真空檢漏的原理和方法ppt課件

1、電子、電器配套玻璃專業(yè)國(guó)際化公司,Total Glass Solutions For Electron And Electric Appliance,真 空 檢 漏,作成：樊斌杰 日期:2010年/10月,一、概述1概漏的基本概念真空檢漏就是檢測(cè)真空系統(tǒng)的漏氣部位及其大小的過(guò)程。漏氣也叫實(shí)漏，是氣體通過(guò)系統(tǒng)上的漏孔或間隙從高壓側(cè)流到低壓側(cè)的現(xiàn)象。虛漏，是相對(duì)實(shí)漏而言的一種物理現(xiàn)象。這種現(xiàn)象是由于材料放氣、解吸、凝結(jié)氣體的再蒸發(fā)、氣體通過(guò)器壁的滲透及系統(tǒng)內(nèi)死空間中氣體的流出等原因引起真空系統(tǒng)中氣體壓力升高的現(xiàn)象。氣密性是表征真空系統(tǒng)器壁防止氣體滲透的性能，它包括通過(guò)漏孔(或間隙)的漏氣和材質(zhì)的滲

2、氣。最小可檢漏率是指某種檢漏方法能夠檢測(cè)出的漏率的最小值。最佳靈敏度是指檢漏儀器或檢漏方法在最佳條件下所能檢測(cè)出的最小漏率。對(duì)于檢漏儀器來(lái)講，最佳靈敏度又稱作儀器靈敏度。檢漏靈敏度是指在具體條件下，某種檢漏方法所能檢測(cè)出的最小漏率。檢漏靈敏度又稱作有效靈敏度。反應(yīng)時(shí)間，即從檢漏方法開始實(shí)施(如開始噴吹示漏氣體)到指示方法(如儀表)做出反應(yīng)的時(shí)間。消除時(shí)間，即從檢漏方法停止(如停止噴吹且開始抽出示漏氣體)到指示方法的指示消失的時(shí)間。漏率，即單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)漏孔(包括間隙)的氣體量,2漏孔、漏率及其單位真空技術(shù)中所指的漏孔，由于尺寸微小、形狀復(fù)雜、形式多樣(如圖1所示)，無(wú)法用幾何尺寸表示其大小。所

3、以一般用等效流導(dǎo)或漏氣速率(簡(jiǎn)稱為漏率)表示漏孔的大小。用漏率表示漏孔大小時(shí)，如果不加特殊說(shuō)明，則是指在漏孔入口壓力為1.01105Pa，出口壓力低于1.33103Pa，溫度為296士3K的標(biāo)準(zhǔn)條件下，單位時(shí)間內(nèi)流過(guò)漏孔的露點(diǎn)溫度低于248K的空氣的氣體量。漏率的單位是帕斯卡立方米秒，記為Pam3s。為了方便，有時(shí)用帕斯卡升秒，記為PaLs,3最大容許漏率真空系統(tǒng)漏氣是絕對(duì)的，不漏氣是相對(duì)的在真空檢漏技術(shù)中所指的“漏”是和最大容許漏率的概念聯(lián)系在一起的。對(duì)于動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)，只要其平衡壓力能夠達(dá)到所要求的真空度，這時(shí)即使存在著漏孔，也可以認(rèn)為該系統(tǒng)的漏率是容許的，該情況下系統(tǒng)的漏率稱為最大容許漏率

4、。動(dòng)態(tài)真空系統(tǒng)的最大容許漏率qLmax應(yīng)滿足qLmax1/10PwS(1)式中Pw-系統(tǒng)工作壓力S-系統(tǒng)的有效抽速對(duì)于靜態(tài)真空系統(tǒng)，要求在一定時(shí)間內(nèi)，其壓力維持在容許的壓力以下，這時(shí)即使存在著漏孔，同樣叮以認(rèn)為該系統(tǒng)的漏率是容許的，該情況下系統(tǒng)的漏率稱為最大容許漏率。如果要求在時(shí)間t內(nèi),容積為V的系統(tǒng)的壓力由p升至pt，則其最大容許漏率qLmax應(yīng)滿足qLmax(pt-p)V/t(2)各種真空設(shè)備的最大容許漏率可參考表1確定,4漏孔的氣流特性氣體流經(jīng)漏孔的過(guò)程是很復(fù)雜的，可能包含有粘滯流、過(guò)渡流及分子流三種流動(dòng)狀態(tài)。主導(dǎo)流動(dòng)狀態(tài)與漏孔的幾何尺寸、氣體的種類、漏孔兩端的壓力及環(huán)境溫度有關(guān)。設(shè)環(huán)境

