內(nèi)部過熱 檢查是否所有的風(fēng)扇都在運(yùn)行，如果否，檢查配電柜中的熔斷器。如果必要請(qǐng)更換壞了的風(fēng)扇。在配電 柜端子上測(cè)量供應(yīng)電壓。E爐體部件檢測(cè) 一、檢查加熱區(qū)超溫的安全關(guān)閉裝置 在檢查過程中，請(qǐng)確認(rèn)需檢查的加熱區(qū)與CMI上錯(cuò)誤信息所指示的加熱區(qū)相符。 1、檢查一個(gè)加熱區(qū)外部熱電偶的安全關(guān)閉裝置。 去除氣體區(qū)外部熱電偶上的電源線。 以下警報(bào)信息必須顯示在CMI用戶界面上：超溫 加熱區(qū)G層n。 去除配電柜中的加熱繼電器開關(guān)蓋。 相應(yīng)層的加熱繼電器開關(guān)必須關(guān)閉，進(jìn)行目檢。 檢測(cè)完后請(qǐng)重新連接外部熱電偶的電源線。 2、按第一條中所述檢查所有其它加熱區(qū)的安全關(guān)閉裝置。 二、檢查加熱箱超溫的安全關(guān)閉裝置 1、在溫度測(cè)量模塊TMM6上拔出超溫監(jiān)視器的一根電纜。 2、以下警報(bào)信息必須顯示在CMI用戶界面上：超溫 加熱區(qū)G層n。 3、去除配電柜中的加熱繼電器開關(guān)蓋。 4、相應(yīng)層的加熱繼電器開關(guān)必須關(guān)閉，進(jìn)行目檢。 5、檢測(cè)完后，重新連接溫度測(cè)量模塊TMM6上超溫監(jiān)視器的電源線。 6、用力拉動(dòng)超溫監(jiān)視器的電源線，以確認(rèn)其已牢固連接。 三、檢查溫度模塊TMM6的有效性1 LED Vcc OK， 綠色 2 LED Meas，黃色 1、拉出溫度測(cè)量模塊TMM6上的24V直流電壓供應(yīng)插頭。 2、CESAR控制計(jì)算機(jī)的狀態(tài)屏幕上顯示一個(gè)故障，如實(shí)際溫度顯示為根本不可能發(fā)生的3000度。 3、檢測(cè)完后，重新連接溫度控制模塊TMM6上的電源線。 4、檢查TMM6是否重新正常工作。發(fā)光二極管“Vcc OK”必須發(fā)綠光，“Meas”必須閃黃光。 5、上緊相應(yīng)層的活動(dòng)蓋。F 調(diào)節(jié)TGA空閑傳感器 1、松開TGA空閑傳感器背面上的螺釘； 2、將工藝舟移到舟起始位置； 3、將TGA空閑傳感器定位成使得激光光束穿過預(yù)防性維護(hù)蓋中穿透點(diǎn)的正中，如需要，可在預(yù)防性維護(hù)蓋的孔上方持一張紙。 4、去除預(yù)防性維護(hù)蓋上的緊固螺絲和預(yù)防性維護(hù)蓋。 5、從外面透過孔看入TGA。激光光束必須擊中工藝舟凸輪，必要時(shí)重新調(diào)整TGA空閑傳感器。 6、將工藝舟移出TGA約10CM，使得舟凸輪不再被TGA空閑傳感器探測(cè)到。激光光束必須擊中反射板。 7、緊固預(yù)防性維護(hù)蓋。 8、檢查激光光束必須穿過預(yù)防性維護(hù)蓋中穿透點(diǎn)的正中。 9、在TGA空閑傳感器上進(jìn)行了保養(yǎng)和預(yù)防性維護(hù)工作后，請(qǐng)重新緊固螺釘。 10、檢查激光光束是否已調(diào)準(zhǔn)。 11、用工藝程序來確定工藝舟的邊緣。 12、如必要，請(qǐng)糾正TGA空閑傳感器的調(diào)節(jié)。 2.4.3 CMI錯(cuò)誤報(bào)警信息及排除ID號(hào)錯(cuò)誤信息文本原因故障排除1351PLC in “Running”status.PLC控制系統(tǒng)停止了.結(jié)束CMI應(yīng)用程序，啟動(dòng)PLC，啟動(dòng)CMI.1353EWH: The external wafer handler is on longer active. No update of the life guarding information!外部硅片機(jī)械手沒有反應(yīng).檢查外部硅片機(jī)械手狀態(tài).1360STANDBY: recipe recipe name on Cesar stack 1 not definedCesar層 1上不存在為待機(jī)定義的工藝程序見錯(cuò)誤信息1400-1999PLC CAN Node Nodename unknown status:CAN 節(jié)點(diǎn)不處于運(yùn)行狀態(tài)檢查CAN網(wǎng)絡(luò)連接.2100-2199PLC CAN Node Nodename battery voltage too low, or battery not installedCAN 節(jié)點(diǎn)電池太弱, 或沒有。更換或裝入電池.3100Alarm-external exhaust system failed外部抽排系統(tǒng)失靈.檢查外部傳感器.檢查內(nèi)部傳感器.