標(biāo)準(zhǔn)解讀

《JJF 1351-2012 掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范》是針對掃描探針顯微鏡（SPM）制定的技術(shù)文件，旨在為該類儀器提供一套統(tǒng)一的校準(zhǔn)方法和標(biāo)準(zhǔn)。根據(jù)此規(guī)范，可以確保不同實(shí)驗(yàn)室或機(jī)構(gòu)間使用掃描探針顯微鏡時數(shù)據(jù)的一致性和可比性。

該規(guī)范首先明確了適用范圍，指出其適用于各種類型掃描探針顯微鏡，包括但不限于原子力顯微鏡(AFM)、掃描隧道顯微鏡(STM)等設(shè)備的校準(zhǔn)工作。接著定義了術(shù)語與符號，如分辨率、線寬、臺階高度等關(guān)鍵參數(shù)的具體含義及其測量單位，為后續(xù)內(nèi)容的理解打下了基礎(chǔ)。

在技術(shù)要求部分，《JJF 1351-2012》詳細(xì)描述了對掃描探針顯微鏡性能指標(biāo)的要求，比如平面度、傾斜度、垂直分辨率、橫向分辨率等，并給出了相應(yīng)的允許誤差范圍。此外，還規(guī)定了用于校準(zhǔn)的標(biāo)準(zhǔn)樣品特性以及如何正確選擇這些樣品以保證校準(zhǔn)結(jié)果的有效性。

對于具體的校準(zhǔn)過程，《JJF 1351-2012》提供了詳細(xì)的步驟指導(dǎo)，包括準(zhǔn)備工作、環(huán)境條件控制、儀器設(shè)置調(diào)整、數(shù)據(jù)采集及處理等方面的內(nèi)容。其中特別強(qiáng)調(diào)了操作過程中需要注意的安全事項(xiàng)和技術(shù)細(xì)節(jié)，以確保整個校準(zhǔn)流程能夠順利進(jìn)行并獲得準(zhǔn)確可靠的結(jié)果。


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  • 正在執(zhí)行有效
  • 2012-06-18 頒布
  • 2012-09-18 實(shí)施
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JJF 1351-2012 掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范_第1頁
JJF 1351-2012 掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范_第2頁
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文檔簡介

中華人民共和國國家計(jì)量技術(shù)規(guī)范 JJF13512012 掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范 CalibrationSpecificationforScanningProbeMicroscopes 2012-06-18發(fā)布 2012-09-18實(shí)施 國 家 質(zhì) 量 監(jiān) 督 檢 驗(yàn) 檢 疫 總 局 發(fā) 布 JJF13512012 掃描探針顯微鏡 校準(zhǔn)規(guī)范 JJF13512012 CalibrationSpecificationfor ScanningProbeMicroscopes歸 口 單 位 全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會 :主要起草單位 中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研究所 : 上海計(jì)量測試技術(shù)研究院 貴州計(jì)量測試院參加起草單位 中國計(jì)量科學(xué)研究院 :本規(guī)范委托全國幾何量長度計(jì)量技術(shù)委員會負(fù)責(zé)解釋 JJF13512012本規(guī)范主要起草人 : 朱振宇 中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研 ( 究所 ) 任冬梅 中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研 ( 究所 ) 傅云霞 上海計(jì)量測試技術(shù)研究院 ( ) 李 源 上海計(jì)量測試技術(shù)研究院 ( ) 呂小潔 貴州計(jì)量測試院 ( ) 參加起草人 : 盧明臻 中國計(jì)量科學(xué)研究院 ( ) 李華豐 中國航空工業(yè)集團(tuán)公司北京長城計(jì)量測試技術(shù)研 ( 究所 ) JJF13512012 目 錄 引言 () 范圍1 (1) 引用文件2 (1) 術(shù)語和定義3 (1) 掃描探針顯微鏡3.1 (1) 掃描探針顯微鏡Z 向漂移 3.2 (1) 概述4 (1) 計(jì)量特性5 (2) 掃描探針顯微鏡Z 向漂移 5.1 (2) X Y 軸位移測量誤差 5.2 、 (2) Z 軸位移測量誤差 5.3 (2) 掃描探針顯微鏡測量重復(fù)性5.4 (2) X Y 坐標(biāo)正交性誤差 5.5 、 (2) 校準(zhǔn)條件6 (2) 環(huán)境條件6.1 (2) 標(biāo)準(zhǔn)器6.2 (2) 校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法7 (3) 掃描探針顯微鏡 向漂移 7.1 Z (3) X Y 軸位移測量誤差 7.2 、 (4) Z 軸位移測量誤差 7.3 (5) 掃描探針顯微鏡測量重復(fù)性7.4 (6) X Y 軸測量重復(fù)性 7.4.1 、 (6) 軸測量重復(fù)性 7.4.2 Z (6) X Y 坐標(biāo)正交性誤差 7.5 、 (6) 校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)8 (7) 復(fù)校時間間隔9 (7)附錄 掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)結(jié)果的測量不確定度評定 A (8) JJF13512012 引 言 本規(guī)范為初次發(fā)布 制定本規(guī)范的目的主要是解決工業(yè)中掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)問 。題 規(guī)范編制中參考了國際上納米計(jì)量領(lǐng)域的一些理論性研究成果 并以實(shí)際納米計(jì)量 。 ,工作中的一些實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)為基礎(chǔ)制定了本規(guī)范 。 JJF13512012 掃描探針顯微鏡校準(zhǔn)規(guī)范1 范圍 本規(guī)范適用于以幾何表面形貌為測量對象的掃描探針顯微鏡的校準(zhǔn) 。 掃描探針顯微鏡根據(jù)其設(shè)計(jì)原理不同 校準(zhǔn)時需要根據(jù)實(shí)際情況選擇相關(guān)的計(jì)量特 ,性 對有特殊要求的測量任務(wù) 如對溯源要求較高的測量 不在本校準(zhǔn)規(guī)范的適用范圍 。 , , 。2 引用文件 本規(guī)范引用下列文件 : 通用計(jì)量術(shù)語及定義 JJF10012011 產(chǎn)品幾何量技術(shù)規(guī)范 表面結(jié)構(gòu) 輪廓法 測量標(biāo) GB/T19067.12003 (GPS) 準(zhǔn) 第 部分 實(shí)物測量標(biāo)準(zhǔn) 1 : 凡是注日期的引用文件 僅注日期的版本適用于本規(guī)范 凡是不注日期的引用文 , ;件 其最新版本 包括所有的修改單 適用于本規(guī)范 , ( ) 。3 術(shù)語和定義 掃描探針顯微鏡3.1 scanningprobemicroscope (SPM) 具有掃描測量功能的探針顯微鏡的統(tǒng)稱 主要包含原子力顯微鏡 掃描隧 。 (AFM)、道顯微鏡 等 (STM) 。 掃描探針顯微鏡Z 向漂移3.2 SPM Z-directiondrift 掃描探針顯微鏡定點(diǎn)測量時Z 向測量值的漂移 。4 概述 掃描探針顯微鏡具有高分辨力 實(shí)時 原位成像等特征 對樣品無特殊要求 不受 、 、 。 ,樣品的干燥度 形狀 硬度 純度等限制 可在大氣 常溫環(huán)境甚至是溶液

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