5、溫度T=296K，入口壓力p2=1.01105Pa，出口壓力p1p2，漏孔長(zhǎng)L，直徑d的均勻圓截面導(dǎo)管型漏孔，其對(duì)空氣的漏率及可視流動(dòng)狀態(tài)見表2,5檢漏方法的分類檢漏方法很多，根據(jù)被檢件所處的狀態(tài)可分為充壓檢漏法、真空檢漏法及其它檢漏法。充壓檢漏法：在被檢件內(nèi)部充入一定壓力的示漏物質(zhì)，如果被檢件上有漏孔，示漏物質(zhì)便從漏孔漏出，用一定的方法或儀器在被檢件外部檢測(cè)出從漏孔漏出的示漏物質(zhì)，從而判定漏孔的存在、位置及漏率的大小，此即充壓檢漏法。真空檢漏法：被檢件和檢漏器的敏感元件處于真空狀態(tài)，在被檢件的外部施加示漏物質(zhì)，如果有漏孔，示漏物質(zhì)就會(huì)通過(guò)漏孔進(jìn)入被檢件和敏感元件的空間，由敏感元件檢測(cè)出示漏物

6、質(zhì)，從而可以判定漏孔的存在、位置利漏率的大小，這就是真空檢漏法。其它檢漏法：被檢件既不充壓也不抽真空，或其外部受壓等方法歸入其它檢漏法。背壓法就是其中主要方法之一。所謂“背壓檢漏法”是利用背壓室先將示漏氣體由漏孔充入被檢件，然后在真空狀態(tài)下使示漏氣體再?gòu)谋粰z件中漏出以某種方法(或檢漏儀)檢測(cè)漏出的示漏氣體，判定被檢件的總漏率的方法,二、檢漏儀器用于檢漏的儀器有氦質(zhì)譜檢漏儀、鹵素檢漏儀、高頻火花檢漏器、氣敏半導(dǎo)體檢漏儀及用于質(zhì)譜分析的各種質(zhì)譜計(jì)。這里主要介紹氦質(zhì)譜檢漏儀、鹵素檢漏儀、高頻火花檢漏器的工作原理、結(jié)構(gòu)及國(guó)產(chǎn)檢漏儀器的技術(shù)性能。1氦質(zhì)譜檢漏儀氮質(zhì)譜檢漏儀是用氦氣為示漏氣體的專門用于檢漏

7、的儀器，它具有性能穩(wěn)定、靈敏度高的特點(diǎn)。是真空檢漏技術(shù)中靈敏度最高，用得最普遍的檢漏儀器。氦質(zhì)譜檢漏儀是磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計(jì)。單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器靈敏度為lO-910-12Pam3s，廣泛地用于各種真空系統(tǒng)及零部件的檢漏。雙級(jí)串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型儀器與單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型儀器相比較，本底噪聲顯著減小其靈敏度可達(dá)10-1410-15Pam3s，適用于超高真空系統(tǒng)、零部件及元器件的檢漏。逆流氦質(zhì)譜檢漏儀改變了常規(guī)型儀器的結(jié)構(gòu)布局，被檢件置于檢漏儀主抽泵的前級(jí)部位，因此具有可在高壓力下檢漏、不用液氮及質(zhì)譜室污染小等特點(diǎn)適用于大漏率、真空衛(wèi)生較差的真空系統(tǒng)的檢漏，其靈敏度可達(dá)10-12Pam3s,1)工作原理與結(jié)構(gòu)氦質(zhì)譜

8、檢漏儀由離子源、分析器、收集器、冷陰極電離規(guī)組成的質(zhì)譜室和抽氣系統(tǒng)及電氣部分等組成。單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀現(xiàn)以HZJl型儀器為例介紹單級(jí)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀，其結(jié)構(gòu)如圖2所示。 在質(zhì)譜室內(nèi)有：由燈絲、離化室、離子加速極組成離子源；由外加均勻磁場(chǎng)、擋板及出口縫隙組成分析器；由抑制柵、收集極及高阻組成收集器；第一級(jí)放大靜電計(jì)管和冷陰極電離規(guī)。質(zhì)譜室的工作原理如圖3所示,在離化室N內(nèi)，氣體電離成正離子，在電場(chǎng)作用下離子聚焦成束。并在加速電壓作用下以一定的速度經(jīng)過(guò)加速極S1的縫隙進(jìn)入分析器。在均勻磁場(chǎng)的作用下，具有一定速度的離子將按圓形軌跡運(yùn)動(dòng)，其偏轉(zhuǎn)半徑可按式（5）計(jì)算。 可見，當(dāng)B和U為定值時(shí)，