檢查輸入模塊連接.3320Alarm Gas sensor ext.毒性氣體管線和氫管線關(guān)閉了.檢查系統(tǒng)的工藝氣體管道是否滲漏.檢查輸入模塊連接.檢查由客戶與centrotherm提供的觸點(diǎn)連接的單元.4030Alarm Bus coupler loading box上料箱總線耦合器上故障檢查總線耦合器和連接.必要時(shí)更換總線耦合器.4200Warning Water flow at coolbox 冷卻箱水流量太低檢查冷卻箱冷卻水進(jìn)出口的關(guān)斷網(wǎng)是否完全打開.檢查水流量.檢查傳感器的開關(guān)點(diǎn).檢查冷卻水流量控制裝置的接觸.檢查流量控制裝置.檢查輸入模塊連接.4400 Warning Handing stop停止動(dòng)作按鈕被啟動(dòng)排除啟動(dòng)停止動(dòng)作按鈕的原因, 然后拉出按鈕.5010Alarm Exhaust air monitoring TGA外部抽排系統(tǒng)太低或失靈.檢查外部抽排系統(tǒng).檢查設(shè)定的極限值.5050Alarm Differential press TGAPmax外部抽排系統(tǒng)太強(qiáng).檢查外部抽排系統(tǒng).檢查設(shè)定的極限值.6050Alarm Water overpress. heat. cassettes壓力高于7.5巴檢查冷卻水壓力.檢查設(shè)備冷卻水入口和出口的關(guān)斷閥是否完全開打.檢查工廠內(nèi)部供應(yīng)管線的水壓是否太高.檢查傳感器的開關(guān)點(diǎn).檢查過壓開關(guān)的接觸.檢查輸入模塊連接.6080Warning Water leakage水發(fā)生滲漏檢查水平爐滲漏水盆中有無水.如果有,找出并修補(bǔ)滲漏處.如果沒有，檢查浮子的電接觸檢查輸入模塊連接62716272627362746275Alarm Overtemp. Heat. Cass. Stack層加熱箱溫度太高檢查主風(fēng)扇功能.檢查冷卻水壓力.打開法蘭上冷卻水入口及出口并檢查流量.檢查冷卻水入口溫度.檢查超溫開關(guān).檢查輸入模塊連接.6700Alarm Main line failure設(shè)備電壓供應(yīng)中發(fā)生故障檢查電源連接的所有三個(gè)相位: 相線、中性線和安全接地線.檢查所有熔斷器.檢查輸入模塊連接.6750Alarm Main fan主風(fēng)扇關(guān)機(jī)了檢查熔斷器.檢查風(fēng)扇繼電器.檢查輸入模塊連接.7040Alarm Air stream gas cabinet外部抽排系統(tǒng)太低或失靈檢查外部抽排系統(tǒng).檢查設(shè)定的極限值.71117112711371147115Alarm Bubbler temp. stack層中源瓶上溫度出錯(cuò)請(qǐng)?jiān)贑ESAR控制計(jì)算機(jī)和氣柜中的源瓶上檢查和比較設(shè)定值.出現(xiàn)偏差時(shí)檢查源瓶.如果在設(shè)定值和實(shí)際值之間沒有偏差,則檢查輸入模塊連接.7630Alarm Compressed air supply壓縮空氣壓力不足檢查壓縮控制供應(yīng).檢查輸入模塊連接.檢查傳感器的開關(guān)點(diǎn).CMI LIFT 的錯(cuò)誤信息Error message text原因故障排除Handing arm in undefined position. Move to defined position!試圖用未定義的LIFT執(zhí)行一次升降機(jī)移動(dòng).將LIFT移到起始位置.Tube ready is undefined. Make sure that the loading machine is in position 0 and softlander is up!裝卸機(jī)不在零位置, 軟著陸裝置不再上位置.使裝卸機(jī)位于初始位置.使軟著陸裝置位于頂端位置.Grip is in undefined position. Move to defined position.試圖在一個(gè)不正確的位置或者當(dāng)一個(gè)舟在機(jī)械爪中時(shí)打開或關(guān)閉夾子.移動(dòng)有效的位置或?qū)⒅蹚臋C(jī)械爪中取出.Grip clamp in undefined position. Move grip clamp to defined position!傳感器沒有檢測(cè)到夾子狀態(tài),或者兩個(gè)夾子之一沒有正確打開或關(guān)閉.檢查傳感器、繼電器和電機(jī).Function cannot be executed in the current. Lift position!Lift 不在此命令所要求的正確位置.夾子位置未定義.將Lift移到正確位置.檢查機(jī)械爪