9、不同質(zhì)荷比me-1的離子束的偏轉(zhuǎn)半徑R不同。儀器的B和R是固定的，調(diào)節(jié)加速電壓U使氦離子束圖中(me-1)2恰好通過(guò)出口縫隙S2，到達(dá)收集器D，形成離子流并由放大器放大。使其由輸出表和音響指示反映出來(lái)；而不同于氦質(zhì)荷比的離子束(me-1)1(me-1)3因其偏轉(zhuǎn)半徑與儀器的R值不同無(wú)法通過(guò)出口縫隙S2，所以被分離出來(lái),me-1)2=4，即He+的質(zhì)荷比，除He+之外，C卅很少，可忽略。雙級(jí)串聯(lián)磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀圖4示出了雙級(jí)900縮轉(zhuǎn)串聯(lián)式磁偏轉(zhuǎn)型氦質(zhì)譜檢漏儀的質(zhì)譜室。由于兩次分析，減少了非氦離子到達(dá)收集器的機(jī)率。并且，如在兩個(gè)分析器的中間，即圖中的中間縫隙S2與鄰近的擋板間設(shè)置加速電場(chǎng)，使

10、離子在進(jìn)入第二個(gè)分析器前再次被加速。那些與氦離子動(dòng)量相同的非氦離子，雖然可以通過(guò)第一個(gè)分析器，但是，經(jīng)第二次加速進(jìn)入第二個(gè)分析器后，由于其動(dòng)量與氦離子的不同而被分離出來(lái)。由于二次分離，儀器本底及本底噪聲顯著地減小，提高了儀器靈敏度。 逆流氦質(zhì)譜檢漏儀逆流氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)特點(diǎn)如圖5所示。該類儀器是根據(jù)油擴(kuò)散泵或分子泵的壓縮比與氣體種類有關(guān)的原理制成的。例如，多級(jí)油擴(kuò)散泵對(duì)氦氣的壓縮比為102；對(duì)空氣中其它成分的壓縮比為lO4106。檢漏時(shí)，通過(guò)被檢件上漏孔進(jìn)入主抽泵前級(jí)部位的氦氣，仍有部分返流到質(zhì)譜室中去，并由儀器的輸出指示示出漏氣訊號(hào)。這就是逆流氦頃質(zhì)譜檢漏儀的工作原理,2)性能試驗(yàn)方法靈敏

11、度、反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間、工作真空度、極限真空度及儀器入口處抽速是評(píng)價(jià)氦質(zhì)譜檢漏儀的主要性能指標(biāo)。靈敏度及其校準(zhǔn)氦質(zhì)譜檢漏儀靈敏度，通常指儀器的最小可檢漏率。記為qL.min，即在儀器處于最佳工作條件下，以一個(gè)大氣壓的純氦氣為示漏氣體，進(jìn)行動(dòng)態(tài)檢漏時(shí)所能檢測(cè)出的最小漏孔漏率。所謂“最佳工作條件”是指儀器參數(shù)調(diào)整到最佳值，被檢件出氣少且沒有大漏孔等條件。所謂“動(dòng)態(tài)檢漏”是指檢漏儀器本身的抽氣系統(tǒng)仍在正常抽氣。儀器的反應(yīng)時(shí)間不大于3s。所謂“最小可檢”是指檢漏訊號(hào)為儀器本底噪聲的兩倍時(shí)，才能認(rèn)定有漏氣訊號(hào)輸出。所謂“漏孔漏率”是指一個(gè)大氣壓的干燥空氣通過(guò)漏孔漏向真空側(cè)的漏氣速率。儀器本底噪聲，一般指

12、在2min內(nèi)輸出儀表的最大波動(dòng)量。漏率靈敏度標(biāo)準(zhǔn)系統(tǒng)如圖6所示。圖中虛線框內(nèi)部分為配氣系統(tǒng)即為標(biāo)準(zhǔn)漏孔5進(jìn)氣端提供壓力為pHe的純氦氣。輔助泵6的任務(wù)是預(yù)抽。用干燥瓶4和針閥2調(diào)節(jié)儀器工作壓力。如果儀器本底為I0，本底噪聲為In，標(biāo)準(zhǔn)漏孔對(duì)空氣的標(biāo)稱漏率為qL.o，當(dāng)其進(jìn)氣壓力為pHe時(shí)的儀器訊號(hào)為I，則儀器靈敏度為式（6,如果檢漏時(shí)用輔助系統(tǒng)抽氣(即對(duì)示漏氦氣有分流)?；蛴美鄯e法檢漏時(shí)，給出儀器最小可檢氦濃度(即濃度靈敏度)。記為min，能較方便地估計(jì)檢漏效果。濃度靈敏度校準(zhǔn)系統(tǒng)中應(yīng)用一流量計(jì)測(cè)出圖6的通過(guò)針閥2進(jìn)入儀器的空氣流率qL.o，則儀器濃度靈敏度成為式（7）。 反應(yīng)時(shí)間、清除時(shí)間及

13、其測(cè)定反應(yīng)時(shí)間是指儀器節(jié)流閥完全開啟，本底訊號(hào)為零(或補(bǔ)償?shù)搅?時(shí)，由恒定的氦流量使輸儀表訊號(hào)上升到最大值的(1-e-1)倍(即O.63)所需要的時(shí)間，記為R。清除時(shí)間是指輸出儀表訊號(hào)穩(wěn)定到最大值后，停止送氦，其訊號(hào)下降到最大值的e-1倍(即O.37)所需要的時(shí)間，記為C。反應(yīng)時(shí)間和清除時(shí)間的測(cè)定裝置如圖7所示,工作真空、極限真空及入口處抽速質(zhì)譜室極限真空，尤其是工作真空及入口處抽速是表征儀器性能的重要參數(shù)。利用檢漏儀的真空規(guī)可以測(cè)定儀器的極限真空和工作真空。利用流量計(jì)可測(cè)定儀器入口處抽速,2鹵素檢漏儀用含有鹵素(氟、氯、溴、碘)的氣體為示漏氣體的檢漏儀器稱為鹵素檢漏儀。該類儀器分兩類：其一為

14、傳感器(即探頭)與被檢件相連接的稱為固定式(也稱內(nèi)探頭式)鹵素檢漏儀；其二為傳感器(即吸槍)在被檢件外部搜索的稱為便攜式(也稱外探頭式)鹵素檢漏儀。示漏氣體有氟里昂、氯仿、碘仿、四氯化碳等，其中氯里昂12最好。鹵素檢漏儀靈敏度可達(dá)3.2lO-9Pam3s。(1)工作原理與結(jié)構(gòu)金屬鉑在800900oC溫度下會(huì)發(fā)生正離子發(fā)射，當(dāng)遇到鹵素氣體時(shí)，這種發(fā)射會(huì)急劇增加。這就是所謂的“鹵素效應(yīng)”，利用此效應(yīng)制成的鹵素檢漏儀的結(jié)構(gòu)示意圖如圖8所示。傳感器是個(gè)二極管，加熱絲、陰極(外筒)、陽(yáng)極(內(nèi)筒)均用鉑材制成。陽(yáng)極被加熱絲加熱后發(fā)射正離子，被陰極接收的離子流由檢流計(jì)(或放大器)指示出來(lái)，且有音響指示。電氣

15、部分由加熱電源、直流電源、離子流放大器、輸出顯示及便攜式的吸氣裝置電源等組成,2)性能測(cè)試方法靈敏度、反應(yīng)時(shí)間及恢復(fù)時(shí)間是鹵素檢漏儀的主要性能參數(shù)。其測(cè)試方法與氦質(zhì)譜檢漏儀的相同，這里不再贅述。但是，鹵素檢漏儀的指示與鹵素氣體的濃度有關(guān)：一般，低濃度的指示是線性的，中等濃度的是非線性的，而當(dāng)濃度很高時(shí)儀器出現(xiàn)飽和或中毒現(xiàn)象。所以在進(jìn)行性能測(cè)試或檢漏時(shí)，進(jìn)入傳感器的鹵素氣體的濃度不宜高于百萬(wàn)分之一。固定式鹵素檢漏儀傳感器應(yīng)和lO-110oPa壓力范圍內(nèi)工作，壓力過(guò)高或過(guò)低都會(huì)導(dǎo)致儀器靈敏度的下降。便攜式鹵素檢漏儀的傳感器基本上是在大氣壓下工作的，靠吸氣裝置吸入氣體，使鹵素氣體流經(jīng)傳感器,3高頻火

16、花檢漏器高頻火花檢漏器是個(gè)高頻高壓對(duì)地放電器件，可以用于真空檢漏。(1)工作原理與結(jié)構(gòu)圖9示出一種電容，電感串聯(lián)諧振式高頻火花檢漏器的原理圖。接通K，當(dāng)接觸器CD閉合時(shí)，電流流經(jīng)L1、CD，電流很大，L1產(chǎn)生足夠大的電磁力吸引CD斷開，于是形成L1、C、L2的回路。由于阻抗增加，電流減小導(dǎo)致電磁力下降。從而使CD重新閉合。如此反復(fù)，在L2上施加高頻脈沖電壓，因此高壓線圈L3便感應(yīng)出高頻高壓脈沖電壓。而L3的一端對(duì)地放電產(chǎn)生高頻火花擊穿現(xiàn)象。這就是高頻火花檢漏器的工作原理。(2)玻璃真空系統(tǒng)的檢漏將高頻火花檢漏器的放電簧F沿著已抽空的玻璃系統(tǒng)外表面慢慢移動(dòng)，沒有漏孔時(shí)放電火花束呈雜亂分散狀態(tài)，當(dāng)

17、遇到漏孔時(shí)火花束集中成一條細(xì)束，且指向系統(tǒng)上亮點(diǎn)(漏孔內(nèi)空氣電離率遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于玻璃的結(jié)果)，該亮點(diǎn)就是漏孔的位置。(3)金屬真空系統(tǒng)的檢漏各種氣體和蒸汽的輝光放電顏色如表3。選用表中示漏物質(zhì)施加在金屬真空系統(tǒng)的可疑處，用高頻火花檢漏器激發(fā)系統(tǒng)上玻璃質(zhì)規(guī)管或盲管內(nèi)的氣體，使之放電，觀察放電顏色的變化便可實(shí)現(xiàn)檢漏。這種方法的工作壓力為510-1102Pa，檢漏靈敏度為10-3Pam3s,三、檢漏技術(shù) 1.各種檢漏方法的概況真空檢漏就是用適當(dāng)?shù)姆椒?，迅速判斷漏氣、確定漏率是否在容許的范圍之內(nèi)，找出漏孔的位置、測(cè)定漏率大小，以便進(jìn)行修補(bǔ)。充壓檢漏法、真空檢漏法和其它檢漏法的條件、現(xiàn)象、所用設(shè)備及其靈敏度分

18、別示于表4、表5、和表6。 表4充壓檢漏法,表7 V-試件容積 dp -壓力增量 dt -時(shí)間 n -氣泡形成速率 個(gè)min d -氣泡直徑 、a -示漏氣體和空氣的粘滯系數(shù) M，Ma-示漏氣體和空氣的摩爾質(zhì)量 p、pa-示漏氣體和大氣壓力 G -常數(shù) S、Sa-系統(tǒng)對(duì)示漏氣體和空氣的抽速 qL、 qL，a-漏孔對(duì)示漏氣體和空氣的漏率 C v -氣體的熱容,T -環(huán)境溫度 T1-T2 -規(guī)管溫差 K、K a -規(guī)管對(duì)示漏氣體和空氣的靈 敏度常數(shù) Ie -發(fā)射電流 N -熱傳導(dǎo)真空計(jì)的讀數(shù)變化 I -電離真空計(jì)的讀數(shù)變化 pa -真空計(jì)最小可讀空氣壓力的變化量 qL,min -靈敏度 pAr -

19、背壓 Ar 氣壓力 Ma -氫氣摩爾質(zhì)量 KAr -電子管對(duì)氫氣的電離規(guī)靈敏度常數(shù) I10、I20 -時(shí)間t間隔所對(duì)應(yīng)的離子流 t -背壓時(shí)間,2氦質(zhì)譜檢漏儀法 (接上期)利用氦質(zhì)譜檢漏儀進(jìn)行檢漏的方法有：噴吹法、氦罩法、檢漏盒法、吸槍法、充壓法、背壓法、累積法、選擇性抽氣法、檢漏臺(tái)法、逆流檢漏法和標(biāo)準(zhǔn)漏孔比較法。各種方法的設(shè)備、步驟及漏率見表11。在檢漏過(guò)程中應(yīng)注意調(diào)節(jié)儀器工作壓力和氦峰，注意經(jīng)常校準(zhǔn)儀器靈敏度，注意降低儀器本底和本底噪聲，以便保證氦質(zhì)譜檢漏儀檢漏法的靈敏度,3檢漏方法的選擇及對(duì)檢漏人員的要求(1)檢漏方法的選擇比較理想的檢漏方法應(yīng)滿足下列要求：合適的檢漏靈敏度在具體的檢漏條

20、件下，所選擇方法的檢漏靈敏度，通常高于最大容許漏率12個(gè)數(shù)量級(jí)。反應(yīng)時(shí)間和清除時(shí)間短不僅能找出漏孔的位置，而且還能測(cè)定漏率找出漏孔位置的方法有噴吹法和吸槍法。噴吹法適用于可抽空的被檢件。高頻火花檢漏器法、真空計(jì)法、固定式鹵素儀法和氦質(zhì)譜儀法歸于噴吹法。吸槍法適用于不允許抽空、放氣量大、復(fù)雜管道等被檢件。氣泡法、熒光法，氨檢漏法及吸槍式檢漏儀法可歸于吸槍法。測(cè)定漏率的方法是測(cè)量示漏物質(zhì)的漏率變化或濃度變化量。根據(jù)條件可采用適當(dāng)?shù)姆椒ā?品質(zhì)優(yōu)良的示漏物質(zhì)示漏物質(zhì)具有在空氣中含量少，靈敏度高，不腐蝕、不污染被檢件、抽氣系統(tǒng)及檢漏儀表，無(wú)毒、阻燃和防爆。穩(wěn)定性好、檢漏范圍寬,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、操作維修方便，

21、成本低由于上述要求有些是相互矛盾的，若想采用一種方法都能滿足是不合實(shí)際的。所以只要根據(jù)具體情況能夠滿足其主要要求的檢漏方法就是較為適宜的。實(shí)踐證明，檢漏人員的素質(zhì)、工作經(jīng)驗(yàn)也是選擇檢漏方法的重要依據(jù)之一。(2)對(duì)檢漏人員的要求對(duì)檢漏人員的要求如下：具有高度的責(zé)任心和認(rèn)真的工作態(tài)度；具有豐富的檢漏實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)；具有一定的機(jī)械結(jié)構(gòu)、物理、化學(xué)、材料及焊接等方面的知識(shí)；了解被檢件結(jié)構(gòu)及其運(yùn)行工藝，熟悉所用檢漏方法或儀器的原理及性能；掌握所用示漏物質(zhì)的檢漏特性。例如，氦氣輕，采用噴吹法檢漏時(shí)，應(yīng)遵守從上至下和從近至遠(yuǎn)的原則(即先從被檢件上部順序至下部和從靠近檢漏儀順序至遠(yuǎn)離的部位)；采用吸槍法檢漏時(shí)，應(yīng)遵

22、守從下至上和從近至遠(yuǎn)的原則。但是，鹵素氣體重，除遵守從近至遠(yuǎn)的原則外，在噴吹法和吸槍法中，應(yīng)分別遵守從下至上和從上至下的原則。檢漏人員滿足上述要求，就能解釋和解決檢漏工作中出現(xiàn)的形形色色的現(xiàn)象，較好地完成判別漏氣、找出漏孔及測(cè)定漏率的檢漏任務(wù),四、標(biāo)準(zhǔn)漏孔標(biāo)準(zhǔn)漏孔是在一定條件下向真空系統(tǒng)內(nèi)部提供已知?dú)怏w流量的元件。一般要明確這個(gè)氣流量（即漏率）的氣體種類、溫度、壓力等條件。如果不特別指明，則指溫度為2963K、入口壓力為1.01105Pa、出口壓力低于1.33103Pa的干燥空氣（其露點(diǎn)溫度低于248K）的漏率。1.常用的標(biāo)準(zhǔn)漏孔幾種常用標(biāo)準(zhǔn)漏孔的結(jié)構(gòu)如圖10所示,玻璃毛細(xì)管型標(biāo)準(zhǔn)漏孔（圖中a）是用局部拉細(xì)的玻璃毛細(xì)管制成的，漏率為10-8